CN108801179A - 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法 - Google Patents

一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108801179A
CN108801179A CN201810677095.9A CN201810677095A CN108801179A CN 108801179 A CN108801179 A CN 108801179A CN 201810677095 A CN201810677095 A CN 201810677095A CN 108801179 A CN108801179 A CN 108801179A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
axis
circle
module
quadrant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810677095.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108801179B (zh
Inventor
郑元松
娄志峰
王晓东
凌四营
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian University of Technology
Original Assignee
Dalian University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian University of Technology filed Critical Dalian University of Technology
Priority to CN201810677095.9A priority Critical patent/CN108801179B/zh
Publication of CN108801179A publication Critical patent/CN108801179A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108801179B publication Critical patent/CN108801179B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法,属于精密机械误差测量领域。测量装置包括激光器模块、四象限探测器模块、基准轴、待测轴和光学平台。通过分别旋转安装在基准轴上的激光器模块和安装在待测轴上的四象限探测器模块,根据四象限探测器上激光光斑扫描形成轨迹圆的圆心和半径信息,即可准确、快速并简便的测量出两远距离非接触轴的同轴度误差,且测量装置采用模块化设计的思想,将激光器模块和四象限探测器模块安装到其他具有远距离非接触轴结构的精密机械中,同样可实现其同轴度的测量。

