JP2019138775A - 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 - Google Patents
磁界センサ素子及び磁界センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019138775A JP2019138775A JP2018022511A JP2018022511A JP2019138775A JP 2019138775 A JP2019138775 A JP 2019138775A JP 2018022511 A JP2018022511 A JP 2018022511A JP 2018022511 A JP2018022511 A JP 2018022511A JP 2019138775 A JP2019138775 A JP 2019138775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- magnetic field
- film
- field sensor
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
10,10A〜10C 磁界センサ素子
19,20,20B,20C,21B,22B 光ファイバ
30 グラニュラー膜
31 磁性体粒子
32 誘電体
40 反射膜
50 発光装置
60 受光装置
Claims (9)
- 入射光を伝搬する入射用光ファイバと、
平均粒径が2nm以上かつ10nm未満の強磁性金属の微粒子が金属フッ化物の誘電体中に分散しており、前記入射光を透過させるグラニュラー膜と、
前記グラニュラー膜を透過した光を前記グラニュラー膜に向けて反射する反射膜と、
前記反射膜で反射し前記グラニュラー膜を透過した戻り光を伝搬する出射用光ファイバと、
を有することを特徴とする磁界センサ素子。 - 前記グラニュラー膜の光透過率が20%以上かつ30%以下である、請求項1に記載の磁界センサ素子。
- 前記強磁性金属が、Fe及びCoの少なくとも一方を含み、
前記金属フッ化物がMgF2又はYF3である、請求項2に記載の磁界センサ素子。 - 前記グラニュラー膜中における前記強磁性金属の体積Mと前記金属フッ化物の体積Fとの比M/(M+F)が0.2よりも大きくかつ0.5未満である、請求項3に記載の磁界センサ素子。
- 前記入射用光ファイバと前記出射用光ファイバは同一の光ファイバであり、
前記グラニュラー膜は前記光ファイバの端面に形成され、
前記反射膜は前記グラニュラー膜上に形成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁界センサ素子。 - 前記入射用光ファイバと前記出射用光ファイバは同一の光ファイバであり、
前記磁界センサ素子は、前記光ファイバの出射端部に配置された光コリメータと、前記光コリメータと前記グラニュラー膜の間に配置されたλ/4板と、をさらに有し、
前記グラニュラー膜は、前記光ファイバの出射端部から離間して配置され、
前記光コリメータは、前記光ファイバを伝搬してきた光を平行光として空間に出射するとともに、前記反射膜からの空間伝搬光である反射光を前記光ファイバに入射させる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁界センサ素子。 - 前記入射用光ファイバと前記出射用光ファイバは同一の光ファイバであり、
前記磁界センサ素子は、前記光ファイバで構成される経路の途中に挿入されたλ/4板をさらに有し、
前記グラニュラー膜は、前記光ファイバで構成される経路の途中に挿入され、
前記反射膜は前記光ファイバの端面に形成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁界センサ素子。 - 光分岐部を有し前記入射用光ファイバと前記出射用光ファイバとが接続される平面光波回路をさらに有し、
前記グラニュラー膜は前記平面光波回路の端面に形成され、
前記反射膜は前記グラニュラー膜上に形成され、
前記出射用光ファイバは偏波保持光ファイバであり、調心されて前記平面光波回路に接続されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁界センサ素子。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁界センサ素子と、
前記入射用光ファイバに前記入射光として直線偏光を導入する発光装置と、
前記出射用光ファイバから導出された前記戻り光をS偏光成分及びP偏光成分に分離し、前記S偏光成分及び前記P偏光成分を受光して電気信号に変換し、前記電気信号を処理する受光装置と、
を有することを特徴とする磁界センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018022511A JP7023459B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018022511A JP7023459B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019138775A true JP2019138775A (ja) | 2019-08-22 |
JP7023459B2 JP7023459B2 (ja) | 2022-02-22 |
Family
ID=67693687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018022511A Active JP7023459B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7023459B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021056047A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | シチズンファインデバイス株式会社 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4371838A (en) * | 1980-09-24 | 1983-02-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical fiber waveguide for measuring magnetic fields |
JPS6069573A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Fujitsu Ltd | 磁気光学装置 |
JPH08248108A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-27 | Teijin Seiki Co Ltd | 磁界測定装置 |
JPH11110708A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Toshiba Corp | 磁気記録再生装置 |
JP2000206218A (ja) * | 1999-01-07 | 2000-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多層膜磁界感応素子およびそれを用いた光学式磁界検出器 |
JP2001194639A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-07-19 | Minebea Co Ltd | 磁気光学体 |
JP2001281470A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Rikogaku Shinkokai | 強磁性体含有光ファイバ並びに該光ファイバを用いた電流センサ及び磁界センサ |
WO2007000947A1 (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-04 | Nec Corporation | 電界センサ、磁界センサ、電磁界センサ、及びそれらを用いた電磁界測定システム |
JP2007057324A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光ファイバ型計測システム |
JP2012069428A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Research Institute For Electromagnetic Materials | 薄膜誘電体 |
