JP2019137731A - 表面処理方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、このようなフッ素系樹脂をプラズマ処理することによって密着性を改善する技術が提案されている。概要は、フッ素系樹脂フィルムを一対の電極どうし間の処理空間に通すとともに、前記処理空間にプロセスガスを導入し、更に電極間への電圧印加によって大気圧プラズマ放電を生成するものである。プロセスガスとしては、例えばアルゴン(Ar)、窒素(N2)、ヘリウム(He)等の不活性ガスに水素(H2)を添加したガスが用いられている。該プロセスガスが処理空間内においてプラズマ化されるとともにフッ素系樹脂フィルムの表面に接触される。これによって、フッ素系樹脂フィルムの密着性が高まる。
アルゴンのみのプロセスガスの場合、プラズマ照射によってフッ素系樹脂の表面層のC−F結合が切断されて、FやCF2、C2F4その他のフッ化炭素(CxFy)が脱離される。しかし、これらフッ素系脱離分子の一部がフッ素系樹脂の表面分子と再反応して変色堆積物となる。プラズマ処理を続けると、変色堆積物がフッ素系樹脂の表面を覆い、密着性の向上を妨げる。
本発明は、かかる研究考察に鑑み、フッ素系樹脂を長時間プラズマ処理することによって密着性を改善でき、或いは水素含有プロセスガスを用いた特許文献1よりも密着性を改善できる処理方法及び処理装置を提供することを目的とする。
一対の電極どうし間に形成された大気圧近傍の処理空間に前記被処理物を配置する工程と、
前記処理空間に放電生成ガスを含有するプロセスガスを供給する工程と、
前記プロセスガスにH2Oを添加する工程と、
前記一対の電極どうし間に電圧を印加して前記処理空間内に放電を生成する工程と、
を含むことを特徴とする。
本発明装置は、フッ素系樹脂を含む被処理物を表面改質する装置であって、
互いの間に被処理物が配置される大気圧近傍の処理空間を画成するとともに、前記処理空間内に放電を生成する一対の電極と、
前記処理空間に放電生成ガスを含有するプロセスガスを導入するプロセスガスノズルと、
前記プロセスガスにH2Oを添加する添加部と
を備えたことを特徴とする。
前記表面処理装置が、前記処理空間をガスカーテンによって外部空間から隔てるカーテンガスノズルを更に備えていることが好ましい。
ガスカーテンによって、外気が処理空間内に流入するのを阻止できる。これによって、処理空間におけるガス組成を管理できる。特に、処理空間における水分量を正確に管理できる。また、処理空間への酸素混入を抑制又は防止できる。
前記処理空間の端部に前記プロセスガスノズルが配置され、その外側に前記カーテンガスノズルが配置されていることが、より好ましい。
前記処理空間でのプロセスガスの流れ方向における、前記処理空間の上流側の端部に前記カーテンガスノズルが配置されていることが、より好ましい。
前記処理空間の前記流れ方向における下流側の端部にも前記カーテンガスノズルが配置されていてもよい。
前記処理空間を囲むようにカーテンガスノズルが設けられていてもよい。
前記処理空間の端部に外気流入阻止手段として、カーテンガスノズルに加えて又はカーテンガスノズルに代えて、遮蔽壁が設けられていてもよい。
放電生成ガスは、処理空間において安定的なプラズマ放電を生成するためのガスであり、好ましくはアルゴン(Ar)、ヘリウム(He)等の希ガス、窒素(N2)その他の不活性ガスが挙げられる。
図1は、被処理物9の表面処理装置1を示したものである。被処理物9は、フィルム状ないしは薄板状になっている。図1において被処理物9の厚さは誇張されている。
被処理物9は、フッ素系樹脂を主成分として含む。本実施形態のフッ素系樹脂は、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)であるが、これに限られず、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、ポリビニルフルオライド(PVF)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体(ETFE)、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)などであってもよい。
第2電極21には、例えば水冷管を含む冷却機構やヒーターを含む加熱機構等の温調手段(図示省略)が設けられている。
流量比調節部33vは、2つの路32a,33aへの分流比を調節可能なバルブによって構成されている。なお、各路32a,33aに流量調節弁を設けることによって分流比を調節してもよい。
