JP2019157924A - 動圧軸受及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
圧縮成形工程では、酸化物皮膜を形成可能な金属粉末を主成分として含む原料粉末を圧縮することにより、被支持部としての軸部2aの外周面2a1との間に軸受隙間を形成する内周面10aにラジアル動圧発生部A1,A2が型成形され、かつ被支持部としてのフランジ部2bの上端面2b1との間に軸受隙間を形成する下端面10bにスラスト動圧発生部Bが型成形された圧粉体10を得る。ここで、圧粉体10の内周面10aは動圧軸受8の内周面8aに対応しており、圧粉体10の下端面10bは動圧軸受8の下端面8bに対応している。また、後述する圧粉体10の外周面10dは動圧軸受8の外周面8dに対応しており、圧粉体10の上端面10cは動圧軸受8の上端面8cに対応している。上記構成の圧粉体10は、例えば一軸加圧成形法により成形することができ、具体的には図5(a)及び図5(b)に示すような成形金型装置20を用いて圧粉体10を得ることができる。この成形金型装置20は、圧粉体10の外周面10dを成形する円筒状のダイ21と、ダイ21の内周に配され、圧粉体10の内周面10aを成形するコアピン22と、圧粉体10の下端面10b及び上端面10cを成形する一対の下パンチ23および上パンチ24とを備え、コアピン22、下パンチ23および上パンチ24はダイ21に対して軸方向(上下)に相対移動可能とされる。コアピン22の外周面には、圧粉体10の内周面10aに設けるべきラジアル動圧発生部A1,A2の形状に対応した凹凸状の型部25,25が上下に離間して設けられ、下パンチ23の上端面には、圧粉体10の下端面10bに設けるべきスラスト動圧発生部Bの形状に対応した凹凸状の型部26が設けられている。なお、型部25,26における凹部と凸部間の高低差は実際には数μm〜十数μm程度であるが、図5(a)及び図5(b)では誇張して描いている。
皮膜形成工程では、圧粉体10に所定の熱処理を施すことにより、圧粉体10を構成する金属粉末の粒子11の表面に酸化物皮膜12(ともに図4を参照)を形成する。本実施形態では、圧粉体10を大気雰囲気下において比較的低温(焼結温度よりも低い温度であって、例えば350℃以上でかつ600℃以下)で加熱しながら所定時間の間、大気と反応させる(低温加熱処理)。このように圧粉体10に大気雰囲気下で低温の加熱処理を施すことによって、圧粉体10を構成する金属粉末の粒子11(ここでは鉄粉末の粒子)の表面に酸化物皮膜12としての四酸化三鉄(Fe3O4)の皮膜が徐々に形成され、この酸化物皮膜12が成長するのに伴って、隣接する粒子11同士が酸化性皮膜12を介して結合した状態の圧粉体10(実質的に動圧軸受8)を得ることができる。ここで、低温加熱処理の処理時間は1分以上とするのがよい。低温加熱処理を1分以上施すことで、動圧軸受8に必要とされる強度を確保し得るだけの酸化物皮膜12を圧粉体10に形成することができる。ただし、処理時間には酸化物皮膜12の成長限界の観点から上限を設けるのがよく、例えば60分以下に設定するのがよい。
この含油工程では、いわゆる真空含浸等の手法により、隣接する粒子11間に酸化物皮膜12(四酸化三鉄の皮膜)が形成された圧粉体10の内部気孔に潤滑流体としての潤滑油を含浸させる。なお、この含油工程は、必ずしも実施する必要はなく、動圧軸受8をいわゆる含油動圧軸受として使用する場合にのみ実施すればよい。
2 軸部材
2a 軸部
2b フランジ部
7 ハウジング
8 動圧軸受
8a 内周面
8b 下端面
9 シール部材
10 圧粉体
11 酸化物皮膜を形成可能な金属粉末の粒子
12 酸化物皮膜
13 内部気孔
20 成形金型装置
21 ダイ
22 コアピン
23 下パンチ
24 上パンチ
25,26 型部
27 キャビティ
100 試験装置
101,102 保持部
103 タンク
104 配管
105 内部流路
106 吸油体
A1,A2 ラジアル動圧発生部
Aa1,Aa2 動圧溝
B スラスト動圧発生部
Ba 動圧溝
M 原料粉末
S シール空間
R1,R2 ラジアル軸受部
T1,T2 スラスト軸受部
W 試験体
Claims (10)
- 酸化物皮膜を形成可能な金属粉末を主成分として含む原料粉末の圧粉体と、
前記圧粉体の表面のうち被支持部との間に軸受隙間を形成する領域に設けられた動圧発生部と、
前記金属粉末の粒子間に形成された酸化物皮膜とを備え、150MPa以上の圧環強度を示す動圧軸受において、
前記金属粉末は、前記金属粉末全体に占める100μm以上の金属粉末の割合が30wt%以上で、かつ累積50%径が50μm以上でかつ100μm以下である粒度分布を示すことを特徴とする動圧軸受。 - 前記金属粉末は、還元粉である請求項1に記載の動圧軸受。
- 前記金属粉末は、鉄粉末である請求項1又は2に記載の動圧軸受。
- 前記原料粉末全体に占める前記金属粉末の割合が95wt%以上である請求項1〜3の何れか一項に記載の動圧軸受。
- 前記圧粉体の内部気孔に潤滑油を含浸させてなる請求項1〜4の何れか一項に記載の動圧軸受。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の動圧軸受と、前記被支持部を含み前記動圧軸受に対して相対回転する軸部材とを備える流体動圧軸受装置。
- 請求項6に記載の流体動圧軸受装置を備えたモータ。
- 150MPa以上の圧環強度を示す動圧軸受を製造する方法であって、
酸化物皮膜を形成可能な金属粉末を主成分として含む原料粉末を圧縮して圧粉体を成形すると共に、前記圧粉体の表面のうち被支持部との間に軸受隙間を形成する領域に動圧発生部を型成形する圧縮成形工程と、
前記圧粉体に所定の熱処理を施し、前記圧粉体を構成する前記金属粉末の粒子間に前記酸化物皮膜を形成する皮膜形成工程とを備えた動圧軸受の製造方法において、
前記金属粉末として、前記金属粉末全体に占める100μm以上の金属粉末の割合が30wt%以上で、かつ累積50%径が50μm以上でかつ100μm以下である粒度分布を示す金属粉末を使用することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
。 - 前記皮膜形成工程において、前記所定の熱処理として前記圧粉体に大気雰囲気下で低温加熱処理を施す請求項8に記載の動圧軸受の製造方法。
- 前記低温加熱処理の処理温度を350℃以上でかつ600℃以下に設定する請求項9に記載の動圧軸受の製造方法。
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