Description

一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法
技术领域
本发明属于精密机械误差测量领域,具体涉及一种测量远距离非接触轴同轴度的装置及方法。
背景技术
当连接的两旋转轴之间存在较大同轴度误差时,会使机器在运行过程中产生振动、噪声、加速轴承磨损,缩短机器寿命,甚至产生机械故障。因此,设备安装运行和维护过程中,很有必要测量两旋转轴的同轴度。同轴度测量技术又称轴对中技术,主要用于测量两轴轴线的平行偏差和倾斜偏差。目前常用的方法有打表法、综合量规法和三坐标仪法等。
打表法受自身尺寸因素限制,不适用于远距离非接触轴同轴度测量;综合量规法同样存在测量范围小、量规易损坏的缺点;三坐标仪法测量设备体积大、价格昂贵、对测量环境要求高、且需将被测设备拆卸后置于其操作台上才能进行测量。
发明内容
为克服上述方法在测量远距离非接触轴过程中存在的问题,本发明提出一种测量远距离非接触轴同轴度的装置及方法。
具体技术方案为:
一种远距离非接触轴同轴度测量装置,包括激光器模块、四象限探测器模块、基准轴(1)、待测轴(13)和光学平台(7);其中激光器模块包括密珠轴套(3)、激光器旋转套筒(2)、激光器夹具(4)、半导体激光器(6)、调整螺钉(5);半导体激光器通过间隙配合固定在激光器夹具内孔中,激光器夹具外圆柱面上均匀布置调整螺钉,用于固定激光器并调整激光器的俯仰角和偏摆角,激光器夹具通过螺栓与激光器旋转套筒连接,激光器旋转套筒与基准轴通过密珠轴套连接;四象限探测器模块包括四象限光电探测器(8)、四象限固定夹具(9)、微位移调整平台(10)、四象限旋转套筒(11)、密珠轴套(12);四象限探测器设置于微位移调整平台和四象限固定夹具之间,通过拧紧四象限固定夹具和微位移调整平台之间的连接螺栓,固定四象限探测器,微位移调整平台与四象限旋转套筒通过螺栓连接,四象限旋转套筒通过密珠轴套与待测轴连接。
采用上述装置的远距离非接触轴同轴度测量方法,所述同轴度的测量包括倾斜偏差和平行偏差的测量,具体步骤如下:
第一步,如图2所示,保持四象限探测器模块在待测轴上位置不动,将激光器模块放置于基准轴上位置A处,绕基准轴旋转激光器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O1为圆心,d1为半径的圆;然后沿基准轴轴线方向移动激光器模块到位置C,再次旋转激光器模块,激光光斑扫描形成以O1为圆心,d2为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到两轨迹圆半径d1和d2的值,根据公式其中LAC为位置A与C之间的距离,计算得到激光器光束与基准轴轴线的夹角;根据计算得到的夹角α,利用公式δ=15×tanα计算调整螺钉需调整的位移δ,利用δ调整激光器的俯仰角和偏摆角,调整完后再次重复上述测量过程,直至计算得到的夹角α<5角秒,完成激光器的调整;
第二步,如图3所示,将激光器模块放置在基准轴上位置D处并保持不动,将四象限探测器模块置于待测轴上位置E处,绕待测轴旋转四象限探测器模块,激光光斑扫描形成以O3为圆心,d3为半径的圆,然后,沿待测轴轴线方向移动四象限探测器模块到位置F,再次旋转四象限探测器模块,激光光斑扫描形成以O4为圆心,d4为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到圆心O3和O4的坐标值(x3,y3)和(x4,y4),结合移动距离LEF的大小,利用公式计算得到待测轴轴线和基准轴轴线的倾斜偏差;
第三步,如图4所示,将激光器模块置于基准轴上位置P处,四象限探测器模块置于位置T处,首先保持激光器模块位置不动,绕待测轴旋转四象限探测器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O5为圆心,d5为半径的圆,然后,保持四象限探测器模块不动,绕基准轴旋转激光器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O6为圆心,d6为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到轨迹圆的圆心O5和O6的坐标值(x5,y5),(x6,y6),并利用公式计算得到基准轴轴线和待测轴轴线的平行偏差l。
基于上述测量装置及方法,即可实现远距离非接触轴的同轴度测量。
本发明的有益效果是通过分别旋转安装在基准轴上的激光器模块和安装在待测轴上的四象限探测器模块,根据四象限探测器上激光光斑扫描形成轨迹圆的圆心和半径信息,即可准确、快速并简便的测量出两远距离非接触轴的同轴度误差,且测量装置采用模块化设计的思想,将激光器模块和四象限探测器模块安装到其他具有远距离非接触轴结构的精密机械中,同样可实现其同轴度的测量。
附图说明
图1为测量装置示意图。
图2(a)为激光光束调平原理示意图,(b)为四象限探测器上激光光斑运动轨迹示意图
图3(a)为倾斜偏差测量原理示意图,(b)为四象限探测器上激光光斑运动轨迹示意图。
图4(a)为平行偏差测量原理示意图,(b)为四象限探测器上激光光斑运动轨迹示意图。
图中:1基准轴;2激光器旋转套筒;3密珠轴套;4激光器夹具;5调整螺钉;6半导体激光器;7光学平台;8四象限光电探测器;9四象限固定夹具;10微位移调整平台;11四象限旋转套筒;12密珠轴套;13待测轴;14激光光束;15激光光斑。
具体实施方式
本发明提出了一种远距离非接触轴的同轴度测量装置及方法,以下结合技术方案和说明书附图详细叙述本发明的具体实施方式:
一种远距离非接触轴的同轴度测量装置及方法,测量装置主要包括激光器模块、四象限探测器模块、基准轴、待测轴、光学平台。其中:激光器旋转套筒2、密珠轴套3、激光器夹具4、调整螺钉5、半导体激光器6组成测量装置的激光器模块;四象限光电探测器8、四象限固定夹具9、微位移调整平台10、四象限旋转套筒11、密珠轴套12组成测量装置的四象限探测器模块,所述测量装置还包括基准轴1、光学平台7和待测轴13。
所述测量装置激光器模块具体实施方式如下:半导体激光器6通过间隙配合方式安装在激光器夹具4的内孔中,并在激光器夹具4外圆柱面上安装8个调整螺钉5,用于固定半导体激光器6并调节半导体激光器6的俯仰角和偏摆角,激光器夹具4通过螺栓连接方式与激光器旋转套筒2连接,同时,通过密珠轴套3连接激光器旋转套筒2和基准轴1,从而实现激光器模块绕基准轴1的旋转运动;所述四象限探测器模块具体实施方式如下:四象限探测器8放置于四象限固定夹具9和微位移调整平台10之间,通过拧紧连接四象限固定夹具9和微位移调整平台10螺钉,固定四象限探测器,微位移调整平台10通过螺栓连接和四象限旋转套筒11连接在一起,为实现四象限探测器模块绕待测轴的旋转运动,利用密珠轴套12将四象限旋转套筒11和待测轴13连接。
基于上述测量装置,结合技术方案和说明书附图,详细叙述远距离非接触轴同轴度测量方法的具体实施方式:
第一步,激光光束调平。如图2所示,将四象限探测器模块放置于待测轴1上位置B处并保持不动,先将激光器模块放置于基准轴上位置A处,旋转激光器模块,位于四象限探测器上的激光光斑15扫描形成以O1为圆心,半径为d1的圆,利用最小二乘法拟合得到轨迹圆的半径d1为273.1998μm,然后,沿基准轴轴线方向移动10mm,使激光器模块处于位置C,再次旋转激光器模块,激光光斑扫描形成以O1位圆心,d2为半径的圆,利用最小二乘法拟合得到轨迹圆的半径d2为240.147μm,通过公式计算得到激光器的倾斜角α=0.1891°,根据夹角α,利用公式15×tanα计算调整螺钉5需要调整的位移δ=49.056μm,根据该位移调整激光器的俯仰角和偏摆角,调整完成后再次重复上述测量过程,直至激光器的倾斜角α<5角秒,完成激光光束的调平。
第二步,倾斜偏差测量。如图3所示,将激光器模块放置于基准轴1上位置D处并保持激光器模块不动,先将四象限探测器模块放置于待测轴13上的位置E处,旋转激光器模块,激光光斑15扫描出以O3为圆心,d3为半径的圆,利用最小二乘法拟合得到圆心O3的坐标值为(-513.686μm,-259.922μm),半径d3为594.1987μm,然后,沿待测轴轴线方向移动20mm,使四象限探测器模块处于位置F,再次旋转四象限探测器模块,激光光斑15扫描出以O4为圆心,d4为半径的圆,利用最小二乘法拟合得到圆心O4的坐标值为(-298.153μm,-141.127μm),半径d4为298.6658μm,利用公式将得到的各数值代入公式,计算得到基准轴和待测轴轴线的倾斜偏差β=0.7047°。
第三步,平行偏差测量。如图4所示:将激光器模块放置于基准轴1上位置P处,将四象限模块放置于待测轴13上的位置T处,首先保持激光器不动,绕待测轴13旋转四象限探测器模块,激光光斑扫描形成以O5为圆心,d5为半径的圆,利用最小二乘法拟合得到圆心O5的坐标值为(-103.136μm,-110.191μm),半径d5为77.766μm,然后,保持四象限探测器模块不动,绕基准轴1旋转激光器模块,激光光斑15扫描形成以O6为圆心,d6为半径的圆,利用最小二乘法拟合得到圆心O6的坐标值为(-517.068μm,-261.757μm),半径d6为597.7173μm,则两轴轴线的平行偏差l为将各数值代入公式,得到平行偏差l为440.8083μm。
依据上述三个测量步骤,利用激光光斑扫描形成不同轨迹圆的圆心和半径信息,计算即可得到基准轴轴线和待测轴轴线的倾斜偏差和平行偏差。