添加部33にはヒータ等の温度調節手段が設けられていてもよい。
添加部33より下流側の供給路32にはリボンヒータ等の結露防止用の温度調節手段が設けられていてもよい。
カーテンガスとしては、アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)、窒素(N2)等の不活性ガスが用いられている。カーテンガス成分が、前記プロセスガスの放電生成ガス成分と同じであってもよく、異なっていてもよい。
<配置工程>
被処理物9を被処理物支持部20上ひいては処理空間1a内に配置する。
<供給工程>
処理空間1aにプロセスガスを供給する。
詳しくは、放電生成ガス源31から一定流量のArを供給路32へ送出する。Arの一部は、分岐路33aへ分岐される。Arの残部は、直進路32aを直進する。
<添加工程>
前記分岐したArは、添加部33における液体の水(H2O)にバブリングされる。これによって、Arに水蒸気(H2O)が添加される。水蒸気添加後のArが戻り路33bから供給路32へ戻されるとともに、直進路32aからのArと合流される。これによって、ArとH2Oを含むプロセスガスが生成される。
分岐路33aへのArと直進路32aへのArとの分流比、及び添加部33の温度などを調節することによって、前記合流後のプロセスガス中のH2O含有量を調節できる。
プロセスガス中のH2O含有量は、好ましくは0.001wt%〜2.7wt%であり、より好ましくは0.07wt%〜0.10wt%である。
プロセスガスは、ノズルユニット13へ送られ、プロセスガスノズル14から処理空間1aへ吐出される。更に、図1の矢印線aに示すように、プロセスガスは、処理ガス1a内を下流側(図1において右側)へ流れる。
併行して、高周波電源2から電極11,21間に高周波電圧を印加する。これによって、処理空間1a内に放電が生成され、プロセスガスがプラズマ化される。このプラズマが被処理物9に照射される。また、プロセスガス中のH2Oが分解され、水素ラジカルやOHラジカルが生成される。
処理時間すなわち被処理物9を前記放電によるプラズマに晒す時間は、300秒以上が好ましく、600秒以上がより好ましい。
更には、長時間のプラズマ処理によって被処理物表面のC−OH結合が増加する。これによって、水素含有プロセスガスを用いたプラズマ処理よりも密着性を改善できる。
勿論、Agインクの焼結膜だけでなく、CuインクやCuペースト等を焼結して得られた薄膜又は配線パターン等の焼結膜との密着性をも向上できる。Ag、Cu等の無機導電性材料だけでなく、有機導電性材料との密着性をも向上できる。また、エポキシ接着剤等の汎用の接着剤を介して、汎用樹脂組成物(例えば、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド(PI)、ナイロン等)との密着性をも向上できる。要するに、難密着性のフッ素樹脂組成物からなる被処理物9と導電性材料(無機、有機問わず)との密着性や塗布印刷性を改善することができる。更には、エポキシ接着剤等の汎用の接着剤を介して、合成ゴム(例えば、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、アクリルゴム等々)との密着性をも向上できる。
表面処理装置1は、大気圧下で処理を行うものであるから、大掛かりな真空設備等が不要であり、しかも開放型の装置構成にできる。例えば、装置全体を囲むチャンバー内の全域を不活性ガスに置換しなくてもよい。したがって、設備コストを安価にできる。かつ、連続安定生産性が高く、被処理物9の品質を安定させることができる。
例えば、被処理物9の組成は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)に限られず、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、ポリビニルフルオライド(PVF)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体(ETFE)、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)等であってもよく、単一組成に限られず複数種のフッ素系樹脂を含んでいてもよい。
放電生成ガスとしては、Arに限られず、Heその他の希ガス、N2等の不活性ガスを用いてもよい。
プラズマヘッド10の両側部にカーテンガスノズル15を設けてもよい。プラズマヘッド10の四辺にカーテンガスノズル15を設けてもよい。
