JP2019516254A - Iii−n材料を備える半導体構造 - Google Patents
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Abstract
Description
−半導体構造1を形成するAIN3のサファイア基板2と主要層
−半導体構造で連続的に形成されるGaNチャネル層5とAlGaNバリア層から成るヘテロ接合
−ヘテロ接合上/内のソースS,ドレインDおよびゲートG電極。
本発明は、前述した欠点のすべてまたは一部を克服することを目的とする。特に、高電圧に耐えることができるトランジスタを形成して、漏れ電流の強さを制限するために、支持基板上に高抵抗である厚い主要層を有する半導体構造を提供することを目的とする。
これらの目的のうちの1つを実現するために、本発明の目的は、以下で構成されるIII−N材料を備える半導体構造を提供することである:
−支持基板
−III−N材料で作られた主要層であり、主要層は、支持基板上に配置された第1のセクションと第1のセクション上に配置された第2のセクションを有する
−主要層の第2のセクションを圧縮するために、第1のセクションと第2のセクションとの間に配置されたIII−N材料の中間層。
・主要層の第1のセクション上に配置された下位層
・超格子によって形成される下位層上に配置されて接触している上位層
という点において、および下位層は、上位層よりも高い転位密度を有するという点において特徴付けられる。
・下位層は、上位層を形成する超格子とは異なる、超格子から成るか、または均質層から成る。
・下位層を形成する材料の格子パラメータは、上位層を形成する材料の格子パラメータよりも小さい。
・上位層を形成する材料の格子パラメータは、下位層を形成する材料の格子パラメータよりも小さい。
・主要層と中間層は、単結晶である。
・半導体構造は、主要層の第2のセクション上の第2の中間層と、第2の中間層上に配置された主要層の第3のセクションとを備える。
・第2の中間層は、均質層、超格子、またはそれらの組み合わせから成る。
・少なくとも上位層は、p型ドーピング剤を備える。
・支持基板は、主要層の熱膨張係数よりも低い係数を有する。
−III−N材料で作られた主要層をキャリア基板上に形成することであって、主要層は、第1のセクションと第1のセクション上に配置された第2のセクションを有する。
−主要層の第2のセクションを圧縮するために第1のセクションと第2のセクションとの間に配置されたIII−N材料で作られた中間層を形成すること。
−第1の温度において、主要層の第1のセクション上に配置された下位層を形成すること。
−第2の温度において、超格子によって形成され、下位層上に配置されて接触している上位層を形成すること。
−第1の温度は、1000℃よりも低い。
−第2の温度は、1050から1100℃の範囲である。
200mmシリコン111のウェハは、AixtronまたはVeeco製のMOCVDリアクタの堆積チャンバに置かれる。厚さ100から300nmのAIN核生成層が、このウェハ上で最初に形成される。その後、5ミクロンのGaNの主要層は、核生成層で形成される。この主要層に挿入され、その支持から2ミクロンの中間層4が形成された。この中間層は、厚み17nmの均一なAIN構成要素の下位層4aで構成される。この層は、1010/cm2を上回る転位密度を有する。この下位層4a上に、厚さ1nmの20%Al濃度を有する第1のAlGaN層と、厚さ1nmの第2のGaN層とで形成されるパターンの100回反復から成る、超格子形状の上位層4bが形成される。この層は、1010/cm2未満の転位密度を有する。
この例は、前の例と同一であるが、今度は、層が下位超格子層4aから成る。従って、下位層4aは、厚さ1nmの第1のAl層と厚さ0.5nmの第2のGaN層とで形成されるパターンの10回反復で構成される。下位超格子層4aは、アルミニウム含有量が66%である厚さ15nmの均質なAlGaN層と肉眼的に同様である。
この例は、2つの中間層を有する半導体構造に関する。例3において、濃度80%のアルミニウムと厚さ20nmを有するAlGaNの均一層から成る第2の中間層が例1の半導体構造に形成される。厚さ1ミクロンの第3のGaNセクションは、AlGaN層に形成される。
この例は、例3に示した構造の代替構造である。この例4において、第2の中間層は、超格子から成る。超格子は、2nmのAIN層と2nmのAlGaN(Al60%)層から形成されるパターンの5回反復によって形成される。
