KR102428891B1 - 디스크 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 차량의 브레이크 디스크나 반도체 웨이퍼, 또는 그 외 원형의 디스크부재에 대한 DTV(Disk Thickness Variation: 디스크의 두께 변화량), 런아웃(Runout) 및 평탄도(Flatness) 등을 측정 검사하되, 측정 시 센서의 동작을 직선 이동 방식이 아닌 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하여 센싱 정밀도를 크게 높이고 제품 크기는 축소시킨 디스크 검사장치에 관한 것으로, 정반(130) 상부에 설치되며 피검대상 디스크(D)를 장착하고 회전시키는 디스크장착부(110); 및 상기 디스크장착부(110)로부터 일정거리 이격 설치되어 상기 디스크장착부(110)에 장착된 디스크(D)의 두께를 측정하되, 상기 디스크(D)의 두께를 측정하는 센서가 회전축을 중심으로 상기 디스크(D)의 원주 상의 일측에서 타측으로 원호 형상으로 이동하며 두께를 측정하는 디스크회전측정부(120)를 포함한다.

Description

디스크 검사장치{DISK CHECK DEVICE}
본 발명은 디스크 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 차량의 브레이크 디스크나 반도체 웨이퍼, 또는 그 외 원형의 디스크부재에 대한 DTV(Disk Thickness Variation: 디스크의 두께 변화량), 런아웃(Runout) 및 평탄도(Flatness) 등을 측정 검사하되, 측정 시 센서의 동작을 직선 이동 방식이 아닌 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하여 센싱 정밀도를 크게 높이고 제품 크기는 축소시킨 디스크 검사장치에 관한 것이다.
주지한 바와 같은 차량의 브레이크 디스크는 열 변형 또는 마모 등의 이유로 두께에 변형이 가게 된다.
이러한 디스크 두께의 변형은 브레이크의 조작 시 떨림이 발생하여 안전에 영향을 미치므로, 브레이크 디스크 또는 브레이크 패드를 생산하는 업체에서는 디스크 두께 변화량(DTV)을 측정하여 차량에 적합한 디스크나 패드의 재질 또는 형태 등을 연구하고 개선하는데 사용한다.
이와 같이 DTV를 측정하는 종래의 디스크 측정장치를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다.
상기 디스크 측정장치는 정반(30) 상부에 피검 대상 디스크(D)를 장착하고 회전시키는 디스크장착부(10)와, 상기 디스크장착부(10)로 전후진 동작하며 디스크(D)의 두께를 측정하는 디스크측정부(20)로 구성된다.
상기 디스크장착부(10)는 정반(30) 위에 설치된 에어베어링부(11)에 회전축(12)이 설치되고 상기 회전축(12)에는 피검 대상 디스크(D)가 장착 또는 해제 가능하도록 구성된다.
상기 디스크측정부(20)는 정반(30) 위에 설치되는 에어실린더 본체(21)와, 상기 에어실린더 본체(21)의 상단에 형성되어 전후진 이송되는 이송부(22)와, 상기 이송부(22)에 수직 설치되고 일측으로 센서가 장착되는 이송축부(23)와, 상기 이송축부(23)의 일측으로 상하 이동 조절이 가능하도록 일정 간격을 유지하며 설치되는 상부지지대(24) 및 하부지지대(25)와, 상기 상부지지대(24) 및 하부지지대(25)에 각각 설치되어 디스크(D)의 두께를 측정하는 상부두께측정센서(26) 및 하부두께측정센서(27)로 구성된다.
이와 같이 구성된 디스크 측정장치는 피검대상 디스크(D)를 검사하기 위하여 상기 상부지지대(24)와 하부지지대(25) 사이에 위치하게 되는 상기 디스크(D)에 대응되도록 상기 상부지지대(24)와 하부지지대(25)의 간격을 조절하고, 디스크장착부(10)의 회전축(12)을 회전시켜 디스크(D)를 회전시켜 준다.
그런 다음, 디스크측정부(20)의 이송축부(23)를 도 2에서와 같이 전진시켜 상부두께측정센서(26) 및 하부두께측정센서(27)가 상기 디스크(D)의 외측에서 내측으로 이동하면서 두께를 측정하게 되는 것이다.
그러나 이와 같은 종래의 디스크 측정장치는 디스크장착부(10)의 회전축(12)과 디스크측정부(20)의 이송축부(23) 이송 시에 엔코더의 펄스수를 읽어 들인 후 직류모터를 회전 또는 정지하기 때문에 위치에 대한 오차가 발생되었다.
또한 상기 이송축부(23)가 수직으로 길게 설치되어 제품의 크기가 커지게 되는 문제점이 있었다.
또한 상기 정반(30)과 에어실린더본체(21), 상기 에어실린더본체(21)와 이송부(22) 사이에는 이송축부(23) 이송 시 오차가 발생된다.
이는 최소 3㎛ 이상의 평탄도(Flatness)에 대한 오차가 발생하는 것으로, 상기 상하부두께측정센서(26)(27)는 0.5㎛의 정밀도를 가지고, DTV는 2~3㎛, 런아웃(Runout)은 10㎛ 전후의 허용 범위에서, 상기 3㎛이상의 오차는 매우 큰 값이 된다.
사실상 상기 회전축(12)에 장착된 디스크(D)의 수평과 두께측정센서(26)(27)를 포함하는 이송축부(23)의 오차는 반드시 발생할 수밖에 없다.
따라서 종래의 측정장치에서 디스크(D)의 수평은 소프트웨어적으로 보정이 가능하지만, 상기 이송축부(23)의 보정에는 어려움이 있어 왔다.
또한 종래의 측정장치는 런아웃 및 평판도 측정이 불가능한 문제점도 있었다.
등록실용신안공보 20-0248436, 등록특허공보 10-0690181, 공개실용신안공보 실1999-009330, 등록특허공보 10-0809600
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 차량의 브레이크 디스크나 반도체 웨이퍼, 또는 그 외 원형의 디스크부재에 대한 DTV, 런아웃 및 평탄도 등을 측정 검사하되, 측정 시 센서의 동작을 직선 이동 방식이 아닌 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하여 이송에 따른 측정 오차를 최소화하여 센싱 정밀도를 크게 높인 디스크 검사장치를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명의 다른 목적은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하되, 이때 불가피하게 발생되는 선형적인 모양의 오차는 소프트웨어적으로 보정이 가능하도록 한 디스크 검사장치를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명의 다른 목적은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현함으로써 종래 센서 직선 이동 방식의 측정장치에 비해 크기를 크게 줄여주어 비용을 절감하도록 한 디스크 검사장치를 제공하는 것에 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 정반 상부에 설치되며 피검대상 디스크를 장착하고 회전시키는 디스크장착부; 및
상기 디스크장착부로부터 일정거리 이격 설치되어 상기 디스크장착부에 장착된 디스크의 두께를 측정하되, 상기 디스크의 두께를 측정하는 센서가 회전축을 중심으로 상기 디스크의 원주 상의 일측에서 타측으로 원호 형상으로 이동하며 두께를 측정하는 디스크회전측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 디스크회전측정부는 정반 위에 수직으로 설치되는 제2회전축;
상기 제2회전축의 상단에 일정 간격을 유지하며 설치되되, 일단이 상기 제2회전축에 연결되어 원호 형상으로 회전 운동하는 상부지지대 및 하부지지대; 및
상기 상부지지대 및 하부지지대의 타단에 각각 설치되어 디스크의 두께를 측정하는 상부두께측정센서 및 하부두께측정센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따르면 상기 상부지지대 및 하부지지대는 바 형태로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따르면 상기 디스크회전측정부에서 발생되는 수평 오차는,
회전하는 제2회전축을 확대하여 펼친 직선형태의 모양을 기준으로 특정 위치에서의 값을 수학적인 계산으로 보정하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 본 발명은 차량의 브레이크 디스크나 반도체 웨이퍼, 또는 그 외 원형의 디스크부재에 대한 DTV, 런아웃 및 평탄도 등을 측정 검사하되, 측정 시 센서의 동작을 직선 이동 방식이 아닌 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하여 이송에 따른 측정 오차를 최소화하여 센싱 정밀도를 크게 높인 장점을 제공한다.
또한 본 발명은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하되, 이때 불가피하게 발생되는 선형적인 모양의 오차는 소프트웨어적으로 보정이 가능하도록 한 장점을 제공한다.
또한 본 발명의 다른 목적은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현함으로써 종래 센서 직선 이동 방식의 측정장치에 비해 크기를 크게 줄여주어 비용을 절감하도록 한 장점을 제공한다.
도 1은 종래의 디스크 두께 측정장치의 측면 구성도,
도 2는 상기 도 1의 두께 측정 동작을 설명하기 위한 평면 구성도,
도 3의 본 발명에 따른 디스크 검사장치의 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 디스크 검사장치의 측면 구성도,
도 5는 본 발명에 따른 디스크 검사장치의 두께 측정 동작을 설명하기 위한 평면 구성도,
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 센서 측정 시 발생되는 선형적인 모양의 오차를 소프트웨어적으로 보정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세히 설명한다.
우선, 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 3의 본 발명에 따른 디스크 검사장치의 구성도, 도 4는 본 발명에 따른 디스크 검사장치의 측면 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명 디스크 검사장치(100)는,
정반(130) 상부에 설치되며 피검대상 디스크(D)를 장착하고 회전시키는 디스크장착부(110)와, 상기 디스크장착부(110)로부터 일정거리 이격 설치되어 상기 디스크장착부(110)에 장착된 디스크(D)의 두께를 측정하되, 상기 디스크(D)의 두께를 측정하는 센서가 회전축을 중심으로 상기 디스크(D)의 원주 상의 일측에서 타측으로 원호 형상으로 이동하며 두께를 측정하는 디스크회전측정부(120)를 포함한다.
상기 디스크장착부(110)는 정반(130) 위에 수직으로 제1회전축(111)을 설치하고, 상기 제1회전축(111)은 피검대상 디스크(D)가 장착 또는 해제 가능하도록 한 구조가 포함되도록 구성된다.
따라서 상기 피검대상 디스크(D)는 두께 측정을 위하여 상기 제1회전축(111)에 장착되어진다.
상기 디스크회전측정부(120)는 정반(30) 위에 수직으로 설치되는 제2회전축(121)과, 상기 제2회전축(121)의 상단에 일정 간격을 유지하며 설치되되, 일단이 상기 제2회전축(121)에 연결되어 원호 형상으로 회전 운동하는 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)와, 상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)의 타단에 각각 설치되어 디스크(D)의 두께를 측정하는 상부두께측정센서(124) 및 하부두께측정센서(125)를 포함한다.
상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)는 상하 이동 조절이 가능하도록 구성된다.
또한 상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)는 바(bar) 형태로 구성될 수 있으며, 일단에는 두께측정센서가 설치되고 타단에는 제2회전축(121)과 결합되는 장착공(122a)이 형성될 수 있다.
또한 상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)는 도 5에서와 같이 제2회전축(121)을 중심으로 회전하게 되며, 이때 상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)의 타단에 장착된 상부두께측정센서(124) 및 하부두께측정센서(125)가 피검대상 디스크(D)의 원주 상의 일측에서 타측으로 원호 형상으로 이동하며 두께를 측정할 수 있도록 구성된다.
이와 같이 구성되는 상기 디스크회전측정부(120)는 회전방식으로, 종래의 측정장치와 같이 센서축이 직선 운동하는 구조가 아니기 때문에 측정 오차가 감소된다.
다만, 상기 디스크회전측정부(120)에서도 디스크장착부(110)에서 발생되는 디스크(D)의 수평 오차와 같이, 상기 제2회전축(121)을 포함하는 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)의 수평 오차가 발생한다.
따라서 본 발명에서는 상기 디스크회전측정부(120)에서 발생되는 선형적인 모양의 오차를 소프트웨어적으로 보정하여 주게 된다.
이러한 보정은, 회전하는 제2회전축(121)을 확대하여 펼쳐보면 직선형태로 나타나기 때문에 특정 위치에서의 값을 수학적인 계산으로 구할 수 있으므로 기구적으로 발생하는 오차를 보정할 수 있게 된다.
구체적으로 상기 오차(선형적인 모양)의 형태는 4가지 유형으로 구분되는 데, 도 6을 참조하여, 먼저 제2회전축(121)이 X축의 x1방향으로 기울어진 경우, 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양은 도 7의 (a)와 같은 형상이 된다.
즉 상부에서 하부로 하강한 후 다시 상부로 향하는 모양을 가진다.
두 번째로, 제2회전축(121)이 Y축의 y1방향으로 기울어진 경우, 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양은 도 7의 (b)와 같은 형상이 된다.
즉 상부에서 하부로 향하는 직선 모양을 가진다.
세 번째로, 제2회전축(121)이 X축의 x2방향으로 기울어진 경우, 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양은 도 7의 (c)와 같은 형상이 된다.
즉 하부에서 상부로 상승한 후 다시 하부로 향하는 모양을 가진다.
네 번째로, 제2회전축(121)이 Y축의 y2방향으로 기울어진 경우, 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양은 도 7의 (b)와 같은 형상이 된다.
즉 하부에서 상부로 향하는 직선 모양을 가진다.
이와 같은 유형의 선형적인 모양은, 센서의 측정위치가 수직방향이 아닌 호를 그리기 때문에 디스크(D)의 각 트랙(Track) 별 Z축상의 위치는 바뀌지만 이는 원과 삼각함수를 이용하여 데이터를 Z상에 재 정렬하는 방식으로 보정할 수 있게 된다.
미 설명 부호 126는 스텝모터, 127은 상기 스텝모터(126)의 회전력을 상기 제2회전축(121)에 전달하는 동력 전달부이다.
이와 같이 구성된 본 발명 디스크 검사장치의 작동 및 작용을 이하 설명한다.
먼저, 디스크 검사장치(100)는 피검대상 디스크(D)를 검사하기 위하여, 상기 디스크(D)를 디스크장착부(110)의 제1회전축(111)에 장착하고, 디스크회전측정부(120)의 상부지지대(122)와 하부지지대(123) 사이에 위치하게 되는 상기 디스크(D)에 대응되도록 상기 상부지지대(122)와 하부지지대(123)의 간격을 조절하여 준다.
이와 같은 준비가 완료되면, 상기 디스크장착부(110)의 제1회전축(111)을 회전시켜 디스크(D)를 회전시켜 준다.
그런 다음, 상기 디스크회전측정부(120)의 제2회전축(121)을 회전시켜 준다.
따라서 상기 제2회전축(121)에 장착된 상부지지대(122)와 하부지지대(123)는 연동하여 회전하며, 이때 상부두께측정센서(124) 및 하부두께측정센서(125)는 도 5에서와 같이 디스크(D) 원주상의 일측에서 타측으로 원호 형상을 그리면서 동작하고 동시에 센싱을 수행하게 된다.
상기 상부두께측정센서(124) 및 하부두께측정센서(125)를 통해 측정된 값은 미 도시된 제어수단으로 입력되어, 피검대상 디스크(D)의 DTV(Disk Thickness Variation: 디스크의 두께 변화량), 런아웃(Runout) 및 평탄도(Flatness)를 산출하게 된다.
또한 제어수단은 상기 디스크회전측정부(120)의 제2회전축(121)을 포함하는 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)의 수평 오차를 검출하고, 이를 4가지 유형으로 분류되는 선형적인 모양의 오차를 소프트웨어적으로 보정하여 주게 된다.
이상에서와 같이 본 발명은 차량의 브레이크 디스크나 반도체 웨이퍼, 또는 그 외 원형의 디스크부재에 대한 DTV, 런아웃 및 평탄도 등을 측정 검사하되, 측정 시 센서의 동작을 직선 이동 방식이 아닌 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하여 이송에 따른 측정 오차를 최소화하여 센싱 정밀도를 크게 높인 장점을 제공한다.
또한 본 발명은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현하되, 이때 불가피하게 발생되는 선형적인 모양의 오차는 소프트웨어적으로 보정이 가능하도록 한 장점을 제공한다.
또한 본 발명의 다른 목적은 디스크 두께 측정 시 센서의 동작을 새로운 형태의 원호를 그리는 축 회전 방식으로 구현함으로써 종래 센서 직선 이동 방식의 측정장치에 비해 크기를 크게 줄여주어 비용을 절감하도록 한 장점을 제공하게 되는 것이다.
