JP6730052B2 - 光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置 - Google Patents

光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置 Download PDF

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Description

本発明は、光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置に関し、特に、小型化を実現できるとともに、電流や磁界の変化を光の変化で検出する際の光の損失を低減することができる光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置に関する。
非特許文献1には、外部からの電磁障害の影響を受けない光をプローブとする電流検出の方法として、磁性体の面内磁気カー(Kerr)効果を利用した光プローブ電流センサが提案されている。この光プローブ電流センサは、直線偏光を磁性体の表面に入射し、磁性体の表面からの反射光を1/4λ板及びプリズムビームスプリッタ(PBS)を通してP偏光成分とS偏光成分とに分岐し、各偏光成分の光を光ファイバで伝搬してフォトダイオードで受光するというものである。
上記の光プローブ電流センサでは、被測定対象の電流や磁界の大きさは、面内磁気カー効果を生じる磁性体からの反射光のP偏光成分及びS偏光成分の光量として変換される。そのため、P偏光成分及びS偏光成分の光量は、磁性体の面内磁気カー効果による変化以外の理由で光量が変化してはならない。しかし、この光プローブ電流センサにおいて、各偏光成分の光を伝搬する光ファイバに振動や衝撃等の外力が加わると光量が変化し、S(Signal)/N(Noise)比等で表される検出精度(測定精度)が低下してしまうという問題があった。
その問題に対し、特許文献1では、検出精度の高い光プローブセンサ装置が提案されている。この光プローブセンサ装置は、発光部及び受光部と、センサ部と、2つの光ファイバコアと、信号処理部とを備え、センサ部は、面内磁気カー効果を生じる磁性体と、磁性体からの反射光をS偏光成分とP偏光成分とに分岐する偏光子とを含んでいる。そして、一方の光ファイバコアは、分岐されたS偏光成分の光を伝搬し、他方の光ファイバコアは、分岐されたP偏光成分の光を伝搬し、受光部は、それぞれの光信号を第1及び第2電気信号に変換し、信号処理部は、第1電気信号で第2電気信号を除算する第1除算回路と、第2電気信号で第1電気信号を除算する第2除算回路と、第1及び第2除算回路のそれぞれの出力値を差動増幅して出力する差動増幅回路とを含むというものである。
曽根原誠、他7名、「Fe−Si/Mn−Ir交換結合単磁区磁性薄膜のKerr効果を用いた光プローブ電流センサの基礎検討」、信州大学スピンデバイステクノロジーセンター活動報告書(平成20年度)、P.27−28.
特開2014−145719号公報
ところで、光カー回転角によるP偏光成分とS偏光成分との位相変調による光パワー差を検出し、その差分を電流値に置き換える検出方法において、光カー効果をもたらすFeの光カー回転角度が1°以下と非常に小さいため、反射後の光伝搬中に偏光状態が変化し、P偏光成分とS偏光成分との差分の検出が難しいという問題がある。
こうした問題に対しては、反射直後に1/4λ板又は1/2λ板で位相変調増幅し、その後に偏光ビームスプリッタ(PBS)にて分岐する必要がある。このような構成を実現するために、特許文献1に示す光プローブ電流センサが提案されている。しかしながら、その光プローブ電流センサは、部品数が多くて組み立ての際の光学軸合わせが難しいという問題や、光学部品が大きくて小型化が難しいという問題がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、小型化を実現できるとともに、光の損失を低減することができる光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置を提供することにある。
(1)本発明に係る光プローブ電流センサ素子は、直線偏光を伝搬する第1の光導波路と、前記第1の光導波路の光学的開口部に設けられ、面内磁気カー効果を生じさせるセンサ部と、前記センサ部に光学的に接続されて前記センサ部で反射された反射光を伝搬する第2の光導波路と、前記反射光のP偏光成分とS偏光成分とを分岐してそれぞれの光導出部に伝搬する偏光分離素子とを有し、前記第1の光導波路、前記第2の光導波路及び前記偏光分離素子が平面光導波回路で構成されていることを特徴とする。
この発明によれば、第1の光導波路、第2の光導波路及び偏光分離素子が平面光導波回路(PLC)で構成されているので、小型化を実現できるとともに、光の損失を低減することができる。
本発明に係る光プローブ電流センサ素子において、前記第2の光導波路の途中には、1/2λ板が設けられているように構成できる。この発明によれば、反射光が1/2λ板で位相変調されるので、面内磁気カー効果によって光回転時で生じた光強度の変化を直線的に検出することが可能となる。
本発明に係る光プローブ電流センサ素子において、前記第1の光導波路には、前記直線偏光を該第1の光導波路に導入する偏波保持光ファイバが接続されていてもよいし、又は、前記第1の光導波路の途中には、前記第1の光導波路に導入された光を直線偏光する偏光子が設けられていてもよい。これらの発明によれば、直線偏光を二通りの手段でセンサ部に伝搬することができる。
本発明に係る光プローブ電流センサ素子において、前記センサ部が、面内磁気カー効果を生じさせる磁性膜である。
本発明に係る光プローブ電流センサ素子において、前記偏光分離素子が、マッハツェンダ干渉計により構成される。
(2)本発明に係る光プローブ電流センサ装置は、上記本発明に係る光プローブ電流センサ素子と、前記光プローブ電流センサ素子が有する第1の光導波路に光を導入する光入力装置と、前記光プローブ電流センサ素子が有する偏光分離素子を通過した光を受光する光受信装置とを有することを特徴とする。
本発明に係る光プローブ電流センサ装置において、前記光入力装置は、発光素子と、該発光素子から発した光を直線偏光する偏光子と、直線偏光を伝搬する偏波保持光ファイバとを有し、前記偏波保持光ファイバは、前記光プローブ電流センサ素子が有する前記第1の光導波路と光学的に接続されている。
本発明に係る光プローブ電流センサ装置において、前記光受信装置は、前記偏光分離素子を通過したP偏光成分とS偏光成分をそれぞれ受光する受光素子と、該受光素子で受光した光を電気信号に変換する信号処理部とを有する。
本発明によれば、小型化を実現できるとともに、光の損失を低減することができる光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置を提供することができる。
本発明に係る光プローブ電流センサ装置の構成図である。 本発明に係る光プローブ電流センサ素子の一例を示す模式的な平面構成図である。 直線偏光を、第1の光導波路内で行う場合(A)と光入力装置内で行う場合(B)とを示す模式的な構成図である。 センサ部の一例を示す模式的な拡大平面図である。 光プローブ電流センサ素子の原理の説明図である。 信号処理部のブロック図である。
本発明に係る光プローブ電流センサ素子及び光プローブ電流センサ装置について、図面を参照しつつ説明する。本発明は、その要旨の範囲で以下の説明及び図面に限定されない。
[光プローブ電流センサ装置]
本発明に係る光プローブ電流センサ装置1は、図1に示すように、平面光導波回路で主に構成された光プローブ電流センサ素子10を備えた装置であり、少なくとも、光プローブ電流センサ素子10と、光プローブ電流センサ素子10が有する第1の光導波路11に光を導入する光入力装置20と、光プローブ電流センサ素子10が有する偏光分離素子16を通過した光を受光する光受信装置30とを有している。
光プローブ電流センサ素子10は、図2に示すように、直線偏光を伝搬する第1の光導波路11と、第1の光導波路11の光学的開口部19に設けられ、面内磁気カー効果を生じさせるセンサ部14と、センサ部14に光学的に接続されてセンサ部14で反射された反射光を伝搬する第2の光導波路12と、反射光のP偏光成分とS偏光成分とを分岐してそれぞれの光導出部3(3p,3s)に伝搬する偏光分離素子16とを有している。そして、第1の光導波路11、第2の光導波路12及び偏光分離素子16が平面光導波回路で構成されることに特徴がある。図2には、1/2λ板13が第2の光導波路12の途中に好ましく設けられており、反射光の位相変調を行っている。
光プローブ電流センサ装置1において、光入力装置20からの光は、第1の光導波路11を伝搬し、直線偏光となってセンサ部14に到達する。その直線偏光は、センサ部14において面内磁気カー効果で極わずかな楕円偏光となって反射する。その反射光は第2の光導波路21を伝搬し、第2の光導波路の途中に好ましく設けられた1/2λ板13で位相変調される。位相変調された光は、偏光分離素子21でP偏光成分とS偏光成分とに分岐され、それぞれの光導出部3(3p,3s)に伝搬する。光受信装置30は、それぞれの偏光成分を受光する。