Claims (2)

1.一种远距离非接触轴同轴度测量装置,其特征在于,包括激光器模块、四象限探测器模块、基准轴(1)、待测轴(13)和光学平台(7);其中激光器模块包括密珠轴套(3)、激光器旋转套筒(2)、激光器夹具(4)、半导体激光器(6)、调整螺钉(5);半导体激光器通过间隙配合固定在激光器夹具内孔中,激光器夹具外圆柱面上均匀布置调整螺钉,用于固定激光器并调整激光器的俯仰角和偏摆角,激光器夹具通过螺栓与激光器旋转套筒连接,激光器旋转套筒与基准轴通过密珠轴套连接;四象限探测器模块包括四象限光电探测器(8)、四象限固定夹具(9)、微位移调整平台(10)、四象限旋转套筒(11)、密珠轴套(12);四象限探测器设置于微位移调整平台和四象限固定夹具之间,通过拧紧四象限固定夹具和微位移调整平台之间的连接螺栓,固定四象限探测器,微位移调整平台与四象限旋转套筒通过螺栓连接,四象限旋转套筒通过密珠轴套与待测轴连接。
2.采用权利要求1所述装置的远距离非接触轴同轴度测量方法,其特征在于,包括如下步骤:
第一步,保持四象限探测器模块在待测轴上位置不动,将激光器模块放置于基准轴上位置A处,绕基准轴旋转激光器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O1为圆心,d1为半径的圆;然后沿基准轴轴线方向移动激光器模块到位置C,再次旋转激光器模块,激光光斑扫描形成以O1为圆心,d2为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到两轨迹圆半径d1和d2的值,根据公式其中LAC为位置A与C之间的距离,计算得到激光器光束与基准轴轴线的夹角;根据计算得到的夹角α,利用公式δ=15×tanα计算调整螺钉需调整的位移δ,利用δ调整激光器的俯仰角和偏摆角,调整完后再次重复上述测量过程,直至计算得到的夹角α<5角秒,完成激光器的调整;
第二步,将激光器模块放置在基准轴上位置D处并保持不动,将四象限探测器模块置于待测轴上位置E处,绕待测轴旋转四象限探测器模块,激光光斑扫描形成以O3为圆心,d3为半径的圆,然后,沿待测轴轴线方向移动四象限探测器模块到位置F,再次旋转四象限探测器模块,激光光斑扫描形成以O4为圆心,d4为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到圆心O3和O4的坐标值(x3,y3)和(x4,y4),结合移动距离LEF的大小,利用公式计算得到待测轴轴线和基准轴轴线的倾斜偏差;
第三步,将激光器模块置于基准轴上位置P处,四象限探测器模块置于位置T处,首先保持激光器模块位置不动,绕待测轴旋转四象限探测器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O5为圆心,d5为半径的圆,然后,保持四象限探测器模块不动,绕基准轴旋转激光器模块,位于四象限探测器上的激光光斑扫描形成以O6为圆心,d6为半径的圆,根据测量数据,利用最小二乘法拟合得到轨迹圆的圆心O5和O6的坐标值(x5,y5),(x6,y6),并利用公式计算得到基准轴轴线和待测轴轴线的平行偏差l。
CN201810677095.9A 2018-06-27 2018-06-27 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法 Expired - Fee Related CN108801179B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810677095.9A CN108801179B (zh) 2018-06-27 2018-06-27 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810677095.9A CN108801179B (zh) 2018-06-27 2018-06-27 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108801179A true CN108801179A (zh) 2018-11-13
CN108801179B CN108801179B (zh) 2019-08-13