プラズマヘッド10の下流側の端部(図1において右端部)には遮蔽壁を被処理物支持部20側へ突出するように設けてもよい。プラズマヘッド10の四辺に遮蔽壁を設けてもよい。
プラズマヘッド10に吸引ノズルを設けてもよい。
被処理物9を断続的にプラズマに晒し、その合計の処理時間が、例えば600秒以上であってもよい。
実施例1では、図1に示す表面処理装置1と実質同一の装置を用い、被処理物9の表面処理を行った。すなわち、被処理物9を被処理物支持部20上にセットし(配置工程)、添加部33でプロセスガスに水(H2O)を添加し(添加工程)、添加後のプロセスガスを処理空間1aに供給するとともに(プロセスガス供給工程)、電極11,21間に電界を印加して大気圧プラズマ放電を生成した(放電生成工程)。これによって、被処理物9にプラズマを照射した。
被処理物9は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)のフィルムであった。
被処理物9の厚さは、0.2mmであった。被処理物9のサイズは幅140mm×長さ190mmであった。被処理物9の幅方向を図1の紙面直交方向へ向け、長さ方向を図1の左右方向へ向けた。
電極11ひいては処理空間1aのサイズは、処理幅120mm×奥行25mmであった。なお、処理幅は、図1の紙面直交方向の寸法であり、奥行は図1の左右方向の寸法である。
プラズマヘッド10を被処理物支持部20に対してスキャンさせずに固定して処理を行なった。
電極間ギャップ(処理空間1aの厚さ(上下方向寸法))は、0.5mmであった。
高周波電源2において商用交流電力を直流変換し、この直流電力を高周波変換して電極11に供給した。
供給直流電流は2A、供給電力は305Wであった。
電極11,21間に印加された高周波パルス電圧Vppは、Vpp=8.0kVであり、このとき瞬時電流の最大値は0.76Aであった。
プロセスガスの放電生成ガスとして、Arを用いた。
プロセスガス成分は、Ar+H2Oであった。
放電生成ガスひいてはプロセスガスの流量は、15L/minであった。そのうち1L/minを分岐路33aからバブリングタンク33xへ分流してバブリングさせることによって、H2Oを添加させた。
バブリングタンク33xの温度は常温(20℃)であり、内圧は大気圧であった。プロセスガス中のH2O含有量は、0.07wt%〜0.10wt%程度であった。
カーテンガスの流量は、0L/minであった。
<処理時間>
処理時間(被処理物9をプラズマに晒す時間)は、20sec〜3600secの範囲で設定した。
被処理物9の前記表面処理された部分に対し、Agインクの密着性を次のようにして測定した。
前記処理時間ごとの被処理物9からサンプルを切り出した。サンプルの大きさは、長さ30mm×幅10mmであった。
このサンプルの被処理面(プラズマ照射した面、図1において上面)にAgインクを塗布した。
Agインクとしては、日油株式会社製 型番AG−SI−112を用いた。
塗布手段としてスピンコータを用いた。スピンコータの回転数は、2000rpmであった。塗布時間は、10秒であった。塗布後、120℃で20分間加熱し、その後、自然放冷却させた。
接着剤として、2液硬化型エポキシ接着剤を用いた。詳しくは、二液性エポキシ系接着剤AV138とHV998(共にナガセケムテックス株式会社製) を質量比5:2の割合で混合したものを用いた。
続いて、ヒーターで加熱し、エポキシ接着剤を硬化させることで、前記サンプルのAgインク塗布膜と2枚の帯状のステンレス板とを接着させた。加熱温度は80℃、加熱時間は30分であった。
そして、JIS K6584−1に基づき、90°剥離試験を行った。試験には、デジタルフォースゲージZP−200(株式会社イマダ製)、及び電動スタンドMX−500N(株式会社イマダ製)を使用した。サンプルを上へ向け、かつ帯状のステンレス板を下へ向けて、電動スタンドのステージに水平に設置するとともに、サンプルの一端部を上方へ90°折り曲げてデジタルフォースゲージに固定したうえで、ステージを走査させた。走査速度は、30 mm/minであった。そして、サンプルとAgインク塗布膜とが剥離する際のデジタルフォースゲージの読みから、サンプルの1mm幅あたりのAgインクの密着強度を算出した。
なお、未処理のPTFEに対して、前記評価1と同様にしてAgインクの密着強度を測定したところ、0.03N/mmであった(図2及び図3)。H2O無添加で処理した場合の比較例については後述する。
