JP2019144109A - 荷電粒子ビーム検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一態様の荷電粒子ビーム検査方法は、ステージ上に試料を載置し、ステージの移動をさせながら、複数の荷電粒子ビームのうちの1本の第1の荷電粒子ビームを用いて試料上の第1のビーム走査領域の第1の走査をすることにより、第1のビーム走査領域内の第1の検査単位の第1の検査を行い、ステージの移動をさせながら、複数の荷電粒子ビームのうちの1本の第2の荷電粒子ビームを用いて試料上の第2のビーム走査領域の第2の走査をすることにより、第2のビーム走査領域内の第2の検査単位の第2の検査を行う。
第1の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
本実施形態の電子ビーム検査方法は、それぞれのビーム走査領域における各検査フレームを囲う辺が、XYステージ105の移動の方向に垂直な方向又はXYステージ105の移動の方向と平行でない点で、第1の実施形態又は第2の実施形態と異なっている。ここで、第1の実施形態又は第2の実施形態と重複する内容については、記載を省略する。
22 穴
27 領域
28,36 画素
29 グリッド
30,330 検査領域
31 走査領域
32 ストライプ領域
33 トラッキング領域
34 照射領域
35 フレーム領域
50,52 記憶装置
56 分割部
58 位置合わせ部
60 比較部
100 検査装置
101 基板
102 電子ビームカラム
103 検査室
106 検出回路
107 位置回路
108 比較回路
109 記憶装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
114 ステージ制御回路
117 モニタ
118 メモリ
119 プリンタ
122 レーザ測長システム
120 バス
123 ストライプパターンメモリ
124 レンズ制御回路
126 ブランキング制御回路
128 偏向制御回路
150 光学画像取得部
160 制御系回路
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 成形アパーチャアレイ基板
205 縮小レンズ
206 制限アパーチャ基板
207 対物レンズ
208 主偏向器
209 副偏向器
212 一括ブランキング偏向器
214 ビームセパレーター
216 ミラー
222 マルチ検出器
224,226 投影レンズ
228 偏向器
300 マルチ2次電子
332 チップ
Claims (5)
- ステージ上に試料を載置し、
前記ステージの移動をさせながら、複数の荷電粒子ビームのうちの1本の第1の荷電粒子ビームを用いて前記試料上の第1のビーム走査領域の第1の走査をすることにより、前記第1のビーム走査領域内の第1の検査単位の第1の検査を行い、
前記ステージの前記移動をさせながら、前記複数の荷電粒子ビームのうちの1本の第2の荷電粒子ビームを用いて前記試料上の第2のビーム走査領域の第2の走査をすることにより、前記第2のビーム走査領域内の第2の検査単位の第2の検査を行う、
荷電粒子ビーム検査方法。 - 複数の前記第1の検査単位が前記第1のビーム走査領域内に設けられており、前記複数の第1の検査単位は互いに重複する検査重複領域を有する請求項1記載の荷電粒子ビーム検査方法。
- 前記第1のビーム走査領域は、前記第1の検査単位の、前記移動の方向に、前記第1の検査単位のビームマージンを有する請求項1または請求項2記載の荷電粒子ビーム検査方法。
- 前記第1の検査単位の前記移動の方向の長さをFSx、前記検査重複領域の前記移動の方向の長さをFOx、前記第1の検査単位の前記移動の方向に隣接して設けられたビームマージンの長さをBMx、m及びnは整数としたときに、
前記第1の荷電粒子ビームと前記第2の荷電粒子ビームの間隔BPxは(FSx−FOx)×mに等しく、
前記第1のビーム走査領域の、前記移動の方向の長さBSxは(FSx−FOx)×n+FOx+BMx×2に等しい、
請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の荷電粒子ビーム検査方法。 - 前記第1の検査単位を取り囲む辺のうちの第1の一辺の長さをFSx、前記検査重複領域を取り囲む辺のうちの前記第1の一辺に平行な第2の一辺の長さをFOx、前記第1の検査単位に隣接して設けられたビームマージンの前記第1の一辺に平行な第3の一辺の長さをBMx、前記第1の一辺の前記移動の方向からのずれ角をθ、m及びnは整数としたときに、
前記第1の電子ビームと前記第2の電子ビームの間隔BPxは、(FSx−FOx)×m/cosθであり、
前記第1のビーム走査領域の、前記移動の方向の長さは(FSx−FOx)×n+FOx+BMx×2)/cosθである、
請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の荷電粒子ビーム検査方法。
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