JP2019534474A - 高さセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2016年11月2日に出願された欧州特許出願第16196902.7号の優先権を主張する。この出願は参照により全体が本願に含まれる。
Claims (15)
- 放射を基板へ送出すると共に前記基板から反射された放射を集光し、前記集光された放射を処理して基準高さに対する前記基板の表面高さの測定を導出するように構成された光学系を備える高さセンサであって、前記基板の1つ以上の位置において前記高さを測定している間に、前記光学系が接続されている基準構造に対する前記基準高さを調整するための構成を含む、高さセンサ。
- 前記基準構造に対する基板サポートの位置の測定に少なくとも部分的に応じて前記基準高さを自動的に調整するためにコントローラが提供されている、請求項1に記載の高さセンサ。
- 前記集光された放射を検出するために多要素検出器が提供され、選択された要素からの信号を組み合わせて前記測定が導出され、前記基準高さは少なくとも部分的に前記多要素検出器内の異なる要素を選択することによって調整される、請求項1又は2に記載の高さセンサ。
- 前記基板の1つ以上の位置において前記高さを測定している間、前記基準高さは前記多要素検出器内の異なる要素を選択することだけによって調整される、請求項3に記載の高さセンサ。
- 前記集光された放射は集束されて前記多要素検出器上に格子パターンの像を形成し、前記多要素検出器の要素のピッチは前記多要素検出器上の前記格子パターンのピッチの2倍以上であり、任意選択的に4倍以上である、請求項3又は4に記載の高さセンサ。
- 前記基準高さを調整するための前記構成は前記光学系における1つ以上の可動要素を含む、請求項1から5のいずれかに記載の高さセンサ。
- 少なくとも1つの可動光学要素は前記放射を投影合焦サブシステムから前記基板へ誘導するための要素を含む、請求項6に記載の高さセンサ。
- 少なくとも1つの可動光学要素は前記集光された放射を前記基板から検出合焦サブシステムへ誘導するための要素を含む、請求項6又は7に記載の高さセンサ。
- 前記可動要素は、前記基板における前記放射の入射角を変動させることなく前記基準高さを変動させるように、角度を変えずに並進するよう配置されている、請求項6、7、又は8に記載の高さセンサ。
- 前記少なくとも1つの可動光学要素は前記集光された放射を検出合焦サブシステムからセンササブシステムへ誘導するための要素である、請求項6に記載の高さセンサ。
- 前記少なくとも1つの可動光学要素は、前記基板へ送出される前記放射に格子パターンを適用するための格子、及び/又は前記集光された放射における格子パターンと相互作用するための検出格子である、請求項6に記載の高さセンサ。
- 前記高さセンサの前記光学系に対する、前記高さ測定が行われる面内位置は、前記調整された基準高さとは実質的に独立している、請求項1から11のいずれかに記載の高さセンサ。
- リソグラフィプロセスを用いて基板にデバイスパターンが適用される、デバイスを製造する方法であって、前記基板において測定された高さを参照して前記基板の表面上に前記適用されるパターンを合焦することを含み、前記測定された位置は請求項1から12のいずれかに記載の高さセンサを用いて取得される、方法。
- 基板にパターンを適用する際に使用されるリソグラフィ装置であって、請求項1から12のいずれかの記載の高さセンサと、基板位置決めサブシステムと、前記基板の複数の位置で前記基板表面の前記高さを前記高さセンサに測定させるため、及び、前記測定された高さを用いて前記基板に適用される1つ以上のパターンの合焦を制御するために構成されたコントローラと、を含むリソグラフィ装置。
- 少なくとも高さ方向に関して、前記基板位置決めサブシステムは、粗動レベルの作動及び微動レベルの作動とは異なり、単一レベルの作動を実施する、請求項14に記載のリソグラフィ装置。
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