処理時間600secの被処理物9について、別のサンプル(長さ30mm×幅10mm)を切り出し、エポキシ接着剤の密着性を次のようにして測定した。
サンプルの被処理面にエポキシ接着剤を塗布した。
接着剤として、2液硬化型エポキシ接着剤を用いた。詳しくは、二液性エポキシ系接着剤AV138とHV998(共にナガセケムテックス株式会社製) を質量比5:2の割合で混合したものを用いた。
別途、サンプルの幅のちょうど2分の1の幅(5mm)の帯状のステンレス板を2枚用意した。これら2枚の帯状のステンレス板を幅方向に並べ、二液を混合したエポキシ接着剤を塗布するとともに、前記サンプルのプラズマ処理側を接着剤に貼り付けた。
続いて、ヒーターで加熱し、エポキシ接着剤を硬化させることで、前記サンプルと2枚の帯状のステンレス板とを接着させた。加熱温度は80℃、加熱時間は30分であった。
そして、JIS K6584−1に基づき、90°剥離試験を行った。試験には、デジタルフォースゲージZP-200(株式会社イマダ製)、及び電動スタンドMX-500N(株式会社イマダ製)を使用した。サンプルを上へ向け、かつ帯状のステンレス板を下へ向けて、電動スタンドのステージに水平に設置するとともに、サンプルの一端部を上方へ90°折り曲げてデジタルフォースゲージに固定したうえで、ステージを走査させた。走査速度は、30 mm/minであった。そして、サンプルとエポキシ接着剤とが剥離する際のデジタルフォースゲージの読みから、サンプルの1mm幅あたりのエポキシ接着剤の密着強度を算出した。
図4に示すように、結果は1.46N/mmであり、エポキシ接着剤として十分な密着強度が得られた。
なお、未処理のPTFEに対して、前記評価2と同様にしてエポキシ接着剤の密着強度を測定したところ、0.00N/mmであった(図4)。
前記表面処理後の被処理物9の表面における過酸化物ラジカル密度を電子スピン共鳴法(ESR)によって測定した。測定器として、日本電子株式会社製電子スピン共鳴装置JES−FA100Xを用いた。
処理時間20secのときを基準の100としてその他の処理時間におけるラジカル密度比を算出した。結果を図5に示す。
同図から明らかな通り、処理時間を長くするにしたがって、過酸化物ラジカル密度が増大した。被処理物9の表面上でC−OH結合が増えていることが推察される。
比較例として、H2Oを添加せずにアルゴン100%のプロセスガスでプラズマ処理を行った。それ以外の処理条件及び処理手順については実施例1と同じであった。処理後の評価方法については実施例1の評価1及び評価2と同じとした。
その結果、評価1に関しては、図3に示すように、処理時間600secにおけるAgインクとの密着強度は0.06N/mmとなり、密着性は悪かった。評価2に関しては、図4に示すように、処理時間600secにおけるエポキシ接着剤の密着強度は0.24N/mmとなり、密着性は十分でなかった。
1a 処理空間
1b 外部空間
9 被処理物
10 プラズマヘッド
11 第1電極
14 プロセスガスノズル
15 カーテンガスノズル
16 ガスカーテン
20 被処理物支持部
21 第2電極(接地電極)
30 プロセスガス供給手段
31 放電生成ガス源
32 供給路
33 添加部
33x バブリングタンク
33v 流量比調節部
Claims (5)
- フッ素系樹脂を含む被処理物を表面処理する方法であって、
一対の電極どうし間に形成された大気圧近傍の処理空間に前記被処理物を配置する工程と、
前記処理空間に放電生成ガスを含有するプロセスガスを供給する工程と、
前記プロセスガスにH2Oを添加する工程と、
前記一対の電極どうし間に電圧を印加して前記処理空間内に放電を生成する工程と、
を含むことを特徴とする表面処理方法。 - 前記プロセスガス中のH2O含有量が、0.001wt%〜2.7wt%であることを特徴とする請求項1に記載の表面処理方法。
- 前記処理空間と外部空間とをガスカーテンによって隔てることを特徴とする請求項1に記載の表面処理方法。
- フッ素系樹脂を含む被処理物を表面改質する装置であって、
互いの間に被処理物が配置される大気圧近傍の処理空間を画成するとともに、前記処理空間内に放電を生成する一対の電極と、
前記処理空間に放電生成ガスを含有するプロセスガスを導入するプロセスガスノズルと、
前記プロセスガスにH2Oを添加する添加部と
を備えたことを特徴とする表面処理装置。 - 前記処理空間をガスカーテンによって外部空間から隔てるカーテンガスノズルを更に備えたことを特徴とする請求項4に記載の表面処理装置。
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