JP2019192808A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2.酸素析出物および二次欠陥形成領域
Claims (4)
- チョクラルスキー法で成長した酸素を含有したシリコン結晶(CZ Si)において、デバイス形成層に近接した深部領域に水素をイオン注入し、400-430℃の温度における熱処理によって水素による酸素析出核の優先的形成を生じせしめ、引き続いて酸素析出物を形成するための熱処理により該領域に優先的に酸素析出物および二次欠陥を形成し、これをゲッタリング層とすることを特徴とする半導体製造装置。
- 酸素析出物の形成は600-1000℃の間の熱処理で行われることを特徴とした請求項1項。
- 低酸素濃度を含有するCZ Siを利用することにより、水素をイオン注入していない領域では、酸素析出物および二次欠陥の発生を抑制することを特徴とした請求項1項および2項。
- 低酸素濃度を含有するCZ Siを利用するとともに、デバイス形成領域の酸素を1000℃以上の熱処理により外方拡散させ、 デバイス形成層において酸素析出物および二次欠陥の発生を抑制することを特徴とした請求項1項から3項。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05308076A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-11-19 | Fujitsu Ltd | シリコンウエーハの酸素析出方法 |
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2018
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