KR20200134217A - 초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 시스템의 운전 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 한외 여과막 장치를 갖는 초순수 제조 시스템의 가동 운전 시간을 단축할 수 있는 초순수 제조 시스템 및 그 운전 방법의 제공에 관한 것으로, 피처리수를 도입하는 제1 도입구(11a)와, 제1 투과수 유출구(11b)와, 제1 농축수 유출구(11c)를 갖고, 내부에 제1 한외 여과막을 수용하는 제1 한외 여과막 모듈(110)과, 피처리수를 내부에 도입하는 제2 도입구(12a)와, 투과수를 유출시키는 제2 투과수 유출구(12b)와, 농축수를 유출시키는 제2 농축수 유출구(12c)를 갖고, 내부에 제2 한외 여과막을 수용하는 제2 한외 여과막 모듈(120)을 포함하고, 각 모듈의 형상 및 크기가 공통이고, 또한 각 모듈의 도입구, 투과수 유출구, 농축수 유출구의 각각이 각 모듈 내에서 공통되는 위치에 배치되어 있고, 또한 제1 한외 여과막과 제2 한외 여과막이 공통의 분획 분자량 및/또는 유효막 면적을 갖는 초순수 제조 시스템에 관한 것이다.

Description

초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 시스템의 운전 방법

본 발명은 초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 시스템의 운전 방법에 관한 것이다.

종래, 반도체 제조 공정에서 사용하는 초순수는 초순수 제조 시스템을 사용하여 제조되고 있다. 초순수 제조 시스템은 예를 들면, 원수 중의 현탁 물질을 제거하여 전처리수를 얻는 전처리부, 전처리수 중의 전체 유기 탄소(TOC) 성분이나 이온 성분을 역침투막 장치나 이온 교환 장치를 사용하여 제거하여 1차 순수를 제조하는 1차 순수 제조부 및 1차 순수 중의 극미량의 불순물을 제거하여 초순수를 제조하는 2차 순수 제조부로 구성되어 있다. 원수로는 수돗물, 우물물, 지하수, 공업용수 등이 사용되는 것 외에, 초순수의 사용 장소(유즈 포인트: POU)에서 회수된 사용이 끝난 초순수(이하, 「회수수」라고 칭함)가 사용된다.

2차 순수 제조부에서는 자외선 산화 장치, 이온 교환 순수 장치 및 한외 여과막(UF) 장치 등에 의해 1차 순수가 고도로 처리되어 초순수가 생성된다. 한외 여과막 장치는 이 2차 순수 제조부의 최후단 부근에 배치되고, 이온 교환 수지 등에서 생기는 미립자를 제거한다.

그런데, 초순수에 대해서는 고순도화에 대한 요구가 해마다 높아지고 있고, 예를 들면, 미립자 농도는 입자 직경이 50㎚ 이상의 미립자 수로, 1pcs./mL 이하가 요구되고 있다. 또한, 요구 수질은 보다 엄격해지는 경향이며, 입자 직경이 50㎚ 미만, 예를 들면 10㎚ 정도의 미립자의 저감도 요구되고 있다. 그 때문에, 보다 입자 직경이 작은 미립자를 고도로 제거하는 방법이 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1, 2 참조).

초순수 제조 시스템의 신규 건설 후의 가동시나 정기 검사 등에 의한 휴지 후의 재가동시에는 초순수 제조 시스템계 내에 혼입ㆍ발생하는 불순물을 제거하여 유즈 포인트 부근에서의 초순수가 원하는 수질에 이르기까지 세정 시운전(가동 운전)을 행한다. 최근, 자원 절약이나 공장의 가동 효율의 향상을 목적으로 하여 가동 운전 시간의 단축이 강하게 요구되고 있다. 그러나, 미세 미립자를 고도로 제거하고자 할수록 가동 운전 시간은 장기화되는 경향이 있다.

또한, 특허문헌 3에는 통상 운전시에 사용하는 한외 여과막(제1 미립자 제거막 장치)의 후단에 세정용 한외 여과막(제2 미립자 제거막 장치)을 설치함에 있어서, 세정시에 이 한외 여과막에 세정수를 통수하고, 제1 미립자 제거막 장치에 대해서는 세정수를 막투과시키지 않고 급수측만을 세정하거나 혹은 제1 미립자 제거막장치에는 세정수를 통수하지 않고 미리 살균 처리한 미립자 제거막과 교환하는 방법이 개시되어 있다. 그러나, 이 방법에서는 통상 운전시는 제2 미립자 제거막 장치가 장기간 운전되지 않기 때문에, 이 장소에 균이 발생하거나, 배관의 데드 스페이스에 불순물의 축적이 일어나는 등의 문제가 있었다. 따라서, 이러한 장치에서도 단시간의 가동을 행하는 것은 곤란하였다.

또한, 상기와 같은 미세 미립자 이외에도 한외 여과막의 열화 또는 파단시에 특징적인 크기, 형상의 조대입자가 초순수 중에 발생하는 것도 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 4 참조).

일본 공개특허공보 2016-064342호 국제 공개 2015/050125호 국제 공개 2015/012248호 일본 공개특허공보 2016-083646호

본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 한외 여과막 장치를 갖는 초순수 제조 시스템의 가동 운전 시간을 단축할 수 있는 초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 시스템의 운전 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 초순수 제조 시스템은 직렬로 접속된 복수의 한외 여과막 모듈을 갖는 초순수 제조 시스템으로서, 상기 복수의 한외 여과막 모듈은 피처리수를 내부에 도입하는 제1 도입구와, 투과수를 유출시키는 제1 투과수 유출구와, 농축수를 유출시키는 제1 농축수 유출구를 갖고, 내부에 제1 한외 여과막을 수용하는 제1 한외 여과막 모듈과, 피처리수를 내부에 도입하는 제2 도입구와, 투과수를 유출시키는 제2 투과수 유출구와, 농축수를 유출시키는 제2 농축수 유출구를 갖고, 내부에 제2 한외 여과막을 수용하는 제2 한외 여과막 모듈을 포함하고, 상기 제1 한외 여과막 모듈과 상기 제2 한외 여과막 모듈의 형상 및 크기가 공통이고, 상기 제1 도입구와 상기 제2 도입구, 상기 제1 투과수 유출구와 상기 제2 투과수 유출구, 상기 제1 농축수 유출구와 상기 제2 농축수 유출구의 각각이 각 모듈 내에서 공통되는 위치에 배치되어 있고, 또한 상기 제1 한외 여과막과 상기 제2 한외 여과막이 공통의 분획 분자량 및/또는 유효막 면적을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 피처리수의 유로가 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 순서대로 통류(通流)하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 순서대로 통류하는 제2 유로로 접속하는 배관의 재접합 또는 상기 배관의 밸브의 전환에 의해 변경 가능하게 구성된 것이 바람직하다.

본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 복수의 한외 여과막 모듈의 형상 및 크기가 전부 공통되고, 상기 복수의 한외 여과막 모듈은 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구가 전부 공통되는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 제1 투과수 유출구에 접속된 제1 투과수 유출관과, 상기 제1 투과수 유출관으로부터 분기하여 접속된 제1 이송 배관 및 제1 초순수 배관과, 상기 제1 이송 배관 및 제1 초순수 배관에 각각 설치되고, 상기 제1 투과수 유출관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제1 이송 배관과 상기 제1 초순수 배관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브와, 상기 제2 투과수 유출구에 접속된 제2 투과수 유출관과, 상기 제2 투과수 유출관에 분기하여 접속된 제2 이송 배관 및 제2 초순수 배관과, 상기 제2 이송 배관 및 제2 초순수 배관에 각각 설치되고, 상기 제2 투과수 유출관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제2 이송 배관과 상기 제2 초순수 배관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브와, 상기 제1 도입구에 접속된 제1 피처리수 공급관과, 상기 제2 도입구에 접속된 제2 피처리수 공급관과, 상기 제1 피처리수 공급관과 제2 피처리수 공급관에 설치되고, 피처리수의 공급 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브를 갖고, 상기 제1 이송 배관은 상기 제2 피처리수 공급관에 접속되고, 상기 제2 이송 배관은 상기 제1 피처리수 공급관에 접속되고, 상기 6개의 개폐 밸브의 개폐의 조합에 의해 피처리수의 유로를 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된 것이 바람직하다.

본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 유로를 전환할 수 있는 조합의 상기 2개의 개폐 밸브 대신에 내부에 2개의 유로를 전환 가능한 하나의 3방 밸브를 상기 분기하여 접속된 배관의 분기점에 관해 상기 3방 밸브에 의해 피처리수의 유로를 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 제1 투과수 유출구에 접속된 제1 투과수 유출관과, 상기 제1 도입구에 접속된 제1 피처리수 공급관과, 상기 제2 투과수 유출구에 접속된 제2 투과수 유출관과, 상기 제2 도입구에 접속된 제2 피처리수 공급관과, 상기 제1 피처리수 공급관 또는 제2 피처리수 공급관에 피처리수를 공급하는 피처리수관과, 상기 제1 투과수 유출관 또는 상기 제2 투과수 유출관으로부터의 투과수를 초순수의 사용 장소로 보내는 초순수 배관과, 상기 제1 한외 여과막 모듈의 투과수를 상기 제2 피처리수 공급관으로 또는 상기 제2 한외 여과막 모듈의 투과수를 상기 제1 피처리수 공급관으로 이송하는 이송 배관과, 상기 피처리수관으로부터의 피처리수의 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는 제1 유로 전환부와, 상기 초순수 배관에 유입시키는 한외 여과막의 투과수의 유로를 상기 제1 투과수 유출관과 상기 제2 투과수 유출관으로 전환할 수 있는 제2 유로 전환부와, 상기 이송 배관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는 제3 유로 전환부와, 상기 이송 배관에 유입시키는 투과수의 유로를 상기 제1 투과수 유출관과 상기 제2 투과수 유출관으로 전환할 수 있는 제4 유로 전환부를 갖고, 상기 제1 내지 제4 유로 전환부의 전환에 의해 피처리수의 유로를, 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된 것이 바람직하다.

본 발명의 초순수 제조 시스템에 있어서, 상기 제1 및 제3 유로 전환부 및 상기 제2 및 제4 유로 전환부의 각각의 조합 대신에 내부에 적어도 2개의 유로를 갖고 이들의 접속의 전환이 가능한 2개의 4방 밸브를 갖고, 상기 4방 밸브에 의해 피처리수의 유로를, 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된 것이 바람직하다.

본 발명의 초순수 제조 시스템의 운전 방법은 직렬로 접속된 복수의 한외 여과막 모듈을 갖고, 전단의 한외 여과막 모듈이 갖는 한외 여과막과 후단의 한외 여과 모듈이 갖는 한외 여과막의 분획 분자량 및/또는 유효막 면적이 공통되는 초순수 제조 시스템의 운전 방법으로서,

초순수 제조시에 상기 한외 여과막 모듈 중 후단의 한외 여과막 모듈은 전단의 한외 여과막 모듈의 투과수를 처리하고, 상기 복수의 한외 여과막 모듈 중 적어도 하나를 교환할 때에, 상기 초순수 제조시에서의 후단의 한외 여과막 모듈을 신품의 한외 여과막 모듈로 교환하고, 상기 신품의 한외 여과막 모듈을 전단으로 하고, 교환되지 않는 한외 여과막 모듈을 후단으로 하여 유로를 전환하고, 상기 복수의 한외 여과막 모듈에 세정수를 통류시켜 초순수 제조 시스템의 가동을 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 초순수 제조 시스템의 운전 방법에 있어서, 상기 한외 여과막 모듈의 교환은 초순수 제조시에서의 후단의 한외 여과막 모듈의 투과수 중에 포함되는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자가 1000pcs./L 이상이 되었을 때에 행하는 것이 바람직하다.

