JP2019138843A - 歪み検出デバイス - Google Patents

歪み検出デバイス Download PDF

Info

Publication number
JP2019138843A
JP2019138843A JP2018024169A JP2018024169A JP2019138843A JP 2019138843 A JP2019138843 A JP 2019138843A JP 2018024169 A JP2018024169 A JP 2018024169A JP 2018024169 A JP2018024169 A JP 2018024169A JP 2019138843 A JP2019138843 A JP 2019138843A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern layer
detection device
inspection object
distortion
wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018024169A
Other languages
English (en)
Inventor
忠寛 富能
Tadahiro Tomino
忠寛 富能
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lintec Corp filed Critical Lintec Corp
Priority to JP2018024169A priority Critical patent/JP2019138843A/ja
Publication of JP2019138843A publication Critical patent/JP2019138843A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

【課題】検査対象物の歪みの発生を確実に把握することのできる歪み検出デバイスを提供する。【解決手段】歪み検出デバイス1は、検査対象物90の歪みを検出する歪み検出デバイスであって、検査対象物に貼り付けられる粘着層10と、粘着層の検査対象物が設けられる側の反対側に設けられ、検査対象物と異なる線膨張率を備えるパターン層30と、パターン層の破断を検知する検知部40と、を有する。【選択図】図1

