JP2018165642A5 - - Google Patents

Description

また、フィルム４１（第１層）の弾性係数は、表層４３（第２層）の弾性係数よりも小さいことが好ましい。これにより、連結腕２２１、２２２、検出用振動腕２３、２４および駆動用振動腕２５〜２８のうちの少なくとも１つの振動腕の角部が支持部材４に接触したときの衝撃を吸収（緩和）する作用を高めることができる。

（ＩＣチップ３）
図２に示すＩＣチップ３は、前述した振動素子２を駆動する機能と、振動素子２からの出力（センサー出力）を検出する機能とを有する電子部品である。このようなＩＣチップ３は、図示しないが、振動素子２を駆動する駆動回路と、振動素子２からの出力（電荷）を検出する検出回路とを備える。また、ＩＣチップ３には、図示しないが、複数の接続端子が設けられている。

複数の接続端子は、前述した振動素子２を駆動する駆動信号を出力する１つの接続端子と、振動素子２からの検出信号が入力される２つの接続端子とを含む。

Claims (13)

1. 基体と、
   基部と、前記基部から延出している振動腕と、を有する振動素子片と、
   前記基体に対して固定され、前記基部を支持している支持部材と、を備え、
   前記支持部材は、第１層と、前記第１層に対して前記振動素子片側に配置され、前記第１層を構成している材料よりも硬度の高い材料で構成されている第２層と、を有し、
   前記第１層および前記第２層の少なくとも一部は、前記基部の厚さ方向から見た平面視で前記振動腕の少なくとも一部と重なっていることを特徴とする振動デバイス。
2. 前記第２層の厚さは、前記第１層の厚さよりも薄い請求項１に記載の振動デバイス。
3. 前記第２層の表面の摩擦係数は、前記第１層の表面の摩擦係数よりも小さい請求項１または２に記載の振動デバイス。
4. 前記第１層は、樹脂材料を含んで構成されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動デバイス。
5. 前記第１層は、ポリイミド系樹脂を含んで構成されている請求項４に記載の振動デバイス。
6. 前記第２層は、ガラス材料、フッ素系樹脂および炭素系材料のうちのいずれか１つを含んで構成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動デバイス。
7. 前記第１層の弾性係数は、前記第２層の弾性係数よりも小さい請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動デバイス。
8. 前記振動腕の先端部は、Ｒ面取りまたはＣ面取りされた部分を有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動デバイス。
9. 前記支持部材は、前記振動腕側が凸となるように湾曲した湾曲部を有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動デバイス。
10. 前記振動素子片は、
    前記基部から互いに反対側に延出している１対の検出用振動腕と、
    前記基部から前記検出用振動腕の延出方向と交差する方向で互いに反対側に延出している１対の連結腕と、
    前記各連結腕の先端部から前記連結腕の延出方向と交差する方向で互いに反対側に延出している１対の駆動用振動腕と、を有し、
    前記各検出用振動腕および前記各駆動用振動腕のそれぞれの先端部には、錘部が設けられており、
    前記検出用振動腕、前記連結腕および前記駆動用振動腕のうちの少なくとも１つが前記振動腕である請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動デバイス。
11. 前記振動素子片は、
    前記基部から互いに同じ側に延出している１対の検出用振動腕と、
    前記基部から前記１対の検出用振動腕の延出方向と反対側に延出している１対の駆動用振動腕と、を有し、
    前記各検出用振動腕および前記各駆動用振動腕のそれぞれの先端部には、錘部が設けられており、
    前記検出用振動腕および前記駆動用振動腕のうちの少なくとも１つが前記振動腕である請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動デバイス。
12. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
13. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする移動体。