또한, 신품이란 반드시 제조 직후의 것이 아니어도 되고, 교환 전의 것보다 사용된 기간이 짧고, 시간 경과에 의한 열화가 적은 것을 말한다.

본 발명의 초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 방법에 의하면 한외 여과막 장치를 갖는 초순수 제조 시스템의 가동 운전 시간을 단축할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 초순수 제조 시스템을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2a는 2개의 한외 여과막 장치를 접속하는 배관의 구성의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2b는 도 2a에 나타내는 한외 여과막 모듈의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3a는 2개의 한외 여과막 장치를 접속하는 배관의 구성의 다른 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3b는 도 3a에 나타나는 한외 여과막 모듈의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 2개의 한외 여과막 장치를 접속하는 배관의 구성과, 피처리수의 유로를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4에 나타내는 구성에 있어서, 피처리수의 다른 유로를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 도 4에 나타내는 구성에 대해 3방 밸브를 사용한 경우의 배관의 구성의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 4에 나타내는 구성에 대해 유로 전환부를 사용한 경우의 배관의 구성과, 피처리수의 유로를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7에 나타내는 구성에 있어서, 피처리수의 다른 유로를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9a는 도 7에 나타내는 구성에 있어서, 유로 전환을 배관의 재접속에 의해 행하는 구성의 일 양태를 나타내는 도면이다.
도 9b는 도 9a의 구성에 대해 배관의 재접속을 행하고 유로를 전환한 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 4에 나타내는 구성에 대해 4방 밸브를 사용한 경우의 배관의 구성의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 11은 도 4에 나타내는 구성에 대해 6방 밸브를 사용한 경우의 배관의 구성의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 12는 직렬로 접속된 2대의 한외 여과막 장치로 이루어지는 한외 여과막 유닛을 2개 이상 병렬로 접속한 구성을 나타내는 개략도이다.
도 13은 직렬로 접속된 2대의 한외 여과막 장치로 이루어지는 한외 여과막 유닛에 있어서, 1단의 한외 여과막 장치가 복수 병렬한 한외 여과막 모듈을 갖는 구성을 나타내는 개략도이다.
도 14는 직렬로 접속된 2개의 한외 여과막 장치로 이루어지는 한외 여과막 유닛을 2개 이상 병렬로 접속하고, 1단의 한외 여과막 장치가 복수 병렬한 한외 여과막 모듈을 갖는 구성을 나타내는 개략도이다.
도 15는 실시예 및 비교예의 가동 운전에서의 처리 시간과 미립자 수의 관계를 나타내는 그래프이다.

이하, 도면을 참조하여 실시형태를 상세히 설명한다.

일반적으로 초순수 제조 시스템에서는 그 신규 건설 후의 가동시나 장치 교환 또는 정기 검사 등에 의한 휴지 후의 재가동시에 초순수 제조 시스템계 내에 혼입ㆍ발생하는 불순물을 제거하여 유즈 포인트에서의 초순수가 원하는 수질에 도달할 때까지 세정 시운전(가동 운전)을 행한다. 예를 들면, 장치 교환이나 정기 검사 등에 의한 장치의 휴지 후에는 초순수 제조 시스템계 내에 과산화수소수를 통수함으로써 살균하여, 그 후에 가동 운전을 행한다. 이 가동 운전에서는 초순수 제조 시스템 내에 순수를 연속 통수하여 초순수 제조 시스템 내의 수처리 장치나 배관 등의 유로 내에 부착된 불순물을 씻어낸다. 가동 운전으로 제거되는 불순물은 초순수 제조 시스템의 제조시나 검사ㆍ교환시에 외부에서 혼입된 불순물이나 초순수 제조 시스템에 배치된 수처리 장치의 구성 부재로부터의 발진(發塵) 등이다. 특히, 신규로 제조된 수처리 장치에서는 경년 사용된 수처리 장치에 비해 발진이 많고, 장치 교환 등에 의해 신품의 수처리 장치를 배치한 후의 가동 운전에는 장기간을 요하는 경우가 있었다.

본 발명자들은 상기와 같은 가동 운전 시간의 단축을 목적으로 하여 예의 검토를 행한 결과, 가동시에 발생하는 미립자는 비교적 입자 직경이 크고, 40㎚를 초과하고 1㎛ 이하의 미립자인 것을 알아 내었다. 예를 들면, 특허문헌 4에는 한외 여과막의 중공사가 파단한 경우에는 0.4∼10㎛의 조대미립자가 발생하는 것이 기재되어 있다. 가동 운전시에도 살균시의 과산화수소에 의한 화학적 손상이나 막교환 혹은 통수 개시나 정지시의 급속한 유량의 변화에 의한 물리적 손상에 의해 상기 조대미립자와 유사한 메커니즘으로 미립자가 발생하기 때문에 가동이 지연되는 것을 알 수 있었다. 또한, 이와 같이 가동시의 미립자는 통상의 순수 제조시의 미립자보다도 입자 직경이 크기 때문에 초순수 제조에 사용되어 제거율이 다소 저하된 한외 여과막에서도 가동시에 발생하는 조대미립자의 제거는 충분히 가능한 것을 알아내었다.

따라서, 초순수 제조시의 통수를 거친 한외 여과막을 가동시의 신품의 필터의 후단에 설치함으로써 조기 가동이 가능한 것을 알아내었다.

상기 지견에 기초하여 본 실시형태의 초순수 제조 시스템은 초순수 제조 시스템의 말단 부근에 배치되는 한외 여과막 장치로서 공통의 구조 및 사양의 한외 여과막 모듈을 구비한 한외 여과막 장치를 2개 이상 직렬로 배치하는 구성으로 하였다.

(제1 실시형태)

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 초순수 제조 시스템(1)은 전처리부(14)와, 1차 순수 제조부(15)와 2차 순수 제조부(13)를 갖는다. 2차 순수 제조부(13)는 수중의 미립자를 제거하는 2개의 한외 여과막 장치(11, 12)를 갖는다.

전처리부(14)는 원수 중의 현탁 물질을 제거하여 전처리수를 생성하고, 이 전처리수를 1차 순수 제조부(15)로 공급한다. 전처리부(14)는 예를 들면 원수 중의 현탁 물질을 제거하기 위한 모래 여과 장치, 정밀 여과 장치 등을 적절히 선택하여 구성되고, 또한 필요에 따라 원수의 온도 조절을 행하는 열교환기 등을 구비하여 구성된다. 또한, 원수의 수질에 따라서는 전처리부(14)는 생략해도 된다.

원수는 예를 들면, 수돗물, 우물물, 지하수, 공업용수, 반도체 제조 공장 등에서 사용되고, 회수되어 처리된 물(회수수)이다.

1차 순수 제조부(15)는 역침투막 장치, 탈기 장치(탈탄산탑, 진공 탈기 장치, 막탈기 장치 등), 이온 교환 장치(양이온 교환 장치, 음이온 교환 장치, 혼상식 이온 교환 장치 등), 자외선 산화 장치 중의 하나 이상을 적절히 조합하여 구성된다. 1차 순수 제조부(15)는 전처리수 중의 이온 성분 및 비이온 성분, 용존 가스를 제거하여 1차 순수를 제조하고, 이 1차 순수를 2차 순수 제조부(13)에 공급한다. 1차 순수는 예를 들면, 전체 유기 탄소(TOC) 농도가 5μgC/L 이하, 저항률이 17MΩㆍcm 이상, 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 수가 100000pcs./L 이하이다.

2차 순수 제조부(13)는 1차 순수 중의 미량의 불순물을 제거하여 초순수를 제조한다. 2차 순수 제조부(13)는 한외 여과막 유닛(제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 총칭하여 한외 여과막 유닛이라고 칭함. 이하 동일)의 상류측에 필요에 따라 자외선 산화 장치, 막탈기 장치, 비재생형 혼상식 이온 교환 장치 등 중의 하나 이상을 적절히 조합하여 구성된다.

한외 여과막 장치(11, 12)는 각각 내부에 한외 여과막을 수용한 한외 여과막 모듈을 하나 이상 구비하고 있고, 전단의 한외 여과막 장치의 투과수가 후단의 한외 여과막 장치에 공급되도록 직렬로 접속되어 있다.

제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)는 수중의 예를 들면 입자 직경 50㎚ 이상의 미립자, 바람직하게는 20㎚ 이상의 미립자를 제거한다. 이로 인해 생성된 초순수가 사용 장소(유즈 포인트: POU)(16)에 공급된다. 초순수는 예를 들면, 전체 유기 탄소(TOC) 농도가 1μgC/L 이하, 저항률이 18MΩㆍcm 이상, 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 수가 1000pcs./L 이하이다.

여기에서 사용되는 한외 여과막으로는 일반적으로 삼아세트산셀룰로오스계 비대칭막이나, 방향족 폴리아미드계의 복합막, 폴리비닐알코올계의 복합막 등이 사용된다. 한외 여과막으로는 상기 중 폴리술폰제의 복합재를 갖는 방향족 폴리아미드계의 막의 복합막을 사용하는 것이 바람직하다. 막형상은 시트 평막, 스파이럴막, 관형상막, 중공사막 등이지만, 이들에 한정되지 않는다. 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)는 전부 공통되는 재료, 공통되는 형상으로 이루어지는 2 이상의 한외 여과막을 구비하는 것이 바람직하고, 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)가 갖는 모든 한외 여과막에서 상기 막의 재료 및 형상이 공통되는 것이 보다 바람직하다. 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)가 갖는 한외 여과막에서 서로 재료 및 형상이 상이한 경우, 한외 여과막 모듈의 전환을 행한 경우에, 교환 주기가 현저하게 짧아지기 쉽고, 또한 미립자의 제거 성능이 저하되어 수질이 쉽게 악화되는 경우가 있기 때문이다.

이러한 한외 여과막을 수용하는 한외 여과막 모듈의 사양은 일례로서 한외 여과막의 분획 분자량이 4000∼6000, 유효막 면적이 10㎡∼35㎡, 설계 운전 차압은 0.1MPa∼0.4MPa인 것이 바람직하다. 또한 미립자 제거 성능은 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자의 제거율로 65％ 이상인 것이 바람직하다. 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)가 갖는 2 이상의 한외 여과막은 그 적어도 일부에서 상기 사양 중 분획 분자량 또는 유효막 면적이 공통되는 것이 바람직하고, 분획 분자량 및 유효막 면적이 공통되는 것이 보다 바람직하다. 또한, 복수의 한외 여과막 모듈에 있어서, 그 외경, 길이, 도입구의 배치 위치, 투과수 유출구의 배치 위치, 농축수 유출구의 배치 위치, 대응하는 배관의 구경 및 대응하는 배관의 조인트의 형상이 전부 공통되는 것이 바람직하다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)가 갖는 2 이상의 한외 여과막 모듈의, 모든 한외 여과막 모듈에서 상기 사양이 공통되는 것이 보다 바람직하다. 한외 여과막 모듈에서 상기 사양이 공통되지 않는 경우, 한외 여과막 모듈의 전환을 행한 경우에, 교환 주기가 현저하게 짧아지기 쉽고, 미립자의 제거 성능이 저하되어 수질이 쉽게 악화될 수 있기 때문이다.

이러한 한외 여과막 모듈의 시판품으로서, (제품명: OAT-6036, OLT-6036, OLT-5026, 제조원: 아사히카세이) 등을 사용할 수 있다.

2차 순수 제조부(13)의 직후에는 미립자계(18)가 배치되어 있다. 미립자계(18)는 수중의 바람직하게는 입자 직경 50㎚ 이상의 미립자 수, 보다 바람직하게는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 수를 계측한다. 미립자계(10)로는 예를 들면, Particle Measuring Systems사 제조의 미립자계 UltraDI-20을 사용할 수 있다. 미립자계(18)는 이들 중 하류측(후단)의 한외 여과막 장치의 투과수 중의 미립자 수를 계측한다.

본 실시형태의 초순수 제조 시스템(1)에서는 미립자계(18)에 의한 미립자 계측수가 예를 들면, 입자 직경 50㎚ 이상의 미립자 5000pcs./L 이상, 바람직하게는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 1000pcs./L 이상이 되었을 때에 한외 여과막 유닛에 있어서 전단의 한외 여과막 장치에서의 한외 여과막 모듈을 후단의 한외 여과막 장치에서의 한외 여과막 모듈로 옮겨서 설치하고, 전단에 신품의 한외 여과막 모듈이 배치되도록 한다. 또한, 여기에서의 전단은 물의 통류시에 상류측에 위치하는 것을 말하고, 후단은 하류측에 위치하는 것을 말한다.

여기에서, 도 1에 나타내는 초순수 제조 시스템(1)은 2개의 한외 여과막 장치를 갖고 있지만, 초순수 제조 시스템(1)은 3개 이상의 직렬로 접속된 한외 여과막 장치를 구비하고 있어도 된다. 또한, 초순수 제조 시스템(1)은 2개 이상의 직렬로 접속된 한외 여과막 장치 유닛을 2개 이상 병렬로 접속한 구성을 갖고 있어도 된다.

다음으로, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 제1 실시형태에 따른 한외 여과막 모듈의 구성 및 배관 구성에 대해 설명한다. 도 2a는 본 실시형태의 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 접속하는 배관의 구성의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2a에 나타내는 바와 같이 제1 한외 여과막 장치(11)는 제1 한외 여과막 모듈(11)을 갖고, 제2 한외 여과막 장치(12)는 제2 한외 여과막 모듈(120)을 갖는다.

여기에서, 도 2a에는 하나의 한외 여과막 장치가 1대의 한외 여과막 모듈을 구비한 예를 나타내고 있지만, 이에 한정되지 않고, 하나의 한외 여과막 장치가 2대 이상의 한외 여과막 모듈을 구비하고 있어도 된다.

도 2b는 본 실시형태에서 사용되는 한외 여과막 모듈(11)의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다. 한외 여과막 모듈(11)은 내부가 비어 있는 원통형상의 하우징(11h) 내에 한외 여과막(11m)을 수용하고 있다. 하우징(11h)의 양단은 액밀하게 밀봉되고, 각각 투과수 유출구(11b)가 개구되어 있다. 또한, 하우징(11h)에는 피처리수의 도입구(11a)와 농축수 유출구(11c)가 각각 하우징(11h)의 길이 방향 중앙보다도 양단 부근의 벽면에 설치되어 있다. 한외 여과막 모듈(110)에 있어서, 피처리수의 도입구(11a)에서 하우징(11h)의 내부로 도입된 피처리수는 한외 여과막(11m)의 1차측(급수측)에서 2차측(투과수측)으로 통류하는 과정에서 여과 처리되고, 투과수가 생성된다. 생성된 투과수는 투과수 유출구(11b)로부터 유출된다. 농축수는 한외 여과막(11m)의 1차측을 통류하여 농축수 유출구(11c)로부터 유출된다. 제2 한외 여과막 모듈(120)의 구조도 동일하며, 하우징의 측벽에 처리수의 도입구(12a)와 농축수 유출구(12c)를 갖고, 양단에 투과수 유출구(12b)를 구비하고 있다. 한외 여과막 모듈(120) 내에는 한외 여과막이 수용되어 있다.

또한, 도 3a는 본 실시형태에서의 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 접속하는 배관의 구성 외의 일 양태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 3a에 나타내는 바와 같이 제1 한외 여과막 장치(11)는 제1 한외 여과막 모듈(210)을 갖고, 제2 한외 여과막 장치(12)는 제2 한외 여과막 모듈(220)을 갖는다.

여기에서, 도 3a에서는 하나의 한외 여과막 장치가 1대의 한외 여과막 모듈을 구비한 예를 나타내고 있지만, 이에 한정되지 않고 하나의 한외 여과막 장치가 2대 이상의 한외 여과막 모듈을 구비하고 있어도 된다.

도 3b는 본 실시형태에서 사용되는 다른 한외 여과막 모듈(210)의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 3b에 나타내는 한외 여과막 모듈(210)은 도 2b에 나타내는 한외 여과막 모듈(110)과는 피처리수의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의, 하우징에 대한 배치 위치가 상이하지만, 그 밖의 구성은 동일하다. 한외 여과막 모듈(210)에서는 하우징(21h)의 일단에 피처리수의 도입구(21a)가 개구되고, 타단에 투과수 유출구(21b)가 개구되어 있다. 또한, 하우징(21h)의 벽면에 농축수 유출구(21c)가 개구되어 있다. 이러한 한외 여과막 모듈(210)의 시판품으로는 닛토 덴코(주)사 제조의 NTU-3306-K6R 등을 사용할 수 있다. 제2 한외 여과막 모듈(220)도 동일하다.

여기에서, 도 3b에 나타내는 구성의 한외 여과막 모듈을 직렬로 접속하는 경우에는 한외 여과막 모듈(210)의 투과수 유출구(21b)와 제2 한외 여과막 모듈(220)의 도입구(22a)를 접속한다. 이 접속은 배관을 사용해도 되고, 제1 한외 여과막 모듈(210)의 투과수 유출구(21b)와 제2 한외 여과막 모듈(220)의 도입구(22a)를 직접 접속해도 된다. 피처리수는 제1 한외 여과막 모듈의 도입구(21a)로부터 제1 한외 여과막 모듈(210) 내에 공급되어, 여기에서 한외 여과 처리된다. 농축수는 농축수 유출구(21c)로부터 유출되고, 투과수는 투과수 유출구(21b)에서 제2 한외 여과막 모듈(220)의 도입구(22a)로 공급된다. 투과수는 제2 한외 여과막 모듈(220) 내에 도입되고, 여기에서 여과 처리된다. 제2 한외 여과막 모듈(220)의 농축수는 농축수 유출구(22c)로부터 유출되고, 투과수가 투과수 유출구(22b)로부터 유출된다. 이와 같이 하여 제2 한외 여과막 모듈(220)의 투과수가 초순수로서 얻어진다.

본 실시형태의 한외 여과막 유닛에 있어서, 도 2a, 2b에 나타내는 제1 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)와 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)의 배치, 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수 유출구(11b)와 제2 한외 여과막 모듈(120)의 투과수 유출구(12b)의 배치, 제1 한외 여과막 모듈(110)의 농축수 유출구(11c)와 제2 한외 여과막 모듈(120)의 농축수 유출구(12c)의 배치의 각각의 배치는 전부 공통된다. 즉, 제1 한외 여과막 모듈(110)과 제2 한외 여과막 모듈(120)의 하우징에서의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의 배치 위치가 각각 서로 공통된다. 그 때문에 한외 여과막 모듈의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구에 접속되는 초순수 제조 시스템의 배관의 배치나 형태를 변경하지 않고, 임의의 한외 여과막 모듈을 전환하여, 이들을 교환할 수도 있다. 도 3a, 3b에서도 동일하다.

도 2a에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 한외 여과막 유닛에 있어서, 제1 한외 여과막 장치(11)에는 제1 한외 여과막 장치(11)에 피처리수(예를 들면, 1차 순수 제조부(15)에서 제조된 1차 순수임. 1차 순수는 자외선 산화 장치, 막탈기 장치, 비재생형 혼상식 이온 교환 장치 등 중의 하나 이상을 거쳐 얻어지고, 제1 한외 여과막 모듈(110)에 공급되어도 됨(이후 동일))를 공급하는 피처리수 공급관(111)이 접속되어 있다. 피처리수 공급관(111)은 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)에 접속되어 있다. 피처리수 공급관(111)에는 개폐 가능한 밸브(V1)가 설치되어 있다.

제1 한외 여과막 장치(11)에 있어서, 한외 여과막 모듈(110)의 농축수 유출구(11c)에는 농축수 유출구(114)가 접속되어 있다. 투과수 유출구(11b)에는 투과수 유출관(112)이 접속되어 있다. 투과수 유출관(112)에는 투과수를 후단의 제2 한외 여과막 장치(12)로 이송하는 이송 배관(115)이 접속되어 있다. 이송 배관(115)에는 밸브(V4)가 설치되어 있다. 밸브(V4)는 개폐 가능하게 구성되어 있다. 이송 배관(115)은 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)에 접속되어 있다.

제2 한외 여과막 장치(12)에 있어서, 한외 여과막 모듈(120)의 농축수 유출구(12c)에는 농축수 유출관(124)이 접속되어 있다. 투과수 유출구(12b)에는 투과수 유출관(122)이 접속되어 있다. 투과수 유출관(122)에는 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수를 유즈 포인트로 이송하는 초순수 배관(123)이 접속되어 있다. 초순수 배관(123)에는 밸브(V6)가 설치되어 있다. 밸브(V6)는 개폐 가능하게 구성되어 있다.

다음으로, 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 사용한 수처리 방법에 대해 설명한다. 우선, 초순수 제조 시스템(1)에서의 초순수의 제조시에는 원수가 전처리부(14)로 공급되어 전처리부(14) 및 1차 순수 제조부(15)의 순서로 처리되어 1차 순수를 생성한다.

이 1차 순수가 2차 순수 제조부(13)로 공급된다. 이 때, 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)는 열려 있다.

2차 순수 제조부(13)에 공급된 1차 순수는 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)로 순서대로 통수되어 처리된다. 구체적으로는, 1차 순수는 피처리수 공급관(111)에서 도입구(11a)를 통해 제1 한외 여과막 모듈(110)로 공급되고, 여기에서 여과 처리된다. 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수는 투과수 유출구(11b)에서 투과수 유출관(112) 및 이송 배관(115)을 거쳐 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)로 공급된다. 제1 한외 여과막 모듈(11)의 농축수는 농축수 유출구(11c)를 거쳐 농축수 유출관(114)으로부터 유출된다. 이 때, 1차 순수는 자외선 산화 장치, 막탈기 장치, 비재생형 혼상식 이온 교환 장치 등 중 하나 이상을 거쳐 제1 한외 여과막 모듈(110)로 공급되어도 된다.

