JP2019184291A - 湿度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
H=(|Rr−Rf| / Rr)×100
H:比率、Rr:上昇時20%rhの抵抗値、Rf:下降時20%rhの抵抗値
2 第一電極層
3 第二電極層
4 半導体高分子層
5 絶縁性ポリアニリン高分子層
Claims (4)
- 基材上に第一電極層と第二電極層との間に直流電圧が印加され、
前記第一電極層と前記第二電極層の間の電流を計測して半導体高分子層の抵抗値を算出する湿度センサは、
プラスチックを含む可撓性の基材と、
前記基材上にパターン形成された第一電極層と、
前記基材上に前記第一電極層から離間してパターン形成された第二電極層と、
平面視で前記第一電極層と前記第二電極層とに重畳する半導体高分子層と、
前記半導体高分子層の少なくとも一部が覆われる絶縁性ポリアニリン高分子層と、
からなる湿度センサ。 - 請求項1に記載の湿度センサにおいて、
前記半導体高分子層はポリ−4−スチレンスルホン酸をドープしたポリ−3,4−エチレンジオキシチオフェン(PEDOT:PSS)膜からなり、
前記絶縁性ポリアニリン高分子層は塩基性型ポリアニリンからなる湿度センサ。 - 基材上に第一電極層と第二電極層との間に直流電圧が印加され、
前記第一電極層と前記第二電極層の間の電流を計測して半導体高分子層の抵抗値を算出する湿度センサの製造方法は、
プラスチックを含む可撓性の基材上に、パターン形成された第一電極層を形成する工程と、
前記第一電極層から離間してパターン形成された第二電極層を形成する工程と、
平面視で前記第一電極層と前記第二電極層とに重畳する半導体高分子層を形成する工程と、
前記半導体高分子層の少なくとも一部が覆われる絶縁性ポリアニリン高分子層を形成する工程と、
を含む湿度センサの製造方法。 - 請求項3に記載の湿度センサの製造方法において、
前記半導体高分子層を形成する工程は、ポリ−4−スチレンスルホン酸をドープしたポリ−3,4−エチレンジオキシチオフェン(PEDOT:PSS)を塗布する工程を含み、
前記絶縁性ポリアニリン高分子層を形成する工程は、塩基性型ポリアニリンを塗布する工程を含む湿度センサの製造方法。
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