JP2019205994A - 限外ろ過膜モジュール及び限外ろ過膜モジュールを用いた超純水製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の超純水製造方法によれば、微量イオン成分が著しく低減された超純水、特に温超純水に好適な超純水を得ることができる。
(第1の実施形態)
図1に示す本実施形態の限外ろ過膜モジュール10は、複数本の中空糸膜1と、該中空糸膜1を収容する筒状ケース2と、中空糸膜1の両端部を筒状ケース内に固定する一対の固定部3a,3bとを備える。限外ろ過膜モジュール10は、筒状ケース2の両端に、それぞれノズル6a,6bを有する配管接続キャップ60a,60bを有している。配管接続キャップの筒状ケース2の端部との当接部61a,61bにはそれぞれ溝が形成され、配管接続キャップは、当該溝に配置された図示しないОリングと、配管接続キャップの一部を覆い筒状ケース2の端部に固定するナット(図示せず。)によって、筒状ケース2に装着されている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
この第2の実施形態に係る限外ろ過膜装置及び超純水製造方法は、基本的に、第1の実施形態で説明した限外ろ過膜モジュールを用いる点で同一の構成を有するが、限外ろ過膜装置30に用いる限外ろ過モジュールとして、限外ろ過膜モジュールの2つを接続した2段構成となっている点のみが異なる。すなわち、図4に示したように、第1の限外ろ過膜モジュール30aと第2の限外ろ過膜モジュール10とを接続した構成としたり、図5に示したように、第1の限外ろ過膜モジュール及び第2の限外ろ過膜モジュールとしていずれも本実施形態の限外ろ過膜モジュール10を用い、これらを接続した構成としたり、できる。
第2の限外ろ過膜モジュールでの処理は、第1の実施形態で説明した通りである。なお、この第2の限外ろ過膜モジュールにおいては、濃縮水を流出させてもよいが、バルブV1を閉じて、全量ろ過とすることも可能である。
また、この実施形態では、限外ろ過膜モジュールを上記のように2段構成としつつ、第2の限外ろ過膜モジュールが上記第1の実施形態で説明した限外ろ過膜モジュールであるため、塩化物イオンなどのイオン成分を著しく低減した超純水を得ることができるという多大な効果が得られる。
この場合、被処理水が第2の限外モジュール10の下方の導入管であるノズル2aから導入され、中空糸膜を透過した透過水を鉛直方向(上方)のノズル6bから取得し、中空糸膜を透過して排出水を鉛直方向(下方)のノズル6aから流出させる。中空糸膜を透過しない濃縮水はノズル2bから流出させてもよいが、上記のように流出させずに全量ろ過することも可能である。
外圧式両端集水型の限外ろ過膜モジュール(旭化成社製のOLT−6036VA)を用いて以下のように水処理を行った。なお、本例で使用した外圧式両端集水型の限外ろ過膜モジュールは、図1と同様の立体構造であり、ノズル2aから被処理水が導入され、ノズル2bから濃縮水が流出されるが、ノズル6a及びノズル6bの両方から透過水を集水するように設計されている。
中空糸膜の内径0.6mm
有効膜面積34m2
モジュール(筒状ケース)の内径172mm
モジュール(筒状ケース)の長さ1177mm
限外ろ過膜の公称分画分子量6000
最高膜内外面差圧300kPa(25℃)
上記外圧式両端集水型の限外ろ過膜モジュールと基本的に同一構造であるが、ノズル6bから透過水を、ノズル6aから排出水を流出させ、片側から集水する限外ろ過膜モジュールを用い、その筒状ケース側面に配置されたノズル2aから、上記で得られた温純水(80℃に加温した純水)を限外ろ過膜モジュール内に導入して外圧式でろ過処理した。バルブV1の開度を、ノズル2aから供給された一次純水の流量(m3/h)に対して、ノズル2bから流出する濃縮水流出量が3%となるように設定した。また、限外ろ過膜を透過した水のうち、ノズル6a及びノズル6bから流出する合計流量に対して、ノズル6aから排出水として流出させる流量を2%、ノズル6bから集水する透過水量を98%となるようにバルブV2の開度を設定した。
上記外圧式両端集水型の限外ろ過膜モジュールを用い、実施例1と同様にノズル2aから上記で得られた温純水(80℃に加温した純水)を限外ろ過膜モジュール内に導入した。ただし、濃縮水はノズル2bから実施例1と同流量(供給された一次純水の流量に対して濃縮水流出量3%)で流出させ、限外ろ過膜モジュールの両端に配置されたノズル6a及び6bの両方から透過水を集水した。実施例1と同様に、限外ろ過膜モジュール内への温純水の供給開始からの日数に対する、透過水中の塩化物イオン濃度(as Cl)の経時変化を測定した。結果を表1に示す。また、実施例1及び比較例の塩化物イオン濃度の経時変化を図6のグラフに示す。
実施例1において、バルブV2の開度の設定により、ノズル6a及びノズル6bから流出する合計流量に対して、ノズル6aから排出水として流出させる流量を表2のように0%〜10%の範囲で変更して、ノズル6bから透過水を集水した。限外ろ過膜モジュールへの温純水の通水開始から55日後に、得られた透過水中の塩化物イオン濃度(as Cl)を測定した。結果を表2に示す。また、実施例2における、透過水排水流量比と透過水中の塩化物イオン濃度の関係を、図7のグラフに示す。
Claims (8)
- 限外ろ過膜からなる複数本の中空糸膜と、前記複数本の中空糸膜を収容する筒状ケースと、からなる限外ろ過膜モジュールであって、
前記筒状ケースは、その外周面に、前記筒状ケースの軸方向に互いに離間して配設された第1のノズル及び第2のノズルと、前記筒状ケースの両端部に配設された第3のノズル及び第4のノズルと、前記複数本の中空糸膜を、前記複数本の中空糸膜の開口端が前記筒状ケースの両端部それぞれに向くように前記筒状ケースの軸方向に沿わせて固定するとともに、前記筒状ケースの一方の端部と前記第1のノズルの間及び前記筒状ケースの他方の端部と前記第2のノズルの間の各位置で前記筒状ケースを封止する一対の固定部と、を備え、
前記第1のノズルは、被処理水を導入する被処理水導入管であり、前記第2のノズルは、前記中空糸膜を透過しない濃縮水を流出させる濃縮水流出管であり、
前記第3のノズルは、前記中空糸膜を透過した透過水を流出させる透過水流出管であり、前記第4のノズルは、前記中空糸膜を透過した排出水を流出させる排出水流出管であることを特徴とする限外ろ過膜モジュール。 - 前記透過水流出管が、前記被処理水導入管よりも前記濃縮水流出管と近接して設けられている請求項1に記載の限外ろ過膜モジュール。
- 前記固定部は、エポキシ樹脂からなる請求項1又は2に記載の限外ろ過膜モジュール。
- 前記排出水流出管からの流出量に対する前記透過水流出管からの流出量の比の値(透過水流出管からの流出量/排出水流出管からの流出量)が、90/10以上99/1以下である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の限外ろ過膜モジュール。
- 限外ろ過膜からなる複数本の中空糸膜と、前記複数本の中空糸膜を収容する筒状ケースと、からなる限外ろ過膜モジュールであって、
前記筒状ケースは、その外周面に、前記筒状ケースの軸方向に互いに離間して配設された第1のノズル及び第2のノズルと、前記筒状ケースの両端部に配設された第3のノズル及び第4のノズルと、
前記複数本の中空糸膜を、前記複数本の中空糸膜の開口端が前記筒状ケースの両端部それぞれに向くように前記筒状ケースの軸方向に沿わせて固定するとともに、前記筒状ケースの一方の端部と前記第1のノズルの間及び前記筒状ケースの他方の端部と前記第2のノズルの間の各位置で前記筒状ケースを封止する一対の固定部と、を備えた限外ろ過モジュールにおいて、
前記第1のノズルから被処理水を前記限外ろ過膜モジュール内に導入し、前記第2のノズルから前記中空糸膜を透過しない濃縮水を流出させ、
前記筒状ケースの前記第3のノズルから前記中空糸膜を透過した透過水を流出させ、前記第4のノズルから前記中空糸膜を透過した排出水を流出させて、
前記透過水を超純水として得ることを特徴とする超純水製造方法。 - 前記被処理水中の塩化物イオン(Cl−)濃度が0.01μg/L以上2μg/L以下(as Cl)である請求項5に記載の超純水製造方法。
- 前記被処理水中の塩化物イオン(Cl−)濃度が1ng/L以下(as Cl)である請求項5に記載の超純水製造方法。
- 前記限外ろ過膜モジュールの透過水中の塩化物イオン(Cl−)濃度が5ng/L以下(as Cl)である請求項5乃至7のいずれか1項に記載の超純水製造方法。
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