JP2019158820A - 下地処理検査装置および下地処理検査方法 - Google Patents
下地処理検査装置および下地処理検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019158820A JP2019158820A JP2018049425A JP2018049425A JP2019158820A JP 2019158820 A JP2019158820 A JP 2019158820A JP 2018049425 A JP2018049425 A JP 2018049425A JP 2018049425 A JP2018049425 A JP 2018049425A JP 2019158820 A JP2019158820 A JP 2019158820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terahertz wave
- base
- reflected
- intensity
- terahertz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
上述のように構成された下地処理検査装置1の動作時においては、まず、テラヘルツ波発信器10からテラヘルツ波L1が発信される。具体的には、テラヘルツ波発生素子11において発生したテラヘルツ波が、半球レンズ12、コリメートレンズ13、および対物レンズ14を介して、テラヘルツ波L1として出力される。ここで、発信されるテラヘルツ波L1は、典型的には連続的に発信されるテラヘルツ連続波であるが、断続的に発信されるテラヘルツパルス波やトーンバースト波であってもよい。
10 テラヘルツ波発信器
11 テラヘルツ波発生素子
15,24 偏光板
20 テラヘルツ波検出器
21 テラヘルツ波検出素子
30 解析制御部
34 解析処理部
80 対象物
81 鋼材
81a 鋼面
81b アンカーパターン
82 塗膜
82a 表面
Claims (12)
- 下地と前記下地の上層に設けられた被覆層とから構成される対象物における前記被覆層の所定位置に、前記被覆層の表面に対してブリュースター角をなしてテラヘルツ波を照射可能に構成されたテラヘルツ波発信手段と、
前記対象物の前記下地において反射されたテラヘルツ波を検出可能に構成された少なくとも1つのテラヘルツ波検出素子を有するテラヘルツ波検出手段と、
前記下地の表面が略平坦である場合において前記テラヘルツ波検出手段によって得られた前記反射されたテラヘルツ波の強度または強度分布を基準として、前記テラヘルツ波検出手段によって検出された前記反射されたテラヘルツ波の強度または強度分布における、前記基準となる強度または強度分布に対する比率に基づいて、前記下地の表面の粗さを評価する解析手段と、を備える
ことを特徴とする下地処理検査装置。 - 前記テラヘルツ波発信手段から発信される前記テラヘルツ波を前記対象物に照射する前にP偏光にする、発信側P偏光手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の下地処理検査装置。
- 前記テラヘルツ波検出素子に対して前記反射されたテラヘルツ波が入射する側に、テラヘルツ波のP偏光を透過する検出側P偏光手段をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の下地処理検査装置。
- 前記下地が金属基体の表面であるとともに前記被覆層が非金属層であり、前記テラヘルツ波は、前記金属基体の表面で反射されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の下地処理検査装置。
- 前記金属基体が鋼材であることを特徴とする請求項4に記載の下地処理検査装置。
- 前記テラヘルツ波発信手段から発信される前記テラヘルツ波が連続波であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の下地処理検査装置。
- 下地と前記下地の上層に設けられた被覆層とから構成される対象物における前記被覆層の所定位置に、前記被覆層の表面に対してブリュースター角をなしてテラヘルツ波を照射する発信ステップと、
前記対象物の前記下地において反射されたテラヘルツ波を検出可能に構成された少なくとも1つのテラヘルツ波検出素子を有するテラヘルツ波検出手段によって、前記反射されたテラヘルツ波を検出する検出ステップと、
前記下地の表面が略平坦である場合において前記テラヘルツ波検出手段によって得られた前記反射されたテラヘルツ波の強度または強度分布を基準として、前記テラヘルツ波検出手段によって検出された前記反射されたテラヘルツ波の強度または強度分布における、前記基準となる強度または強度分布に対する比率に基づいて、前記下地の表面の粗さを評価する解析手段と、を備える
ことを特徴とする下地処理検査方法。 - 前記発信ステップにおいて発信された前記テラヘルツ波を、前記対象物に照射する前にP偏光にすることを特徴とする請求項7に記載の下地処理検査方法。
- 前記反射されたテラヘルツ波が前記テラヘルツ波検出素子に入射する前に、前記反射されたテラヘルツ波のP偏光成分を取り出して、前記テラヘルツ波検出素子に入射させることを特徴とする請求項7または8に記載の下地処理検査方法。
- 前記下地が金属基体の表面であるとともに前記被覆層が非金属層であり、前記テラヘルツ波は前記金属基体の表面で反射されることを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の下地処理検査方法。
- 前記金属基体が鋼材であることを特徴とする請求項10に記載の下地処理検査方法。
- 前記発信ステップにおいて発信される前記テラヘルツ波が連続波であることを特徴とする請求項7〜11のいずれか1項に記載の下地処理検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018049425A JP6969461B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 下地処理検査装置および下地処理検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018049425A JP6969461B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 下地処理検査装置および下地処理検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019158820A true JP2019158820A (ja) | 2019-09-19 |
JP6969461B2 JP6969461B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=67993920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018049425A Active JP6969461B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 下地処理検査装置および下地処理検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6969461B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113008172A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-22 | 北京理工大学 | 一种基于太赫兹波的冰雪赛道检查装置和方法 |
KR20230127343A (ko) | 2021-03-25 | 2023-08-31 | 재팬 마린 유나이티드 코포레이션 | 금속 표면의 조면 처리의 평가 방법 및 평가 장치 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003194780A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-09 | Toshiba Corp | 鉄酸化皮膜検査装置および鉄酸化皮膜検査方法 |
US20050098728A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Alfano Robert R. | Systems and methods for non-destructively detecting material abnormalities beneath a coated surface |