この光プローブ電流センサ装置1は、平面光導波回路で主に構成された光プローブ電流センサ素子10を微小なヘッド部として備え、そのヘッド部が光ファイバ21,31を介して光入力装置20と光受信装置30とに接続されたセンサ装置である。こうした光プローブ電流センサ装置20は、小型化を実現できるとともに、光の損失を低減することができるという効果を奏する。
以下、光プローブ電流センサ装置の各構成要素を説明する。
<光プローブ電流センサ素子>
光プローブ電流センサ素子10の構成は上記したとおりであり、図2に示すように、第1の光導波路11と、センサ部14と、第2の光導波路12と、偏光分離素子16とを少なくとも有している。このうち、第1の光導波路11、第2の光導波路12及び偏光分離素子16は平面光導波回路(PLC)で構成されている。図2中の1/2λ板13は、必要に応じて好ましく設けられる。なお、前記で「主に」としたは、光学的開口部19にセンサ部14として磁性膜が設けられたり、第2の光導波路12の途中に1/2λ板13が別体として挿入されたりするためである。
この光プローブ電流センサ素子10は、平面光導波回路で主に構成された微小なセンサヘッド形態であることに構造上の特徴がある。その大きさは特に限定されないが、一例としては、幅5mm、長さ8mm、高さ1mm程度のスケールの微小ヘッド部とすることができる。
(第1の光導波路)
第1の光導波路11は、図2に示すように、直線偏光をセンサ部14に伝搬する導波路である。第1の光導波路11は、平面光導波回路(PLC)ともいい、シリコンや石英基板上に光ファイバと同じ材料である石英ガラスを積層し、光が伝搬するための導波路を平面上に作製したものである。光ファイバと同じ材料で作製したPLCは、光ファイバとの結合効率が高いので、低損失で機械的安定性や信頼性に優れている。
第1の光導波路11は、一般的なPLCと同様の方法で作製され、特に限定されない。例えば、ガラス又は石英基板上に屈折率の低いSiO膜を下部クラッド層として火炎堆積法(FHD)や化学気相蒸着法(CVD)等で成膜し、その後、その下部クラッド層上に、不純物をドーピングした屈折率の高いガラス膜をコア層として成膜する。その後、そのコア層上にポジ型又はネガ型のレジストを塗布し、フォトリソグラフィーによりマスクパターンを露光する。その後、反応性イオンエッチング(RIE)でコア層をエッチングし、回路パターンを形成する。その後、屈折率の低いオーバークラッド層を成膜してPLCを作製する。作製されたPLCは、コア層の断面が矩形構造であり、且つクラッド層で囲まれた矩形導波路となる。矩形導波路では、光はコア層内で全反射を繰り返して伝搬する。一方、コア層の横方向の閉じ込めがないスラブ導波路であってもよく、その場合は、コア層やクラッド層の屈折率を再現性よくかつ正確に制御することにより、低損失な光導波回路を実現することができる。
屈曲部位17は、図2に示すように、第1の光導波路11に必要に応じて設けられている。この屈曲部位17は、直線偏光をセンサ部14の方向に伝搬するように湾曲している。屈曲部位17は、PLCでは第1の光導波路11のパターン形成時に任意の曲率で形成できる。PLCでは、光はコア層内で全反射を繰り返して伝搬するので、バルク型の光学系とは異なり、反射板等を挿入することなく設計することができる。
(直線偏光と偏光子)
第1の光導波路11は、直線偏光をセンサ部14に伝搬するが、直線偏光は、図3(A)に示すように、光入力装置20から光プローブ電流センサ素子10に導入されたものであってもよいし、図3(B)に示すように、第1の光導波路11内で偏光したものであってもよい。
光プローブ電流センサ素子10に直線偏光を入力する場合の光入力装置20は、図3(A)に示すように、発光素子23と、発光素子23から発した光を直線偏光に偏光する偏光子26と、偏光された直線偏光を伝搬する偏波保持光ファイバ21aとを有している。偏波保持光ファイバ21aは、光プローブ電流センサ素子10の光入力部2に接続し、直線偏光を第1の光導波路11に入力する。この形態の場合、光プローブ電流センサ素子10では、入力した直線偏光を第1の光導波路11がセンサ部14まで伝搬する。偏波保持光ファイバ21aとしては、シングルモード光ファイバのような直交する2つの偏波面をもつモードが存在しない光ファイバであって、例えばコアに非軸対称な応力を与えて2つの偏波モード間に伝搬定数差を生じさせ、それぞれの偏波モードからもう一方の偏波モードへの結合を抑制して偏波保持能力を向上させた光ファイバを例示することができる。
一方、光プローブ電流センサ素子10内で直線偏光に偏光する場合の光入力装置20は、図3(B)に示すように、発光素子23と、発光素子23から発した光を伝搬する光ファイバ21とを有している。この光ファイバ21は、一般的なシングルモード光ファイバであればよく、光プローブ電流センサ素子10の光入力部2に接続し、発光素子23からの光を第1の光導波路11に入力する。この形態の場合、光プローブ電流センサ素子10では、第1の光導波路11内に偏光子26が配置され、その偏光子26が発光素子23からの光を直線偏光に偏光してセンサ部14まで伝搬する。
偏光子26は、第1の光導波路11の途中に設けられたスリットに挿入されている。スリットは、第1の光導波路11に直交する方向に延びる細い溝であり、その長さと幅は、挿入する偏光子26の大きさに応じたものとし、その形成は、ダイシングやスクライブ等によって行うことができる。スリットへの偏光子26の接着は、伝送損失の低下を抑制するため、屈折率調整した接着剤を使用することが好ましい。
光入力部2での光ファイバ21,21aと第1の光導波路11との光学的な接続手段は特に限定されず、一般的に適用されている接続手段を採用できる。例えば、光ファイバをアレイ化した接続手段や、接着剤を利用した接続手段を挙げることができる。なお、いずれの接続手段も、接続部22での伝送損失の低下が抑制されることが好ましく、コネクタ式接続手段の場合は接続端面構造等に配慮することが望ましく、接着式接続手段の場合は屈折率を調整した接着剤等を使用することが好ましい。
(センサ部)
センサ部14は、図1に示すように、ケーブル等の被測定体100に接触又は近接して電流センサとして作用する。このセンサ部14は、面内磁気カー効果を生じさせる機能素子部であり、図4に示すように、光導波路をPLC素子端面で折れ曲げる形態となるように形成され、かつそのPLC素子端面から光導波路のコア層が露出するように研磨等された部位に設けられる。この部位を、光学的開口部19と呼ぶ。なお、この光学的開口部16を境にして、光入力部2側を第1の光導波路11とし、光導出部3側を第2の光導波路21という。
したがって、「光学的開口部」は、光導波路を構成するコア層の一部がクラッド層で覆われない部分が存在する部分のことであり、そうした部分では、光は、コア層内で全反射を繰り返して伝搬する状態が一部維持できなくなり、クラッド層で覆われていない「光学的開口部」から光がセンサ部14(磁性膜)に到達する。センサ部14に直線偏光の光が斜めに入射したとき、その光(直線偏光)は、その光学的開口部19に設けられたセンサ部14(磁性膜)で反射する。その反射光は、面内磁気カー効果により主軸の向きが入射した直線偏光の向きから傾いた極わずかな楕円偏光に偏光される。センサ部14を光学的開口部19に設けることにより、センサ部14と光導波路とが一体構造となり、その結果、バルク型の光学系とは異なり、光が空間伝搬されず、光の減衰を大きく抑制することができる。また、センサ部14と、1/2λ板13や偏光ビームスプリッタ16との距離を極めて短くすることができ、その結果、位相変調後のP偏光成分とS偏光成分を感度よく取得することができる。
センサ部14の構成材料としては、面内磁気カー効果を生じさせる磁性膜、例えばFe−Si系合金、Al−Ni−Co系合金等を好ましく挙げることができる。中でも、Fe−Si合金膜であることが好ましい。磁性膜は、スパッタリング法又は蒸着法により成膜してもよいし、ガラス等に成膜した磁性膜を光学的開口部19に貼り合わせてもよい。磁性膜の厚さは特に限定されないが、例えばFe−Si合金膜を成膜する場合は、120nm程度とすることができる。
センサ部14には直線偏光の光が斜めに入射して反射する。そのときの光導波路の折れ曲がり角度θは、任意に設計されるが、一例としては、60°程度を挙げることができる。なお、センサ部14への入射側の角度と出射側の角度は、通常は同じ角度で設けるが、支障のない範囲で異なっていてもよい。
(センサ原理)
センサ部14で偏光された極わずかな楕円偏光は、偏光分離素子16においてP偏光成分とS偏光成分とに分岐された状態で伝搬し、光受信装置30を構成する受光素子33p,33sでそれぞれの偏光成分を受光し、電気信号に変換して検出する。
図5(A)(B)は、光プローブ電流センサ素子の原理の説明図である。この図では、磁性膜14の表面に入射する入射光101と、磁性膜14の表面で反射する反射光102も併せて示している。符号θkはカー回転角である。
図5(A)では、電流はケーブル100中を流れておらず、電流磁場(印加磁場)は発生していない。磁性膜14は、ケーブル100が延びる方向と、面内磁気カー効果を生じる磁性膜14の磁気モーメント14Mの方向とが一致するように配置されている。この磁性膜14に直線偏光の入射光101を入射させると、磁性膜14から反射する反射光102は、横カー効果によって直線偏光のままである。
一方、図5(B)では、電流Iはケーブル100中を流れており、電流Iによって電流磁場Hが発生している。電流磁場Hの大きさは、電流Iの量によって変化する。この磁性膜14に直線偏光の入射光101を入射させると、磁性膜14から反射する反射光102は、縦カー効果によって極わずかな楕円偏光となった直線偏光となる。なお、図5(B)では、説明を明解にするために、楕円偏光として反射光102を示している。電流磁場Hの大きさが変化すると、その変化に応じて磁気モーメント14Mが回転する。このとき、磁性膜14から反射する反射光102は、縦カー効果によって、反射光102の回転角が磁気モーメント14Mの回転角に比例して変化する。その結果、反射光102の光量(強度)が変化し、P偏光成分の光量及びS偏光成分の光量も変化する。
磁性膜14として、上記したFe−Si系合金やAl−Ni−Co系合金を適用した場合、最大カー回転角θkmaxはそれぞれ1°以下と小さいけれども、本発明では、後述する信号処理部34において、光量に対応する電気信号を、単に差動増幅回路に入力するのではなく、外乱をキャンセルできる回路構成としているので、その検出精度(例えばS/N比)を高めることができる。
(第2の光導波路)
第2の光導波路12は、図2に示すように、センサ部14で反射された反射光を偏光分離素子16に伝搬する導波路である。この第2の光導波路21も第1の光導波路11と同様の方法で作製された平面光導波回路(PLC)であり、第1の光導波路11と同様の機能及び効果を奏するので、ここでの説明は省略する。この第2の光導波路21は、上記したように、光学的開口部16を境にした光導出部3側の導波路である。なお、第2の光導波路12の途中には、後述する1/2λ板13が設けられていることが好ましい。
屈曲部位18も上記屈曲部位17と同様であり、図2に示すように、第2の光導波路21に必要に応じて設けられている。この屈曲部位18は、反射光を1/2λ板13又は偏光分離素子16の方向に伝搬するように湾曲している。屈曲部位18は、PLCでは第2の光導波路21のパターン形成時に任意の曲率で形成できる。
(1/2λ板)
1/2λ板13は、図2に示すように、必要に応じて第2の光導波路21内に設けられている。この1/2λ板は、磁性膜14の磁性変化に伴う光の変化量を直線的に変化させることができるので、光の45deg位相変調を行うのに好ましく用いることができる。
この1/2λ板13も、既述した偏光子26の場合と同様、光導波路の途中に設けられたスリットに挿入することができる。スリットは、第2の光導波路21に直交する方向に延びる細い溝であり、その形成は、ダイシングやスクライブ等によって行うことができる。スリットへの1/2λ板13の接着は、伝送損失の低下を抑制するため、屈折率調整した接着剤を使用することが好ましい。
(偏光分離素子)
偏光分離素子16は、反射光のP偏光成分とS偏光成分とをそれぞれ分岐して伝搬する。図2の例では1/2λ板13が設けられており、反射光がその1/2λ板13で位相変調されるので、偏光分離素子16は、位相変調された光のP偏光成分とS偏光成分とをそれぞれ分岐して伝搬する。偏光分離素子16はマッハツェンダ干渉計(MZI)で構成される。こうした偏光分離素子16は、P偏光成分とS偏光成分とを別々の光路を通してから重ね合わせるので、二つの光路に位相のズレがある場合に干渉を起こし、その位相差が半波長(λ/2)の偶数倍のところは明るく、奇数倍のところは暗くなり、明暗の縞となって表れる。
本発明では、この偏光分離素子16を光導波路型として、光プローブ電流センサ素子10の光導波路構造として組み入れている。光導波路型PBS(偏光ビームスプリッタ)としては、現在までの知られた各種の形態を採用できる。例えば、ガラス基板表層に形成された導波路のコア層上に、誘電体交互多層膜を外部クラッド層として積層して偏光分離機能をもたせたY分岐導波路型素子等を挙げることができる。
(光導出部)