WO2014136411A1 (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-12 | アダマンド株式会社 | 電流測定装置 |
JP2014224027A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-12-04 | 国立大学法人 東京大学 | 酸化鉄ナノ磁性粒子粉およびその製造方法、当該酸化鉄ナノ磁性粒子粉を含む酸化鉄ナノ磁性粒子薄膜およびその製造方法 |
JP2017098423A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 透光性磁性体 |
-
2018
- 2018-02-09 JP JP2018022511A patent/JP7023459B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4371838A (en) * | 1980-09-24 | 1983-02-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical fiber waveguide for measuring magnetic fields |
JPS6069573A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Fujitsu Ltd | 磁気光学装置 |
JPH08248108A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-27 | Teijin Seiki Co Ltd | 磁界測定装置 |
JPH11110708A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Toshiba Corp | 磁気記録再生装置 |
JP2000206218A (ja) * | 1999-01-07 | 2000-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多層膜磁界感応素子およびそれを用いた光学式磁界検出器 |
JP2001194639A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-07-19 | Minebea Co Ltd | 磁気光学体 |
JP2001281470A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Rikogaku Shinkokai | 強磁性体含有光ファイバ並びに該光ファイバを用いた電流センサ及び磁界センサ |
WO2007000947A1 (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-04 | Nec Corporation | 電界センサ、磁界センサ、電磁界センサ、及びそれらを用いた電磁界測定システム |
JP2007057324A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光ファイバ型計測システム |
JP2012069428A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Research Institute For Electromagnetic Materials | 薄膜誘電体 |
WO2014136411A1 (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-12 | アダマンド株式会社 | 電流測定装置 |
JP2014224027A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-12-04 | 国立大学法人 東京大学 | 酸化鉄ナノ磁性粒子粉およびその製造方法、当該酸化鉄ナノ磁性粒子粉を含む酸化鉄ナノ磁性粒子薄膜およびその製造方法 |
JP2017098423A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 透光性磁性体 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021056047A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | シチズンファインデバイス株式会社 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
JP7385210B2 (ja) | 2019-09-27 | 2023-11-22 | シチズンファインデバイス株式会社 | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7023459B2 (ja) | 2022-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6815001B2 (ja) | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 | |
US20030133657A1 (en) | Magneto-optical sensing employing phase-shifted transmission bragg gratings | |
US6734657B2 (en) | Temperature-compensated fiber optic current sensor | |
JP6450908B2 (ja) | 電流測定装置 | |
JP5853288B2 (ja) | 2芯光ファイバ磁界センサ | |
WO2010134327A1 (ja) | 電流測定装置 | |
US11435415B2 (en) | Magnetic sensor element and magnetic sensor device | |
US11892479B2 (en) | Interference type optical magnetic field sensor device | |
JP7023459B2 (ja) | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 | |
US11747408B2 (en) | Interference type photomagnetic field sensor device | |
WO2020161952A1 (ja) | 磁界センサ装置 | |
Svantesson et al. | Magneto-optical garnet materials in fiber optic sensor systems for magnetic field sensing | |
JPH09230013A (ja) | 光磁界センサプローブ及び磁気光学素子 | |
JPS62198768A (ja) | 光フアイバ型電圧センサ | |
Zhao et al. | A heterodyne optical fiber current sensor based on a nanowire-grid in-line polarizer | |
JPS6162882A (ja) | 磁界検出装置 | |
JP2023158963A (ja) | 干渉型光磁界センサ装置 | |
JP6796840B2 (ja) | 磁界センサ素子及びその製造方法 | |
JP6730052B2 (ja) | 光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置 | |
JP2023104659A (ja) | 干渉型光磁界センサ装置 | |
Day et al. | Faraday-effect sensors for magnetic field and electric current | |
JP2000338208A (ja) | 光磁界センサ | |
JP2021056047A (ja) | 磁界センサ素子及び磁界センサ装置 | |
JP2019090714A (ja) | 光磁界・電流計測装置 | |
JP2000206218A (ja) | 多層膜磁界感応素子およびそれを用いた光学式磁界検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20180312 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7023459 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |