JP2017146248A - 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム - Google Patents
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 429
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 57
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 29
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 41
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
3a,3b,3c 撮像部
4 光照射部
9 対象物
12 コンピュータ
51 撮像制御部
52 欠陥取得部
70 対象領域
80 プログラム
721 第1暗欠陥候補領域
722 第2暗欠陥候補領域
723 明暗逆領域
724 暗欠陥候補領域
811 撮像画像
812 参照画像
S11〜S19 ステップ
Claims (9)
- 対象物の表面の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
互いに異なる複数の偏った照明状態にて、対象物に光を照射することができる光照射部と、
前記対象物の表面の対象領域の画像を撮像画像として取得する撮像部と、
前記光照射部による照明状態と、前記撮像部による画像の取得とを制御する撮像制御部と、
欠陥検出に利用される少なくとも1つの撮像画像から、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の一方を欠陥候補領域として取得し、複数の照明状態にて取得された複数の撮像画像のそれぞれから、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の他方を明暗逆領域として取得し、前記欠陥候補領域のうち、いずれの明暗逆領域とも所定条件以上重ならないものを欠陥候補から除外した上で、前記欠陥候補領域に基づいて欠陥の存在を取得する欠陥取得部と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1に記載の欠陥検出装置であって、
欠陥検出に利用される前記少なくとも1つの撮像画像が、前記複数の照明状態にて取得された前記複数の撮像画像に含まれることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1または2に記載の欠陥検出装置であって、
前記欠陥取得部が、欠陥検出に利用される前記少なくとも1つの撮像画像から、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の他方を他の欠陥候補領域として取得し、前記欠陥候補領域に対応する前記明暗逆転領域が、前記他の欠陥候補領域を取得する際に取得されることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の欠陥検出装置であって、
前記欠陥取得部が、欠陥検出に利用される前記少なくとも1つの撮像画像から、第1の手法にて第1欠陥候補領域を取得し、前記第1の手法とは異なる第2の手法にて第2欠陥候補領域を取得し、前記第1欠陥候補領域および前記第2欠陥候補領域に基づいて前記欠陥候補領域を取得することを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項4に記載の欠陥検出装置であって、
前記第1の手法が、撮像画像と参照画像との位置合わせを行った後に、これらの画像の差分画像から前記第1欠陥候補領域を取得する手法であり、
前記第2の手法が、撮像画像および参照画像に対して微小領域除去処理を行った後にこれらの画像の差分画像から前記第2欠陥候補領域を取得する手法であることを特徴とする欠陥検出装置。 - 対象物の表面の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
a)互いに異なる複数の偏った照明状態のそれぞれにて対象物に光が照射されている間に、撮像部により前記対象物の表面の対象領域の画像を取得することにより、複数の撮像画像を取得する工程と、
b)欠陥検出に利用される少なくとも1つの撮像画像から、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の一方を欠陥候補領域として取得する工程と、
c)複数の撮像画像のそれぞれから、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の他方を明暗逆領域として取得する工程と、
d)前記欠陥候補領域のうち、いずれの明暗逆領域とも所定条件以上重ならないものを欠陥候補から除外した上で、前記欠陥候補領域に基づいて欠陥の存在を取得する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項6に記載の欠陥検出方法であって、
欠陥検出に利用される前記少なくとも1つの撮像画像が、前記複数の照明状態にて取得された前記複数の撮像画像に含まれることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項6または7に記載の欠陥検出方法であって、
e)欠陥検出に利用される前記少なくとも1つの撮像画像から、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の他方を他の欠陥候補領域として取得する工程をさらに備え、
前記c)工程が、前記e)工程に含まれることを特徴とする欠陥検出方法。 - コンピュータに、対象物の表面の対象領域の複数の画像から前記対象領域における欠陥を検出させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記プログラムに、
a)互いに異なる複数の偏った照明状態において取得された前記対象領域の複数の撮像画像および対応する複数の参照画像を準備する工程と、
b)欠陥検出に利用される少なくとも1つの撮像画像から、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の一方を欠陥候補領域として取得する工程と、
c)複数の撮像画像のそれぞれから、対応する参照画像を参照しつつ前記参照画像に対して暗い領域および明るい領域の他方を明暗逆領域として取得する工程と、
d)前記欠陥候補領域のうち、いずれの明暗逆領域とも所定条件以上重ならないものを欠陥候補から除外した上で、前記欠陥候補領域に基づいて欠陥の存在を取得する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016029422A JP6688629B2 (ja) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム |
US15/998,664 US11216936B2 (en) | 2016-02-19 | 2017-01-18 | Defect detection device, defect detection method, and program |
EP17752875.9A EP3418726A4 (en) | 2016-02-19 | 2017-01-18 | DEFECT DETECTION DEVICE, DEFECT DETECTION METHOD AND PROGRAM |
PCT/JP2017/001604 WO2017141611A1 (ja) | 2016-02-19 | 2017-01-18 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム |
TW106103793A TWI626440B (zh) | 2016-02-19 | 2017-02-06 | 缺陷檢測裝置、缺陷檢測方法及程式產品 |
US17/536,290 US20220084183A1 (en) | 2016-02-19 | 2021-11-29 | Defect detection device, defect detection method, and program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016029422A JP6688629B2 (ja) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017146248A true JP2017146248A (ja) | 2017-08-24 |
JP6688629B2 JP6688629B2 (ja) | 2020-04-28 |
Family
ID=59682969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016029422A Expired - Fee Related JP6688629B2 (ja) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6688629B2 (ja) |
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