光導出部3(3p,3s)は、偏光分離素子16で分岐・伝搬されたP偏光成分とS偏光成分とを、後述の光受信装置30に接続する部分である。この光導出部3p,3sでの光導波路と光ファイバ31との光学的な接続手段は特に限定されず、一般的に適用されている接続手段を採用できる。例えば、光ファイバ31をアレイ化した接続手段や、接着剤を利用した接続手段を挙げることができる。なお、いずれの接続手段も、接続部32での伝送損失の低下が抑制されることが好ましく、コネクタ式接続手段の場合は接続端面構造等に配慮することが望ましく、接着式接続手段の場合は屈折率を調整した接着剤等を使用することが好ましい。
<光入力装置>
光入力装置20は、図1及び図3(A)(B)に示すように、発光素子23と光ファイバ21,21aとを少なくとも有している。この光入力装置20は、光プローブ電流センサ素子10に非偏光の光を入力するか、直線偏光を入力するかで、図3(A)(B)で既に説明した形態のいずれかにすることができる。なお、図3(A)(B)での説明欄で既に説明した光ファイバ21、偏波保持光ファイバ21a、偏光子26、接続手段の説明は、ここでは省略する。
発光素子23としては、例えば、半導体レーザを適用することができる。具体的には、垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)等を好ましく用いることができる。
光入力装置20は、発光素子23と光ファイバ21,21aとを少なくとも有するが、必要に応じて偏光子26を設けて予め直線偏光にしておけば、直線偏光を光プローブ電流センサ素子10に入力することができる。光入力装置20は、光プローブ電流センサ素子10と一体化してもよいし、長い光ファイバを経由して、発光素子23と光プローブ電流センサ素子10とを繋いだものであってもよく、光プローブ電流センサ素子10を光ファイバで引き回して所定の測定箇所に設置することができ、配線ケーブルの電流検出に利用することができる。
<光受信装置>
光受信装置30は、図1及び図6に示すように、光プローブ電流センサ素子10の光導出部3p,3sに接続し、P偏光成分とS偏光成分とを受光し、その偏光成分を信号処理部34で電気信号に変換する装置である。受光素子33としては、PINフォトダイオード等を好ましく挙げることができる。
信号処理部34は種々の形態とすることができるが、図8の例に示すように、フォトダイオード33p,33sと、増幅器35p,35sと、除算回路(アナログIC)36,37と、差動増幅回路38とを備える構成とすることができる。
信号処理部34において、光量LpのP偏光成分はフォトダイオード33pで電気信号Epに変換され、その電気信号Epは増幅器35pで増幅される。また、光量LsのS偏光成分もフォトダイオード33sで電気信号Esに変換され、その電気信号Esは増幅器35sで増幅される。増幅された電気信号Ep,Esは、電気信号Epで電気信号Esを除算する除算回路36の出力値として、差動増幅回路38のマイナス側へ入力される。また、増幅された電気信号Ep,Esは、電気信号Esで電気信号Epを除算する除算回路3の出力値として、差動増幅回路38のプラス側へ入力される。そして、差動増幅回路38の出力値を得る。
こうした信号処理部34により、例えば偏光分離素子16に外力が加わってP偏光成分とS偏光成分の光量がそれぞれ変化しても、互いの光量変化を除算回路36,37で低減するので、検出精度(例えばS/N比)を高めることが可能になる。特に本発明では、光プローブ電流センサ素子10をPLC素子としているので、光導波路に加わる振動や衝撃等の外乱を抑制できる構造形態であり、検出精度をより一層高めることができる。
以上説明したように、光プローブ電流センサ素子10を平面光導波回路とすることにより、バルク型の光学系で実現していた機能を平面光回路上に素子形態で作製することができ、小型の素子化を実現できる。特に、ヘッド部には、PLCによるマッハツェンダ干渉計で構成される偏光分離素子を一体化したので、光導波路に加わる振動や衝撃等の外乱を抑制できる構造形態であり、検出精度をより一層高めることができる。
こうした光プローブ電流センサ素子10及び光プローブ電流センサ装置1は、種々の電子・電気機器用の電流検出用センサ又は磁界検出用センサとして利用可能である。特に、電磁ノイズが存在する環境下や、振動、衝撃等の影響を受ける環境下であっても幅広く利用することができる。また、電気自動車やハイブリッド自動車等において、速度制御やトルク制御で参照される電流を、正確に検出するために用いることもできる。具体的には、電気自動車等のエンジンルーム内に取り付けた場合には、光プローブ電流センサ素子10を光ファイバで引き回して所定箇所に設置することができ、配線ケーブルの電流検出に利用することができる。
