JP2019148571A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 凹部を有する基体と、
   前記凹部の開口を塞ぐ蓋体と、
   前記凹部に配置され、受けた外力に応じて電荷を出力する力検出部と、
   前記凹部に配置され、前記力検出部と電気的に接続されている電子部品と、を有し、
   前記蓋体は、
   前記蓋体の厚さ方向から見た平面視で、前記力検出部および前記電子部品と重なっている中央部と、
   前記平面視で、前記中央部を囲む枠状をなし、前記基体と接合されている外縁部と、
   前記平面視で、前記中央部と前記外縁部との間に位置して枠状をなし、かつ、前記蓋体の厚さ方向と直交する方向から見た断面視で、前記中央部の外縁と前記外縁部の内縁とを接続するテーパー状となっている接続部と、を有し、
   前記蓋体の厚さ方向において、前記中央部と前記電子部品との離間距離は、前記外縁部と前記電子部品との離間距離よりも大きく、
   前記蓋体の厚さ方向において、前記電子部品と前記蓋体との離間距離は、前記力検出部と前記蓋体との離間距離よりも大きいことを特徴とするセンサーデバイス。
2. 前記断面視で、前記基体と前記蓋体との間に位置し、前記基体と前記蓋体とを接合する接合部材を有し、
   前記接合部材の前記蓋体との接合面は、前記断面視で、前記力検出部の前記蓋体側の端と前記電子部品の前記蓋体側の端との間に位置する請求項１に記載のセンサーデバイス。
3. 前記凹部は、前記蓋体によって密閉され、
   前記凹部内は、減圧状態となっている請求項１または２に記載のセンサーデバイス。
4. 前記凹部内の気圧は、０．０１Ｐａ以上１０００Ｐａ以下である請求項３に記載のセンサーデバイス。
5. 前記凹部内は、不活性ガスが充填されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセンサーデバイス。
6. 前記力検出部から出力された電荷を電圧に変換する回路部を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のセンサーデバイス。
7. 前記回路部は、前記電子部品として、前記電荷が入力される抵抗、前記電荷を蓄積する蓄電部または前記電荷による電圧を増幅する増幅器を有する請求項６に記載のセンサーデバイス。
8. 前記力検出部は、
   第１方向の外力に応じて第１電荷を出力する第１圧電素子と、
   前記第１方向とは異なる第２方向の外力に応じて第２電荷を出力する第２圧電素子と、を有し、
   前記回路部は、
   前記第１電荷を処理する第１回路部と、
   前記第２電荷を処理する第２回路部と、を有し、
   前記平面視で、前記力検出部は、前記第１回路部と前記第２回路部との間に位置している請求項６または７に記載のセンサーデバイス。
9. 前記平面視で、前記第１回路部および前記第２回路部は、前記力検出部に対して対称的に配置されている請求項８に記載のセンサーデバイス。
10. 前記第１圧電素子および前記第２圧電素子は、水晶を含む請求項８または９に記載のセンサーデバイス。
11. 第１基部と、
    第２基部と、
    前記第１基部と前記第２基部とで挟持される請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のセンサーデバイスと、
    前記第１基部と前記第２基部とを締結するボルトと、を備えることを特徴とする力検出装置。
12. 基台と、
    前記基台に接続されるアームと、
    請求項１１に記載の力検出装置と、を備えることを特徴とするロボット。