제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)에 공급된 상기 투과수는 제2 한외 여과막 모듈(120) 내에 도입되고, 여기에서 여과 처리된다. 제2 한외 여과막 모듈(120)의 투과수는 투과수 유출구(12b)에서 투과수 유출관(122) 및 초순수 배관(123)을 거쳐 유즈 포인트로 공급된다. 제2 한외 여과막 모듈(120)의 농축수는 농축수 유출구(12c)를 거쳐 농축수 유출관(124)으로부터 유출된다. 이와 같이 하여 소정의 기간 초순수를 제조할 수 있다.

초순수의 제조를 계속하고 있으면 한외 여과막이 열화되어 초순수의 수질이 저하된다. 이 때에 초순수 제조 시스템(1)이 일단 정지되어 한외 여과막 모듈의 교환이 행해진다. 이 한외 여과막 모듈의 교환은 다음에 설명하는 바와 같이 신품의 한외 여과막 모듈을 가장 전단에 배치함과 함께, 사용된 한외 여과막 모듈을 그 후단에 배치한다. 이 때, 보다 장기간 사용된 한외 여과막 모듈을 보다 후단에 배치하는 방식으로 행해진다.

도 2a의 한외 여과막 유닛에 있어서는 우선, 후단의 제2 한외 여과막 모듈(120)의 교환을 먼저 행한다. 제2 한외 여과막 모듈(120)을 제거하고, 여기에 제1 한외 여과막 모듈(110)을 옮겨서 설치한다. 그리고 제1 한외 여과막 장치(11)에 신품의 한외 여과막 모듈을 배치한다. 이 한외 여과막 모듈의 교환시에는 피처리수 공급관(111)으로부터의 물의 유입이나, 하류측으로부터의 물의 역류를 방지하고, 배관 내부를 청정하게 유지하기 위해 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)는 닫혀지는 것이 바람직하다.

이어서, 제1 한외 여과막 모듈(11)로서 배치된 신품의 한외 여과막 모듈을 갖는 제1 한외 여과막 장치(11)의 가동을 행한다. 이 가동 운전시에는 각 밸브는 상기 초순수의 제조시의 상태와 동일하고, 즉 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 열려 있다. 이 상태에서 한외 여과막 유닛에 세정수로서 1차 순수가 통류되어, 가동 운전이 이루어진다. 세정수(1차 순수)는 피처리수 공급관(111)을 거쳐 신품의 한외 여과막 모듈이 배치된 제1 한외 여과막 장치(11), 이어서 제2 한외 여과막 장치(12)로 순서대로 통류된다. 또한, 가동 운전에 있어서는 세정수는 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 통류하면 되지만, 제2 한외 여과막 장치(12)를 통류한 후에는 전처리부(14), 1차 순수 제조부(15) 및 2차 순수 제조부(13)에 임의로 설치되는 장치로 통류시켜도 된다.

이 가동 운전은 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수 중의 미립자 수가 소정의 값 이하가 될 때까지 행해진다. 가동 운전에 있어서, 제1 한외 여과막 장치(11)에 구비된 신품의 한외 여과막 모듈로부터는 많은 발진이 있지만, 이들은 제2 한외 여과막 장치(12)에서 포착된다. 그 때문에 이 가동 운전은 신품의 모듈로 교환된 제1 한외 여과막 장치(11)를 단체(單體)로 가동하는 것 보다도 조기에 완료될 수 있다. 이와 같이, 신품의 한외 여과막 모듈을 전단에 배치하고, 시간 경과에 의해 사용된 한외 여과막 모듈을 후단에 배치함으로써 가동 운전 시간을 단축할 수 있다. 또한, 가동 운전을 행하기 위한 특별한 배관이나 기기없이 행할 수 있다.

가동 운전이 완료된 후, 상기와 동일하게 피처리수가 피처리수 공급관(111)으로 공급되어 초순수의 제조가 개시된다.

이어서, 상기의 한외 여과막 모듈의 교환 및 가동을 밸브의 개폐에 의해 실현하는 방법에 대해 설명한다. 이 방법에 의하면 한외 여과막 모듈의 신품 교환시에 교환하지 않는 한외 여과막 모듈의 전환을 수반하지 않고 교환 및 가동 운전을 행할 수 있기 때문에 작업 부하를 저감할 수 있다.

이 방법에서는 도 4에 나타내는 바와 같이 도 2a에 나타내는 구성에 추가로, 피처리수를 제1 한외 여과막 모듈(110)에서 제2 한외 여과막 모듈(120)로 통류시키는 제1 유로와 제2 한외 여과막 모듈(120)에서 제1 한외 여과막 모듈로 통류시키는 제2 유로 중 어느 유로로 흐르게 할 것인지를 전환 가능하게 하는 배관 및 밸브를 갖는 구성을 사용한다.

도 4에 나타내는 바와 같이 투과수 유출관(112)에는 유즈 포인트에 접속되어 제1 한외 여과막 장치의 투과수를 유즈 포인트로 이송할 수 있는 초순수 배관(113)이 접속되어 있다. 초순수 배관(113)에는 밸브(V3)가 설치되어 있다. 밸브(V3)는 밸브(V4)와 동일하게 개폐 가능하게 구성되고, 이들의 개폐에 의해 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수의 유로가 초순수 배관(113) 또는 이송 배관(115)으로 전환된다. 또한, 초순수 배관(113)은 유즈 포인트와의 접속을 해제할 수 있고, 이로 인해 한외 여과막 장치(11)의 투과수를 외부로 배출할 수도 있다.

또한, 이송 배관(115)의 경로에는 제1 한외 여과막 장치(11)가 아니고 제2 한외 여과막 장치(12)로 피처리수(예를 들면, 자외선 산화 장치, 막탈기 장치, 비재생형 혼상식 이온 교환 장치 등 중의 하나 이상을 거친 1차 순수)를 공급할 수 있는 피처리수 공급관(121)이 접속되어 있다. 피처리수는 피처리수 공급관(121)에서 이송 배관(115)을 통해 도입구(12a)로 공급된다. 피처리수 공급관(121)에는 개폐 가능한 밸브(V2)가 설치되어 있다.

제2 한외 여과막 모듈(120)의 투과수 유출관(122)에는 투과수를 전단의 제1 한외 여과막 장치(11)로 이송할 수 있는 이송 배관(125)이 접속되어 있다. 이송 배관(125)에는 밸브(V5)가 설치되어 있다. 밸브(V5)는 개폐 가능하게 구성되고, 밸브(V5) 및 밸브(V6)의 개폐에 의해 투과수 유출관(122)을 통류한 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수의 유로가 초순수 배관(123) 또는 이송 배관(125)으로 전환된다.

이송 배관(125)은 피처리수 공급관(111)의 밸브(V1)의 하류측에 접속되어 있고, 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수는 이송 배관(125)에서 피처리수 공급관(111)을 통해 제1 한외 여과막 장치(11)의 도입구(11a)로 공급될 수 있도록 되어 있다.

먼저, 도 4에 나타내는 바와 같이 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 열리고, 밸브(V2), 밸브(V3), 밸브(V5)가 닫힌 상태, 즉 제1 한외 여과막 장치(11)가 전단, 제2 한외 여과막 장치(12)가 후단의 배치로 초순수의 제조를 행한다. 이 때의 피처리수의 흐름은 도 2a에서 설명한 흐름과 동일하다. 제조 개시부터 소정의 기간 경과후, 한외 여과막이 열화하여 초순수의 수질이 저하되었을 때에 초순수 제조 시스템(1)이 일단 정지되어 한외 여과막 모듈의 교환이 행해진다. 한외 여과막 모듈의 교환은 후단의 제2 한외 여과막 모듈(120)의 교환을 먼저 행한다. 제2 한외 여과막 모듈(120)을 제거하고, 여기에 신품의 한외 여과막 장치 모듈을 배치한다. 또한, 도 4에서 흑색의 밸브는 닫혀져 있고, 백색의 밸브는 열려 있는 것을 나타낸다. 도 5도 동일하다. 또한, 도 4, 도 5에서 굵은 선은 피처리수가 통류하는 유로를 나타낸다.

이어서, 신품의 제2 한외 여과막 모듈(120)을 갖는 제2 한외 여과막 장치(12)의 가동을 행한다. 이 가동 운전시에는 각 밸브는 도 5에 나타내는 바와 같이 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 닫히고, 밸브(V2), 밸브(V3), 밸브(V5)가 열린다. 이로 인해 제2 한외 여과막 장치(12)가 전단, 제1 한외 여과막 장치(11)가 후단의 배치로 변경된다. 그리고, 한외 여과막 모듈에 세정수로서 순수가 통류되어 가동 운전이 이루어진다. 세정수(1차 순수)는 피처리수 공급관(121)을 거쳐 교환 후의 제2 한외 여과막 모듈(120), 이어서 제1 한외 여과막 모듈(110)로 순서대로 통류한다.

구체적으로는 세정수는 피처리수 공급관(121)에서 이송 배관(115)을 거쳐 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)로 공급된다. 그리고 세정수는 제2 한외 여과막 모듈(120) 내를 통류한 후, 투과수 유출구(12b)에서 투과수 유출관(122) 및 이송 배관(125)을 거쳐 제1 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)로 공급된다.

제1 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)로 공급된 세정수는 제1 한외 여과막 모듈(110) 내를 통류한 후, 투과수 유출구(11b)로부터 유출되고, 투과수 유출관(112) 및 초순수 배관(113)을 순서대로 거쳐 배출된다. 이 때, 초순수 배관과 유즈 포인트의 접속은 해제해 둔다.

이 가동 운전은 후단이 되는 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수 중의 미립자 수가 소정의 값 이하가 될 때까지 행해진다. 가동 운전에 있어서, 제1 한외 여과막 장치(12)에 배치된 신품의 한외 여과막 모듈로부터는 많은 발진이 있지만, 이들은 제1 한외 여과막 장치(11)에서 포착된다. 그 때문에 이 가동 운전은 신품의 모듈로 교환된 제2 한외 여과막 장치(12)를 단체로 가동하는 것보다 조기에 완료할 수 있다.

가동 운전이 완료된 후, 피처리수가 피처리수 공급관(111)으로 공급되어 초순수의 제조가 개시된다. 이 때에는 각 밸브는 상기 가동시와 동일하게, 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 닫히고, 밸브(V2), 밸브(V3), 밸브(V5)가 열려서 제2 한외 여과막 장치(12)가 전단, 제1 한외 여과막 장치(11)가 후단의 배치이다. 1차 순수 제조부(5)로부터 공급된 1차 순수는 제2 한외 여과막 장치(12), 이어서 제1 한외 여과막 장치(11)로 순서대로 통류한다.

이 상태에서 초순수의 제조를 계속하고 있으면 장기간 사용된 제1 한외 여과막 모듈(110)이 신품으로 교환된 제2 한외 여과막 모듈(120)보다도 먼저 열화된다. 이 때에는 후단이 되는 제1 한외 여과막 모듈(110)의 교환을 행한다. 이 때에는 제1 한외 여과막 모듈(110)을 제거하고, 신품의 한외 여과막 모듈을 배치한다.

그리고, 신품의 제1 한외 여과막 모듈(110)을 갖는 제1 한외 여과막 장치(11)의 가동을 행한다. 이 때는 각 밸브는 도 4에 나타나는 바와 같이 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 열리고, 밸브(V2), 밸브(V3), 밸브(V5)가 닫혀져 있다. 이로 인해 제1 한외 여과막 장치(11)가 전단, 제2 한외 여과막 장치(12)가 후단의 배치로 변경된다. 이 상태에서 한외 여과막 모듈로, 세정수로서 1차 순수가 통류되어, 가동 운전이 이루어진다. 세정수는 상기와 동일하게 신품의 한외 여과막 모듈이 배치된 제1 한외 여과막 장치(11), 이어서 제2 한외 여과막 장치(12)로 순서대로 통류한다.

이 가동 운전은 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수 중의 미립자 수가 소정의 값 이하가 될 때까지 행해진다. 가동 운전에 있어서, 제1 한외 여과막 장치(11)에 배치된 신품의 한외 여과막 모듈로부터는 많은 발진이 있지만, 이들은 제2 한외 여과막 장치(12)에서 포착된다. 그 때문에 이 가동 운전은 신품의 모듈로 교환된 제1 한외 여과막 장치(11)를 단체로 가동하는 것 보다 조기에 완료할 수 있다.

가동 운전이 완료된 후, 피처리수가 피처리수 공급관(111)으로 공급되어 초순수의 제조가 개시된다. 이 때에는 각 밸브는 상기 가동시와 동일하게 밸브(V1), 밸브(V4), 밸브(V6)가 열리고, 밸브(V2), 밸브(V3), 밸브(V5)가 닫혀서 제1 한외 여과막 장치(11)가 전단, 제2 한외 여과막 장치(12)가 후단의 상태를 유지한다. 이로 인해 1차 순수 제조부(5)로부터 공급된 1차 순수는 제1 한외 여과막 장치(11), 이어서 제2 한외 여과막 장치(12)로 순서대로 통류한다.

상기 조작을 반복함으로써 제1 한외 여과막 모듈(110)과 제2 한외 여과막 모듈(120)을 순서대로 교환, 가동하면서 초순수를 제조할 수 있다. 이 때, 신품의 모듈로 교환 후의 가동 운전 시간이 현저하게 단축되기 때문에 고수질의 초순수를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)에 구비되는 한외 여과막 모듈의 하우징에서의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의 배치 위치가 각각 서로 공통된 배치로 되어 있다. 그 때문에 한외 여과막 모듈의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구에 접속되는 초순수 제조 시스템의 배관의 배치나 형태를 변경하지 않고 임의의 한외 여과막 모듈을 전환하여 이들을 교환할 수도 있다.

또한, 후단에 배치되는 한외 여과막 장치는 농축수 유출관(114 또는 124)에 밸브를 설치하고, 이 밸브를 닫음으로써 후단에 배치되는 한외 여과막 장치만 전량 여과로 할 수도 있다. 이 전량 여과를 사용하면 한외 여과막 장치의 수회수율을 향상시킬 수 있다. 이 전량 여과는 가동시와 가동 종료 후의 양방에서 행할 수도 있지만, 가동 종료 후만 실시할 수도 있다. 또한, 이 전량 여과는 다른 실시예에서도 동일하게 실시할 수 있다.

도 6은 상기 개폐 밸브 대신에 3방 밸브를 사용한 경우의 한외 여과막 유닛의 배관 구성을 나타낸다. 도 6에서, 도 2∼5와 동일한 기능을 갖는 구성에는 동일한 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략한다. 도 6에 나타내는 바와 같이 도 4 및 도 5에서의 밸브(V3)와 밸브(V4)의 조합, 및 밸브(V5)와 밸브(V6)의 조합 대신에 각각 3방 밸브(V31) 및 3방 밸브(V32)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는 3방 밸브(V31)는 초순수 배관(113)과 이송 배관(115)의 분기 지점에 3방 밸브(V32)는 초순수 배관(123)과 이송 배관(125)의 분기 지점에 설치되고, 상기와 동일하게 유로를 전환할 수 있다. 구체적으로는 상기 조작에서 3방 밸브(V31)는 투과수 유출관(112)으로부터의 투과수의 유로를 초순수 배관(113)과 이송 배관(115)으로 전환한다. 또한, 상기 조작에 있어서, 3방 밸브(V32)는 투과수 유출관(122)으로부터의 투과수의 유로를 초순수 배관(123)과 이송 배관(125)으로 전환한다.

개폐 밸브 대신에 3방 밸브를 사용한 경우에는 초순수 제조 시스템(1) 내의 물의 체류부를 감소시킬 수 있으므로 초순수 수질의 열화가 적고, 보다 장기간에 걸쳐서 고순도의 초순수를 제조할 수 있다.

(제2 실시형태)

이어서, 도 7 및 도 8을 참조하여 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 접속하는 배관의 구성의 다른 일 양태를 설명한다. 도 7 및 도 8에서 도 2∼6과 동일한 기능을 갖는 구성에는 동일한 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략한다.

제2 실시형태의 한외 여과막 유닛은 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)로의 통수 순서의 전환을 개폐 밸브를 사용하지 않고 배관의 재접속에 의해 행하는 것이다.

도 7에 나타내는 본 실시형태의 한외 여과막 유닛에서는 피처리수를 한외 여과막 유닛에 공급하는 피처리수관(40)과, 피처리수관(40)으로부터의 피처리수의 유로를, 제1 한외 여과막 장치(11)의 도입구(11a)로의 유로와, 제2 한외 여과막 장치(12)의 도입구(12a)로의 유로로 전환하는 유로 전환부(R1)를 갖고 있다. 유로 전환부(R1)는 피처리수관(40)에 접속되어 있다.

유로 전환부(R1)는 상기 유로로 배관을 전환하는 전환 기구에 의해 구성된다. 후술하는 유로 전환부(R2∼R4)도 동일하다. 전환 기구는 예를 들면, 도 7에서 유로 전환부(전환 기구)(R1∼R4)를 접속되어 있는 배관에서 분리하여 전환 중심(Rp)을 중심으로 하여 180도 회전 이동한 곳에서 유로 전환부(전환 기구)(R1∼R4)를 한외 여과막 장치의 각 배관으로 이어 넣음으로써 전환을 가능하게 한 구조로 되어 있다.

전환 기구는 배관이나 조인트 등의 배관 부품을 사용하여 조립하는 것이 가능하다. 이들의 시판품으로는 예를 들면, 세키스이카가쿠 제조의 것이 있다. 전환 기구의 배관과 접속하는 말단(접속부)에는 유니온 조인트, 밸브 조인트를 사용함으로써 특별히 공구 등을 사용하지 않고도 용이하게 분리할 수 있게 되므로 전환을 용이하게 행할 수 있다. 접속부의 형상은 TS식, 플랜지식 등이 바람직하다. 나사식, 용착식은 분리가 용이하지 않으므로 바람직하지 않다. 전환 기구는 폴리불화비닐리덴(PVDF), 염소화염화비닐 수지(CPVC), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등의 소재의 것이 바람직하고, PVDF제가 특히 바람직하다.

또한, 본 실시형태의 한외 여과막 유닛은 초순수를 유즈 포인트로 이송하는 초순수 배관(30)으로 유입시키는 한외 여과막 장치의 투과수를 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수와 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수로 전환할 수 있는 구성으로 되어 있고, 초순수 배관(30)과 접속하는 유로를 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수 유출관(112)을 통류하는 투과수의 유로와 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수 유출관(122)을 통류하는 투과수의 유로로 전환하는 유로 전환부(R2)를 갖고 있다. 유로 전환부(R2)는 초순수 배관(30)에 접속되어 있다.

또한, 본 실시형태의 한외 여과막 유닛은 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수를 이송 배관(115)을 경유시켜 제2 한외 여과막 장치(12)의 피처리수 공급관(121)으로 공급하거나, 또는 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수를 이송 배관(115)을 경유시켜 제1 한외 여과막 장치(11)로 공급하는 구성으로 되어 있고, 이송 배관(115)과 접속하는 유로를 제2 한외 여과막 장치(12)의 피처리수 공급관(121)과 제1 한외 여과막 장치(11)의 피처리수 공급관(111)으로 전환하는 유로 전환부(R3)를 갖고 있다. 유로 전환부(R3)는 이송 배관(115)에 접속되어 있다.

또한, 본 실시형태의 한외 여과막 유닛은 이송 배관(115)으로 유입시키는 한외 여과막 장치의 투과수를 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수와 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수로 전환할 수 있는 구성으로 되어 있고, 이송 배관(115)과 접속하는 유로를 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수 유출관(112)을 통류하는 투과수의 유로와 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수 유출관(122)을 통류하는 투과수의 유로로 전환하는 유로 전환부(R4)를 갖고 있다. 유로 전환부(R4)는 이송 배관(115)에 접속되어 있다.

이송 배관(115)은 제1 실시형태에서의 이송 배관(115)과 이송 배관(125)을 겸하고 있다. 또한, 초순수 배관(30)은 제1 실시형태에서의 초순수 배관(113)과 초순수 배관(123)을 겸하고 있다.

이어서, 본 실시형태의 한외 여과막 유닛에서의 수처리 방법에 대해 설명한다. 우선, 초순수 제조 시스템(1)에서의 초순수의 제조시에는 원수가 정처리부(14)로 공급되어 전처리부(14) 및 1차 순수 제조부(15)에서 순서대로 처리되어 1차 순수가 생성된다. 이 때, 도 7에 나타내는 바와 같이 유로 전환부(R1)에 의해 피처리수관(40)과 피처리수 공급관(111)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R2)에 의해 투과수 유출관(112)과 이송 배관(115)의 일단이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R3)에 의해 이송 배관(115)의 타단과 피처리수 공급관(121)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R4)에 의해 투과수 유출관(122)과 초순수 배관(30)이 접속된다. 이로 인해 제1 한외 여과막 장치(11)가 전단, 제2 한외 여과막 장치(12)가 후단의 배치가 된다. 도 7에 나타내는 한외 여과막 유닛에 있어서는 피처리수관(40), 유로 전환부(R1), 피처리수 공급관(111), 도입구(11a), 제1 한외 여과막 모듈(110), 투과수 유출구(11b), 투과수 유출관(112), 유로 전환부(R4), 이송 배관(115), 유로 전환부(R3), 피처리수 공급관(121), 도입구(12a), 제2 한외 여과막 모듈(120)에 의해 제1 한외 여과막 모듈에서 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 유로가 형성된다.

1차 순수 제조부에서 피처리수관(40)을 통해 한외 여과막 유닛으로 공급된 1차 순수는 제1 한외 여과막 모듈(110) 및 제2 한외 여과막 모듈(120)에서 순서대로 처리된다. 이로 인해 생성한 초순수는 초순수 배관(30)을 거쳐 유즈 포인트로 공급된다. 구체적으로는, 1차 순수는 피처리수 공급관(111)에서 도입구(11a)를 거쳐 제1 한외 여과막 모듈(110)로 공급된다. 제1 한외 여과막 모듈(110)을 통류한 투과수는 투과수 유출관(112), 이송 배관(115), 피처리수 공급관(121)을 거쳐 도입구(12a)에서 제2 한외 여과막 모듈(120)로 공급된다. 또한, 제2 한외 여과막 모듈(120)을 통류하여 생성한 초순수는 투과수 유출관(122), 초순수 배관(30)을 거쳐 유즈 포인트로 유출된다.

초순수의 제조를 계속하면 한외 여과막이 열화되어 초순수의 수질이 저하된다. 그 때문에 초순수 배관(30)에 예를 들면 Particle Measuring Systems사 제조의 미립자계 UltraDI-20을 설치하여 미립자 수를 모니터하면 점점 미립자 수가 증가된다. 이 때에 초순수 제조 시스템(1)이 일단 정지되어 상기 실시예와 동일하게 후단의 제2 한외 여과막 모듈(120)의 교환이 행해진다. 제2 한외 여과막 장치(12)에 신품의 한외 여과막 모듈을 배치하고, 제2 한외 여과막 장치(12)의 가동을 행한다. 이러한 한외 여과막의 교환, 가동은 정기적으로 행해도 된다.

제2 한외 여과막 장치(12)의 가동 운전시에는 도 8에 나타내는 바와 같이 유로 전환부의 접속을 전환한다. 즉, 유로 전환부(R1)에 의해 피처리수관(40)과 피처리수 공급관(121)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R2)에 의해 투과수 유출관(112)과 초순수 배관(30)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R3)에 의해 이송 배관(115)과 피처리수 공급관(111)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R4)에 의해 투과수 유출관(122)과 이송 배관(115)이 접속된다. 이로 인해 제2 한외 여과막 장치(12)가 전단, 제1 한외 여과막 장치(11)가 후단의 배치로 변경된다. 도 8에 나타내는 한외 여과막 유닛에 있어서, 피처리수관(40), 유로 전환부(R1), 피처리수 공급관(121), 도입구(12a) 제2 한외 여과막 모듈(120), 투과수 유출구(12b), 투과수 유출관(122), 유로 전환부(R4), 이송 배관(115), 유로 전환부(R3), 피처리수 공급관(111), 도입구(11a), 제1 한외 여과막 모듈(110)에 의해 제2 한외 여과막 모듈(120)에서 제1 한외 여과막 모듈(110)로 통류하는 유로가 형성된다.

이 상태에서 피처리수관(40)에서 한외 여과막 유닛으로 세정수가 공급된다. 세정수는 신품의 제2 한외 여과막 모듈(120), 이어서 제1 한외 여과막 모듈(110)로 순서대로 통류한다. 구체적으로는 세정수는 피처리수 공급관(121)에서 도입부(12a)를 거쳐 제2 한외 여과막 모듈(120)로 공급된다. 제2 한외 여과막 모듈(120)을 통류한 세정수는 투과수 유출관(122), 이송 배관(115), 피처리수 공급관(111)을 거쳐 도입구(11a)에서 제1 한외 여과막 모듈(110)로 공급된다. 또한, 세정수는 제1 한외 여과막 모듈(110)을 통류하여 투과수 유출관(112), 초순수 배관(30)을 거쳐 배출된다. 또한, 가동 운전시에는 초순수 배관(30)과 유즈 포인트의 접속은 해제된다.

이 가동 운전은 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수 중의 미립자 수가 소정의 값 이하가 될 때까지 행해진다. 가동 운전에 있어서, 신품의 제2 한외 여과막 모듈(120)로부터는 많은 발진이 있지만, 이들은 제1 한외 여과막 장치(11)에서 포착된다. 그 때문에 이 가동 운전은 신품의 제2 한외 여과막 모듈(120)을 단체로 가동하는 것 보다도 조기에 완료될 수 있다.

가동 운전이 완료된 후, 유로 전환부의 접속은 도 8에 나타내는 바와 같이 전환된 채, 원수가 전처리부(14)로 공급되어 초순수의 제조가 개시된다. 1차 순수 제조부(15)에서 보내진 1차 순수는 피처리수로서 제2 한외 여과막 모듈(120), 제1 한외 여과막 모듈(110)의 순서로 통류하여 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수가 유즈포인트로 송수된다. 이로 인해 고순도의 초순수를 안정적으로 유즈 포인트로 공급할 수 있다.

초순수의 제조를 계속하면 한외 여과막이 열화되어 초순수의 수질이 저하된다. 이 때에는 제1 한외 여과막 모듈(110)의 교환이 행해진다. 제1 한외 여과막 장치(11)에 신품의 한외 여과막 모듈을 배치하고, 제1 한외 여과막 장치(11)의 가동을 행한다.

이 제1 한외 여과막 장치(11)의 가동시에는 도 7에 나타내는 바와 같이 유로 전환부(R1)에 의해 피처리수관(40)과 피처리수 공급관(111)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R2)에 의해 투과수 유출관(112)과 이송 배관(115)의 일단이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R3)에 의해 이송 배관(115)의 타단과 피처리수 공급관(121)이 접속된다. 또한, 유로 전환부(R4)에 의해 투과수 유출관(112)과 초순수 배관(30)이 접속된다. 이로 인해 제1 한외 여과막 장치(11)가 전단, 제2 한외 여과막 장치(12)가 후단의 배치로 변경된다. 이 상태에서 피처리수관(40)에서 한외 여과막 유닛으로 세정수가 공급된다.

한외 여과막 장치로 공급된 세정수는 피처리수 공급관(111)으로부터 도입구(11a)를 거쳐 제1 한외 여과막 모듈(110)로 공급된다. 제1 한외 여과막 모듈(110)을 통류한 세정수는 투과수 유출관(112), 이송 배관(115), 피처리수 공급관(121)을 거쳐 도입구(12a)에서 제2 한외 여과막 모듈(12)로 공급된다. 또한, 제2 한외 여과막 모듈(120)을 통류한 세정수는 투과수 유출관(122), 초순수 배관(30)을 겨처 배출된다. 또한, 가동 운전시에는 초순수 배관(30)과 유즈 포인트의 접속은 해제된다.

이 가동 운전은 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수 중의 미립자 수가 소정의 값 이하가 될 때까지 행해진다. 가동 운전에 있어서, 신품의 제1 한외 여과막 모듈(110)로부터는 많은 발진이 있지만, 이들은 제2 한외 여과막 장치(12)에서 포착된다. 그 때문에 이 가동 운전은 신품의 제1 한외 여과막 모듈(110)을 단체로 가동하는 것 보다도 조기에 완료될 수 있다.

가동 운전이 완료된 후, 유로 전환부의 접속은 도 7에 나타내는 바와 같이 전환된 채, 원수가 전처리부(14)로 공급되어 초순수의 제조가 개시된다. 1차 순수 제조부(15)에서 보내진 1차 순수는 상기와 동일하게 제1 한외 여과막 장치(11), 제2 한외 여과막 장치(12)의 순서로 통수하여 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수가 유즈 포인트로 송수된다. 이로 인해 고순도의 초순수를 안정적으로 유즈 포인트로 공급할 수 있다.

상기 조작을 반복함으로써 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)를 순서대로 교환, 가동하면서 초순수를 제조할 수 있다. 이 때, 신품의 모듈과의 교체 후의 가동 운전 시간이 현저하게 단축되기 때문에 고수질의 초순수를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)에 구비되는 한외 여과막 모듈의 하우징에서의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의 배치 위치가 각각 서로 공통된다. 그 때문에 한외 여과막 모듈의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구에 접속되는 초순수 제조 시스템의 배관의 배치나 형태를 변경하지 않고 임의의 한외 여과막 모듈을 옮겨서 이들을 교환할 수도 있다.

상기 유로 전환부(R1∼R4)는 예를 들면 도 9a 및 도 9b에 나타내는 바와 같이 전환 기구(Rp)를 구성하는 2개의 개폐 밸브(Rpv)와, 각각의 개폐 밸브(Rpv)에 접속되어 유로 전환부를 구성하는 2개의 곡관(L1, L2)과, 전환 기구와 유로 전환부를 일체화한 배관(L115)에 의해 구성된다.

도 9a 및 도 9b에 나타내는 바와 같이 도 7 및 도 8에 나타내는 유로 전환부(R1)는 피처리수관(40)에 접속된 개폐 밸브(Rpv)와, 개폐 밸브(Rpv)에 접속된 곡관(L1)으로 구성된다. 도 7에 나타내는 유로를 구성할 때는 곡관(L1)의 개폐 밸브(Rpv)의 반대측의 단부는 제1 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)에 접속되고, 도 8에 나타내는 유로를 구성할 때는 도 9b에 나타내는 바와 같이 곡관(L1)의 개폐 밸브(Rpv)의 반대측의 단부는 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)에 접속된다.

도 9a 및 도 9b에 나타내는 바와 같이 도 7 및 도 8에 나타내는 유로 전환부(R2)는 초순수 배관(30)에 접속된 개폐 밸브(Rpv)와, 개폐 밸브(Rpv)에 접속된 곡관(L2)으로 구성된다. 도 7에 나타내는 유로를 구성할 때는 도 9a에 나타내는 바와 같이 곡관(L2)의 개폐 밸브(Rpv)의 반대측의 단부는 개폐 밸브(V122)를 통해 제2 한외 여과막 모듈(120)의 투과수 배관(122)에 접속된다. 도 8에 나타내는 유로를 구성할 때는 도 9b에 나타내는 바와 같이 곡관(L2)의 개폐 밸브(Rpv)의 반대측의 단부는 개폐 밸브(V121)를 통해 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수 유출관(112)의 단부에 접속된다.

도 9a 및 도 9b에 나타내는 바와 같이 도 7 및 도 8에 나타내는 이송 배관(115), 유로 전환부(R3) 및 유로 전환부(R4)는 전환 기구로서의 굽힘부를 갖는 배관(L115)에 의해 구성된다. 도 7에 나타내는 유로를 구성할 때는 도 9a에 나타내는 바와 같이 배관(L115)의 일방의 단부가 개폐 밸브(V121)를 통해 제1 한외 여과막 모듈(110)의 투과수 배관(121)에 접속되고, 그 타단이 제2 한외 여과막 모듈(120)의 도입구(12a)에 접속된다. 도 8에 나타내는 유로를 구성할 때는 도 9b에 나타내는 바와 같이 배관(L115)의 일방의 단부가 제1 한외 여과막 모듈(110)의 도입구(11a)에 접속되고, 그 타단이 개폐 밸브(V122)를 통해 제2 한외 여과막 모듈(120)의 투과수 배관(122)에 접속된다.

이들 배관(L115), 곡관(L1, L2)의 재접속은 각 개폐 밸브(V121, V122, Rpv)를 닫은 상태에서 배관(115), 곡관(L1, L2)을 제거하고, 접속 지점을 변경하여 다시 접속함으로써 행할 수 있다.

도 10은 상기 유로 전환부 대신에 4방 밸브를 사용한 경우의 한외 여과막 유닛의 배관 구성을 나타낸다. 도 10에서 도 2∼9와 동일한 기능을 갖는 구성에는 동일한 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략한다. 도 10에 나타내는 바와 같이 도 7 및 도 9에서의 유로 전환부(R1)와 유로 전환부(R3)의 조합, 및 유로 전환부(R2) 및 유로 전환부(R4)의 조합 대신에 각각 4방 밸브(V41) 및 4방 밸브(V42)를 사용해도 된다. 4방 밸브는 4개의 출입구와, 내부에 2개의 유로를 구비하고 있고, 2개의 유로에 의해 접속하는 출입구의 조합을 바꿈으로써 피처리수의 유로를 전환할 수 있다.

