JP2019197795A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態の半導体装置について、図1〜図4Dを参照して述べる。本実施形態の半導体装置は、例えば、自動車などの車両などに取り付けられ、各種電子部品の駆動制御を行う半導体装置などに適用され得る。
第2実施形態の半導体装置について、図5〜図7Cを参照して述べる。図5〜図7Cでは、構成を分かり易くするため、構成要素の大きさや厚みなどを誇張してデフォルメしたものを示している。
第3実施形態の半導体装置について、図8〜図10Cを参照して述べる。図8〜図10Cでは、構成を分かり易くするため、構成要素の大きさや厚みなどを誇張してデフォルメしたものを示している。
なお、上記した各実施形態に示した半導体装置およびその製造方法は、本発明の一例を示したものであり、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
2 電極パッド
3 凸部
4 接着層
41 電極直下部
5 支持体
53 突起部
54 フィラー
6 ワイヤ
Claims (7)
- 表面(1a)と裏面(1b)とを有し、前記表面上に電極パッド(2)を備える半導体チップ(1)と、
一面(5a)を有し、前記一面上に接着層(4)を介して前記半導体チップが搭載される支持体(5)と、
前記電極パッドに接続されるワイヤ(6)と、を備え、
前記接着層のうち前記電極パッドを前記一面に対する法線方向に沿って投影した領域に配置される部分を電極直下部(41)として、
前記電極直下部は、前記法線方向における厚みが、前記接着層のうち該電極直下部と異なる部分の前記法線方向における厚みよりも薄い半導体装置。 - 前記半導体チップは、前記裏面のうち前記電極パッドを前記表面に対する法線方向に沿って投影した領域に凸部(3)が形成されており、
前記接着層のうち前記凸部と前記一面との間に配置されている部分が前記電極直下部である請求項1に記載の半導体装置。 - 前記一面のうち前記電極パッドを前記表面に対する法線方向に沿って投影した領域の上には、突起部(53)が形成されており、
前記接着層のうち前記裏面と前記突起部との間に配置されている部分が前記電極直下部である請求項1に記載の半導体装置。 - 前記一面のうち前記電極パッドを前記表面に対する法線方向に沿って投影した領域の上には、フィラー(54)が配置されており、
前記接着層のうち前記裏面と前記フィラーとの間に配置されている部分が前記電極直下部である請求項1に記載の半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップを用意することと、
前記半導体チップの前記裏面にエッチングにより前記凸部を形成することと、
前記支持体を用意することと、
前記半導体チップの前記裏面側に前記凸部を覆う前記接着層を配置することと、
前記一面上に前記接着層を介して前記半導体チップを搭載することと、
前記支持体に前記半導体チップを搭載した後、前記半導体チップの前記表面側に前記ワイヤをワイヤボンディングにより接続することと、を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項3に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップを用意することと、
前記支持体を用意することと、
前記支持体の前記一面上に電解メッキにより前記突起部を形成することと、
前記支持体の前記一面上に前記接着層を形成して前記突起部を覆うことと、
前記裏面を前記一面側に向けて前記半導体チップを前記接着層上に載せ、前記一面上に前記半導体チップを搭載することと、
前記支持体に前記半導体チップを搭載した後、前記半導体チップの前記表面側に前記ワイヤをワイヤボンディングにより接続することと、を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップを用意することと、
前記支持体を用意することと、
前記支持体の前記一面のうち前記半導体チップのうち前記電極直下部となる部分を前記法線方向に沿って投影した領域に前記フィラーを配置し、前記接着層を塗布して前記フィラーを覆うことと、
前記裏面を前記一面側に向けて前記半導体チップを載せ、前記一面上に前記半導体チップを搭載することと、
前記支持体に前記半導体チップを搭載した後、前記半導体チップの前記表面側に前記ワイヤをワイヤボンディングにより接続することと、を含む半導体装置の製造方法。
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JP2010129935A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Panasonic Corp | 半導体チップと半導体装置および半導体チップの製造方法 |
JP2015015335A (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-22 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
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