JP2019169615A - 太陽電池 - Google Patents
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Abstract
Description
[1]下部基板上に、下部電極と上部電極から構成される一対の電極に挟持された、ペロブスカイト化合物を含有する活性層を有する太陽電池素子と、封止層と、上部基板と、を有し、前記封止層は、前記太陽電池素子が存在しない前記下部基板端部に位置し、該封止層を形成する封止樹脂は溶解度パラメータSP値が10以上であり、かつ該封止層はペロブスカイト化合物を含有する、太陽電池。
[2]前記太陽電池素子は、前記封止層が、下部電極上に位置する活性層と接触していない[1]に記載の太陽電池。
[3]前記封止層を形成する封止樹脂がエポキシ系樹脂である、[1]又は[2]に記載の太陽電池。
[4]前記封止層を形成する封止樹脂が光硬化型のエポキシ系樹脂である[1]〜[3]のいずれかに記載の太陽電池。
[5]前記封止層の膜厚が5μm以上である[1]〜[4]のいずれかに記載の太陽電池。
下部基板は、太陽電池を構成する支持部材である。上部基板は、後述する封止層とともに、太陽電池素子を封止する部材である。下部基板及び上部基板の材料としては、ロール・ツー・ロール方式に適用できるよう、ロールに巻回できる程度の可撓性を有する、樹脂材料からなる可撓性基板であることが好ましいが、透明ガラス基板であってもよく、セラミック基板であってもよい。
下部基板及び/又は下部基板が樹脂材料により形成される場合、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ナイロン、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、エチレンビニルアルコール共重合体、フッ素樹脂フィルム、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、セルロース、アセチルセルロース、ポリ塩化ビニリデン、アラミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリ(メタ)アクリル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリアリレート、ポリノルボルネン等の有機材料などが挙げられる。これらのなかでも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリイミド、ポリ(メタ)アクリル樹脂フィルムが、可撓性基板の形成しやすさの点で好ましい。さらに、耐熱性の観点からは、ポリエチレンナ
フタレート、および、ポリイミドフィルムが特に好ましい。上部基板及び下部基板の材料は、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。また、上部基板と下部基板とは、同じ種類の基板であってよく、異なる基板であってよい。
一対の電極は、下部電極及び上部電極により構成され、一対の電極のうち一方の電極は活性層が光を吸収することにより発生する正孔を捕集する機能を有する電極(以下、アノードと称す)であり、他方の電極は、活性層が光を吸収することにより発生する電子を捕集する機能を有する電極である(以下、カソードと称す)。下部電極をアノードとする場合、上部電極をカソードとし、下部電極をカソードとする場合、上部電極をアノードとすることが好ましい。
とが好ましい。なお、銀の合金としては、硫化又は塩素化の影響を受けにくく薄膜としての安定性を向上させるために、銀と金の合金、銀と銅の合金、銀とパラジウムの合金、銀と銅とパラジウムの合金、銀と白金の合金等が挙げられる。
太陽電池素子は、一対の電極の少なくとも一方の電極と有機活性層との間にバッファ層を有してもよい。すなわち、上部電極と有機活性層の間に上部バッファ層、及び/又は下部電極と有機活性層との間に下部バッファ層を有してもよい。
電子取り出し層の材料は、電子取り出し効率を向上させることができる材料であれば特段の制限はなく、無機化合物又は有機化合物が挙げられる。
無機化合物の例としては、Li、Na、K又はCs等のアルカリ金属の塩;酸化チタン(TiOx)や酸化亜鉛(ZnO)のようなn型半導体酸化物等が挙げられる。なかでも、アルカリ金属塩としては、LiF、NaF、KF又はCsFのようなフッ化物塩が好ましく、n型半導体酸化物としては、酸化亜鉛(ZnO)が好ましい。このような材料の動作機構は不明であるが、Al等で構成されるカソードと組み合わされた際にカソードの仕事関数を小さくし、太陽電池素子内部に印加される電圧を上げる事が考えられる。
ような有機金属酸化物;オキサジアゾール化合物又はベンゾイミダゾール化合物のような、置換基を有していてもよい1又は2の環構造を有する化合物;ナフタレンテトラカルボン酸無水物(NTCDA)又はペリレンテトラカルボン酸無水物(PTCDA)のような、ジカルボン酸無水物のような縮合ジカルボン酸構造を有する芳香族化合物等が挙げられる。
活性層は光電変換が行われる層である。光電変換素子が光を受けると、光が活性層に吸収されてキャリアが発生し、発生したキャリアは下部電極及び上部電極から取り出される。
イト半導体化合物とは、ペロブスカイト構造を有する半導体化合物のことを指す。ペロブスカイト半導体化合物としては、特段の制限はないが、例えば、Galasso et al. Structure and Properties of Inorganic Solids, Chapter 7 - Perovskite type and related structuresで挙げられているものから選ぶことができる。例えば、ペロブスカイト半導体化合物としては、一般式AMX3で表されるAMX3型のもの又は一般式A2MX4で表されるA2MX4型のものが挙げられる。ここで、Mは2価のカチオンを、Aは1価のカチオンを、Xは1価のアニオンを指す。
少なくとも1つが異なるペロブスカイト半導体化合物が活性層に含まれていてもよい。また活性層は、異なる材料を含み又は異なる成分を有する複数の層で形成される積層構造を有していてもよい。
、エアナイフコート法、ワイヤーバーバーコート法、パイプドクター法、含浸・コート法又はカーテンコート法等が挙げられる。
本実施形態では、封止層が、前記太陽電池素子が存在しない前記下部基板端部に位置し、封止層により下部基板と上部基板が貼合されている。さらに、封止層を形成するための樹脂組成物の溶解度パラメータSP値が10以上であり、かつ、封止層がペロブスカイト化合物を含有している。当該構成とすることで、以下に説明するように、下部基板と封止層との密着性が良くなり、耐久性の高い太陽電池を提供することができる。
太陽電池素子100は、下部基板10上に下部電極12、活性層14及び上部電極13がこの順に積層される。本実施形態では、下部基板10上に、下部電極12と上部電極13から構成される一対の電極に挟持された、ペロブスカイト化合物を含有する活性層14を有する太陽電池素子と、封止層15と、上部基板11と、を有し、前記封止層は、前記太陽電池素子が存在しない前記下部基板端部に位置し、下部電極上に位置する活性層と接触していない構成である。
δi=[Δei/Δvi]^(1/2) (1)
更に好ましい。該酸化防止剤の添加量は、樹脂組成物中に、通常0.1〜1質量%程度であり、0.2〜0.5質量%添加することが好ましい。
本実施形態の太陽電池は、本発明の効果を阻害しない範囲で適宜その他の層を有してもよい。その他の層としては、例えば集電線、上面保護層、裏面保護層、バリア層、紫外線遮蔽層、水分ゲッター層、酸素ゲッター層、波長変換層、反射防止層などがあげられる。これらの部材は太陽電池の適用環境等により、適宜設けられる。
太陽電池の製造方法は、本発明に係る太陽電池が製造できる限りにおいて特段の制限はない。一例としては、太陽電池素子を製造する工程と、封止工程とにより太陽電池を製造することができる。
セトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン若しくはシクロヘキサノン等の脂肪族ケトン類;アセトフェノン若しくはプロピオフェノン等の芳香族ケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル若しくは乳酸メチル等のエステル類;クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、トリクロロエタン若しくはトリクロロエチレン等のハロゲン炭化水素類;エチルエーテル、テトラヒドロフラン若しくはジオキサン等のエーテル類;又は、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルホルムアミド若しくはジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。なお、溶媒は1種の溶媒を単独で用いてもよいし、任意の2種以上の溶媒を任意の比率で併用してもよい。
図1の模式断面図に示す太陽電池を以下の手順で作製した。
まず、モル比が1:1となるようにヨウ化鉛(II)(1014mg)及びヨウ化メチルアンモニウム(CH3NH3I,350mg)をバイアルに量りとり、N,N−ジメチルホルムアミド(2mL)を加えた。次に、得られた混合液を70℃で1時間加熱撹拌した。その後、得られた溶液をポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルター(孔径0.2μm)で濾過することにより、活性層塗布液を作製した。
下部電極として酸化インジウムスズ(ITO)透明導電膜を備えるガラス基板(ジオマテック製、厚さ0.7mm、40mm角)に対し、洗浄剤(横浜油脂工業社製、精密ガラス基板用洗浄剤セミクリーンM−LO)を用いた超音波洗浄、超純水を用いた超音波洗浄、窒素ブローによる乾燥、および、UV−オゾン処理を行ない、下部基板を準備した。
板上の全面に3000rpmの速度でスピンコートすることにより、厚さ約30nmの正孔取り出し層を形成した。得られた基板を120℃で30分間加熱した。
封止樹脂をスリーボンド社製紫外線硬化性エポキシ樹脂(TB3124)の代わりにスリーボンド社製熱硬化性エポキシ樹脂(TB1651D)とし、紫外線照射の代わりにドライクリーン環境下での真空ラミネートによる加熱、加圧工程に変更した以外は実施例1と同様の方法により、太陽電池を得た。真空ラミネートは、下部基板に封止樹脂、上部基板を重ねた後に、真空ラミネーター(NPC社製、NLM−270×400)に投入し、ラミネーター内部を減圧下で15分間保持した後に大気圧で圧着状態としつつ、120℃で10分間保持し、その後室温まで冷却した。得られた封止樹脂の厚さは20μmであった。
封止樹脂をスリーボンド社製熱硬化性エポキシ樹脂(TB1651D)の代わりにクラボウ社製ポリエチレン系共重合体であるオレフィン樹脂(クランベター)とした以外は実施例2と同様の方法で太陽電池を得た。得られた封止樹脂の厚さは20μmであった。
下部基板と封止層の間にペロブスカイト化合物が存在する場合の密着性を以下のように測定し、評価した。
実施例1と同様の方法でガラス基板上全面に活性層形成まで形成した。次に、ガラス基板よりも一回り大きい厚さ50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを準備した。続いて、実施例1、実施例2、比較例1で使用した封止樹脂、および、封止方法により、ガラス基板とポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り合せた。それぞれ形
成された封止層の厚さは実施例1、実施例2、比較例1と同様とした。次に、ポリエチレンテレフタレート側から10mm間隔で切り込みを入れ、ポリエチレンテレフタレートと封止層を幅10mmに分割した短冊状の試験サンプルを得た。また、比較用にペロブスカイト化合物を含まない評価サンプルとして、ガラス基板上に上記と同様の方法で実施例1、実施例2、比較例1で使用した封止樹脂を用いて封止層を形成させた。
○:ポリエチレンテレフタレートフィルムが材破(10kgf/10mm以上)
×:ガラス基板と封止層の間で剥離(5kgf/10mm未満)
また、比較用に作成した実施例1、実施例2、比較例1で使用した樹脂を用いて封止層を形成させた評価サンプルでも上記同様の密着性評価を行なったところ、全てポリエチレンテレフタレートフィルムが材破する結果であった。
太陽電池の下部基板側からソーラシュミレーター(分光計器社製)でAM1.5G条件の光を照射強度1000W/cm2を照射して、得られた電流−電圧曲線を測定した。測定にはソースメーター(ケースレー社製、2400型)を用い、測定結果から、光電変換効率(PCE)を算出した。
また、後述する封止層を形成するための光硬化、熱硬化、および、熱処理等の、封止層硬化処理工程前後の光電変換効率を測定して下記式に基づき、封止層硬化処理工程前後の効率維持率を算出し、評価を行なった。得られた結果を表1に示す。
封止層硬化後処理工程前後の効率維持率 = (硬化処理工程直後のPCE)/(硬化処理工程直前のPCE)
○:効率維持率が0.98以上
△:効率維持率が0.95以下
施例2を比較すると、実施例2に係る太陽電池は、封止層の熱硬化により太陽電池素子が影響を受けて変換効率が低下してしまったのに対して、実施例1に係る太陽電池は、太陽電池素子に紫外線を照射させることなく、封止層の硬化処理が可能であっために、太陽電池素子を劣化させることなく太陽電池を製造することができたものと思われる。
10 下部基板
11 上部基板
12 下部電極
13 上部電極
14 活性層
14´ ペロブスカイト化合物のエッチング残り
15 封止層
16 空隙
Claims (5)
- 下部基板上に、下部電極と上部電極から構成される一対の電極に挟持された、ペロブスカイト化合物を含有する活性層を有する太陽電池素子と、封止層と、上部基板と、を有し、
前記封止層は、前記太陽電池素子が存在しない前記下部基板端部に位置し、
該封止層を形成する封止樹脂は溶解度パラメータSP値が10以上であり、かつ該封止層はペロブスカイト化合物を含有する、太陽電池。 - 前記太陽電池素子は、
前記封止層が、下部電極上に位置する活性層と接触していない請求項1に記載の太陽電池。 - 前記封止層を形成する封止樹脂がエポキシ系樹脂である、請求項1又は2に記載の太陽電池。
- 前記封止層を形成する封止樹脂が光硬化型のエポキシ系樹脂である請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 前記封止層の膜厚が5μm以上である請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021107158A1 (en) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | Ricoh Company, Ltd. | Photoelectric conversion element, photoelectric conversion module, electronic device, and power supply module |
KR20220149274A (ko) * | 2021-04-30 | 2022-11-08 | 이세현 | 저온 저압 큐어링 공정을 이용한 건물 일체형 태양광모듈 |
WO2023132135A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池 |
WO2023132134A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池 |
WO2023132136A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 光電変換モジュール |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012238661A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜太陽電池の成膜装置 |
US20150122316A1 (en) * | 2013-10-16 | 2015-05-07 | OmniPV, Inc. | Photovoltaic cells including halide materials |
WO2016060156A1 (ja) * | 2014-10-14 | 2016-04-21 | 積水化学工業株式会社 | 太陽電池 |
JP2016178288A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社リコー | 光電変換素子 |
JP2016187021A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 住友化学株式会社 | 光電変換素子 |
JP2017069508A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 住友化学株式会社 | 光電変換素子及び光電変換素子の製造方法 |
KR20170070882A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-23 | 주식회사 동진쎄미켐 | 페로브스카이트 태양전지의 모노리식 타입 모듈 및 이의 제조 방법 |
WO2017169985A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 日本ゼオン株式会社 | 有機系太陽電池用シール剤組成物、有機系太陽電池用シール剤、有機系太陽電池用電極および有機系太陽電池 |
-
2018
- 2018-03-23 JP JP2018056391A patent/JP7102827B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012238661A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Ulvac Japan Ltd | 有機薄膜太陽電池の成膜装置 |
US20150122316A1 (en) * | 2013-10-16 | 2015-05-07 | OmniPV, Inc. | Photovoltaic cells including halide materials |
WO2016060156A1 (ja) * | 2014-10-14 | 2016-04-21 | 積水化学工業株式会社 | 太陽電池 |
JP2016178288A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社リコー | 光電変換素子 |
JP2016187021A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 住友化学株式会社 | 光電変換素子 |
JP2017069508A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 住友化学株式会社 | 光電変換素子及び光電変換素子の製造方法 |
KR20170070882A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-23 | 주식회사 동진쎄미켐 | 페로브스카이트 태양전지의 모노리식 타입 모듈 및 이의 제조 방법 |
WO2017169985A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 日本ゼオン株式会社 | 有機系太陽電池用シール剤組成物、有機系太陽電池用シール剤、有機系太陽電池用電極および有機系太陽電池 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021107158A1 (en) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | Ricoh Company, Ltd. | Photoelectric conversion element, photoelectric conversion module, electronic device, and power supply module |
KR20220079923A (ko) * | 2019-11-28 | 2022-06-14 | 가부시키가이샤 리코 | 광전 변환 소자, 광전 변환 모듈, 전자 기기, 및 전원 모듈 |
EP4066293A4 (en) * | 2019-11-28 | 2023-01-11 | Ricoh Company, Ltd. | PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT, PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT MODULE, ELECTRONIC DEVICE AND POWER SUPPLY MODULE |
KR102618397B1 (ko) * | 2019-11-28 | 2023-12-27 | 가부시키가이샤 리코 | 광전 변환 소자, 광전 변환 모듈, 전자 기기, 및 전원 모듈 |
KR20220149274A (ko) * | 2021-04-30 | 2022-11-08 | 이세현 | 저온 저압 큐어링 공정을 이용한 건물 일체형 태양광모듈 |
KR102620224B1 (ko) * | 2021-04-30 | 2024-01-03 | 이세현 | 저온 저압 큐어링 공정을 이용한 건물 일체형 태양광모듈 |
WO2023132135A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池 |
WO2023132134A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池 |
WO2023132136A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | パナソニックホールディングス株式会社 | 光電変換モジュール |
JP7472409B2 (ja) | 2022-01-07 | 2024-04-22 | パナソニックホールディングス株式会社 | 太陽電池 |
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Publication number | Publication date |
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