JP2005118734A - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005118734A JP2005118734A JP2003358838A JP2003358838A JP2005118734A JP 2005118734 A JP2005118734 A JP 2005118734A JP 2003358838 A JP2003358838 A JP 2003358838A JP 2003358838 A JP2003358838 A JP 2003358838A JP 2005118734 A JP2005118734 A JP 2005118734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- ultrapure water
- water production
- production apparatus
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】膜脱気手段による溶存酸素低減効果を維持しつつ、膜脱気手段から溶出した不純物を効果的に除去し、高水質の超純水を安定して供給できるようにした超純水製造装置を提供する。
【解決手段】一次純水を超純水へと精製する超純水製造装置のサブシステムにおいて、非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に、膜脱気手段から溶出してきた成分を除去する、イオン交換機能を有するイオン吸着膜を配置したことを特徴とする超純水製造装置。
【選択図】図1
【解決手段】一次純水を超純水へと精製する超純水製造装置のサブシステムにおいて、非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に、膜脱気手段から溶出してきた成分を除去する、イオン交換機能を有するイオン吸着膜を配置したことを特徴とする超純水製造装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、超純水製造装置に関し、とくに、溶存酸素濃度が極めて低く、さらに他の不純物濃度も極めて低い超純水を得ることが可能な超純水製造装置に関する。
一次純水製造システムと、一次純水を超純水へと精製するサブシステムとを備えた超純水製造装置は、電子工業分野、中でも半導体製造分野に広く適用されている(たとえば、特許文献1、特許文献2)。この超純水には、極めて低い不純物濃度が要求されるので、各ユースポイントにおける不純物濃度を低く保つために、超純水製造装置のサブシステムとは別に、移送配管中からの不純物も含めて除去できるように各ユースポイント直前にイオン交換膜を設けるシステムが提案されている(たとえば、特許文献3)。また、超純水中の溶存酸素は、たとえばシリコンウエハの自然酸化膜の厚さをコントロールする上で特に重要な因子であり、最近では1μg/l以下の低溶存酸素濃度が要求されるようになってきた。
このような低溶存酸素濃度の要求を満たすために、超純水製造装置のサブシステム内に膜脱気手段を設置することが多くなってきた(たとえば、特許文献4)。サブシステムに膜脱気手段を設置する箇所としては、通常、(1)紫外線酸化装置、膜脱気手段、非再生型混床式イオン交換手段(代表的には、カートリッジポリッシャ〔以下、「CP」と略称することもある。〕)の順に配置するか、または(2)紫外線酸化装置、CP、膜脱気手段の順に配置するかのどちらかとなる。
上記(1)の配置は、膜脱気手段から溶出してきた不純物をその後段のCPで取るためにこの方式を採っているが、最近、紫外線酸化装置で生成した過酸化水素がCPを通ることによって分解して酸素が発生し、溶存酸素濃度を増加させることが分かってきたので、上記(2)の方式を採るのが一般的となっている。しかし、膜脱気手段から溶出した不純物は、粒子であれば後段に設けられた限外濾過手段(以下、「UF」と略称することもある。)等の膜濾過手段で除去可能であるが、イオンやコロイド状の不純物はそのまま通過するので、超純水を汚染してしまうことが分かってきた。
特開2003−124177号公報
特開2003−10849号公報
特開平8−89954号公報
特開平9−29251号公報
そこで本発明の課題は、上記のような知見に基づき、超純水製造装置のサブシステムにおいて、膜脱気手段による溶存酸素低減効果を維持しつつ、膜脱気手段から溶出した不純物を効果的に除去し、高水質の超純水を安定して供給できるようにした超純水製造装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明に係る超純水製造装置は、一次純水を超純水へと精製する超純水製造装置のサブシステムにおいて、非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に、膜脱気手段から溶出してきた成分を除去する、イオン交換機能を有するイオン吸着膜を配置したことを特徴とするものからなる。
すなわち、本発明者らは、超純水製造装置のサブシステムにおける金属不純物の濃度の推移を調べた結果、CP出口で金属不純物の濃度は低下するが膜脱気手段の出口で金属不純物の濃度が一部元素について上昇してしまうことを確認した。イオン交換機能を有するイオン吸着膜をCPと膜脱気手段の後段にイオン交換機能を有するイオン吸着膜を配置することにより、膜脱気手段による溶存酸素低減効果を維持しつつ、膜脱気手段から溶出した上記のような不純物を、イオン吸着膜で適切に除去し、高純度な超純水を提供できるようにしたものである。
上記イオン吸着膜は、サブシステム内における非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段であれば、任意の位置に配置可能である。たとえば、非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に設けられた膜濾過手段の前段に配置されてもよく、その膜濾過手段の後段に配置されてもよい。膜濾過手段としては、通常、限外濾過手段が用いられるが、精密濾過手段等も使用可能である。
上記イオン吸着膜としては、その官能基がカチオン交換基であるもの、官能基がアニオン交換基であるもの、官能基がキレート交換基であるもののいずれも使用可能であり、さらに、官能基が、カチオン、アニオン、キレート交換基の少なくとも2つの交換基からなるもの(つまり、組み合わされたもの)も使用可能である。これらの官能基のうち、溶出してくる成分に応じて適用する官能基を選択すればよい。
本発明に係る超純水製造装置によれば、サブシステムの膜脱気手段の出口側にイオン吸着膜を設けることで、膜脱気手段による溶存酸素低減効果を維持しつつ、膜脱気手段から溶出してきた不純物を効果的に除去でき、高水質の超純水を安定して供給することが可能となる。
以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施態様に係る超純水製造装置1を、図2は、別の実施態様に係る超純水製造装置21を、それぞれ示している。図1および図2の超純水製造装置において異なる点はイオン吸着膜を配置する位置のみであり、その他は実質的に同じ構成を有している。
図1は、本発明の一実施態様に係る超純水製造装置1を、図2は、別の実施態様に係る超純水製造装置21を、それぞれ示している。図1および図2の超純水製造装置において異なる点はイオン吸着膜を配置する位置のみであり、その他は実質的に同じ構成を有している。
図1は、超純水製造装置1における、一次純水製造システム(図示略、周知のいずれの構成を有するものも使用可能である。)で生成された一次純水を超純水へと精製するサブシステム2(二次純水システムとも言う。)を示している。一次純水製造システムから供給されてきた一次純水3は、一旦サブタンク4に貯留される。サブタンク4に貯留された一次純水は、ポンプ5により、熱交換器6に送られ、後段の紫外線酸化に好適な温度に調整された後、紫外線酸化装置7に送られる。紫外線酸化装置7により酸化処理が行われた後、非再生型混床式イオン交換手段としてのカートリッジポリッシャ8に送られ、イオン交換処理が行われる。カートリッジポリッシャ8からは、膜脱気手段9に送られ、純水中の溶存酸素が除去される。ここまでは従来のサブシステムと実質的に同じ構成である。
本実施態様では、上記膜脱気手段9の後段に、膜脱気手段9から溶出してきた成分を除去する、イオン交換機能を有するイオン吸着膜10が配置されている。イオン吸着膜10で、主として膜脱気手段9からの溶出成分が除去された純水は、膜濾過手段としての限外濾過手段11(「UF」と略称して図示してある。)に送られ、主として粒子状不純物が除去されて、精製された超純水として所定のユースポイント12に送られる。つまり本実施態様では、イオン吸着膜10が、カートリッジポリッシャ8と膜脱気手段9の後段で、かつ、膜濾過手段としての限外濾過手段11の前段に配置されている。
図2に示した超純水製造装置21のサブシステム22においては、図1に示した態様に比べ、イオン吸着膜10が、カートリッジポリッシャ8と膜脱気手段9の後段で、かつ、膜濾過手段としての限外濾過手段11の後段に配置されている。その他の構成は、図1に示した態様と実質的に同じである。
図3は、比較のために、従来の超純水製造装置31のサブシステム32の一例を示しており、上記図1、図2に示した本発明の実施態様に比べて、サブシステム32内にイオン吸着膜が設けられていない。
上記図1、図2に示した本発明の実施態様に係る超純水製造装置1、21においては、膜脱気手段9による溶存酸素除去効果は実質的にそのまま維持されつつ、膜脱気手段9から溶出してきた不純物成分が、とくに限外濾過手段11では除去困難な不純物成分が、イオン吸着膜10により除去される。したがって、所定のユースポイント12には、溶存酸素が良好に除去されるとともに、他の不純物成分も良好に除去された、高純度の超純水が安定して供給されることになる。
上記イオン吸着膜10としては、たとえば100μm以下の孔径を持ち、かつイオン交換機能を持つものであればよく、材質、型式等に特に制限はない。イオン吸着膜10としては、たとえば市販のイオン交換基をMF膜(精密フィルター膜)等の膜素材に導入したもの等が使用できる。膜素材としては、プリーツ型や中空糸型、特開2003−112060号公報の記載にあるような多孔質体などが挙げられる。膜素材に導入されるイオン交換基は、カチオン交換基、キレート形成基、アニオン交換基のいずれか、もしくは溶出してくる成分に応じてこれらの少なくとも2つを組み合わせた状態で使用することができる。
なお、サブシステム(二次純水製造装置)の構成についても何ら図1や図2に示すものに限定されない。一般に二次純水装置は、給水ポンプ、熱交換器、低圧紫外線酸化装置、非再生型混床式イオン交換装置、膜脱気装置、UF又はMFで構成されるが、RO膜(逆浸透膜)分離装置、電気脱塩装置等の脱塩装置、有機物吸着装置、ホウ素除去用樹脂などが設けられていてもよい。
実施例1、2、比較例1
図1、図2に示したシステム構成を有する超純水製造装置を用いて二次純水製造装置(サブシステム)で超純水を製造した。イオン吸着膜はカチオン交換基が導入されたものを使用した。図1に示した超純水製造装置を用いた場合を実施例1、図1に示した超純水製造装置を用いた場合を実施例2とした。これに対し、膜脱気手段をバイパスした場合、つまり、図3に示したシステム構成を有する超純水製造装置を用いて二次純水製造装置(サブシステム)で超純水を製造した場合を比較例1とした。実施例1、2、比較例1のそれぞれにおいて、カートリッジポリッシャー入口、カートリッジポリッシャー出口、膜脱気出口、イオン吸着膜出口、UF出口のそれぞれについて、Na、Al、Ca、Fe、Znに関して水質分析を行った。結果を表1〜3に示す。
図1、図2に示したシステム構成を有する超純水製造装置を用いて二次純水製造装置(サブシステム)で超純水を製造した。イオン吸着膜はカチオン交換基が導入されたものを使用した。図1に示した超純水製造装置を用いた場合を実施例1、図1に示した超純水製造装置を用いた場合を実施例2とした。これに対し、膜脱気手段をバイパスした場合、つまり、図3に示したシステム構成を有する超純水製造装置を用いて二次純水製造装置(サブシステム)で超純水を製造した場合を比較例1とした。実施例1、2、比較例1のそれぞれにおいて、カートリッジポリッシャー入口、カートリッジポリッシャー出口、膜脱気出口、イオン吸着膜出口、UF出口のそれぞれについて、Na、Al、Ca、Fe、Znに関して水質分析を行った。結果を表1〜3に示す。
表1〜3に示す通り、カートリッジポリッシャー出口では定量下限値である0.1ng/l以下まで不純物量を低減できたが、膜脱気手段出口でNa、Ca、Zn、Feに濃度の上昇が見られた。比較例1では、UFではこれを除去することができず、Na、Ca、Zn、Fe濃度が検出された。これに対して、イオン吸着膜を設けた実施例1では膜脱気出口で濃度の上昇が見られたNa、Ca、Zn、Feがイオン吸着膜で除去され、UF出口では(つまり、サブシステム出口では)。定量下限値である0.1ng/l以下の超純水を安定供給することができた。同様に、実施例2でも、膜脱気出口で濃度の上昇が見られたNa、Ca、Zn、Feの濃度はUF出口まで継続されたが、これらがイオン吸着膜で除去されて、サブシステム出口では、定量下限値である0.1ng/l以下の超純水を安定供給することができた。これらの結果から、サブシステム内の膜脱気手段よりも後段にイオン吸着膜を配置することにより、高純度の超純水を安定して供給できるようになることが確認できた。
本発明に係る超純水製造装置は、溶存酸素濃度が極めて低く、さらに他の不純物濃度も極めて低い超純水を得ることが要求されるあらゆる用途に適用でき、とくに高純度の超純水が要求される電子工業分野に好適である。
1、21 超純水製造装置
2、22 サブシステム
3 一次純水
4 サブタンク
5 ポンプ
6 熱交換器
7 紫外線酸化装置
8 非再生型混床式イオン交換手段としてのカートリッジポリッシャ
9 膜脱気手段
10 イオン吸着膜
11 膜濾過手段としての限外濾過手段(UF)
12 ユースポイント
2、22 サブシステム
3 一次純水
4 サブタンク
5 ポンプ
6 熱交換器
7 紫外線酸化装置
8 非再生型混床式イオン交換手段としてのカートリッジポリッシャ
9 膜脱気手段
10 イオン吸着膜
11 膜濾過手段としての限外濾過手段(UF)
12 ユースポイント
Claims (8)
- 一次純水を超純水へと精製する超純水製造装置のサブシステムにおいて、非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に、膜脱気手段から溶出してきた成分を除去する、イオン交換機能を有するイオン吸着膜を配置したことを特徴とする超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜が、前記非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に設けられた膜濾過手段の前段に配置されている、請求項1の超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜が、前記非再生型混床式イオン交換手段と膜脱気手段の後段に設けられた膜濾過手段の後段に配置されている、請求項1の超純水製造装置。
- 前記膜濾過手段が限外濾過手段からなる、請求項2または3の超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜の官能基がカチオン交換基である、請求項1〜4のいずれかに記載の超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜の官能基がアニオン交換基である、請求項1〜4のいずれかに記載の超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜の官能基がキレート交換基である、請求項1〜4のいずれかに記載の超純水製造装置。
