JP2019509465A - ウェーハキャリアの厚さ測定装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は、ウェーハキャリアの内／外周厚さを非接触式で正確に測定できるウェーハキャリアの厚さ測定装置に関するものである。本発明は、回転および昇降可能に設置され、ウェーハキャリアの中心部分を支持し得る第１テーブル、前記第１テーブルの外側に位置して回転可能に設置され、ウェーハキャリアの外周部分を支持し得る第２テーブル、前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下面までの距離を非接触式で測定してウェーハキャリアの厚さを算出する上／下部センサー、および前記第２テーブルの一側に位置し、前記上／下部センサーを前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下側に移動させるセンサー駆動手段を含むウェーハキャリアの厚さ測定装置を提供する。
【選択図】図４

Description

本発明は、ウェーハキャリアの内／外周厚さを非接触式で正確に測定できるウェーハキャリアの厚さ測定装置に関する。
一般に、シリコンウェーハを製造する工程の中、シリコンウェーハの表面を鏡面化する研磨（ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）工程を遂行しているが、このような研磨工程はウェーハの平坦度を向上させるために機械的、化学的反応を併行して微細表面の屈曲（ｎａｎｏｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ）および粗さ（ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ）を制御する。
このように、平坦度を向上させるための方法として、片面研磨工程に比べてウェーハの平坦度に優れた両面研磨工程（ＤＳＰ：Ｄｏｕｂｌｅ Ｓｉｄｅ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）で進行しており、このような両面研磨工程は通常、両面研磨装置を使用してウェーハの両面を研磨している。
普通、両面研磨装置は上定盤、下定盤、サンギア（Ｓｕｎ Ｇｅａｒ）およびインターナルギア（Ｉｎｔｅｒｎａｌ Ｇｅａｒ）の４部分が回転してキャリアに装着されたウェーハの両面を研磨する４-ウェイタイプ（４−Ｗａｙ Ｔｙｐｅ）が多く使われている。
しかし、ウェーハが装着されるキャリアは研磨工程に投入される前後に数回にわたってその厚さを測定する過程を経ることになる。
先ず、キャリア製品が入庫される時点にキャリアの厚さを測定し、類似した範囲内の厚さを有するキャリアを使用することによって、研磨工程中のウェーハの加工偏差を減らすことができる。
また、表面に微細異質物を除去するためのシーズニング工程後にキャリアの厚さを測定した後、実際に加工されるウェーハのキャリアとして準備され得る。
また、ウェーハ研磨工程が繰り返されるほどウェーハの表面と共にキャリアの表面も研磨されるが、キャリアが１日〜７日の周期で研磨工程に使用されるので、研磨工程中のキャリアの厚さを数回にわたって測定する。
もちろん、キャリアの厚さ測定値が平均水準より５ｕｍ以上外れると、キャリアの役割を遂行することができないと判断し、既存のキャリアを廃棄した後、新しいキャリアを投入しなければならない。
図１は一般的なウェーハキャリアが示された図であり、図２は従来技術によるウェーハキャリアの厚さ測定装置が示された図であり、図３は従来技術によるウェーハキャリアの厚さ測定の結果が示されたグラフである。
一般的なウェーハキャリア（Ｃ）は、図１に示されたようにエポキシガラス（Ｅｐｏｘｙ ｇｌａｓｓ）で製作されるが、強度を保障するために表面にガラス繊維（Ｇｌａｓｓ ｆｉｂｅｒ：Ｆ）成分が格子柄で配列されている。
このようなウェーハキャリアの厚さ（ｔ）を測定するための従来のウェーハ厚さ測定装置は、図２に示されたように定盤（１）の上に厚さ測定用センサー（２）が上下方向に昇降可能に設置され、前記センサー（２）の下側に一種の接触センサーであるチップ（２ａ）が具備される。
先ず、前記定盤（１）の上にキャリア（Ｃ）がない状態で前記センサー（２）を下降させると、前記チップ（２ａ）が前記定盤（１）と接触した時点で前記センサー（２）の下降の長さを基準長さ（Ｌ０）として感知する。
次に、作業者が前記定盤（１）の上にキャリア（Ｃ）を置いて、前記定盤（１）の上にキャリア（Ｃ）がある状態で前記センサー（２）を下降させると、同様に前記チップ（２ａ）が前記定盤（１）と接触した時点で前記センサー（２）の下降の長さを測定長さ（Ｌ１）として感知する。
前記のように測定された基準長さ（Ｌ０）と測定長さ（Ｌ１）とを演算してキャリア（Ｃ）の厚さ（ｔ）を算出することができる。
しかし、ウェーハキャリアは、図３に示されたように位置ごとにその厚さ（ｔ）が異なって現れるが、ガラス繊維がある地点でキャリアの厚さ（ｔ）が厚く測定される反面、ガラス繊維がない地点でキャリアの厚さ（ｔ）が薄く測定される。
このとき、４〜５個のガラス繊維を含む長さを基本測定長さとして設定し、基本測定長さに該当するキャリアの厚さ測定値を平均してウェーハキャリアの厚さ（ｔ）を算出することによって、厚さ測定値の最大値（ｐｅａｋ）と最小値（ｖａｌｌｅｙ）が及ぼす影響を減らすことができる。
しかし、従来技術によるウェーハキャリアの厚さ測定装置は、チップが定盤またはウェーハキャリアまで降りて直接接触するので、ウェーハキャリアの表面を損傷させることがある。
また、従来技術によると、ウェーハキャリアの下面が定盤の上に接触し、ウェーハキャリアの表面で測定が行われるので、ウェーハキャリアと定盤との間の微細なギャップが存在してウェーハキャリアの厚さを正確に測定できない。
また、従来技術によると、作業者が定盤の上にウェーハキャリアをローディングさせるのでウェーハキャリアを毎度同じ位置にローディングさせにくく、それによりウェーハキャリアごとに同じ位置でその厚さを測定しにくい問題点がある。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するために案出されたものであって、ウェーハキャリアの内／外周厚さを非接触式で正確に測定できるウェーハキャリアの厚さ測定装置を提供することにその目的がある。
本発明は、回転および昇降可能に設置され、ウェーハキャリアの中心部分を支持できる第１テーブル、前記第１テーブル外側に位置して回転可能に設置され、ウェーハキャリアの外周部分を支持できる第２テーブル、前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下面までの距離を非接触式で測定してウェーハキャリアの厚さを算出する上／下部センサー、および前記第２テーブルの一側に位置し、前記上／下部センサーを前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下側に移動させるセンサー駆動手段を含むウェーハキャリアの厚さ測定装置を提供する。
また、本発明において前記センサー駆動手段は、前記第２テーブルの一側に上下方向に位置した回転軸と、前記回転軸の上部から水平方向に延長され、前記上部センサーが固定される上部固定端と、前記回転軸の下部から水平方向に延長され、前記下部センサーが固定される下部固定端と、前記回転軸を回転させる回転モーターとを含む。
また、本発明において前記ウェーハは、少なくとも一つ以上の整列表示部が具備され、前記第１、２テーブルの中の一つに上げられたウェーハの整列表示部を感知するアラインセンサーをさらに含む。
本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置は、ウェーハキャリアの内／外周部分を第１、２テーブルによって選択的に支持し、第１、２センサーによってウェーハキャリアの上／下面までの距離を同時に非接触式で測定してウェーハキャリアの厚さを算出することができる。
したがって、ウェーハキャリアの厚さ測定時にウェーハキャリアの損傷を防止することができ、ウェーハキャリアの上／下面までの距離を直接測定してその厚さを算出することによって、ウェーハキャリアの厚さを正確に測定できて測定正確度（ａｃｃｕｒａｃｙ）を高めることができる。
本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置は、ウェーハが第１、２テーブルの中の一つにローディングされてもアラインセンサーによってウェーハに具備された整列表示部を感知し、ウェーハの整列表示部を基準としてウェーハの位置別の厚さを測定することができる。
したがって、ウェーハキャリアを毎回同じ位置にローディングさせることができ、それによってウェーハキャリアごとに同じ位置でその厚さを測定できて測定再現性（ｒｅｐｒｏｄｕｃｉｂｉｌｉｔｙ）を高めることができる。
一般的なウェーハキャリアが示された図である。 従来技術によるウェーハキャリアの厚さ測定装置が示されたグラフである。 従来技術によるウェーハキャリアの厚さ測定結果が示された図である。 本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置が示された斜視図である。 図４に適用された第１テーブルが詳細に示された図である。 図４に適用された第２テーブルが詳細に示された図である。 図４に適用された上／下部センサーおよびセンサー駆動手段が詳細に示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の原理が示された概略図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。 本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の過程が示された図である。
