JP2019152557A - 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 274
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 265
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 138
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 22
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 101100408457 Arabidopsis thaliana PLC9 gene Proteins 0.000 description 1
- 241000282341 Mustela putorius furo Species 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
- B25J9/1671—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators characterised by simulation, either to verify existing program or to create and verify new program, CAD/CAM oriented, graphic oriented programming systems
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1694—Programme controls characterised by use of sensors other than normal servo-feedback from position, speed or acceleration sensors, perception control, multi-sensor controlled systems, sensor fusion
- B25J9/1697—Vision controlled systems
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/0008—Industrial image inspection checking presence/absence
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/61—Control of cameras or camera modules based on recognised objects
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/695—Control of camera direction for changing a field of view, e.g. pan, tilt or based on tracking of objects
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
- G01N2021/8867—Grading and classifying of flaws using sequentially two or more inspection runs, e.g. coarse and fine, or detecting then analysing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
- G01N2021/9518—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device using a surface follower, e.g. robot
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- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37208—Vision, visual inspection of workpiece
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- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
- G05B2219/40609—Camera to monitor end effector as well as object to be handled
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- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45066—Inspection robot
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
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- G06T2207/10024—Color image
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- G06T2207/20016—Hierarchical, coarse-to-fine, multiscale or multiresolution image processing; Pyramid transform
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- G06T2207/30108—Industrial image inspection
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Abstract
Description
象物を撮像する1つ以上の撮像部と、前記検査対象物に光を照射する照明部と、前記撮像部、前記検査対象物、前記照明部のうち、少なくとも2つについて、互いの相対的な位置関係を変化させるための移動部を含む、撮像条件の制御部と、前記撮像部が第1の撮像条件で撮像した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索する探索部と、前記撮像部が撮像した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定部と、を備え、前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が前記第1の撮像条件よりも明瞭な第2の撮像条件で写るように撮像条件を制御し、前記判定部は、前記撮像部が前記第2の撮像条件で撮影した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する。
れることになるため、欠陥の有無の判定が効率的に行われる。
図1は、実施形態に係る画像検査装置1によって実現される動作の一例を示した概要図である。画像検査装置1は、主な構成として、例えば、図1に示すように、カメラ2(本願でいう「撮像部」の一例である)とロボットアーム3(本願でいう「移動部」の一例である)とを備える。カメラ2は、検査対象物4の検査に用いる画像を取得する。ロボットアーム3は、アームの先端にカメラ2が装着された産業用のロボットアームであり、図示しない制御装置から送られる制御信号に従って作動する。したがって、カメラ2は、ロボットアーム3が作動することにより、検査対象物4に対し適宜の位置へ相対移動することが可能である。なお、検査対象物4を照らす照明は、カメラ2と一体化されていてもよいし、或いはカメラ2と別体でロボットアーム3の先端に装着されていてもよい。
容易なものもあれば、修復不能なものもある。例えば、画像を使った検査対象物4の外観検査で検出された欠陥6が単なる異物の付着であれば、欠陥6は、当該異物の除去によって解消できる。よって、画像検査装置1で検査された検査対象物4の送り先は、欠陥6の有無や欠陥6の種類に応じて切り替わってもよい。
以下、画像検査装置1について詳細に説明する。図2は、画像検査装置1の全体構成の一例を示した図である。画像検査装置1は、上述したカメラ2とロボットアーム3の他、カメラ2から送られた画像データの処理を司る画像処理ユニット8、カメラ2やロボットアーム3の制御を司るPLC9(本願でいう「制御部」の一例である)、PLC9の命令に沿ってロボットアーム3を作動させるロボットコントローラ10を備える(PLC:Programmable Logic Controller)。画像処理ユニット8としては、例えば、CPU(中央
演算処理装置)、メモリ、補助記憶装置(ハードディスクドライブやソリッドステートドライブなど)、入力装置(キーボード、マウス、タッチパネルなど)を有する汎用のコンピュータ、或いは、画像処理専用の装置を適用できる。PLC9とロボットコントローラ10も同様である。
01においてPLC9がロボットアーム3に移動させるカメラ2の位置は、検査対象物4の種類毎に予め規定された位置であってもよいし、或いは、カメラ2の画像における検査対象物4の写り具合を解析しながら特定した位置であってもよい。また、PLC9は、検査対象物4全体が1枚の画像に収まる位置にカメラ2を移動するのではなく、検査対象物4全体が複数の画像の組み合わせによって確認できる幾つかの位置にカメラ2を移動させてもよい。
ることが可能である。そして、例えば、予め探索部8Aの記憶装置等に格納しておいたモデル画像と、ステップS102で取得した検査対象物4の画像との差分を求める。そして、当該差分が予め定められた値より大きい箇所を欠陥候補7とする。
ステップS105においてカメラ2によって取得された画像のデータを解析する(S106)。そして、判定部8Bは、カメラ2によって撮像された検査対象物4の画像を解析し、検査対象物4の画像に写る欠陥候補7の部位における欠陥6の有無を判定する。判定部8Bは、欠陥6の有無の判定を、以下のような方法で実行する。
判定を省略し、検査対象物4の検査を速やかに終えることも可能となる。
コンピュータその他の機械、装置(以下、コンピュータ等)に上記いずれかの処理を実現させるプログラムをコンピュータ等が読み取り可能な記録媒体に記録することができる。そして、コンピュータ等に、この記録媒体のプログラムを読み込ませて実行させることにより、その機能を提供させることができる。
Claims (9)
- 検査対象物を画像で検査する画像検査装置であって、
前記検査対象物を撮像する1つ以上の撮像部と、
前記検査対象物に光を照射する照明部と、
前記撮像部、前記検査対象物、前記照明部のうち、少なくとも2つについて、互いの相対的な位置関係を変化させるための移動部を含む、撮像条件の制御部と、
前記撮像部が第1の撮像条件で撮像した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索する探索部と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定部と、を備え、
前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が前記第1の撮像条件よりも明瞭な第2の撮像条件で写るように撮像条件を制御し、
前記判定部は、前記撮像部が前記第2の撮像条件で撮影した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する、
画像検査装置。 - 前記探索部は、前記撮像部が第1の解像度で撮影した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索し、
前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が前記第1の解像度よりも高解像度の第2の解像度で写るように、前記検査対象物に対する前記撮像部の相対位置、または、前記撮像部の視野を変更する、
請求項1に記載の画像検査装置。 - 前記探索部は、前記制御部が前記撮像部を第1の位置へ移動することによって前記第1の解像度で写った前記検査対象物の画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索し、
前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が前記第2の解像度で写るように、前記撮像部の位置を前記第1の位置よりも前記検査対象物に近い第2の位置へ移動する、
請求項2に記載の画像検査装置。 - 前記探索部は、前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記欠陥の候補の位置を含む前記欠陥の候補の特徴量を算出し、
前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が算出した前記特徴量に基づいて、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が前記第2の撮像条件で写るように、前記撮像部の光軸と前記検査対象物との相対角度、前記照明部と前記検査対象物との相対位置、前記照明部の光軸と前記検査対象物との相対角度のうち、少なくとも1つを変更する、
請求項1に記載の画像検査装置。 - 前記探索部は、第1の撮像部が前記第1の撮像条件で撮像した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索し、
前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を索出すると、前記探索部が欠陥の候補を索出した部位が、前記第1の撮像部とは異なる第2の撮像部の画像に前記第2の撮像条件で写るように撮像条件を制御する、
請求項1、2、4の何れか一項に記載の画像検査装置。 - 前記制御部は、前記探索部が前記検査対象物から欠陥の候補を複数索出すると、前記探索部が索出した複数の欠陥の候補のうち欠陥の度合いを示す値が大きい候補の部位から優先して前記第2の撮像条件で写るように撮影条件を制御する、
請求項1から5の何れか一項に記載の画像検査装置。 - 前記判定部は、前記探索部が索出した複数の欠陥の候補のうち少なくとも何れかが写る画像で欠陥が有った場合、他の欠陥の候補が写る画像の解析を省略する、
請求項6に記載の画像検査装置。 - 検査対象物を画像で検査する画像検査方法であって、
前記検査対象物を撮像する撮像部が第1の撮像条件で撮像した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索する探索工程と、
前記探索工程で前記検査対象物から欠陥の候補が索出されると、前記探索工程で欠陥の候補が索出された部位が前記第1の撮像条件よりも明瞭な第2の撮像条件で写るように、前記撮像部、前記検査対象物、前記検査対象物に光を照射する照明部のうち、少なくとも2つについて、互いの相対的な位置関係を変化させるための移動部を含む、撮像条件の制御部が、撮像条件を制御する制御工程と、
前記撮像部が前記第2の撮像条件で撮影した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、を有する、
画像検査方法。 - 検査対象物を画像で検査する画像検査プログラムであって、
コンピュータに、
前記検査対象物を撮像する撮像部が第1の撮像条件で撮像した画像を解析して、前記検査対象物から欠陥の候補を探索する探索工程と、
前記探索工程で前記検査対象物から欠陥の候補が索出されると、前記探索工程で欠陥の候補が索出された部位が前記第1の撮像条件よりも明瞭な第2の撮像条件で写るように、前記撮像部、前記検査対象物、前記検査対象物に光を照射する照明部のうち、少なくとも2つについて、互いの相対的な位置関係を変化させるための移動部を含む、撮像条件の制御部が、撮像条件を制御する制御工程と、
前記撮像部が前記第2の撮像条件で撮影した画像を解析して前記検査対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、を実行させる、
画像検査プログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018038540A JP7073785B2 (ja) | 2018-03-05 | 2018-03-05 | 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム |
CN201811503408.5A CN110231346A (zh) | 2018-03-05 | 2018-12-10 | 图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序 |
EP18212346.3A EP3537136A1 (en) | 2018-03-05 | 2018-12-13 | Image inspecting apparatus, image inspecting method and image inspecting program |
US16/219,958 US11080843B2 (en) | 2018-03-05 | 2018-12-14 | Image inspecting apparatus, image inspecting method and image inspecting program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018038540A JP7073785B2 (ja) | 2018-03-05 | 2018-03-05 | 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019152557A true JP2019152557A (ja) | 2019-09-12 |
JP7073785B2 JP7073785B2 (ja) | 2022-05-24 |
Family
ID=64665440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018038540A Active JP7073785B2 (ja) | 2018-03-05 | 2018-03-05 | 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11080843B2 (ja) |
EP (1) | EP3537136A1 (ja) |
JP (1) | JP7073785B2 (ja) |
CN (1) | CN110231346A (ja) |
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- 2018-12-10 CN CN201811503408.5A patent/CN110231346A/zh active Pending
- 2018-12-13 EP EP18212346.3A patent/EP3537136A1/en active Pending
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CN110231346A (zh) | 2019-09-13 |
JP7073785B2 (ja) | 2022-05-24 |
EP3537136A1 (en) | 2019-09-11 |
US20190272630A1 (en) | 2019-09-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200305 |
|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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