JP2018173343A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 接続部を有する第１プレートと、
   第２プレートと、
   前記第１プレートと前記第２プレートとの間に位置する構造体と、を備え、
   前記構造体は、少なくとも１つの圧電素子を備えるセンサーデバイスと、
   前記センサーデバイスに接触し、前記第１プレートに対して固定されている第１固定部と、
   前記センサーデバイスに接触し、前記第２プレートに対して固定されている第２固定部と、を有し、
   前記第１プレートと前記第２プレートとが重なる方向から見て、前記接続部の少なくとも一部は、前記構造体と重なっていることを特徴とする力検出装置。
2. 前記接続部の少なくとも一部は、前記第１プレートと前記第２プレートとが重なる方向から見て、前記第１固定部と重なっている請求項１に記載の力検出装置。
3. 前記センサーデバイスは、複数の前記圧電素子が積層された積層体を有し、
   前記積層体における複数の前記圧電素子の積層方向は、前記第１プレートの板面の法線に対して交差している請求項１または２に記載の力検出装置。
4. 前記圧電素子は、圧電効果により電荷を生じる圧電体層と、前記圧電体層に設けられ、前記電荷に応じた信号を出力する電極と、を有する請求項３に記載の力検出装置。
5. 前記センサーデバイスは、前記圧電素子を収容するパッケージを有し、
   前記パッケージは、前記圧電素子が配置されている凹部を有する基部と、前記凹部の開口を塞ぐようにして設けられた蓋体と、前記基部と前記蓋体とを接合するシール部材とを有する請求項４に記載の力検出装置。
6. 前記シール部材は、コバールを含む請求項５に記載の力検出装置。
7. 前記基部は、前記第２固定部に接続された第１部材と、前記第１部材に接合され、前記第１部材とともに前記凹部を形成している第２部材とを有し、
   前記第１部材のヤング率は、前記第２部材のヤング率よりも低い請求項５または６に記載の力検出装置。
8. 前記センサーデバイスは、前記積層体の側面に設けられた複数の側面電極を有し、
   前記側面電極を構成する材料の少なくとも一部は、前記電極を構成する材料の少なくとも一部と同一である請求項５に記載の力検出装置。
9. 複数の前記側面電極は、ニッケルを含む第１層と、金を含む第２層とを含む請求項８に記載の力検出装置。
10. 前記圧電素子は、水晶を含む請求項１ないし９のいずれか１項に記載の力検出装置。
11. 基台と、
    前記基台に接続され、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の力検出装置が取り付けられるアームと、を備えることを特徴とするロボット。