以下、本実施例に対し添付される図面を参照して詳細に検討するようにする。 ただし、本実施例が開示する事項から本実施例が有する発明の思想の範囲が決まり得、本実施例が有する発明の思想は提案される実施例に対し構成要素の追加、削除、変更などの実施変形を含むことができるであろう。
図４ないし図７は、本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置が示された図である。
本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置は、図４ないし図７に示されたようにウェーハキャリアの内／外周部分を選択的に支持できる第１、２テーブル（１１０、１２０）と、ウェーハキャリアの上／下面までの距離を非接触式で測定してその厚さを算出できる上／下部センサー（１３１、１３２）と、前記上／下部センサー（１３１、１３２）を前記第１、２テーブル（１１０、１２０）に支持されたウェーハキャリアの上／下側に移動させるセンサー駆動手段（１４０）と、ウェーハキャリアのセンサー測定過程をモニタリングできるモニター（Ｍ）と、制御部（図示せず）とを含むように構成される。
前記第１テーブル（１１０）は、図５に示されたようにウェーハキャリアの内周部分を支持するように構成されるが、直径がウェーハキャリアの直径より小さい円板形状に構成される。
また、前記第１テーブル（１１０）は、回転可能に設置されると共に昇降可能に設置される。
実施例において、前記第１テーブル（１１０）の下面中心に回転軸（１１１）が具備され、前記回転軸（１１１）が別途の回転モーター（図示せず）により回転することにより前記第１テーブル（１１０）が回転することができる。
実施例において、前記第１テーブル（１１０）の一側に上下方向に長くガイドレール（１１２）が具備され、前記第１テーブル（１１０）の下側に具備されたフレームの一側にガイド（１１３）が具備されるが、前記ガイド（１１３）が別途の昇降モーター（図示せず）により前記ガイドレール（１１２）に沿って往復直線運動することによって前記第１テーブル（１１０）が昇降し得るが、限定されない。
前記第２テーブル（１２０）は、図６に示されたように前記第１テーブル（１１０）の外周に具備されてウェーハキャリアの外周部分を支持するように構成されるが、内径がウェーハキャリアの直径より小さく外径がウェーハキャリアの直径より大きいリング板形状のスライダー（１２１）で構成される。
また、前記第２テーブル（１２０）は、回転可能に設置されるが、基準面上に位置して別途に昇降しない。
実施例において、前記スライダー（１２１）の外周端にギア歯が形成され、前記スライダー（１２１）下部の一側に駆動モーター（図示せず）が具備されるが、前記スライダー（１２１）のギア歯と前記駆動モーター（図示せず）により回転するギア歯と噛合して回転することによって前記第２テーブル（１２０）が回転し得るが、限定されない。
また、ウェーハキャリアが前記スライダー（１２１）の上に上げられても接触する部分が限定されるので前記スライダー（１２１）にはウェーハキャリアと接触する部分に摩擦力を高めるためにパッド（１２２）が具備され得る。
実施例において、前記スライダー（１２１）は、内周部分が段差になるように形成されることによってリング板形状の溝（図示せず）が具備され、前記パッド（１２２）はウレタン材質で前記スライダー（１２１）の溝に接着または、ボルト締結されるリング板形状で構成されるが、限定されない。
また、ウェーハキャリアが前記パッド（１２２）と接触しても摩擦力に限界があり、前記スライダー（１２１）の回転時にウェーハキャリアが脱去することがあるのでウェーハキャリアの位置を固定させることができる位置決定用ピン（１２３）がさらに具備され得る。
実施例において、前記位置決定用ピン（１２３）は、前記第２テーブル（１２０）の中に、ウェーハキャリアの直径より小さい円周上に三個が一定の間隔を置いて具備されるが、前記位置決定用ピン（１２３）は前記スライダー（１２１）とパッド（１２２）との間に設置された別途のブラケットに具備されてウェーハキャリア（Ｃ）の外周に一定の間隔を置いて形成された溝（ｈ）の中で、一部とかみ合うように半径方向に移動可能に設置されるが、限定されない。
詳細に、前記ブラケットが前記第２テーブル（１２０）の中心方向に設置されたスプリング（１２４）により弾性支持され、前記ブラケットが下側に具備されたＬＭガイドおよび外周側に具備されたシリンダー（１２５）により外周方向に移動可能に設置されるが、限定されない。
前記上／下部センサー（１３１、１３２）は、図７に示されたように前記センサー駆動手段（１４０）により前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の上／下側に位置するが、前記上部センサー（１３１）はウェーハキャリアの表面まで距離を非接触式で測定し、前記下部センサー（１３２）はウェーハキャリアの下面までの距離を非接触式で測定する。
実施例において、前記上／下部センサー（１３１、１３２）は、一種の非接触変位センサーである共焦点センサー（Ｃｈｒｏｍａｔｉｃ Ｃｏｎｆｏｃａｌ Ｓｅｎｓｏｒ）で構成されるが、このような共焦点センサーは光源を色で分散させて、色の波長による配列を距離で換算するのでウェーハキャリアが不透明または半透明の材質で構成されても正確に距離を測定することができる。
前記センサー駆動手段（１４０）は、前記上／下部センサー（１３１、１３２）を装着させると共に前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の上／下側に移動させられるように構成されるが、回転軸（１４１）上に上／下部固定端（１４２、１４３）が一体に具備され、前記回転軸（１４１）を回転させる回転モーター（１４４）が含まれる。
詳細に、前記回転軸（１４１）は、前記第２テーブル（１２０）の一側に上下方向に位置するが、前記上／下部固定端（１４２、１４３）が前記回転軸（１４１）の上／下部に水平方向に延長された片持ち形状で一体に形成され、前記上／下部センサー（１３１、１３２）が前記上／下部固定端（１４２、１４３）の端部に固定される。
もちろん、前記回転軸（１４１）が回転することにより前記上／下部固定端（１４２、１４３）が前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の上／下側に位置し得るが、前記上／下部固定端（１４２、１４３）と前記第１、２テーブル（１１０、１２０）とが構造上互いに干渉されない。
また、前記センサー駆動手段（１４０）は、前記第１テーブル（１１０）が昇降されても前記上／下部固定端（１４２、１４３）が前記第１テーブル（１１０）の上／下側に位置するように昇降可能に設置される。
実施例において、前記回転軸（１４１）の一側に上下方向に長くガイドレール（１４５）が具備され、前記ガイドレール（１４５）に沿って動くことができるガイド（１４６）が前記回転軸（１４１）と連結され、前記ガイド（１４６）を前記ガイドレール（１４５）に沿って昇降させる昇降モーター（図示せず）が追加でさらに具備され得るが、限定されない。
もちろん、前記ガイド（１４６）は、前記回転軸（１４１）を回転可能に支持し、前記ガイド（１４６）が昇降することにより前記上／下部固定端（１４２、１４３）および上／下部センサー（１３１、１３２）も共に昇降される。
普通、ウェーハキャリアは、偏心した位置にウェーハが装着される最も大きい裝着穴が具備され、研磨工程時に供給されるスラリーが収容され得るように装着穴の周辺に複数個の穴が具備される。
このような形状のウェーハキャリアは、厚さを測定するときに同じ位置で厚さ測定が行われなければならず、前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の上にウェーハキャリアがローディングされると、ウェーハキャリアの位置を整列する過程を経なければならない。
実施例において、ウェーハキャリアは、特定の位置に別途の整列表示部（図示せず）が具備されるが、前記整列表示部はウェーハキャリアの特定の外周部分に具備された穴や溝または、マーキング表示などで多様に構成され得、限定されない。
また、前記ウェーハキャリアの上で整列表示部の位置を感知するアラインセンサー（１３３）が前記上部固定端（１４２）に具備されるが、前記アラインセンサー（１３３）は前記整列表示部を映像で感知するＣＣＤカメラなどの形態で構成され得、同様に限定されない。
したがって、前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の中の一つにウェーハキャリアがローディングされると、ウェーハキャリアを回転させて、前記アラインセンサー（１３３）がウェーハキャリアの整列表示部を感知すると、ウェーハキャリアの回転を中断し、ウェーハキャリアを一定の角度で回転させた地点ごとにウェーハキャリアの上／下面までの距離を測定することができる。
このように、本発明は、ウェーハキャリアを毎回同じ位置でローディングさせることができ、それによってウェーハキャリアごとに同じ位置でその厚さを測定できて測定再現性（ｒｅｐｒｏｄｕｃｉｂｉｌｉｔｙ）を高めることができる。