JP2005214758A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Nippon Steel Corp | 表面検査装置 |
JP2007155709A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-06-21 | Arc Harima Kk | 写像性の評価方法 |
JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
JP2011028268A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Korea Electronics Telecommun | テラヘルツ連続波発生装置及び方法 |
JP2011034173A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Glory Ltd | テラヘルツ光を用いた紙葉類の真偽判別方法および装置 |
JP2013228329A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置および欠陥計測方法 |
WO2014034848A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | コンパニー ゼネラール デ エタブリッスマン ミシュラン | 被覆金属材料の非破壊診断方法 |
-
2018
- 2018-03-16 JP JP2018049425A patent/JP6969461B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003194780A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-09 | Toshiba Corp | 鉄酸化皮膜検査装置および鉄酸化皮膜検査方法 |
US20050098728A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Alfano Robert R. | Systems and methods for non-destructively detecting material abnormalities beneath a coated surface |
JP2005214758A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Nippon Steel Corp | 表面検査装置 |
JP2007155709A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-06-21 | Arc Harima Kk | 写像性の評価方法 |
JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
JP2011028268A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Korea Electronics Telecommun | テラヘルツ連続波発生装置及び方法 |
JP2011034173A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Glory Ltd | テラヘルツ光を用いた紙葉類の真偽判別方法および装置 |
JP2013228329A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置および欠陥計測方法 |
WO2014034848A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | コンパニー ゼネラール デ エタブリッスマン ミシュラン | 被覆金属材料の非破壊診断方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113008172A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-22 | 北京理工大学 | 一种基于太赫兹波的冰雪赛道检查装置和方法 |
KR20230127343A (ko) | 2021-03-25 | 2023-08-31 | 재팬 마린 유나이티드 코포레이션 | 금속 표면의 조면 처리의 평가 방법 및 평가 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6969461B2 (ja) | 2021-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5360741B2 (ja) | テラヘルツ光を用いた紙葉類の検査方法および検査装置 | |
US8622612B2 (en) | Method and apparatus for determining the thermal expansion of a material | |
US7649632B2 (en) | Characterization of micro- and nano scale materials by acoustic wave generation with a CW modulated laser | |
JPH0347703B2 (ja) | ||
JP2008545123A (ja) | 超音波減衰量を使用して材料特性を決定する方法及びシステム | |
JP2010181164A (ja) | 非接触膜厚測定装置 | |
US11226286B2 (en) | Inspection apparatus, inspection method, library generation apparatus, library generation method, computer program and recording medium | |
US20140365158A1 (en) | Laser ultrasound material testing | |
JP6969461B2 (ja) | 下地処理検査装置および下地処理検査方法 | |
KR20100124039A (ko) | 레이저 가공장치 | |
US6786099B2 (en) | Surface photo-acoustic film measurement device and technique | |
JP6121873B2 (ja) | レーザ超音波検査装置及び方法 | |
CN105277131B (zh) | 三维孔结构的测量装置与测量方法 | |
JP2011521232A (ja) | レーザー超音波システムを用いたサンプルの分光特性化の方法および装置 | |
JP7131438B2 (ja) | 異常検出装置、異常検出システム、および異常検出方法 | |
US11041798B2 (en) | Arrangement for determining the achievable adhesive strength before forming a connection having material continuity to a surface of a joining partner | |
JP6973324B2 (ja) | 異常検出方法 | |
JP3275737B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP6984562B2 (ja) | 健全性評価方法 | |
US20070109540A1 (en) | Method for measuring thin films | |
JP6973206B2 (ja) | 変位計測装置および変位計測方法 | |
JP2013228328A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
US10247659B2 (en) | Device for characterizing an interface of a structure and corresponding device | |
JP6973203B2 (ja) | 異常検出装置、異常検出システム、および異常検出方法 | |
JP2019158745A (ja) | 変位計測装置および変位計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210720 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6969461 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |