JP2019219052A5 - - Google Patents

Description

本発明の真空バルブは、主弁体の外部に副弁座を設け、この副弁座を、前記主弁体の外部に配置した副弁体で開閉するように構成することで、従来の真空バルブのように主弁体の内部に設けた副弁座を該主弁体の内部に収容した副弁体で開閉するものに比べ、真空バルブの構造の簡略化と小型化とを実現することができる。

Claims (6)

1. ハウジングに形成された第１ポート及び第２ポートと、前記ハウジングの内部に該第１ポートと第２ポートとを結ぶように形成された主流路と、該主流路を取り囲む主弁座と、該主弁座に接離することにより前記主流路を開閉する主弁体と、該主弁体の内部に前記主流路と並列をなすように形成された副流路と、前記主弁体に該副流路を取り囲むように形成された副弁座と、該副弁座に接離することにより前記副流路を開閉する副弁体と、前記主弁体及び副弁体を開閉操作する開閉操作機構とを有し、
   前記ハウジングの内部には、ロッドが前記主弁体を摺動自在に貫通するように配設され、該ロッドの軸線方向の一端である基端部に前記開閉操作機構が連結されると共に、該ロッドの軸線方向の他端である先端部に前記副弁体が、前記主弁体の外部で該主弁体に接離するように配設され、該主弁体の外面の前記副弁体が当接する部分に前記副弁座が形成されており、
   前記主弁体は、前記主弁座に接離する円盤部材と、該円盤部材とは別体に形成されて該円盤部材と組み合わされた円筒部材とを有し、前記円盤部材と円筒部材との間に前記副流路が形成されると共に、前記円盤部材に前記副弁座が形成され、前記円筒部材の内周に、前記ロッドをガイドする軸受部材と、該円筒部材の内周と前記ロッドの外周との間をシールするシール部材とが設けられており、
   前記副弁体は、前記ロッドで直接操作されることにより前記副流路を開閉し、
   前記主弁体は、前記ロッドで前記副弁体を介して操作されることにより前記主流路を開閉する、
   ことを特徴とする真空バルブ。
2. 前記ロッドは、分離可能なるように連結された先端側の第１ロッド部と基端側の第２ロッド部とを有し、
   前記第１ロッド部は、前記主弁体を貫通していて、該第１ロッド部の先端に前記副弁体が設けられており、
   前記第２ロッド部は、前記開閉操作機構に連結されており、
   前記主弁体は、前記第１ロッド部を前記第２ロッド部から分離することによって前記ロッドから取り外し可能である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
3. 前記ロッドには、筒状をしたばね受け部材が、該ロッドに沿って変位自在であるが、前記第２ロッド部に係止することによって該第２ロッド部から分離不能なるように取り付けられ、
   前記ばね受け部材には、前記主弁体の円筒部材が嵌合する筒状のカバー部と、第１ばね座及び第２ばね座とが設けられ、
   前記第１ばね座と前記ハウジングに形成された主ばね座との間に、前記主弁体を前記主弁座に当接する方向に付勢する主弁ばねが圧縮状態に介設され、
   前記第２ばね座と前記ロッドに形成された副ばね座との間に、該ロッドを介して前記副弁体を前記副弁座に当接する方向に付勢する副弁ばねが圧縮状態に介設され、
   前記主弁体には、前記主弁ばね及び副弁ばねを取り囲むベローズの一端が連結され、該ベローズの他端は前記ハウジングに連結されている、
   ことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
4. 前記副弁体は、前記ロッドの前進動作により、前記副弁座から離れて前記副流路を開放し、
   前記主弁体は、前記ロッドの後退動作により、前記副弁体を介して変位し、前記主弁座から離れて前記主流路を開放する、
   ことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の真空バルブ。
5. 前記開閉操作機構は、１つの流体圧シリンダにより形成されていて、前記ロッドに連結されたピストンと、該ピストンの一側に形成された第１圧力室と、該ピストンの他側に形成された第２圧力室とを有し、前記ピストンは前記ロッドに連結されており、前記第１圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが前進して前記副弁体が副流路を開放し、前記第２圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが後退して前記主弁体が主流路を開放することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の真空バルブ。
6. 前記真空バルブは、前記副弁体の開度を調整する開度調整機構を有し、該開度調整機構は、前記ハウジングの側面に形成された操作口を通じて回転操作可能な調整ナットと、該調整ナットが噛み合うストッパとを有し、該ストッパは、前記調整ナットを回転操作することによって軸線方向に変位可能であり、該ストッパの位置に応じて前記副弁体の開度が調整されるように構成されたことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の真空バルブ。