Family

ID=64071648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810677095.9A Expired - Fee Related CN108801179B (zh) 2018-06-27 2018-06-27 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108801179B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109343037A (zh) * 2018-11-27 2019-02-15 森思泰克河北科技有限公司 光探测器安装误差检测装置、方法和终端设备
CN109387824A (zh) * 2018-11-15 2019-02-26 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种激光测距机收发光轴平行性测量方法
CN109696146A (zh) * 2019-01-08 2019-04-30 杭州大和热磁电子有限公司 一种同轴度检测方法
CN109916343A (zh) * 2019-04-08 2019-06-21 西安交通大学 一种采用单个激光传感器检测同轴度的测量方法及系统
CN110186400A (zh) * 2019-06-28 2019-08-30 哈尔滨焊接研究院有限公司 摩擦焊接同轴度精度检测装置及其检测方法
CN111486813A (zh) * 2020-04-30 2020-08-04 中国航发沈阳发动机研究所 一种两转子静态不对中量测量装置及方法
CN111551135A (zh) * 2020-06-30 2020-08-18 安徽理工大学 一种基于psd的大构件双通孔同轴度测量装置及确定方法
CN114459390A (zh) * 2022-02-23 2022-05-10 南京航空航天大学 一种车床尾座同轴度精密检测装置及检测方法
CN114485363A (zh) * 2021-12-28 2022-05-13 上海航天控制技术研究所 一种圆柱金属体卡紧和非接触式定位测量装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1357744A (zh) * 2000-12-29 2002-07-10 天津理工学院 一种利用单光束激光进行准值/轴对中测量的技术
CN102322825A (zh) * 2011-06-02 2012-01-18 南京航空航天大学 超长孔系零件同轴度光学测量系统及方法
CN202994108U (zh) * 2012-12-10 2013-06-12 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种同轴度光学检测装置
CN103727903A (zh) * 2014-01-18 2014-04-16 中国重汽集团济南动力有限公司 一种汽车车架左右纵梁同轴度的检测方法及装置
CN104316001A (zh) * 2014-10-08 2015-01-28 南京航空航天大学 一种无基准孔系同轴度误差测量系统及其测量方法
GB2540194A (en) * 2015-07-09 2017-01-11 Skf Ab System and method for laser alignment of rotary components
CN106989699A (zh) * 2017-05-16 2017-07-28 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心) 激光对中仪校准设备及通过其测量激光对中仪的示值误差的方法
CN107631702A (zh) * 2017-09-15 2018-01-26 广东工业大学 一种非接触式转轴同轴度误差检测方法及装置
CN206989910U (zh) * 2017-05-05 2018-02-09 李桂花 一种数控加工中心检测装置
CN107727007A (zh) * 2017-09-27 2018-02-23 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心) 测量两轴之间对中偏差量的方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1357744A (zh) * 2000-12-29 2002-07-10 天津理工学院 一种利用单光束激光进行准值/轴对中测量的技术
CN102322825A (zh) * 2011-06-02 2012-01-18 南京航空航天大学 超长孔系零件同轴度光学测量系统及方法
CN202994108U (zh) * 2012-12-10 2013-06-12 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种同轴度光学检测装置
CN103727903A (zh) * 2014-01-18 2014-04-16 中国重汽集团济南动力有限公司 一种汽车车架左右纵梁同轴度的检测方法及装置
CN104316001A (zh) * 2014-10-08 2015-01-28 南京航空航天大学 一种无基准孔系同轴度误差测量系统及其测量方法
GB2540194A (en) * 2015-07-09 2017-01-11 Skf Ab System and method for laser alignment of rotary components
CN206989910U (zh) * 2017-05-05 2018-02-09 李桂花 一种数控加工中心检测装置
CN106989699A (zh) * 2017-05-16 2017-07-28 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心) 激光对中仪校准设备及通过其测量激光对中仪的示值误差的方法
CN107631702A (zh) * 2017-09-15 2018-01-26 广东工业大学 一种非接触式转轴同轴度误差检测方法及装置
CN107727007A (zh) * 2017-09-27 2018-02-23 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心) 测量两轴之间对中偏差量的方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
周洁等: "驱动桥两端轴承孔同轴度误差检测", 《汽车实用技术》 *