Description

本発明は、歪み検出デバイスに関する。
例えば、電気設備など大型で強度が必要な金属筐体に電着塗装を施して塗装板を製造する際、金属筐体を電着槽に浸す工程と、加熱した空気を乾燥炉に送り込んで焼き付ける工程と、を有する。
鋼板の厚さ、形状、補強の位置等の組み合わせによって、部位ごとに鋼板の熱膨張の大きさが異なるため、焼き付け工程において鋼板に歪みが発生して凹んでしまう虞がある。特に、量産段階で上記のような歪みが発生しないように、試作段階における試作品で歪みを検知することが求められている。
歪みを検知する方法として、例えば下記の特許文献1には、異なった破断点を有する検知用材料を複数個用い、これを並列に並べ構造物の歪みを検知しようとする位置に固定する歪み検知方法が開示されている。
特開平10−122985
しかしながら、特許文献1に開示された方法では、歪みが発生した個所を検知することはできるものの、量産化にあたって必要な情報である、歪みが発生したタイミングを検知することはできない。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、歪みが発生したタイミングを検知することのできる歪み検出デバイスを提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明に係る歪み検出デバイスは、検査対象物の歪みを検出する。歪み検出デバイスは、前記検査対象物に貼り付けられる粘着層と、前記粘着層の前記検査対象物が設けられる側の反対側に設けられ、前記検査対象物と異なる線膨張率を備えるパターン層と、前記パターン層の破断を検知する検知部と、を有する。
上述した歪み検出デバイスによれば、パターン層は検査対象物と異なる線膨張率を備えるため、乾燥工程において検査対象物に歪みが発生することに伴って、検査対象物の歪みが発生した位置に対応した位置で、パターン層は破断する。このとき、検知部はパターン層の破断を検知することができる。したがって、検知部が検知するパターン層の破断情報をもとに、歪みが発生したタイミングを検知することができる。
第1実施形態に係る歪み検出デバイスを示す斜視図である。 第1実施形態に係る歪み検出デバイスのパターン層が破断した様子を示す斜視図である。 図2のA部を示す拡大図であって、パターン層が破断するメカニズムを説明するための図である。 検査対象物に、第1実施形態に係る歪み検出デバイスが貼り付けられている様子を示す概略図である。 第2実施形態に係る歪み検出デバイスを示す斜視図である。 第2実施形態に係る歪み検出デバイスのパターン層が破断した様子を示す斜視図である。 図6のA部を示す拡大図であって、パターン層が破断するメカニズムを説明するための図である。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、図面の説明において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
<第1実施形態>
以下、図1〜図4を参照して、第1実施形態に係る歪み検出デバイス1を説明する。図1は、第1実施形態に係る歪み検出デバイス1を示す斜視図である。図2は、第1実施形態に係る歪み検出デバイス1のパターン層30が破断した様子を示す斜視図である。図3は、図2のA部を示す拡大図であって、パターン層30が破断するメカニズムを説明するための図である。図4は、検査対象物90に、歪み検出デバイス1が貼り付けられている様子を示す概略図である。以下の説明において、検査対象物90として、電気設備など大型で強度が必要な金属筐体を例に挙げて説明する。
歪み検出デバイス1は、概説すると、検査対象物90に貼り付けられる粘着層10と、粘着層10の検査対象物90が設けられる側の反対側に設けられ、検査対象物90と異なる線膨張率を備えるパターン層30と、パターン層30の破断を検知する検知部40と、を有する。以下、歪み検出デバイス1について詳述する。
歪み検出デバイス1は、検査対象物90に貼り付けられて、検査対象物90の歪みを検出する(図4参照)。検査対象物90の線膨張率は、例えば、10×10−6/℃〜30×10−6/℃である。歪み検出デバイス1は、図1に示すように、上下方向(積層方向)の両側の面に粘着性を備える粘着層10と、粘着層10の上側の面に貼り付けられるシート20と、シート20の上側に設けられるパターン層30と、パターン層30の破断を検知する検知部40と、を有する。歪み検出デバイス1は、矩形状に構成される。
粘着層10は、例えば、粘着剤によって形成されている。ここで粘着剤は、例えば、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等であるが、これらに限定されない。粘着層10の厚みは、例えば、2μm〜50μmであり、好ましくは5μm〜30μmであるが、これに限定されない。また、粘着層10の線膨張率は、例えば、10×10−6/℃〜100×10−6/℃であって、好ましくは、20×10−6/℃〜80×10−6/℃であるが、これに限定されない。粘着層10の線膨張率は、JIS K 7197:1991に準拠して測定する。
シート20は、粘着層10およびパターン層30の間に設けられる。このようなシート20としては、例えば、ウレタンやオレフィンを用いることができるが、これらに限定されない。シート20の厚みは、例えば、10μm〜100μmであり、好ましくは15μm〜80μmであるが、これらに限定されない。また、シート20の線膨張率は、例えば、20×10−6/℃〜90×10−6/℃であって、好ましくは、25×10−6/℃〜75×10−6/℃であるが、これに限定されない。シート20の線膨張率は、JIS K 7197:1991に準拠して測定する。
パターン層30は、シート20上に固定されている。パターン層30のシート20に対する固定方法は、特に限定されないが、例えば両面テープによる固定である。
パターン層30は、導電性を備える。パターン層30は、図1に示すように、線材31がシート20の表面を、一端31aから他端31bまで連続的に走査するようにパターン形成されている。また、パターン層30の線材31は、図1に示すように、シート20の表面上を繰り返し蛇行するようにパターン形成されている。換言すれば、パターン層30の線材31は、粘着層10の表面に投射した際に、粘着層10の表面上を繰り返し蛇行するとともに、連続的に走査するようにパターン形成されている。また、線材31は、互いに重ならないようにパターン形成されている。
