JP2020009856A - 治具、及び治具を用いた設置方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims description 21
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 23
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 16
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 9
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 7
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
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-
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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-
- B08B1/50—
-
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67046—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly scrubbing means, e.g. brushes
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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Abstract
Description
置をしても弾性パッドと真空吸着ステージとの接着力が低下する。このため、真空吸着ステージへ弾性パッドを設置する際には、可能な限り一度で複数の真空孔と弾性パッドの複数の孔との位置を一致させることが求められるが、こうした位置合わせは作業員ごとにバラツキが生じる。
こうした治具によれば、真空吸着ステージの真空孔に第1凸部を挿入すると共に、弾性パッドの孔に第2凸部を挿入することができ、これにより、真空吸着ステージと弾性パッドとの位置合わせを容易に行うことができる。
こうした設置方法によれば、真空吸着ステージと弾性パッドとの位置合わせを行うことができ、真空吸着ステージのステージ面に弾性パッドを容易に設置することが可能となる。
のバフステージを備えたバフ処理装置について説明し、続いて、バフステージに弾性パッドを設置するための治具、および当該治具を用いた設置方法について説明をする。添付図面において、同一または類似の要素には同一または類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。
バフ研磨処理とは、基板に対してバフパッドを接触させながら、基板とバフパッドを相対運動させ、基板とバフパッドとの間にスラリーを介在させることにより基板の処理面を研磨除去する処理である。バフ研磨処理は、スポンジ材(たとえばPVAスポンジ材)などを用いて基板を物理的作用により洗浄する場合に基板に加えられる物理的作用力よりも強い物理的作用力を基板に対して加えることができる処理である。そのため、バフパッドとしては、たとえば発泡ポリウレタンと不織布を積層したパッド、具体的には市場で入手できるIC1000(商標)/SUBA(登録商標)系や、スウェード状の多孔性ポリウレタン非繊維質パッド、具体的には、市場で入手できるPOLITEX(登録商標)などを用いることができる。バフ研磨処理によって、スクラッチ等のダメージ又は汚染物が付着した表層部の除去、メイン研磨ユニットにおける主研磨で除去できなかった箇所の追加除去、又はメイン研磨後の、微小領域の凹凸や基板全体に渡る膜厚分布といったモフォロジーの改善、を実現することができる。
を簡単にするため、本明細書では、弾性パッド450におけるウェハWfを支持する支持面452を、バフステージ400の「支持面」とも言う。
グで、ウェハWfの被処理面またはバフステージ400のウェハWfを支持するための支持面に純水、薬液、スラリーのいずれか1つ、又はこれらの任意の組み合わせの混合液を供給することができる。
び窒素ガスを供給でき、また任意のタイミングで第1流体通路410を真空引きすることができる。
ている複数の孔454、切り欠き476、及び溝474のそれぞれは、バフステージ400に形成されている複数の第1開口部404、凹部426、及び溝424のそれぞれよりも若干大きい寸法とされることが好ましい。こうすることにより、弾性パッド450とバフステージ400との位置合わせに余裕を持たせることができる。これにより、弾性パッド450がバフステージ400に貼られたときに、弾性パッド450によってバフステージ400に形成されている開口が塞がれてしまうことを防止することができる。
ではバフステージ400における最も外周側の第1開口部404aは第1流体通路410が傾斜しており(図4参照)、治具40を嵌めることが難しい。このため、本実施形態では、治具40は、外周側から2番目の第1開口部404bを利用するように構成されている。ただし、こうした例に限定されるものではなく、治具40の第1凸部43は、最も外周側の第1開口部404に対応するように設けられてもよい。
り外されている領域にハッチングを付している。図11に示す例では、弾性パッド450における一部の領域(第1領域)として、全体の半分の領域のセパレートフィルム460が取り外されている。そして、セパレートフィルム460が取り外されていない領域において、弾性パッド450の孔454(本実施形態では、外周側から2番目の孔454b)及び切り欠き476に、治具40の第2凸部46及び第4凸部47が挿入されるように、弾性パッド450を位置合わせする。本実施形態では、弾性パッド450に取り付けられているセパレートフィルム460及び保護シート470に弾性パッド450と同様に開口が形成されている。このため、セパレートフィルム460及び保護シート470を取り付けたままの状態で、治具40を使用して弾性パッド450をバフステージ400上に位置合わせすることができる。
[形態1]形態1によれば、真空吸着ステージのステージ面に弾性パッドを設置するのに用いられる治具が提案され、前記ステージ面には、真空源に接続可能に構成される真空孔が形成されており、前記弾性パッドには、前記真空孔に対応した孔が形成されており、前記治具は、前記真空吸着ステージの前記真空孔に挿入可能な第1凸部と、前記第1凸部が前記真空孔に挿入された状態で前記ステージ面に接触する支持部と、前記支持部に対して前記第1凸部と反対側に突出し、前記弾性パッドの前記孔に挿入可能な第2凸部と、を備える。形態1によれば、真空吸着ステージの真空孔に第1凸部を挿入すると共に、弾性パッドの孔に第2凸部を挿入することができ、これにより、真空吸着ステージと弾性パッドとの位置合わせを容易に行うことができる。
2によれば、治具の第3凸部を真空吸着ステージの周縁部に嵌合させることができ、作業者による真空吸着ステージと弾性パッドとの取り付けのバラツキを抑制することができる。
み合わせ、または、省略が可能である。
41…板状部
42…下面
43…第1凸部
44…第3凸部
45…上面
46…第2凸部
46a…先端部
46b…基部
47…第4凸部
50…第2の治具
300…バフ処理装置
400…バフステージ
402…ステージ面
404…第1開口部
424…溝
426…凹部
450…弾性パッド
452…支持面
454…孔
458…粘着層
460…セパレートフィルム
470…保護シート
474…溝
476…切り欠き
500…バフヘッド
600…バフアーム
700…液供給系統
800…コンディショニング部
Claims (9)
- 真空吸着ステージのステージ面に弾性パッドを設置するのに用いられる治具であって、
前記ステージ面には、真空源に接続可能に構成される真空孔が形成されており、
前記弾性パッドには、前記真空孔に対応した孔が形成されており、
前記治具は、
前記真空吸着ステージの前記真空孔に挿入可能な第1凸部と、
前記第1凸部が前記真空孔に挿入された状態で前記ステージ面に接触する支持部と、
前記支持部に対して前記第1凸部と反対側に突出し、前記弾性パッドの前記孔に挿入可能な第2凸部と、
を備える、治具。 - 前記真空吸着ステージの周縁部には、凹部が形成されており、
前記治具は、前記凹部に対応する第3凸部を更に備える、請求項1に記載の治具。 - 前記治具は、前記第1凸部および前記第2凸部を2つ以上有する、請求項1又は2に記載の治具。
- 前記第2凸部は、先端部から離れるほど大きくなるテーパ形状である、請求項1から3の何れか1項に記載の治具。
- 前記第2凸部は、前記弾性パッドの孔より大きい寸法まで大きくなる前記テーパ状である、請求項4に記載の治具。
- 真空吸着ステージのステージ面に弾性パッドを設置する設置方法であって、
請求項1から5の何れか1項に記載の治具を用意するステップと、
前記真空吸着ステージのステージ面に形成されている真空孔に前記治具の前記第1凸部を挿入するステップと、
前記弾性パッドにおける前記真空孔に対応する孔に前記治具の前記第2凸部を挿入するステップと、
を含む設置方法。 - 前記弾性パッドの一方の面が接着面となっていると共に、当該接着面にはセパレートフィルムが取り付けられており、
前記設置方法は、
前記接着面における一部の領域であって前記治具の前記第2凸部が挿入された孔を含まない領域である第1領域から前記セパレートフィルムを取り外すステップと、
前記接着面における前記第1領域の少なくとも一部を前記真空吸着ステージの前記ステージ面に接着させるステップと、
を更に含む請求項6に記載の設置方法。 - 前記弾性パッドを押圧して前記弾性パッドと前記真空吸着ステージとの間の空気を抜くステップを更に含む請求項6又は7に記載の設置方法。
- 少なくとも一方の面に前記弾性パッドよりも伸縮性が低い保護シートが取り付けられている前記弾性パッドを用意するステップを更に含む、請求項6から8の何れか1項に記載の設置方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018128355A JP7144218B2 (ja) | 2018-07-05 | 2018-07-05 | 治具、及び治具を用いた設置方法 |
US16/454,719 US20200009702A1 (en) | 2018-07-05 | 2019-06-27 | Jig and installation method using same jig |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018128355A JP7144218B2 (ja) | 2018-07-05 | 2018-07-05 | 治具、及び治具を用いた設置方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020009856A true JP2020009856A (ja) | 2020-01-16 |
JP7144218B2 JP7144218B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=69101806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018128355A Active JP7144218B2 (ja) | 2018-07-05 | 2018-07-05 | 治具、及び治具を用いた設置方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200009702A1 (ja) |
JP (1) | JP7144218B2 (ja) |
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-
2018
- 2018-07-05 JP JP2018128355A patent/JP7144218B2/ja active Active
-
2019
- 2019-06-27 US US16/454,719 patent/US20200009702A1/en active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200009702A1 (en) | 2020-01-09 |
JP7144218B2 (ja) | 2022-09-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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