4방 밸브(V41)는 피처리수관(40)과 피처리수 공급관(111)과 이송 배관(115)의 일단과 피처리수 공급관(121)의 분기 지점에, 4방 밸브(V42)는 초순수 배관(30)과 이송 배관(115)의 타단과 투과수 유출관(112)과 투과수 유출관(122)의 분기 지점에 설치되고, 상기와 동일하게 유로의 전환을 행할 수 있다. 구체적으로는, 4방 밸브(V41)는 피처리수관(40)에서 피처리수 공급관(111)으로의 유로 및 이송 배관(115)에서 피처리수 공급관(121)으로의 유로와, 피처리수관(40)에서 피처리수 공급관(121)으로의 유로, 및 이송 배관(115)에서 피처리수 공급관(111)으로의 유로를 전환한다. 4방 밸브(V42)는 투과수 유출관(112)에서 초순수 배관(30)으로의 유로, 및 투과수 유출관(122)에서 이송 배관(115)으로의 유로와, 투과수 유출관(112)에서 이송 배관(115)으로의 유로, 및 투과수 유출관(122)에서 초순수 배관(30)으로의 유로를 전환한다.

개폐 밸브를 대신하여 4방 밸브를 사용한 경우에는 초순수 제조 시스템(1) 내의 물의 체류부를 감소시킬 수 있으므로 초순수 수질의 열화가 적고, 보다 장기간에 걸쳐 고순도의 초순수를 제조할 수 있다.

(제3 실시형태)

다음으로, 도 11을 참조하여 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)를 접속하는 배관의 구성의 다른 일 양태를 설명한다. 제3 실시형태의 2차 순수 제조부(133)는 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 장치(12)로의 통수 순서의 전환을 6방 밸브에 의해 행하는 것이다. 6방 밸브는 6개의 출입구와, 내부에 3개의 유로를 구비하고 있고, 3개의 유로에 의해 접속하는 출입구의 조합을 바꿈으로써 피처리수의 유로를 전환할 수 있다.

본 실시형태의 2차 순수 제조부(133)에 있어서, 도 7∼8에 나타내는 제2 실시형태의 한외 여과막 유닛에 있어서, 이송 배관(115) 및 유로 전환부(R1∼R4)의 기능을 6방 밸브(V60)에 갖게 하여 장치를 집약한 것이다. 본 실시형태의 2차 순수 제조부(133)에 있어서, 피처리수관(40)은 6방 밸브(V60) 내의 제1 유로(61)에 의해 피처리수 공급관(111)에 접속된다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11)의 투과수를 통류시키는 투과수 유출관(112)은 6방 밸브(V60)의 제2 유로에 의해 피처리수 공급관(121)에 접속된다. 또한, 제2 한외 여과막 장치(12)의 투과수를 통류시키는 투과수 유출관(122)은 6방 밸브(V60)의 제3 유로(63)에 의해 초순수 배관(30)에 접속된다. 이로 인해 피처리수는 제1 한외 여과막 장치(11), 제2 한외 여과막 장치(12)를 순서대로 통류한다.

그리고, 한외 여과막 모듈의 교환 등에 의해 제1 한외 여과막 장치(11), 제2 한외 여과막 장치(12)의 피처리수의 통류 순서를 변경하는 경우에는 6방 밸브(V60)를 전환하여 제1 유로(61)에 의해 투과수 유출관(122)과 피처리수 공급관(111)을 접속시킨다. 또한, 제2 유로(62)에 의해 피처리수관(40)과 피처리수 공급관(121)을 접속시킨다. 또한, 제3 유로(63)에 의해 투과수 유출관(112)과 초순수 배관(30)을 접속시킨다. 이로 인해 피처리수는 제2 한외 여과막 장치(12), 제1 한외 여과막 장치(11)를 순서대로 통류한다.

상기 초순수의 제조와 한외 여과막 장치의 가동의 각 공정에 있어서, 상기와 같이 6방 밸브(V60)를 조작함으로써 제1 한외 여과막 장치(11), 제2 한외 여과막 장치(12)의 피처리수의 통류 순서를 변경할 수 있다. 이로 인해 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)를 순서대로 교환, 가동하면서 초순수를 제조할 수 있다. 이 때 신품의 모듈과의 교체 후의 가동 운전 시간이 현저하게 단축되기 때문에 고수질의 초순수를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)에 구비되는 한외 여과막 모듈의 하우징에서의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의 배치 위치가 각각 서로 공통된다. 그 때문에 한외 여과막 모듈의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구에 접속되는 초순수 제조 시스템의 배관의 배치나 형태를 변경하지 않고 임의의 한외 여과막 모듈을 옮겨서 이들을 교환할 수 있다.

(제4 실시형태)

도 12는 직렬로 접속된 2대의 한외 여과막 장치로 이루어지는 한외 여과막 유닛을 2개 이상 병렬로 접속한 구성을 나타내는 개략도이다. 도 12에 나타내는 2차 순수 제조부(13)는 제1 한외 여과막 장치(11x) 및 제2 한외 여과막 장치(12x)를 구비하는 한외 여과막 유닛(17x)과, 제1 한외 여과막 장치(11y) 및 제2 한외 여과막 장치(12y)를 구비하는 한외 여과막 유닛(17y)과, 제1 한외 여과막 장치(11z) 및 제2 한외 여과막 장치(12z)를 구비하는 한외 여과막 유닛(17z)을 병렬로 구비하고 있다. 한외 여과막 유닛(17x), 한외 여과막 유닛(17y), 한외 여과막 유닛(17z)은 각각 피처리수가 통류하는 피처리수관(171x, 171y, 171z)과, 각 한외 여과막 유닛의 전단에서 피처리수 공급관(171x, 171y, 171z)에 각각 설치된 개폐 밸브(V17x, V17y, V17z)를 갖고 있다.

도 12에 나타내는 구성에서는 동일 유닛 내에서 각각 상기와 동일하게 신품의 한외 여과막 모듈을 전단에 배치하고, 경시 사용된 한외 여과막 모듈을 후단에 배치하는 방식에 의해 한외 여과막 모듈의 교환, 한외 여과막 장치의 가동을 행할 수 있다. 또한, 개폐 밸브(V17x, V17y, V17z)의 개폐를 조합하여 3개의 한외 여과막 유닛 중 하나의 유닛에서 상기 제1∼제3 실시형태와 동일한 방식에 의한 한외 여과막 모듈의 교환, 한외 여과막 장치의 가동을 행함과 함께, 다른 2개의 유닛에서 초순수의 제조를 계속할 수 있다. 또한, 도 12에서는 한외 여과막 유닛을 3개 병렬로 접속한 양태를 나타냈지만, 병렬로 접속되는 한외 여과막 유닛의 수는 2개 혹은 4개 이상이어도 동일하다. 또한 상술한 것과 동일하게, 각 한외 여과막 장치가 갖는 한외 여과막 모듈의 수는 1 이상이면 복수여도 된다. 한외 여과막 장치가 복수의 한외 여과막 모듈을 갖는 경우, 예를 들면 전단의 한외 여과막 장치(11x)가 갖는 한외 여과막 모듈의 수와, 후단의 한외 여과막 장치(12x)가 갖는 한외 여과막 모듈의 수는 동일한 것이 바람직하다. 즉, 한외 여과막 장치(11x와 12x)가 갖는 한외 여과막 모듈의 수가 동일한 것이 바람직하고, 한외 여과막 장치(11y와 12y) 및 한외 여과막 장치(11z과 12z)도 동일하다. 또한, 각 유닛의 전단에 구비되는 한외 여과막 장치가 갖는 한외 여과막 모듈의 수도 동일한 것이 바람직하다. 즉, 한외 여과막 장치(11x, 11y, 11z)가 갖는 한외 여과막 모듈의 수도 모두 동일한 것이 바람직하다. 이들 한외 여과막 모듈의 수가 동일하지 않은 경우에는 각 유닛이나 장치의 유량에 치우침이 생기는 편흐름 등이 발생할 수 있고, 교환 주기가 현저하게 짧아지거나 수질이 악화될 우려가 있다.

(제5 실시형태)

도 13은 1단의 한외 여과막 장치가 복수 병렬한 한외 여과막 모듈을 갖는 구성을 나타내는 개략도이다. 도 13에 나타내는 2차 순수 제조부(13)는 제1 한외 여과막 모듈(110p, 110q, 110r)을 병렬로 접속한 구성의 제1 한외 여과막 장치(11) 및 제2 한외 여과막 모듈(120p, 120q, 120r)을 병렬로 접속한 구성의 제2 한외 여과막 장치(12)를 구비하고 있다. 이 구성에서는 1단의 한외 여과막 장치가 갖는 병렬 접속된 한외 여과막 모듈군을 하나로 합하여 전단측의 한외 여과막 모듈군(한외 여과막 장치(11)가 갖는 한외 여과막 모듈)과 후단측의 한외 여과막 모듈군(한외 여과막 장치(12)가 갖는 한외 여과막 모듈)의 사이에서 상기 제1∼제3 실시형태와 동일하게 신품의 한외 여과막 모듈을 전단에 배치하고, 경시 사용된 한외 여과막 모듈을 후단에 배치하는 방식에 의해 한외 여과막 모듈의 교환, 한외 여과막 장치의 가동을 행할 수 있다. 또한, 도 13에서는 하나의 한외 여과막 장치가 병렬로 접속한 3개의 한외 여과막 모듈을 갖는 양태를 나타내었지만, 병렬로 접속되는 한외 여과막 모듈의 수는 2개 혹은 4개 이상이어도 동일하다.

(제6 실시형태)

도 14는 직렬로 접속된 2개의 한외 여과막 장치로 이루어지는 한외 여과막 유닛을 2개 이상 병렬로 접속하고, 1단의 한외 여과막 장치가 복수 병렬한 한외 여과막 모듈을 갖는 구성을 나타내는 개략도이다.

도 14에 따른 구성은 제1 한외 여과막 장치(11x) 및 제2 한외 여과막 장치(12x)를 구비하는 한외 여과막 유닛(17x)과, 제1 한외 여과막 장치(11y) 및 제2 한외 여과막 장치(12y)를 구비하는 한외 여과막 유닛(17y)을 병렬로 구비하고 있다. 그리고, 제1 한외 여과막 장치(11x) 및 한외 여과막 장치(11y)는 모두 제1 한외 여과막 모듈(110p, 110q, 110r)을 병렬로 접속한 구성이고, 제2 한외 여과막 장치(12x) 및 한외 여과막 장치(12y)는 모두 제2 한외 여과막 모듈(120p, 120q, 120r)을 병렬로 접속한 구성이다.

도 14에 따른 구성에 있어서는 한외 여과막 유닛마다 1단의 한외 여과막 장치가 갖는 병렬 접속된 한외 여과막 모듈군을 하나로 합하여 전단측의 한외 여과막 모듈군과 후단측의 한외 여과막 모듈근 사이에서 상기 제1∼제3 실시형태와 동일하게 신품의 한외 여과막 모듈을 전단에 배치하고, 시간 경과에 의해 사용된 한외 여과막 모듈을 후단에 배치하는 방식에 의해 한외 여과막 모듈의 교환, 한외 여과막 장치의 가동을 행할 수 있다.

상기 복수의 한외 여과막 유닛을 하나의 한외 여과막 장치에 복수의 한외 여과막 모듈을 병렬 접속하여 갖는 구성에 있어서도 신품의 모듈과의 교체 후의 가동 운전 시간이 현저하게 단축되기 때문에 고수질의 초순수를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 제1 한외 여과막 장치(11)와 제2 한외 여과막 장치(12)에 구비되는 한외 여과막 모듈의 하우징에서의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구의 배치 위치가 각각 서로 공통된다. 그 때문에 한외 여과막 모듈의 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구에 접속되는 초순수 제조 시스템의 배관의 배치나 형태를 변경하지 않고 임의의 한외 여과막 모듈을 옮겨서 이들을 교환할 수도 있다.

실시예

이하, 실시예를 사용하여 본 발명을 상세히 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예로 한정되지 않는다.

(실시예)

원수를 원수 탱크로부터 열교환기, 자외선 산화 장치(니혼 포토사이엔스사 제조, JPW-2), Pd 담지 수지(LANXESS사 제조, Lewatit K7333), 막탈기 장치(3M사 제조, X40 G451H) 및 비재생형 혼상식 이온 교환 장치(노무라 마이크로ㆍ사이엔스 제조, N-Lite MBSP를 200L 충전)에 순서대로 통수하여 처리하였다. 이 비재생형 혼상식 이온 교환 장치의 처리수를 제1 한외 여과막 장치 및 제2 한외 여과막 장치에 순서대로 통수하였다. 제1 한외 여과막 장치 및 제2 한외 여과막 장치로는 사양(한외 여과막의 형상 및 성질, 한외 여과막 모듈의 형상 등)이 동일한 한외 여과막 장치(아사히카세이사 제조, OLT-6036)를 사용하였다.

상기 원수의 처리를 1년 연속하여 행한 후, 제2 한외 여과막 장치를 신품으로 교환하고, 신품의 제2 한외 여과막 장치, 제1 한외 여과막 장치의 순서로 통액하여 가동 운전을 20시간 행하였다. 가동 운전은 상기 열교환기에 초순수를 공급하여 행하였다. 가동 운전에서의, 제1 한외 여과막 장치의 처리수 중에 포함되는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 수의 시간 경과에 의한 변화를 조사하였다. 미립자 수의 측정에는 Particle Measuring Systems사 제조의 미립자계 UltraDI-20을 사용하였다. 결과를 도 15에 나타낸다.

(비교예)

실시예와 동일하게 원수의 처리를 연속하여 행한 후, 제2 한외 여과막 장치를 신품으로 교환하고, 제1 한외 여과막 장치, 신품의 제2 한외 여과막 장치의 순서로 통액하여 실시예와 동일하게 가동 운전을 20시간 행하였다. 실시예와 동일하게, 가동 운전에서의, 제2 한외 여과막 장치의 처리수 중에 포함되는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자 수의 경시 변화를 조사하였다. 결과를 실시예와 아울러 도 15에 나타낸다. 도 15에서 흑색 사각이 실시예이고 백색 사각이 비교예이다.

실시예 및 비교예에 의해 신품의 한외 여과막 모듈을 전단에 배치하고, 시간 경과에 의해 사용된 한외 여과막 모듈을 후단에 배치함으로써 가동 운전 시간을 단축할 수 있음을 알 수 있다.

11, 12: 한외 여과막 장치, 13, 131: 2차 순수 제조부, 14: 전처리부, 15: 1차 순수 제조부, 16: 유즈 포인트(POU), 18: 미립자계, 110: 제1 한외 여과막 모듈, 120: 제2 한외 여과막 모듈, 11a, 12a: 도입구, 11b, 12b: 투과수 유출구, 11c, 12c: 농축수 유출구, 111, 121: 피처리수 공급관, 112, 122: 투과수 유출관, 113, 123: 초순수 배관, 114, 124: 농축수 유출관, 115, 125: 이송 배관

Claims (10)

1. 직렬로 접속된 복수의 한외 여과막 모듈을 갖는 초순수 제조 시스템으로서,
   상기 복수의 한외 여과막 모듈은
   피처리수를 내부에 도입하는 제1 도입구와, 투과수를 유출시키는 제1 투과수 유출구와, 농축수를 유출시키는 제1 농축수 유출구를 갖고, 내부에 제1 한외 여과막을 수용하는 제1 한외 여과막 모듈과,
   피처리수를 내부에 도입하는 제2 도입구와, 투과수를 유출시키는 제2 투과수 유출구와, 농축수를 유출시키는 제2 농축수 유출구를 갖고, 내부에 제2 한외 여과막을 수용하는 제2 한외 여과막 모듈을 포함하고,
   상기 제1 한외 여과막 모듈과 상기 제2 한외 여과막 모듈의 형상 및 크기가 공통이고, 상기 제1 도입구와 상기 제2 도입구, 상기 제1 투과수 유출구와 상기 제2 투과수 유출구, 상기 제1 농축수 유출구와 상기 제2 농축수 유출구의 각각이 각 모듈 내에서 공통되는 위치에 배치되어 있고, 또한 상기 제1 한외 여과막과 상기 제2 한외 여과막이 공통의 분획 분자량 및/또는 유효막 면적을 갖는, 초순수 제조 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 피처리수의 유로가 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 순서대로 통류하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 순서대로 통류하는 제2 유로로 접속하는 배관의 재접합 또는 상기 배관의 밸브의 전환에 의해 변경 가능하게 구성된, 초순수 제조 시스템.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 복수의 한외 여과막 모듈의 형상 및 크기가 전부 공통되고, 상기 복수의 한외 여과막 모듈은 도입구, 투과수 유출구 및 농축수 유출구가 전부 공통되는 위치에 배치되어 있는, 초순수 제조 시스템.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 한외 여과막 모듈이 갖는 상기 한외 여과막의 분획 분자량 및 유효막 면적이 전부 공통되는, 초순수 제조 시스템.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 투과수 유출구에 접속된 제1 투과수 유출관과,
   상기 제1 투과수 유출관으로부터 분기하여 접속된 제1 이송 배관 및 제1 초순수 배관과,
   상기 제1 이송 배관 및 제1 초순수 배관에 각각 설치되고, 상기 제1 투과수 유출관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제1 이송 배관과 상기 제1 초순수 배관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브와,
   상기 제2 투과수 유출구에 접속된 제2 투과수 유출관과,
   상기 제2 투과수 유출관에 분기하여 접속된 제2 이송 배관 및 제2 초순수 배관과,
   상기 제2 이송 배관 및 제2 초순수 배관에 각각 설치되고, 상기 제2 투과수 유출관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제2 이송 배관과 상기 제2 초순수 배관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브와,
   상기 제1 도입구에 접속된 제1 피처리수 공급관과,
   상기 제2 도입구에 접속된 제2 피처리수 공급관과,
   상기 제1 피처리수 공급관과 제2 피처리수 공급관에 설치되고, 피처리수의 공급 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는, 2개의 개폐 밸브를 갖고,
   상기 제1 이송 배관은 상기 제2 피처리수 공급관에 접속되고,
   상기 제2 이송 배관은 상기 제1 피처리수 공급관에 접속되고,
   상기 6개의 개폐 밸브의 개폐의 조합에 의해
   피처리수의 유로를 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된, 초순수 제조 시스템.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 유로를 전환할 수 있는 조합의 상기 2개의 개폐 밸브 대신에 내부에 2개의 유로를 전환 가능한 하나의 3방 밸브를 상기 분기하여 접속된 배관의 분기점에 갖고,
   상기 3방 밸브에 의해,
   피처리수의 유로를 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와, 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된, 초순수 제조 시스템.
7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 투과수 유출구에 접속된 제1 투과수 유출관과,
   상기 제1 도입구에 접속된 제1 피처리수 공급관과,
   상기 제2 투과수 유출구에 접속된 제2 투과수 유출관과,
   상기 제2 도입구에 접속된 제2 피처리수 공급관과,
   상기 제1 피처리수 공급관 또는 제2 피처리수 공급관에 피처리수를 공급하는 피처리수관과,
   상기 제1 투과수 유출관 또는 상기 제2 투과수 유출관으로부터의 투과수를 초순수의 사용 장소로 보내는 초순수 배관과,
   상기 제1 한외 여과막 모듈의 투과수를 상기 제2 피처리수 공급관으로 또는 상기 제2 한외 여과막 모듈의 투과수를 상기 제1 피처리수 공급관으로 이송하는 이송 배관과,
   상기 피처리수관으로부터의 피처리수의 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는 제1 유로 전환부와,
   상기 초순수 배관에 유입시키는 한외 여과막의 투과수의 유로를 상기 제1 투과수 유출관과 상기 제2 투과수 유출관으로 전환할 수 있는 제2 유로 전환부와,
   상기 이송 배관으로부터의 투과수의 유로를 상기 제1 피처리수 공급관과 상기 제2 피처리수 공급관으로 전환할 수 있는 제3 유로 전환부와,
   상기 이송 배관에 유입시키는 투과수의 유로를 상기 제1 투과수 유출관과 상기 제2 투과수 유출관으로 전환할 수 있는 제4 유로 전환부를 갖고,
   상기 제1 내지 제4 유로 전환부의 전환에 의해 피처리수의 유로를, 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된, 초순수 제조 시스템.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 제1 및 제3 유로 전환부 및 상기 제2 및 제4 유로 전환부의 각각의 조합 대신에 내부에 적어도 2개의 유로를 갖고 이들의 접속의 전환이 가능한 2개의 4방 밸브를 갖고,
   상기 4방 밸브에 의해,
   피처리수의 유로를, 상기 제1 한외 여과막 모듈에서 상기 제2 한외 여과막 모듈로 통류하는 제1 유로와 상기 제2 한외 여과막 모듈에서 상기 제1 한외 여과막 모듈로 통류하는 제2 유로로 전환 가능하게 구성된, 초순수 제조 시스템.
9. 직렬로 접속된 복수의 한외 여과막 모듈을 갖고, 전단의 한외 여과막 모듈이 갖는 한외 여과막과 후단의 한외 여과 모듈이 갖는 한외 여과막의 분획 분자량 및/또는 유효막 면적이 공통되는 초순수 제조 시스템의 운전 방법으로서,
   초순수 제조시에 상기 복수의 한외 여과막 모듈 중 후단의 한외 여과막 모듈은 전단의 한외 여과막 모듈의 투과수를 처리하고,
   상기 복수의 한외 여과막 모듈 중 적어도 하나를 교환할 때에,
   상기 초순수 제조시에서의 후단의 한외 여과막 모듈을 신품의 한외 여과막 모듈로 교환하고,
   상기 신품의 한외 여과막 모듈을 전단으로 하고, 교환되지 않는 한외 여과막 모듈을 후단으로 하여 유로를 전환하고, 상기 복수의 한외 여과막 모듈에 세정수를 통류시켜 초순수 제조 시스템의 가동을 행하는, 초순수 제조 시스템의 운전 방법.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 한외 여과막 모듈의 교환은
    초순수 제조시에서의 후단의 한외 여과막 모듈의 투과수 중에 포함되는 입자 직경 20㎚ 이상의 미립자가 1000pcs./L 이상이 되었을 때에 행하는, 초순수 제조 시스템의 운전 방법.

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