- 前記イオン吸着膜の官能基が、カチオン、アニオン、キレート交換基の少なくとも2つの交換基からなる、請求項1〜4のいずれかに記載の超純水製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003358838A JP2005118734A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003358838A JP2005118734A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 超純水製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005118734A true JP2005118734A (ja) | 2005-05-12 |
Family
ID=34615240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003358838A Pending JP2005118734A (ja) | 2003-10-20 | 2003-10-20 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005118734A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007136441A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 超純水製造装置 |
JP2021084044A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | オルガノ株式会社 | 超純水製造装置とその水質管理方法 |
-
2003
- 2003-10-20 JP JP2003358838A patent/JP2005118734A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007136441A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 超純水製造装置 |
JP2021084044A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | オルガノ株式会社 | 超純水製造装置とその水質管理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5045099B2 (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造装置の運転方法 | |
CN109562964B (zh) | 超纯水生产设备 | |
JP2005538827A (ja) | 水からの有機不純物除去方法 | |
JP3575271B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
JP2004000919A (ja) | 脱塩水製造装置 | |
JP2002210494A (ja) | 超純水製造装置 | |
WO2022024815A1 (ja) | 純水製造装置及び超純水製造装置並びに純水製造方法及び超純水製造方法 | |
WO2019188965A1 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
JP2005118734A (ja) | 超純水製造装置 | |
JP4618073B2 (ja) | 高toc含有cmp排水からの水回収方法及び水回収装置 | |
JP2008080255A (ja) | 純水製造装置 | |
JP4826864B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP6417734B2 (ja) | 超純水製造方法 | |
JP5135654B2 (ja) | 二次純水製造装置 | |
JP2003145148A (ja) | 超純水供給装置及び超純水供給方法 | |
JP3963319B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP2007268352A (ja) | 水処理方法および水処理装置 | |
JP3826497B2 (ja) | 純水製造方法 | |
JP7171671B2 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
JPH04210288A (ja) | 超純水の製造方法 | |
JP5257175B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
WO2019188964A1 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
JPS6336899A (ja) | 超純水製造方法 | |
TW202311174A (zh) | 超純水製造方法及裝置 | |
JP4151946B2 (ja) | 膜処理水の改質方法 |