JP2019506298A - システム隔離及び光学部品ベイ封止 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書において開示される実施形態は、概して、レーザ加工システムに関し、特に振動隔離及び環境封止のための構成に関するものである。
通常、レーザ加工システムは、レーザ源、レーザ源により生成されたレーザエネルギーを調整(例えば、拡大、コリメート、フィルタ、偏極、集束、減衰、反射など)するためのレーザ光学部品、調整されたレーザエネルギーをワークピースに導くためのビーム伝搬システム、及びレーザ加工システム内でワークピースを移動ないしは位置決めするためのワークピース位置決めシステムなどの構成要素を含んでいる。ワークピース位置決めシステムは、典型的には、レーザ加工システム内でワークピースを移動させる1以上の運動ステージ(例えば、直動ステージ、回転ステージなど、あるいはこれらを任意に組み合わせたもの)を含んでいる。ビーム伝搬システムは、スキャンレンズ、ビーム位置決めシステム(例えば、1以上のガルボ駆動ミラー、1以上のファーストステアリングミラーなど)など、あるいはこれらを任意に組み合わせたものを含み得る。レーザ加工システムは、ワークピースの上でビーム伝搬システムの1以上の構成要素(例えば、スキャンレンズ、1以上のガルボ駆動ミラー、1以上のファーストステアリングミラーなど)を支持するためのガントリを含んでいる場合がある。ガントリが含まれる場合、ビーム伝搬システムは、ガントリに対してスキャンレンズ、1以上のガルボ駆動ミラー、1以上のファーストステアリングミラーなどを移動させるための1以上の運動ステージ(例えば、直動ステージ、回転ステージなど、あるいはこれらを任意に組み合わせたもの)をさらに含み得る。
Claims (21)
- システムフレームと、
前記システムフレームにより支持され、前記システムフレームに対して移動可能なプロセスフレームであって、レーザ源、ワークピース位置決めシステム及びビーム伝搬システムを支持するように構成されるプロセスフレームと、
前記プロセスフレームに連結される光学部品壁と、
前記システムフレームに連結され、前記光学部品壁の上側周縁領域及び横側周縁領域にわたってこれらの近傍で延びるプロセスシュラウドであって、前記プロセスシュラウド、前記光学部品壁及び前記プロセスフレームは、ワークピースのレーザ加工のための第1の空間を取り囲み、前記プロセスフレームは前記プロセスシュラウドに対して移動可能であるプロセスシュラウドと、
前記プロセスシュラウドに連結される光学部品シュラウドであって、前記光学部品シュラウド、前記光学部品壁及び前記プロセスフレームは、前記レーザ源を収容するための第2の空間を取り囲み、前記プロセスフレームは前記光学部品シュラウドに対して移動可能である光学部品シュラウドと
を備える、レーザ加工システム。 - 前記プロセスシュラウドと前記光学部品壁との間に配置された柔軟封止材をさらに備える、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記光学部品シュラウドと、前記プロセスフレーム及び前記システムフレームからなる群から選択される少なくとも1つとの間に配置される柔軟封止材をさらに備える、請求項1にレーザ加工システム。
- 前記プロセスフレームを支持するプロセスベースと、
前記システムフレーム上に前記プロセスベースを支持するマウントと
をさらに備える、請求項1のレーザ加工システム。 - 前記プロセスベースは、グラナイトからなるブロックを含む、請求項4のレーザ加工システム。
- 前記マウントはエラストマー材料を含む、請求項4のレーザ加工システム。
- 前記光学部品壁は、内部に規定されたビームポートを含み、前記ビームポートは、前記レーザ源により生成可能なレーザエネルギーを伝搬するように構成される、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記レーザ源をさらに備え、前記レーザ源は、前記プロセスフレームに設置される、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記レーザ源をさらに備え、前記レーザ源は、前記第2の空間内に配置される、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記ワークピース位置決めシステムをさらに備え、前記ワークピース位置決めシステムは、前記プロセスフレームに設置され、前記第1の空間内に配置される、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記ビーム伝搬システムをさらに備え、前記ビーム伝搬システムは、前記第1の空間内に配置される、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記プロセスフレーム上に設置され、前記第1の空間内に配置されたガントリをさらに備える、請求項1のレーザ加工システム。
- 前記ビーム伝搬システムをさらに備え、前記ビーム伝搬システムは、前記ガントリに設置される、請求項12のレーザ加工システム。
- 前記第2の空間内に配置されたポンプをさらに備え、前記ポンプは、前記第2の空間を加圧するように構成される、請求項1のレーザ加工システム。
- レーザ加工システムであって、
システムフレームと、
前記システムフレームにより支持され、光学部品シュラウドにより部分的に規定される光学部品ベイであって、レーザ源を収容するように構成された光学部品ベイと、
前記システムフレームにより支持され、プロセスシュラウドにより部分的に規定されるプロセスベイであって、前記光学部品ベイと光学的に接続され、ビーム伝搬システム及びワークピース位置決めシステムを収容するように構成されたプロセスベイと
を備え、
前記光学部品シュラウド及び前記プロセスシュラウドのそれぞれは、前記レーザ加工システムの外面を部分的に規定する、
レーザ加工システム。 - 前記レーザ源をさらに備え、前記レーザ源は、レーザエネルギーを生成するように構成され、前記光学部品ベイ内に配置される、請求項15のレーザ加工システム。
- 前記ワークピース位置決めシステムをさらに備え、前記ワークピース位置決めシステムは、ワークピースを移動するように構成され、前記プロセスベイ内に配置される、請求項15のレーザ加工システム。
- 前記ビーム伝搬システムをさらに備え、前記ビーム伝搬システムは、前記レーザ源により生成可能なレーザエネルギーを案内するように構成され、前記プロセスベイ内に配置される、請求項15のレーザ加工システム。
- 前記第1の空間内に配置されるガントリをさらに備える、請求項15のレーザ加工システム。
- 前記ビーム伝搬システムをさらに備え、前記ビーム伝搬システムは、前記ガントリに設置される、請求項19のレーザ加工システム。
- 自由空間ビーム伝搬システムをさらに備え、前記プロセスベイは、前記光学部品ベイと光学的に接続される、請求項15のレーザ加工システム。
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