図８は、本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定の原理が示された概略図である。
本発明によると、図８に示されたように事前に厚さ（Ｋ）が分かっている標準試片（Ｋ）をローディングさせ、前記上／下部センサー（１３１、１３２）により標準試片（Ｋ）の上／下面までの距離（ａ、ｂ）を測定した後、ウェーハキャリア（Ｃ）をローディングさせ、前記上／下部センサー（１３１、１３２）によりウェーハキャリア（Ｃ）の上／下面までの距離（ｃ、ｄ）を測定する。
以後、前記上／下部センサー（１３１、１３２）に内蔵された演算部（図示せず）は下記の[数学式１]によりウェーハキャリアの厚さ（ｔ）を算出する。
[数学式１]
ｔ＝ｋ＋ａ＋ｂ−ｃ−ｄ
もちろん、ウェーハキャリア（Ｃ）の一部は前記で説明したように第１、２テーブルの中の一つによって支持され、第１、２テーブルによって支持されないウェーハキャリア（Ｃ）の他の地点で厚さ測定が行われる。
図９ａないし図９ｉは、本発明によるウェーハキャリアの厚さ測定過程が示された図である。
本発明によるキャリアの厚さ測定過程を調べると、図９ａに示されたように前記第１、２テーブル（１１０、１２０）が同じ基準面上に位置すると共に前記上／下部センサー（１３１、１３２）がその一側に位置する。
次に、図９ｂに示されたようにウェーハキャリア（Ｃ）が前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の上にローディングされると、前記で説明したようにアライン過程を経てウェーハキャリア（Ｃ）の位置が整列する。
次に、図９Ｃに示されたように前記第１テーブル（１１０）が前記第２テーブル（１２０）より下降すると、ウェーハキャリア（Ｃ）の外周部分が前記第２テーブル（１２０）により支持される。
次に、図９ｄに示されたように前記回転軸（１４１）が反時計方向に回転すると、前記上／下部固定端（１４２、１４３）が前記第２テーブル（１２０）の上／下側に位置し、前記上／下部センサー（１３１、１３２）がウェーハキャリア（Ｃ）の内周部分の上／下側に位置する。
次に、図９ｅに示されたように前記第２テーブル（１２０）が設定された角度で回転し、回転するたびに前記上／下部センサー（１３１、１３２）がウェーハキャリア（Ｃ）の内周部分の位置ごとに厚さを測定する。
このように、ウェーハキャリア（Ｃ）の内周部分の位置ごとに厚さ測定が完了した後、図９fに示されたように前記回転軸（１４１）が時計方向に回転すると、前記上／下部固定端（１４２、１４３）と上／下部センサー（１３１、１３２）が前記第１、２テーブル（１１０、１２０）の一側に干渉されない位置に移動する。
次に、図９ｇに示されたように前記第１テーブル（１１０）が前記第２テーブル（１２０）より昇降すると、ウェーハキャリア（Ｃ）の内周部分が前記第１テーブル（１１０）により支持され、前記回転軸（１４１）も前記第１テーブル（１１０）が前記第２テーブル（１２０）より上昇した高さだけ共に昇降する。
次に、図９ｈに示されたように前記回転軸（１４１）が反時計方向に回転すると、前記上／下部固定端（１４２、１４３）が前記第１テーブル（１１０）の上／下側に位置し、前記上／下部センサー（１３１、１３２）がウェーハキャリア（Ｃ）の外周部分の上／下側に位置する。
次に、図９ｉに示されたように前記第１テーブル（１１０）が設定角度で回転し、回転するたびに前記上／下部センサー（１３１、１３２）がウェーハキャリア（Ｃ）の外周部分の位置ごとに厚さを測定する。
前記のように、本発明は、キャリアの一部を支持すると共にウェーハキャリアの支持されない地点で非接触式で厚さ測定が行われるのでウェーハキャリアの損傷を防止することができ、ウェーハキャリアの厚さを正確に測定できて測定正確度（ａｃｃｕｒａｃｙ）を高めることができる。
（付記）
（付記１）
回転および昇降可能に設置され、ウェーハキャリアの中心部分を支持できる第１テーブル、
前記第１テーブル外側に位置して回転可能に設置され、ウェーハキャリアの外周部分を支持できる第２テーブル、
前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下面までの距離を非接触式で測定してウェーハキャリアの厚さを算出する上／下部センサー、および、
前記第２テーブルの一側に位置し、前記上／下部センサーを前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下側に移動させるセンサー駆動手段、
を含むウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記２）
前記第２テーブルは、