このように、パターン層30がパターン形成されることによって、線材31は、シート20の表面の広い領域に配置されることになる。このため、検査対象物90の歪みが発生した位置P1(図2、図3参照)をより好適に把握することができる。線材31の太さは、例えば1mmであるが、これに限定されない。
パターン層30の線材31は、非常に小さい線膨張率を備える。このような線材31としては、例えば、フェライトやタングステンやモリブデンやチタンを1000℃以上に熱処理したものを挙げることができるが、これらに限定されない。線材31の線膨張率は、例えば、1×10−6/℃〜10×10−6/℃であるが、これに限定されない。なお、タングステンの線膨張率は、4.4×10−6/℃であって、モリブデンの線膨張率は、5.2×10−6/℃であって、チタンの線膨張率は、8.4×10−6/℃である。このようにパターン層30の線膨張率は、検査対象物90の線膨張率よりも小さいため、後述するように、検査対象物90に歪み検出デバイス1を貼り付けた状態で、乾燥工程を行う際に、パターン層30の線材31を好適に破断させることができる。パターン層30の線膨張率は、JIS Z 2285:2003に準拠して測定する。
検知部40は、パターン層30を流れる電流を検知することによって、線材31の破断を検知する(図2参照)。検知部40は、図1に示すように、線材31の一端31aおよび他端31bに接続される一対の配線41と、一対の配線41に接続されて線材31を流れる電流値を測定する電流計42と、を有する。
一対の配線41は、線材31と同様に、導電性を備える。電流計42は、従来公知の電流計を用いることができる。
次に、図1〜図4を参照して、第1実施形態に係る歪み検出デバイス1の使用方法について説明する。
まず、図4に示すような、中空状の金属筐体を準備する。そして、図4に示すように、金属筐体である検査対象物90のうち歪みが発生する可能性の高い箇所(孔の周囲および四隅)に、本実施形態に係る歪み検出デバイス1を貼り付ける。検査対象物90の歪みが発生する可能性の高い箇所としては、検査対象物90が屈曲または湾曲している箇所が挙げられる。
次に、歪み検出デバイス1が複数貼り付けられた検査対象物90を、電着槽内に入れて、電着塗装を行う。具体的には、電着槽に入れた後、乾燥炉に入れて焼き付けを行う。
この焼付工程において、検査対象物90には、乾燥炉に送り込まれる高温の空気によって、歪みが発生する。例えば、図2、図3に示すように、検査対象物90の位置P1において歪みが発生したとする。
このとき、粘着層10およびシート20は、検査対象物90の動きに追従して、パターン層30の線材31を破断する。
この結果、図3に示すように、パターン層30の線材31のうち検査対象物90の歪みが発生した位置P1に対応した位置P2において、検査対象物90に発生した歪みに起因して、線材31が破断して断線する。この結果、パターン層30の線材31には電流が流れなくなるため、検知部40は、線材31の破断を検知することができる。したがって、検知部40が検知するパターン層30の線材31の破断情報をもとに、検査対象物90の歪みの発生を確実に把握することができるとともに、歪みが発生したタイミングを検知することができる。また、上述したように、検査対象物90の歪みが発生した位置P1に対応した位置P2で、パターン層30の線材31は破断するため、焼付工程後に、作業者がパターン層30の線材31が破断した箇所を目視することによって、検査対象物90の歪みが発生した位置を確実に把握することができる。
一方、検査対象物90の設計変更を好適に行う上で、線材31が破断したときの温度を把握する必要がある。
温度を計測する手段としては、例えば、温度計、サーモラベル、熱電対などを挙げることができる。温度計を用いる場合、乾燥炉は暗室であるため、温度計を目視することができず、使用が困難である。また、サーモラベルを用いる場合、温度が所定の温度まで上昇したときラベルが変色するが、所定の温度より降下してもラベルの変色は維持されるため、どの温度で検査対象物90に歪みが発生したかを把握することは困難である。さらに、熱電対を用いる場合、熱電対のサイズから狭い領域しか測定できず、広い領域を測定することは困難である。
これに対して、本実施形態に係る歪み検出デバイス1は、線材31が破断したときの温度を、以下のように容易に算出することができる。すなわち、線材31の線膨張率をa、大気温度をT、線材31が破断したときの温度をTとしたとき、線材31が破断したときに伸びた伸び率bは、以下の式で表すことができる。
b=(T−T)×a
すなわち、線材31が破断したときに伸びた伸び率bを予め実験等によって把握しておくことによって、線材31が破断したときの温度Tを、以下の式から算出することができる。
T=T+b/a
以上から、本実施形態に係る歪み検出デバイス1によれば、どの温度でどの場所で歪みが発生したかを把握することができるため、検査対象物90の設計変更や補修作業を好適に行うことができる。さらに、どの温度で歪みが発生したかを把握することができるため、乾燥炉内に送り込む空気の温度を調整して、歪みの発生を防止することができる。
以上説明したように、本実施形態に係る歪み検出デバイス1は、検査対象物90の歪みを検出する。歪み検出デバイス1は、検査対象物90に貼り付けられる粘着層10と、粘着層10の検査対象物90が設けられる側の反対側に設けられ、検査対象物90より小さい線膨張率を備えるパターン層30と、パターン層30の破断を検知する検知部40と、を有する。このように構成された歪み検出デバイス1によれば、パターン層30は検査対象物90より小さい線膨張率を備えるため、乾燥工程において検査対象物90に歪みが発生することに伴って、検査対象物90の歪みが発生した位置P1に対応した位置P2で、パターン層30は破断する。このとき、検知部40はパターン層30の破断を検知することができる。したがって、検知部40が検知するパターン層30の破断情報をもとに、歪みが発生したタイミングを検知することができる。また、検査対象物90の歪みが発生した位置P1に対応した位置P2で、パターン層30は破断するため、乾燥工程後に、作業者がパターン層30の破断した位置を目視することによって、検査対象物90の歪みが発生した位置P1を確実に把握することができる。