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109387824A (zh) * 2018-11-15 2019-02-26 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种激光测距机收发光轴平行性测量方法
CN109343037A (zh) * 2018-11-27 2019-02-15 森思泰克河北科技有限公司 光探测器安装误差检测装置、方法和终端设备
CN109696146A (zh) * 2019-01-08 2019-04-30 杭州大和热磁电子有限公司 一种同轴度检测方法
CN109916343A (zh) * 2019-04-08 2019-06-21 西安交通大学 一种采用单个激光传感器检测同轴度的测量方法及系统
CN110186400A (zh) * 2019-06-28 2019-08-30 哈尔滨焊接研究院有限公司 摩擦焊接同轴度精度检测装置及其检测方法
CN110186400B (zh) * 2019-06-28 2024-04-26 中国机械总院集团哈尔滨焊接研究所有限公司 摩擦焊接同轴度精度检测装置及其检测方法
CN111486813A (zh) * 2020-04-30 2020-08-04 中国航发沈阳发动机研究所 一种两转子静态不对中量测量装置及方法
CN111551135A (zh) * 2020-06-30 2020-08-18 安徽理工大学 一种基于psd的大构件双通孔同轴度测量装置及确定方法
CN114485363A (zh) * 2021-12-28 2022-05-13 上海航天控制技术研究所 一种圆柱金属体卡紧和非接触式定位测量装置
CN114485363B (zh) * 2021-12-28 2023-09-29 上海航天控制技术研究所 一种圆柱金属体卡紧和非接触式定位测量装置
CN114459390A (zh) * 2022-02-23 2022-05-10 南京航空航天大学 一种车床尾座同轴度精密检测装置及检测方法
CN114459390B (zh) * 2022-02-23 2023-02-03 南京航空航天大学 一种车床尾座同轴度精密检测装置及检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108801179B (zh) 2019-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108801179A (zh) 一种远距离非接触轴同轴度测量装置及方法
CN109357631B (zh) 一种基于激光位移传感器的测量系统中心标定方法
CN109141295B (zh) 一种多级旋转体同轴度误差的测量装置及其测量方法
CN110926364B (zh) 基于线结构光的叶片检测方法
CN1281921C (zh) 基于动态差动补偿方法的二维光电自准直装置和测量方法
CN1304880C (zh) 漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法
Gao et al. Precision measurement of multi-degree-of-freedom spindle errors using two-dimensional slope sensors
CN102059589B (zh) 激光位移传感器倾斜角误差的检测装置及方法
CN103528514B (zh) 机器视觉多视场协同机构及装有该机构的测量与检测装置
CN101044370A (zh) 用于校准多轴计量系统的几何形状的方法
CN110926365B (zh) 一种基于线结构光检测物标定方法
CN104596402A (zh) 电机定子端盖止口与定子铁芯同轴度检测装置
CN101629816A (zh) 可消除零件定位误差的复杂回转体轮廓测量方法及装置
CN109238157A (zh) 转盘半径及安装偏心四转位坐标增量检测方法及检测装置
CN106767902B (zh) 一种星敏感器主点测量装置及其方法
CN1388891A (zh) 对准光学测量系统的光学部件
CN112013797B (zh) 基于圆柱体和线结构光标定空间回转轴线的方法及其应用
CN111023992B (zh) 基于线结构光的截面曲线特征检测方法及其应用
CN1703609A (zh) 可重复安装在真空室的墙壁上的激光干涉仪
CN109084960B (zh) 一种双平行光管式跟瞄转台指向精度测试系统及方法
Zhao et al. Error identification and compensation for a laser displacement sensor based on on-machine measurement
CN207636038U (zh) 一种基于投影成像的轴形位公差测量仪
KR100912651B1 (ko) 자동 영상 검사 장치
CN110345838A (zh) 一种四轴离心机工作半径的测量方法
CN108151672A (zh) 一种基于投影成像的轴形位公差测量仪

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190813