内径がウェーハキャリアの直径より小さく、外径がウェーハキャリアの直径より大きいリング板形状で構成される、
付記１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記３）
前記第２テーブルは、
外周端に形成されたギア歯が駆動モーターにより回転するギア歯と噛合して回転するスライダーで構成される、
付記２に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記４）
前記第２テーブルは、
ウェーハキャリアと接触する一部分に摩擦力を高めることができるパッドがさらに具備される、
付記１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記５）
前記パッドは、
前記第２テーブルの内周端に安着するウレタン材質のリング板形状である、
付記４に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記６）
前記第２テーブルは、
ウェーハキャリアの外周に形成された溝と噛合うことができる少なくとも二個以上の位置決定用ピンがさらに具備される、
付記１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記７）
前記位置決定用ピンは、
前記第２テーブルの中心方向に弾性支持される、
付記６に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記８）
前記位置決定用ピンには、
前記第２テーブルの外周方向に移動させることができるシリンダーが連結される、
付記１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記９）
前記上／下部センサーは、
共焦点センサー（Ｃｈｒｏｍａｔｉｃ Ｃｏｎｆｏｃａｌ Ｓｅｎｓｏｒ）で構成される、
付記１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記１０）
前記上／下部センサーは、
標準試片の厚さ（Ｋ）と標準試片の上／下面までの測定距離（ａ、ｂ）およびウェーハキャリアの上／下面までの測定距離（ｃ、ｄ）を考慮してウェーハキャリアの厚さ（Ｔ）を算出する演算部を含む、
付記９に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記１１）
前記センサー駆動手段は、
前記第２テーブルの一側に上下方向に位置した回転軸と、
前記回転軸の上部から水平方向に延長され、前記上部センサーが固定される上部固定端と、
前記回転軸の下部から水平方向に延長され、前記下部センサーが固定される下部固定端と、
前記回転軸を回転させる回転モーターと、
を含む、付記１ないし付記１０のうちいずれか一つに記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記１２）
前記センサー駆動手段は、
前記回転軸の一側に上下方向に長く具備されたガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って動いて、前記回転軸を回転可能に支持するガイドと、
前記ガイドを前記ガイドレールに沿って昇降させる昇降モーターと、
をさらに含む、付記１１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記１３）
前記ウェーハは少なくとも一つ以上の整列表示部が具備され、
前記第１、２テーブルの中の一つに上げられたウェーハの整列表示部を感知するアラインセンサーをさらに含む、
付記１ないし付記１０のうちいずれか一つに記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
（付記１４）
前記整列表示部は、前記ウェーハの外周部分に穴形状で具備され、
前記アラインセンサーは前記整列表示部を映像で感知するカメラで構成される、
付記１３に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
本発明のウェーハキャリアの厚さ測定装置は、ウェーハキャリアの内／外周厚さを非接触式で正確に測定することができる。

Claims (14)

  1. 回転および昇降可能に設置され、ウェーハキャリアの中心部分を支持できる第１テーブル、
    前記第１テーブル外側に位置して回転可能に設置され、ウェーハキャリアの外周部分を支持できる第２テーブル、
    前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下面までの距離を非接触式で測定してウェーハキャリアの厚さを算出する上／下部センサー、および、
    前記第２テーブルの一側に位置し、前記上／下部センサーを前記第１、２テーブルの中の一つに支持されたウェーハキャリアの上／下側に移動させるセンサー駆動手段、
    を含むウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  2. 前記第２テーブルは、
    内径がウェーハキャリアの直径より小さく、外径がウェーハキャリアの直径より大きいリング板形状で構成される、
    請求項１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  3. 前記第２テーブルは、
    外周端に形成されたギア歯が駆動モーターにより回転するギア歯と噛合して回転するスライダーで構成される、
    請求項２に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  4. 前記第２テーブルは、
    ウェーハキャリアと接触する一部分に摩擦力を高めることができるパッドがさらに具備される、
    請求項１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  5. 前記パッドは、
    前記第２テーブルの内周端に安着するウレタン材質のリング板形状である、
    請求項４に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  6. 前記第２テーブルは、
    ウェーハキャリアの外周に形成された溝と噛合うことができる少なくとも二個以上の位置決定用ピンがさらに具備される、
    請求項１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  7. 前記位置決定用ピンは、
    前記第２テーブルの中心方向に弾性支持される、
    請求項６に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  8. 前記位置決定用ピンには、
    前記第２テーブルの外周方向に移動させることができるシリンダーが連結される、
    請求項１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  9. 前記上／下部センサーは、
    共焦点センサー（Ｃｈｒｏｍａｔｉｃ Ｃｏｎｆｏｃａｌ Ｓｅｎｓｏｒ）で構成される、
    請求項１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  10. 前記上／下部センサーは、
    標準試片の厚さ（Ｋ）と標準試片の上／下面までの測定距離（ａ、ｂ）およびウェーハキャリアの上／下面までの測定距離（ｃ、ｄ）を考慮してウェーハキャリアの厚さ（Ｔ）を算出する演算部を含む、
    請求項９に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  11. 前記センサー駆動手段は、
    前記第２テーブルの一側に上下方向に位置した回転軸と、
    前記回転軸の上部から水平方向に延長され、前記上部センサーが固定される上部固定端と、
    前記回転軸の下部から水平方向に延長され、前記下部センサーが固定される下部固定端と、
    前記回転軸を回転させる回転モーターと、
    を含む、請求項１ないし請求項１０のうちいずれか一項に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  12. 前記センサー駆動手段は、
    前記回転軸の一側に上下方向に長く具備されたガイドレールと、
    前記ガイドレールに沿って動いて、前記回転軸を回転可能に支持するガイドと、
    前記ガイドを前記ガイドレールに沿って昇降させる昇降モーターと、
    をさらに含む、請求項１１に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  13. 前記ウェーハは少なくとも一つ以上の整列表示部が具備され、
    前記第１、２テーブルの中の一つに上げられたウェーハの整列表示部を感知するアラインセンサーをさらに含む、
    請求項１ないし請求項１０のうちいずれか一項に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
  14. 前記整列表示部は、前記ウェーハの外周部分に穴形状で具備され、
    前記アラインセンサーは前記整列表示部を映像で感知するカメラで構成される、
    請求項１３に記載のウェーハキャリアの厚さ測定装置。
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