また、パターン層30は導電性を備えており、検知部40は、パターン層30を流れる電流を検知することによって、パターン層30の破断を検知する。この構成によれば、パターン層30が破断したときに、パターン層30に電流が流れなくなるため、より確実にパターン層30の破断を検知することができる。
また、パターン層30の線膨張率は、1×10−6/℃〜10×10−6/℃である。この構成によれば、パターン層30の線膨張率が非常に小さくなるため、より確実にパターン層30の線材31を破断させることができる。このため、検査対象物90の歪みの発生を確実に把握することができる。また、検査対象物90の歪みが発生した位置P1を確実に把握することができる。
また、パターン層30は、粘着層10の表面に投射した際に、粘着層10の表面上を繰り返し蛇行するとともに、連続的に走査するようにパターン形成されている。この構成によれば、パターン層30は、粘着層10の表面の広い領域に配置されることになる。このため、検査対象物90の歪みが発生した位置P1をより好適に把握することができる。
また、パターン層30は、線材31が連続的に走査するようにパターン形成されている。この構成によれば、線材31によって容易にパターン層30を形成することができる。
<第2実施形態>
次に、図5〜図7を参照して、第2実施形態に係る歪み検出デバイス2について説明する。図5は、第2実施形態に係る歪み検出デバイス2を示す斜視図である。図6は、第2実施形態に係る歪み検出デバイス2のパターン層30が破断した様子を示す斜視図である。図7は、図6のA部を示す拡大図であって、パターン層30が破断するメカニズムを説明するための図である。第1実施形態と共通する部分は説明を省略し、第2実施形態のみに特徴のある箇所について説明する。なお、上述した第1実施形態と同一の部材には同一の符号を付して説明し、重複した説明は省略する。第2実施形態は、第1実施形態と比較して、シート20が設けられない点が異なる。
第2実施形態に係る歪み検出デバイス2は、図5、図6に示すように、検査対象物90に貼り付けられる粘着層110と、粘着層110の上側に設けられるパターン層30と、パターン層30の破断を検知する検知部40と、を有する。
粘着層110は、図5、図6に示すように、検査対象物90に貼り付けられる。パターン層30は、粘着層110上に固定されている。
パターン層30および検知部40の構成は、第1実施形態に係る歪み検出デバイス1と同様であるため、説明は省略する。
次に、図5〜図7を参照して、第2実施形態に係る歪み検出デバイス2の使用方法について説明する。乾燥炉内に加熱した空気を送り込んで検査対象物90を乾燥させる乾燥工程までの工程は、上述した第1実施形態に係る使用方法と同様であるため、以下の説明において、乾燥工程以降について説明する。
乾燥工程において、検査対象物90には、乾燥炉に送り込まれる高温の空気によって、歪みが発生する。例えば、図6、図7に示すように、検査対象物90の位置P1において歪みが発生したとする。
このとき、粘着層110は、検査対象物90の動きに追従して、パターン層30の線材31を破断する。このため、図7に示すように、パターン層30の線材31のうち検査対象物90の歪みが発生した位置P1に対応した位置P2において、線材31が破断して断線する。この結果、パターン層30の線材31には電流が流れなくなるため、検知部40は、線材31の破断を検知することができる。したがって、検知部40が検知するパターン層30の線材31の破断情報をもとに、検査対象物90の歪みの発生を確実に把握することができるとともに、歪みが発生したタイミングを検知することができる。
以上、実施形態を通じて本発明に係る歪み検出デバイス1、2を説明したが、本発明は実施形態において説明した構成のみに限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜変更することが可能である。
例えば上述した第1実施形態では、パターン層30はシート20上に固定された。しかしながら、パターン層30はシート20に埋設されていてもよい。
また、上述した第1実施形態では、線材31がシート20上に配置されることによって、パターン層30は構成された。しかしながら、パターン層は、導電性を備える流体(例えば、カーボン分散体)をインクジェットによって吐出することによって形成されてもよい。また、パターン層は、所定のパターンが形成されたマスクを介してカーボンフィラー液を塗工することによって形成されてもよい。
また、上述した第1実施形態では、パターン層30は導電性を備えており、検知部40は、パターン層30を流れる電流を検知することによって、パターン層30の破断を検知した。しかしながら、検知部は、パターン層30の破断を検知することができる限りにおいて限定されず、例えば紫外線カメラ等を乾燥炉内に設置して、パターン層が破断する様子を撮影して、パターン層の破断を検知してもよい。
また、上述した第1実施形態では、パターン層30は、検査対象物90より小さい線膨張率を備えた。しかしながら、パターン層は、検査対象物より大きい線膨張率を備えてもよい。このとき、パターン層は、検査対象物90との線膨張率の差に起因する圧縮力によって圧縮破壊することによって破断し、検知部はこの破断を検知することができる。
また、上述した第1実施形態では、歪み検出デバイスは、矩形状を備えていたが、これに限定されず、円形状などであってもよい。
また、上述した第1実施形態では、パターン層30の線材31は、繰り返し蛇行するようにパターン形成されていたが、これに限定されず、らせん状にパターン形成されていてもよい。
また、上述した実施形態では、検査対象物90は、電気設備など大型で強度が必要な金属筐体であったが、これに限定されない。
1、2 歪み検出デバイス、
10、110 粘着層、
20 シート、
30 パターン層、
40 検知部、
90 検査対象物。