この反例は、上位超格子層4bが、200nmのAlGaN(アルミニウム含有量10%)の均一な上位層に置き換えられた例1の構造と同様である。言い換えれば、例1と反例1との半導体構造の唯一の違いは、例1において上位層が超格子形態で作られるのに対し、反例1において上位層は、均一層形態で作られることである。
Claims (15)
- 半導体構造(1)は、
− 支持基板(2)と、
− III−N材料で作られた主要層(3)であって、前記主要層(3)は、前記支持基板(2)上に配置された第1のセクション(3a)と前記第1のセクション(3a)上に配置された第2のセクション(3b)を有することと、
− 前記主要層の前記第2のセクション(3b)を圧縮するために前記第1のセクション(3a)と前記第2のセクション(3b)との間に配置されたIII−N材料で作られている中間層(4)を含み、
前記構造(1)は、前記中間層(4)が、
・前記主要層(3)の前記第1のセクション(3a)上に配置された下位層(4a)と、
・超格子で形成される前記下位層(4a)上に配置されて接触している上位層(4b)と
から構成されていることにより特徴付けられることと、:
前記下位層(4a)は、前記上位層(4b)の転位密度よりも高い転位密度を有することとを含むIII−N材料を備える半導体構造。 - 前記下位層(4a)は、前記上位層(4b)を形成している前記超格子とは異なる超格子によって形成されている請求項1に記載の半導体構造。
- 前記下位層(4a)は、均一層によって形成されている請求項1に記載の半導体構造。
- 前記下位層(4a)を形成している前記材料の格子パラメータは、前記上位層(4b)を形成する前記材料の前記格子パラメータよりも小さい請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記上位層(4b)を形成している前記材料の前記格子パラメータは、前記主要層(3)の前記第2のセクション(3b)を形成している前記材料の前記格子パラメータよりも小さい請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記主要層(3)と前記中間層(4)は、単結晶である請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記主要層(3)の前記第2のセクション(3b)上の第2の中間層(4c)と、前記第2の中間層(4c)上に配置されている前記主要層の第3のセクション(3c)とを備える請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記第2の中間層は、前記均一層、前記超格子、またはそれらの組み合わせによって形成されている請求項1乃至7のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 少なくとも前記上位層(4b)は、p型ドーピング剤を備える請求項1乃至8のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 前記支持基板(2)は、前記主要層(3)よりも低い熱膨張係数を有する請求項1乃至9のいずれか一項に記載の半導体構造。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体構造を備える半導体ウェハ。
- 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の半導体構造を備える集積デバイス。
- 支持基板(2)上にIII−N材料を備える半導体構造(1)を製造する方法であって
a. III−N材料で作られた主要層(3)を前記キャリア基板(2)上に形成することであって、前記主要層(3)は、第1のセクション(3a)と前記第1のセクション上に配置された第2のセクション(3b)を有することと、
b. 前記主要層の前記第2のセクション(3b)を圧縮するために前記第1のセクション(3a)と前記第2のセクション(3b)との間に配置されたIII−N材料で作られた中間層(4)を形成することとを備え、
前記方法は、
− 第1の温度において、前記主要層(3)の前記第1のセクション(3a)上に配置された下位層(4a)を形成すること、および
− 第2の温度において、超格子によって形成され、前記下位層(4a)上に配置されて接触している上位層(4b)を形成すること
を備える前記中間層(4)を形成することにより特徴付けられることと、
前記第1の温度は、前記第2の温度よりも低いこととを備える方法。 - 前記第1の温度は、1000℃よりも低い請求項13に記載の方法。
- 前記第2の温度は、1050から1100℃の範囲である請求項13または請求項14に記載の方法。
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