JP2019534165A - ロボット支援による表面加工機械 - Google Patents

Abstract

【課題】ロボット表面加工の改良された加工機械の提供。【解決手段】ロボット支援により表面加工する工作機械のための装置が開示されている。この装置は、マニピュレータへの取り付け、及び、モータ（３１）の取り付けのために形成された第１の支持プレート（５１）と、回転可能な工具（３２）を受けるための駆動シャフト（５８）が支持されている第２の支持プレート（５２）と、第１の支持プレート（５１）と第２の支持プレート（５２）との間で作用するリニアアクチュエータ（２）と、第１の部分と、第１の部分に対して変位可能な第２部分とを有する伸縮シャフト（５４）であって、第１の部分がモータ（３１）のモータシャフト（３３）に連結されるように構成されており、第２の部分が前記第２の支持プレート（５２）に支持されている伸縮シャフト（５４）と、伸縮シャフト（５４）を駆動シャフト（５８）に連結させている伝動装置と、を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、例えば研削盤または研磨盤のような、ロボット支援表面加工のためのロボットによってガイドされる加工機械に関する。

工作物の表面処理において、研削および研磨プロセスはますます重要な役割を果たしている。自動化されたロボット支援の製造では、産業用ロボットが使用され、研削プロセスは自動化することができる。

ロボット研削盤では、回転研削工具（例えば、研削盤）は、産業用ロボットなどのマニピュレータによって案内される。研削プロセスの間、マニピュレータのいわゆるＴＣＰ（Tool Center Point）は（例えば、ティーチインによって事前にプログラム可能な）軌道に沿って動く。ＴＣＰの所与の軌道は、ＴＣＰ、ひいては研削盤の各時間位置および向きに定義される。したがって、マニピュレータの動きを制御するロボット制御装置は通常位置制御を含む。

フライス加工、研削、研磨などの表面加工プロセスでは、加工力（工具とワークピース間の力）が加工結果に重要な役割を果たすため、工具の位置制御では通常十分ではない。したがって、工具は通常マニピュレータのＴＣＰに強固に接続されているのではなく、最も単純な場合にはばねであり得る弾性要素を介して接続されている。加工力を調整することができるためには、加工力の制御（閉ループ制御）が多くの場合必要である。力の制御を実施するために、弾性部材は、マニピュレータのＴＣＰと工具との間（例えば、ＴＣＰと研削盤が取り付けられている研削機械との間）に機械的に結合された別個のリニアアクチュエータとすることができる。リニアアクチュエータはマニピュレータと比較して比較的小さくてもよく、本質的にプロセス力の調整のために使用され、マニピュレータは工具を（リニアアクチュエータとともに）先にプログラムされた軌道に沿って位置制御して移動させる。

ＤＥ １０ ２０１１ ００６６７９ Ａ１公報 ＷＯ ２０１６／１４５４７２ Ａ１公報

本発明の目的は、ロボット支援による表面加工に適した研削機械などの改良された加工機械を提供することである。

上記目的は、請求項１に記載の装置によって達成される。本発明の様々な実施形態およびさらなる発展は、従属請求項の主題である。

表面加工する工作機械のための装置が記載される。この装置は、一実施形態として、第１の支持プレートと、第２の支持プレートとを有する。第１の支持プレートは、マニピュレータへの取り付け、及び、モータの取り付けのために形成されている。第２の支持プレートは、回転可能な工具を受けるための駆動シャフトが支持されている。この工作機械は、さらに、第１の支持プレートと第２の支持プレートとの間で作用するリニアアクチュエータと、第１のシャフト部分と、第１のシャフト部分に対して移動可能な第２のシャフト部分とを有する伸縮シャフトとを有する。伸縮シャフトは、伝動装置により駆動シャフトに連結されている。

ロボット支援により表面加工する工作機械が記載される。この工作機械は、一実施形態として、第１の支持プレートと、第２の支持プレートとを有する。第１の支持プレートは、マニピュレータの取り付けのために形成されている。第２の支持プレートは、回転可能な工具を受けるための駆動シャフトが支持されている。この工作機械は、さらに、第１の支持プレートと第２の支持プレートとの間で作用するリニアアクチュエータと、第１の支持プレートに取り付けられたモータとを有する。この工作機械は、さらに、第１のシャフト部分と、第１のシャフト部分に対して移動可能な第２のシャフト部分とを有する伸縮シャフトとを有する。第１のシャフト部分は、モータのモータシャフトに連結され、第２のシャフト部分は、第２の支持プレートに支持されている。伸縮シャフトは、伝動装置により駆動シャフトに連結されている。