Claims (6)

  1. 検査対象物の歪みを検出する歪み検出デバイスであって、
    前記検査対象物に貼り付けられる粘着層と、
    前記粘着層の前記検査対象物が設けられる側の反対側に設けられ、前記検査対象物と異なる線膨張率を備えるパターン層と、
    前記パターン層の破断を検知する検知部と、を有する歪み検出デバイス。
  2. 前記パターン層は導電性を備えており、
    前記検知部は、前記パターン層を流れる電流を検知することによって、前記パターン層の破断を検知する請求項1に記載の歪み検出デバイス。
  3. 前記粘着層および前記パターン層の間に設けられるとともに、熱収縮性を備えるシートをさらに有する請求項1または2に記載の歪み検出デバイス。
  4. 前記パターン層の線膨張率は、1×10−6/℃〜10×10−6/℃である請求項1〜3のいずれか1項に記載の歪み検出デバイス。
  5. 前記パターン層は、前記粘着層の表面に投射した際に、前記表面上を繰り返し蛇行するともに、連続的に走査するようにパターン形成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の歪み検出デバイス。
  6. 前記パターン層は、線材が連続的に走査するようにパターン形成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の歪み検出デバイス。
JP2018024169A 2018-02-14 2018-02-14 歪み検出デバイス Pending JP2019138843A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018024169A JP2019138843A (ja) 2018-02-14 2018-02-14 歪み検出デバイス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018024169A JP2019138843A (ja) 2018-02-14 2018-02-14 歪み検出デバイス

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019138843A true JP2019138843A (ja) 2019-08-22