100: 디스크검사장치 110: 디스크장착부
111: 제1회전축 120: 디스크회전측정부
121: 제2회전축 122: 상부지지대
123: 하부지지대 124: 상부두께측정센서
125: 하부두께측정센서 126: 스텝모터

Claims (4)

  1. 정반(130) 상부에 설치되며 피검대상 디스크(D)를 장착하고 회전시키는 디스크장착부(110); 및
    상기 디스크장착부(110)로부터 일정거리 이격 설치되어 상기 디스크장착부(110)에 장착된 디스크(D)의 두께를 측정하되, 상기 디스크(D)의 두께를 측정하는 센서가 회전축을 중심으로 상기 디스크(D)의 원주 상의 일측에서 타측으로 원호 형상으로 이동하며 두께를 측정하는 디스크회전측정부(120)를 포함하고,
    상기 디스크회전측정부(120)는 정반(30) 위에 수직으로 설치되는 제2회전축(121);
    상기 제2회전축(121)의 상단에 일정 간격을 유지하며 설치되되, 일단이 상기 제2회전축(121)에 연결되어 원호 형상으로 회전 운동하는 상부지지대(122) 및 하부지지대(123); 및
    상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)의 타단에 각각 설치되어 디스크(D)의 두께를 측정하는 상부두께측정센서(124) 및 하부두께측정센서(125)를 포함하며,
    상기 디스크회전측정부(120)에서 발생되는 수평 오차는,
    회전하는 제2회전축(121)을 확대하여 펼친 직선형태의 모양을 기준으로 특정 위치에서의 값을 수학적인 계산으로 보정하는 것으로,
    상기 직선형태의 모양은 4가지 유형으로 구분되며,
    제1유형은 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양(
    Figure 112022022480105-pat00008
    )으로 제2회전축(121)이 X축의 x1방향으로 기울어진 경우이고,
    제2유형은 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양(
    Figure 112022022480105-pat00009
    )으로 제2회전축(121)이 Y축의 y1방향으로 기울어진 경우이고,
    제3유형은 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양(
    Figure 112022022480105-pat00010
    )으로 제2회전축(121)이 X축의 x2방향으로 기울어진 경우이고,
    제4유형은 상부지지대(122)가 회전하면서 상부두께측정센서(124)가 피검대상 디스크(D)의 원주상 a위치에서 b위치로 이동한 선형적인 모양(
    Figure 112022022480105-pat00011
    )으로 제2회전축(121)이 Y축의 y2방향으로 기울어진 경우로, 이를 통해 보정하여 주는 것을 특징으로 하는 디스크 검사장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부지지대(122) 및 하부지지대(123)는 바(bar) 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 디스크 검사장치.
  4. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102580520B1 (ko) * 2023-05-10 2023-09-21 주식회사 라이쏠 고무패킹 폭 검사 장치
CN117629037B (zh) * 2024-01-24 2024-04-09 山东乾通重工科技有限公司 一种电动车碟刹片平面度检测治具

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012117811A (ja) 2010-11-29 2012-06-21 Kunitoshi Nishimura ウエハ平坦度測定法
US20120270477A1 (en) 2011-04-22 2012-10-25 Nangoy Roy C Measurement of pad thickness and control of conditioning
KR101329857B1 (ko) 2012-01-18 2013-11-14 주식회사 비티씨 차량용 브레이크 디스크의 측정장치
US20140367266A1 (en) * 2013-06-12 2014-12-18 Applied Materials, Inc. Fast and continuous eddy-current metrology of a conductive film
KR101856875B1 (ko) * 2016-12-06 2018-05-10 에스케이실트론 주식회사 웨이퍼 캐리어 두께 측정장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200248436Y1 (ko) 2001-06-13 2001-10-29 김승복 차량 브레이크 디스크/드럼의 디티브이 자동측정 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012117811A (ja) 2010-11-29 2012-06-21 Kunitoshi Nishimura ウエハ平坦度測定法
US20120270477A1 (en) 2011-04-22 2012-10-25 Nangoy Roy C Measurement of pad thickness and control of conditioning
KR101329857B1 (ko) 2012-01-18 2013-11-14 주식회사 비티씨 차량용 브레이크 디스크의 측정장치
US20140367266A1 (en) * 2013-06-12 2014-12-18 Applied Materials, Inc. Fast and continuous eddy-current metrology of a conductive film
KR101856875B1 (ko) * 2016-12-06 2018-05-10 에스케이실트론 주식회사 웨이퍼 캐리어 두께 측정장치

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