リニアアクチュエータの力制御によって産業用ロボットに連結された研削機械を有するロボット支援研削装置の例示的な概略図であり、リニアアクチュエータは産業用ロボットと研削機械とを機械的に分離する。 工作機械の駆動側と工具側とを機械的に切り離すための一体型リニアアクチュエータを備えた工作機械の例示的な実施形態を示す図である。 機械的に分離された駆動側と工具側とを有する工作機械の他の実施形態を示す図である。 図３に示す実施形態において、図３よりもリニアアクチュエータの変位が大きい場合を示す図である。

本発明は、図面に示される実施例を参照してより詳細に説明される。図は必ずしも一定の縮尺ではなく、本発明は提示された態様に限定されない。むしろ、本発明の根底にある原理を表すことに重点が置かれている。

様々な実施形態を詳細に説明する前に、ロボット支援研削装置の一般的な例を最初に説明する。しかしながら、本明細書に記載の実施形態は研削装置に限定されない。本明細書に記載の装置は、回転工具を用いた様々な機械加工プロセス（例えば、フライス削り、研削、研磨などのすべての機械加工作業）のロボットによる実行に使用することができる。以下に記載の装置は、回転工具を用いた様々な機械加工プロセス（例えば、フライス削り、研削、研磨などのすべての機械加工作業）のロボットによる実行に使用することができる。

図１に示す例は、マニピュレータ１（例えば産業用ロボット）と、モータ３１及び回転工具３２（例えば研削盤）を有する工作機械３（例えば研削機械）とを含む。研削機械３は、リニアアクチュエータ２を介してマニピュレータ１のエンドエフェクタフランジ１５（ツール・センター・ポイント（ＴＣＰ））に連結されている。６自由度を有する産業用ロボットの場合、マニピュレータは、それぞれジョイントＧ_ｎ、Ｇ_１２、およびＧ_１３によって接続された４つのセグメント１１、１２、１３、および１４から構成されることができる。第１のセグメント１１は通常、基礎１０に堅固に接続されている（しかしながら、必ずしもそうである必要はない）。ジョイントＧ_１３は、セグメント１３とセグメント１４とを接続する。ジョイントＧ_１３は、２軸であり、水平回転軸（仰角）および垂直回転軸（方位角）を中心にしてセグメント１４を（セグメント１３に対して）回転させることができる。ジョイントＧ_１２はセグメント１２とセグメント１３とを接続し、セグメント１２の位置に対するセグメント１３の旋回運動を可能にする。ジョイントＧ_１２は、セグメント１１とセグメント１２とを接続する。ジョイントＧ_１１は2軸にすることができ、（ジョイントＧ_１３と同様に）２つの方向の旋回運動が可能である。ＴＣＰはセグメント１４に対して固定された相対位置を有し、そのため、セグメント１４は、通常は、回転ジョイント（図示せず）を含み、それはセグメント１４の長手方向軸Ａ（図１に一点鎖線として示される）の周りの回転運動を可能にする。したがって、マニピュレータ１は、合計６個の自由度を有する。ジョイントの各軸は、それぞれのジョイント軸の周りに回転運動を引き起こすことができるアクチュエータと関連付けられている。ジョイント内のアクチュエータは、ロボットプログラムに従って、ロボット制御装置４によって制御される。ＴＣＰは、（特定の限度内で）（軸Ａの任意の向きの）任意に位置に配置することができる。

マニピュレータ１は、通常、位置制御される。すなわち、ロボット制御装置４は、ＴＣＰの姿勢（位置および向き）を決定し、それを所定の軌跡に沿って移動させることができる。アクチュエータ２がエンドストップに当接すると、ＴＣＰの姿勢は工具３２（および研削機械３全体）の姿勢も規定する。アクチュエータ２は、研削加工中に工具３２とワークピースＷとの接触力Ｆ_Ｋ（加工力）を所望の値に調整するためのものである。マニピュレータ1のセグメント１１から１４の高い慣性のため、慣用のマニピュレータでは、（例えば研削工具をワークピースＷ上に配置するときの）力の最高値の迅速な補償が実際上不可能であるため、マニピュレータ１による加工力の直接制御は研削用途にはあまりにも不正確である。このため、ロボット制御装置４は、研削機械３とマニピュレータ１との間に連結されたアクチュエータ２によって、専ら、接触力Ｆ_Ｋの調整が成される間、ＴＣＰの姿勢（位置および向き）を制御するように構成される。力制御により、アクチュエータ２は、研削プロセス中に（アクチュエータ２の作用方向に沿って）工具３２に対するワークピースＷの位置及び向きの偏差を補償することができ、同時に所望のプロセス力Ｆ_Ｋを維持することができる。上述の偏差は、例えば、ワークピースの位置決め誤差やTCPの（公差による）位置決め誤差が原因である。

既に述べたように、研削プロセスの間、研削工具３２とワークピースＷとの間の接触力Ｆ_Ｋは、（リニア）アクチュエータ２と（例えば制御装置４に実装され得る）力制御ユニットとによって、研削工具３２とワークピースＷと間の接触力Ｆ_Ｋが所定値となるように制御される。この際の接触力は、リニアアクチュエータ２がワークピースの表面を押圧するアクチュエータ力Ｆ_Ａに対する反作用である。ワークピースＷと工具３２との間に接触がない場合、アクチュエータ２は、（図１に示されていないか、又はアクチュエータ２に組み込まれている）エンドストップに対する接触力Ｆ_Ｋがないために移動する。マニピュレータ１の（これもまたコントローラ４内に実装することができる）位置制御は、アクチュエータ２の力制御とは完全に独立して動作することができる。アクチュエータ２は、研削機械３の位置決めのためのものではなく、研削プロセス中に所望の接触力Ｆ_Ｋを設定し維持することと工具３２とワークピースＷとの間の接触を検出するためのものである。この接触は、例えば、エンドストップからのアクチュエータ２の変位が小さい場合、またはアクチュエータ２の変位の変化が負である場合に認識される。

一般に、ロボットが物体（例えばワークピースＷ）に接触する、ロボット支援され又は自動化されたシステムでは、接触タイミングを認識し、接触力を制御するという問題がある。接触力の制御は、ロボットが、物体の表面に接触した後にのみ可能である。この理由のために、全ての既知の力制御システムにおいては、ロボットに取り付けられた工具と接触されるべき表面との間の最初の接触時に、衝撃的な接触力が生じる。この衝突では、工具（図１、研削機械３を参照）とアクチュエータ（図1、アクチュエータ２を参照）の質量（すなわち、慣性力と運動エネルギー）だけでなく、駆動装置を含むマニピュレータ全体の質量又は運動エネルギーも考慮される。この質量は本質的に（避けるべき）衝撃エネルギーを決定する。

結果として生じる衝撃的な接触力は多くの場合問題ないかもしれないが、精度が重要であるか非常に繊細な加工物を処理しなければならない用途では厄介で望ましくない可能性がある。すなわち、所望の接触力と比較して実際の接触力のオーバーシュートがある場合である。表面の機械加工中でも、所望の接触力を維持するために工具の位置を再調整することが必要である可能性がある。この場合、主に、接触力の推移に一時的なオーバーシュートを引き起こし得る静摩擦効果（いわゆる「スティックスリップ効果」）がある。さらに、ギアを有するドライブでは、ギアの歯車の歯の噛み合いが望ましくないぎくしゃくした衝撃または振動を引き起こす。対象を処理または加工するときに、両方の影響により品質の問題を引き起こす可能性がある。

上述のオーバーシュートは、（例えば、研削機械等の）工作機械をマニピュレータ１から機械的に切り離すことによって低減することができる。この機械的な切り離しは、例えば、 バネを用いることによって達成することができる。図１に示される例では、この切り離しはアクチュエータ２によって行われる。アクチュエータ２は、空気圧式アクチュエータ、例えば、複動空気圧シリンダであり得る。しかしながら、ベローズシリンダやエアーマッスルなど、他の空気圧式アクチュエータもまた適用可能である。代替として、電気的直接駆動（ギアレス）が考慮に入れられる。空気圧式アクチュエータの場合、力制御は、制御弁、（制御装置４に実装されている）制御器および圧縮空気貯蔵器を用いて従来の方法で実現することができる。しかしながら、具体的な実装は、さらなる説明にとって重要ではないので、より詳細には説明されない。ここに記載の例では、アクチュエータ２は、上述のスティックスリップ効果を回避するため、またはそれをできるだけ小さく保つために、実質的に静止摩擦がないように構成されている。「本質的に摩擦がない」とは、静止摩擦がゼロであることを意味するのではなく、アクチュエータ力と比較して無視できる静止摩擦を意味する。工作機械とマニピュレータとの間が完全な分離される場合には、マニピュレータの質量慣性力はもはや接触面に作用しない。

マニピュレータと工具との上述の機械的分離にもかかわらず、工作機械の慣性力は依然として残り、それは接触した工作物の表面に作用することがある。高い（例えば、研削盤と工作物との間の研削力などの）加工力において、工作機械は、通常、対応する大きな質量を有する強力なモータ（例えば、電気モータ）を必要とする。なお、アクチュエータは、力制御において、通常、工作機械の重量を（少なくとも部分的に）補償しなければならないので、アクチュエータ２は、（モータを含む）工作機械の重量に適合されなければならない。

図１の先の例によれば、アクチュエータ２はマニピュレータ１と工作機械３との間に配置されている。図２は、一体型アクチュエータ２を有する（例えば研削機械などの）工作機械３の例を示す。アクチュエータを工作機械に一体化することにより、（比較的重い）モータ３１が配置されている駆動側と（比較的軽い）工具３２（例えば研削盤）が配置されている工具側との間の機械的分離が可能になる。図２の工作機械３がその駆動側でマニピュレータのエンドエフェクタフランジ（図１の符号１５参照）に取り付けられているとき、工作機械３の駆動側に、（モータ３１の重量を含む）全構成要素の重量がマニピュレータにより受け入れられ、構成要素の比較的小さい質量のみを工具側で一体型アクチュエータ２によって動かさなければならない。

図２に示す例によれば、工作機械３は、第１の支持プレート５１と第２の支持プレート５２とを有する。第１の支持プレート５１は、それがマニピュレータに、例えば図１のマニピュレータ１のエンドエフェクタフランジ１５に取り付けられることができるように構成されている。第２の支持プレート５２には駆動シャフト５８が取り付けられている。動作の際には、例えば研削盤などの回転工具３２を駆動シャフト５８に取り付けることができる。２つの支持プレート５１、５２の間には、リニアアクチュエータ２が配置されている。リニアアクチュエータ２は、２つの支持プレート５１、５２間に作用するので、２つの支持プレート５１、５２間の距離ａは、リニアアクチュエータ２の変位に依存する。リニアアクチュエータ２は通常の力制御で動作しているため、２つの支持プレート５１、５２間にアクチュエータ力が作用する。工具３２が表面と接触していないとき、リニアアクチュエータ２は所望のアクチュエータ力でエンドストッパ（図示せず）を押す。アクチュエータ２は、空気圧式リニアアクチュエータとすることができ、例えば複動空気圧シリンダを含む。しかしながら、ベローズシリンダ及びエアーマッスルのような他の空気圧式アクチュエータを使用してもよい。また、代替として、電気的な直接駆動（ギアレス）が考慮に入れられる。

第１の支持プレート５１には、工具３２を駆動するための（例えば電動モータなどの）モータ３１が取り付けられている。本実施形態によれば、モータ３１は第１の支持プレート５１にフランジで固定され、モータシャフト３３は第１の支持プレート５１を貫通する。２つの支持プレート５１、５２の間は、伸縮シャフト５４によって「橋渡し」されている。伸縮シャフト５４は、互いに対して変位可能である２つのシャフト部分（中空シャフト／スリーブ５４１、駆動シャフト５４３）を備える。２つのシャフト部分のうちの第１の部分は（例えば、シャフトカップリングによって）モータ３１のモータシャフト３３に結合され、２つのシャフト部分のうちの第２の部分は、例えばローラベアリングによって第２の支持プレート５２に取り付けられる。ローラベアリングの代わりとして、スライドベアリングも使用することができる。

上述の駆動シャフト５８は伝動装置を介して伸縮シャフト５４に連結されているので、モータシャフト３３は、伸縮シャフト５４と、（伝動装置を介して）駆動シャフト５８を駆動する。本明細書に記載の例示的な実施形態によれば、伝動装置はベルト駆動装置である。伸縮シャフト５４の第２の（第１の支持プレートに対して移動可能な）シャフト部分に第１のベルトプーリ５５が連結され、駆動シャフト５８に第２のベルトプーリ５６が連結されている。２つのベルトプーリ５５、５６は、ベルト（例えばＶベルトまたは歯付きベルト）を介して接続されているので、駆動シャフト５８ひいてはその上に取り付けられた工具３２（例えば研削盤）が伸縮シャフトおよびベルト駆動装置を介して駆動される。ベルト駆動装置の代わりとして、第２の支持プレート５２上に配置された歯車伝動装置または他の任意の種類の伝動装置を使用することも可能である。

駆動シャフト５４３（第２のシャフト部分）は、伸縮シャフト５４の回転軸に沿って中空シャフト５４１（第１のシャフト部分）に対して移動可能（摺動可能）である。図２に示す実施形態では、伸縮シャフト５４の第２のシャフト部分は、第２の支持プレート５２を貫通しており、伸縮シャフト５４の第２のシャフト部分は（例えばボールベアリング）ローラベアリングによって第２の支持プレート５２に支持され得る。伸縮シャフト５４の第１のシャフト部分は、（例えば、剛性を有する）シャフトカップリング５３によってモータ３１のモータシャフト３３に固定的に接続されてもよい。本実施形態のように、モータ軸３３が支持プレート５１を貫通するようにモータ３１を第１の支持プレート５１にフランジ止めすると、シャフトカップリング５３は２つの支持プレート５１、５２の間に位置する。

リニアアクチュエータ２が第２の支持プレート５２上で妨げられずに作用することができるように、伸縮シャフト５４の２つのシャフト部分の間の伸縮シャフト５４の回転軸に沿った直線運動がアクチュエータにほとんど影響を及ぼさないことが有用であり得る。したがって、伸縮シャフト５４の第１のシャフト部分と第２のシャフト部分とは、リニアベアリング５４２によって互いに移動可能（摺動可能）に支持されていてもよい。したがって、リニアベアリング５４２が（無視できる）程低い静止摩擦を有するように、リニアベアリング５４２が、軸方向にボールが回転するリニアボールベアリング（ボールベアリング）として構成されてもよい。

本実施形態では、リニアアクチュエータ２は長手方向軸Ａ‘に沿って作用する。この軸Ａ‘は、駆動シャフト５８の回転軸Ａ‘‘と同軸であり得る。さらに、リニアアクチュエータ２のこの長手方向軸Ａ‘もマニピュレータ１のＴＣＰと位置合わせすることができ、その結果、ＴＣＰと長手方向軸Ａ‘（および回転軸Ａ‘‘）が一直線上に位置する。この場合、リニアアクチュエータ２は、マニピュレータのエンドエフェクタフランジに取り付けられると、マニピュレータのＴＣＰと工具３２が取り付けられている駆動シャフト５８の回転軸Ａ‘‘との間の線上で作用し、リニアアクチュエータおよび伸縮シャフトの曲げモーメント荷重を低減する。

図３は、駆動側（支持プレート５１、モータ３１）と工具側（第２の支持プレート５２、駆動シャフト５８、伝動装置）がリニアアクチュエータ２と伸縮シャフト５４によって機械的に切り離されている工具機械のさらなる例示的な実施形態を示す図である。この切り離しは、マニピュレータを含む駆動側の構成要素の動きを工具側の動きから切り離す。図３に示す例示的な実施形態は、図２に示す実施形態と本質的に同じ構造を有し、明確化のためにベルト駆動装置は省略されている。しかしながら、図３では、ベアリング６１を見ることができ、このベアリング６１により、伸縮シャフト５４が第２の支持プレート５２に支持されている。さらに、伸縮シャフト５４とシャフトカップリング５３との間の接続がより詳細に示されている（フェザーキーＰを参照）。リニアボールベアリングのボールは示されていないが、ボールがガイドされる溝５４４が示されている。

図３に示す例では、リニアアクチュエータ２が最小の変位で示されている（支持プレート５１、５２の間の距離ａ０は最小である）。図４は、図３と同じ実施形態を示しているが、リニアアクチュエータ２の変位ａ１が図３よりも大きい。その他の点では、図４の例は、先の図３の例と同じであるので、その説明は繰り返さない。

ここに記載された例示的な実施形態は、多くの可能な構成要素（機械要素）からの具体的な選択によって実現された。ここに示された例示的な実施形態の実現のために使用される構成要素の多くは、実質的に同じまたは類似の機能を果たす他の構成要素によって置き換えられ得る。例えば、図３に示す実施形態では、１つ以上の点でローラベアリングの代わりにスライドベアリングを使用することができ、これは、例えばより高い回転数の場合に有用であり得る。さらに、ベルト伝動装置は他の形式の伝動装置、例えば歯車伝動装置に置き換えることができる。空気圧リニアアクチュエータは多くの用途において有益であり得るが、特定の用途においては、他のアクチュエータ（例えば、電気アクチュエータ）もまた使用され得る。シャフト接続もまた、必ずしも図２および図３に示す例示的な実施形態のように実現される必要はない。モータシャフト３３と伸縮シャフト５４とが同軸ではない場合、シャフトカップリング５３の代わりにユニバーサルジョイントを有する連結シャフト使用することができる。上記に鑑みて、本発明は、例示された実施形態に限定されず、添付の特許請求の範囲およびそれらの法的な均等物によってのみ限定される。

１…マニピュレータ
２…リニアアクチュエータ
３…研削機械
３１…モータ
３２…工具
３３…モータシャフト
５１、５２…支持プレート
５３…シャフトカップリング
５４…伸縮シャフト
５５、５６…ベルトプーリ
５７…ベルト
５８…駆動シャフト
５４２…ボールベアリング

Claims (12)

1. ロボット支援により表面加工する工作機械のための装置であって、
   マニピュレータへ取り付け、及び、モータ（３１）の取り付けのために形成された第１の支持プレート（５１）と、
   回転可能な工具（３２）を受けるための駆動シャフト（５８）が支持されている第２の支持プレート（５２）と、
   前記第１の支持プレート（５１）と前記第２の支持プレート（５２）との間で作用するリニアアクチュエータ（２）と、
   第１の部分と、前記第１の部分に対して移動可能な第２の部分とを有する伸縮シャフト（５４）であって、前記第１の部分は、前記モータ（３１）のモータシャフト（３３）に連結されるように構成されており、前記第２の部分は、前記第２の支持プレート（５２）に支持されている伸縮シャフト（５４）と、
   前記伸縮シャフト（５４）を前記駆動シャフト（５８）に連結させている伝動装置と
   を有する装置。
2. 前記伝動装置はベルト伝動装置または歯車伝動装置である請求項１に記載の装置。
3. 第１のプーリ（５５）が前記伸縮シャフト（５４）の前記第２の部分に連結され、第２のプーリ（５６）が前記駆動シャフト（５８）に連結され、
   前記第２のプーリ（５６）が、ベルト（５７）を介して前記第１のプーリ（５５）に連結されている請求項１に記載の装置。
4. 前記伸縮シャフト（５４）の前記第２の部分は、前記第２の支持プレート（５２）を貫通している請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の装置。
5. 前記伸縮シャフト（５４）の前記第２の部分は、ローラベアリングまたはスライドベアリングにより前記第２の支持プレート（５２）に支持されている請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の装置。
6. 前記モータシャフト（３３）と前記伸縮シャフト（５４）の前記第１の部分とはシャフトカップリング（５３）を介して相互に接続されている請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の装置。
7. 伸縮シャフト（５４）の前記第１の部分と前記第２の部分とは、リニアベアリング（５４２）によって互いに移動可能に支持されている請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の装置。
8. 前記リニアベアリング（５４２）は、軸方向にボールが回転可能であるリニアボールベアリングである請求項７に記載の装置。
9. 前記リニアアクチュエータ（２）は、前記駆動シャフト（５８）の回転軸（Ａ‘‘）と同軸の長手方向軸（Ａ‘）に沿って作用する請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の装置。
10. 前記第１の支持プレート（５１）は、前記マニピュレータの工具中心点（ＴＣＰ）が前記駆動シャフト（５８）の前記回転軸（Ａ‘‘）と同一直線上に位置するように前記マニピュレータ（１）に取り付け可能である請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の装置。
11. ロボット支援により表面加工する工作機械であって、
    請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の装置と、
    前記装置の前記第１の支持プレート（５１）に取り付けられ、前記装置の前記伸縮シャフト（５４）の前記第１の部分に連結された前記モータシャフト（３３）を有する前記モータ（３１）と
    を有する工作機械。
12. 請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の装置が取り付けられたエンドエフェクタフランジを有するマニピュレータ。