Family

ID=67693743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018024169A Pending JP2019138843A (ja) 2018-02-14 2018-02-14 歪み検出デバイス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2019138843A (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6175247A (ja) * 1984-09-19 1986-04-17 Murata Mfg Co Ltd 熱硬化性樹脂の硬化収縮力測定用装置およびその装置を用いた硬化収縮力測定方法
JPH10311761A (ja) * 1997-05-12 1998-11-24 Nkk Corp 貼付型疲労ゲージ
JP2001249092A (ja) * 2000-03-07 2001-09-14 Ibiden Co Ltd 熱膨張測定方法および測定装置および熱設計された構造体
US20010037686A1 (en) * 2000-03-30 2001-11-08 Kanta Nihei Crack-type fatigue detecting sensor, method for fabricating crack-type fatigue detecting sensor, and method for estimating damage using crack-type fatigue detecting sensor
JP2004271376A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Murata Mfg Co Ltd 被熱処理物の検査方法
JP2005140515A (ja) * 2003-11-04 2005-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 荷重センサ及びその製造方法
JP2013130519A (ja) * 2011-12-22 2013-07-04 Yokohama National Univ 電子装置、電源制御システム、および寿命測定ユニット
US20140103466A1 (en) * 2011-05-10 2014-04-17 Sms Tenzotherm Gmbh Resistant strain gauge

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6175247A (ja) * 1984-09-19 1986-04-17 Murata Mfg Co Ltd 熱硬化性樹脂の硬化収縮力測定用装置およびその装置を用いた硬化収縮力測定方法
JPH10311761A (ja) * 1997-05-12 1998-11-24 Nkk Corp 貼付型疲労ゲージ
JP2001249092A (ja) * 2000-03-07 2001-09-14 Ibiden Co Ltd 熱膨張測定方法および測定装置および熱設計された構造体
US20010037686A1 (en) * 2000-03-30 2001-11-08 Kanta Nihei Crack-type fatigue detecting sensor, method for fabricating crack-type fatigue detecting sensor, and method for estimating damage using crack-type fatigue detecting sensor
JP2004271376A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Murata Mfg Co Ltd 被熱処理物の検査方法
JP2005140515A (ja) * 2003-11-04 2005-06-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 荷重センサ及びその製造方法
US20140103466A1 (en) * 2011-05-10 2014-04-17 Sms Tenzotherm Gmbh Resistant strain gauge
JP2013130519A (ja) * 2011-12-22 2013-07-04 Yokohama National Univ 電子装置、電源制御システム、および寿命測定ユニット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8429960B2 (en) Process for measuring an adhesion energy, and associated substrates
JP5563169B1 (ja) 距離測定システム、距離測定方法
JP2017063092A (ja) 半導体装置の評価装置及び評価方法
CN1988770A (zh) 基板检查方法、印刷线路板、以及电子电路装置
JP2017032554A (ja) ひずみゲージ
JP2019138843A (ja) 歪み検出デバイス
TWI780874B (zh) 檢查輔助具、檢查輔助具套組、及基板檢查裝置
JP6036151B2 (ja) 引張試験装置及び引張試験方法
JP4938399B2 (ja) 材料特性を評価するための装置及び関連する方法
Datta et al. Batch fabrication and characterization of micro-thin-film thermocouples embedded in metal
US20150349234A1 (en) Methods Of Making A Specialty Junction Thermocouple For Use In High Temperature And Corrosive Environments
JPH1194787A (ja) 測定装置
JP5860355B2 (ja) 電子顕微鏡用の試験片及びその製造方法
JP2011174876A (ja) ダイアフラム部を有する基板を備えたセンサ装置、及び同センサ装置を複数備えたセンサ装置アレイ
WO2017094714A1 (ja) ヒータプレート、このヒータプレートを用いる熱流束センサの製造装置、このヒータプレートの製造方法、及び、このヒータプレートの製造装置
JP2015105950A (ja) プローブカード検査修正装置
JP2011053129A (ja) 電気検査方法
JP2018009820A (ja) 構造物の歪センサ及び構造物歪検出方法
KR101578831B1 (ko) 표시판 검사용 구동 필름 및 그의 제조 방법
JP2007303980A (ja) 金属部材のクリープ余寿命の予測方法
US20150043610A1 (en) Stress detection system on small areas and method thereof
JP2010237064A (ja) 変位検知装置とこれを利用した配管の変位検知方法
US20200241046A1 (en) Flexible electric probe
JP2006220590A (ja) 可撓性プリント基板の電気検査装置
JP4735075B2 (ja) き裂深さ測定器用センサおよびき裂深さ測定器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201113

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211027

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211102

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220426