1 光プローブ電流センサ装置
2 光入力部
3,3p,3s 光導出部
10 光プローブ電流センサ素子
11 第1の光導波路
12 第2の光導波路
13 1/2λ板
14 センサ部(磁性膜)
14M 磁気モーメント
15 第2の光導波路
16 偏光分離素子(偏光ビームスプリッタ)
17,18 屈曲部位
19 光学的開口部
20 光入力装置
21 光ファイバ
21a 偏波保持光ファイバ
22 接続部
23 発光素子(半導体レーザー)
26 偏光子
30 光受信装置
31 光ファイバ
32 接続部
33,33p,33s 受光素子(PINフォトダイオード)
34 信号処理部
35p,35s 増幅器
36,37 除算回路
38 差動増幅回路
100 被測定体(ケーブル)
101 入射光
102 反射光
θk カー回転角
I 電流
H 印加磁場

Claims (9)

  1. 直線偏光を伝搬する第1の光導波路と、前記第1の光導波路の光学的開口部に設けられ、面内磁気カー効果を生じさせるセンサ部と、前記センサ部に光学的に接続されて前記センサ部で反射された反射光を伝搬する第2の光導波路と、前記第2の光導波路内に設けられて前記反射光の位相変調を行う1/2λ板と、前記位相変調された前記反射光のP偏光成分とS偏光成分とを分岐してそれぞれの光導出部に伝搬する偏光分離素子とを有し、前記光学的開口部は、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路のクラッド層で覆われていないコア層の一部であり、前記センサ部は前記光学的開口部から前記センサ部に到達した光を反射し、前記光学的開口部で前記センサ部と前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路とが一体構造として設けられ、前記1/2λ板は屈折率調整した接着剤で接着されてなり、前記第1の光導波路、前記第2の光導波路及び前記偏光分離素子が平面光導波回路で構成されていることを特徴とする光プローブ電流センサ素子。
  2. 前記1/2λ板は、前記第2の光導波路の途中に設けられたスリットに挿入されている、請求項1に記載の光プローブ電流センサ素子。
  3. 前記センサ部が、面内磁気カー効果を生じさせる磁性膜である、請求項1又は2に記載の光プローブ電流センサ素子。
  4. 前記偏光分離素子が、マッハツェンダ干渉計により構成される、請求項1〜のいずれか1項に記載の光プローブ電流センサ素子。
  5. 前記第1の光導波路には、前記直線偏光を該第1の光導波路に導入する偏波保持光ファイバが接続されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光プローブ電流センサ素子。
  6. 前記第1の光導波路の途中には、前記第1の光導波路に導入された光を直線偏光する偏光子が設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光プローブ電流センサ素子。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の光プローブ電流センサ素子と、前記光プローブ電流センサ素子が有する第1の光導波路に光を導入する光入力装置と、前記光プローブ電流センサ素子が有する偏光分離素子を通過した光を受光する光受信装置とを有することを特徴とする光プローブ電流センサ装置。
  8. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光プローブ電流センサ素子と、前記光プローブ電流センサ素子が有する第1の光導波路に光を導入する光入力装置と、前記光プローブ電流センサ素子が有する偏光分離素子を通過した光を受光する光受信装置とを有し、
    前記光入力装置は、発光素子と、該発光素子から発した光を直線偏光する偏光子と、直線偏光を伝搬する偏波保持光ファイバとを有し、前記偏波保持光ファイバは、前記光プローブ電流センサ素子が有する前記第1の光導波路と光学的に接続されている、光プローブ電流センサ装置。
  9. 前記光受信装置は、前記偏光分離素子を通過したP偏光成分とS偏光成分をそれぞれ受光する受光素子と、該受光素子で受光した光を電気信号に変換する信号処理部とを有する、請求項7又は8に記載の光プローブ電流センサ装置。
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