JP2019131462A - 板ガラス - Google Patents
板ガラス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019131462A JP2019131462A JP2019076994A JP2019076994A JP2019131462A JP 2019131462 A JP2019131462 A JP 2019131462A JP 2019076994 A JP2019076994 A JP 2019076994A JP 2019076994 A JP2019076994 A JP 2019076994A JP 2019131462 A JP2019131462 A JP 2019131462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate glass
- groove
- dots
- information display
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
【課題】板ガラスの強度低下を招くことなく、その表面に、視認性に優れた情報表示部を形成する。【解決手段】本発明に係る板ガラス1は、その表面2に、ドット6を構成単位とする情報表示部3が設けられたものであって、ドット6が、環状の溝7で形成され、表面2は、溝7により、溝7の内側に区画される内側区画領域2aと、溝7の外側に区画される外側区画領域2bとに区画されており、内側区画領域2aは平坦な形状をなし、かつ内側区画領域2aと外側区画領域2bとが同一平面上にある。【選択図】図4
Description
本発明は、板ガラスに関し、特に板ガラスの表面に、ドットを構成単位とする情報表示部を形成する技術に関する。
例えば半導体ウェハの製造プロセス中、半導体ウェハを支持する部材に板ガラスが用いられることがある。この際、半導体ウェハには、その結晶方位を所定の向きに合わせるためにノッチと呼ばれる切欠き部が設けられる。そのため、この半導体ウェハを支持する板ガラスにも、同様の切欠き部を設けるのが一般的である。
また、この際、板ガラスの表面には、当該板ガラス等に関する種々の情報を取得可能な文字、記号、図形などの組合わせからなるマークが形成されることがある。これらのマークは、例えばドットと呼ばれる点状の要素を構成単位とするもので、各ドットは、従来、板ガラスの表面にレーザーを照射して、当該レーザーの照射領域に略有底円筒状の凹部を生じさせることで形成される(例えば、特許文献1を参照)。
ところで、この種のドットを構成単位とするマークには、通常、視認性等の観点から、当該マーク及びドットのサイズや、ドットの中心間距離(ピッチ)等に関する所定の規格が設けられている。そのため、ドットを構成する凹部についても、規格に基づいたサイズ(外径寸法、深さ寸法)となるよう形成する必要が生じる。しかしながら、この規格は、あくまでドットを構成単位とする種々のマークの視認性を満足する観点から定められているため、規格通りにドット(凹部)を形成したからといって板ガラスの強度が保証されているとは限らない。特に、厚み寸法が小さくなるほど、凹部が板ガラスのマーク形成領域に占める体積比が大きくなり、凹部の周囲が相対的に薄肉になるため、板ガラスに対して所要の強度を確保することが難しくなるおそれがある。
以上に述べた問題は、何も切欠き部を有する板ガラスに限ったことではなく、ドットを構成単位とする何かしらのマークを板ガラスの表面に形成する場合にも当てはまる。また、以上に述べた問題は、文字等の組合わせからなるマークのように、外観上、何かしらの意味を直接的に表示しているものを形成する場合に限らず、二次元コードのように、何かしらの意味が内在し、リーダーの読み取りにより当該意味を取得(間接的に表示)可能とするものを形成する場合にも当てはまる。
以上の事情に鑑み、本明細書では、板ガラスの強度低下を招くことなく、その表面に、視認性に優れた情報表示部を形成することを解決すべき技術的課題とする。
前記課題の解決は、本発明に係る板ガラスにより達成される。すなわち、この板ガラスは、表面に、ドットを構成単位とする情報表示部が設けられた板ガラスにおいて、ドットが、環状の溝で形成され、表面は、溝により、溝の内側に区画される内側区画領域と、溝の外側に区画される外側区画領域とに区画されており、内側区画領域は平坦な形状をなし、かつ内側区画領域と外側区画領域とが同一平面上にある点をもって特徴付けられる。
このように、本発明では、板ガラスの表面に、ドットを構成単位とする情報表示部を設けるに際し、ドットを、環状の溝で形成したことを特徴とする。このようにドットを環状の溝で形成することで、この環状の溝で囲まれた領域(溝より内側の領域)がレーザーにより除去されることなく残存する。これにより、外径寸法を同一とする従来形状(略有底円筒状)の凹部と比べて、本発明に係る凹部の容積が大幅に減少するので、板ガラスの情報表示部が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝であれば、外径寸法が変わらない限り溝の幅寸法を小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下することもない。よって、溝の外径寸法を変えることなく幅寸法を小さくすれば、その分だけ溝よりも内側の領域の体積を大きくとることができ、これにより視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明では、板ガラスの表面が、溝により、溝の内側に区画される内側区画領域と、溝の外側に区画される外側区画領域とに区画され、内側区画領域は平担な形状をなし、かつ内側区画領域と外側区画領域とが同一平面上にあるようにしたので、板ガラスの表面に形成される溝の輪郭が鮮明になる。よってこの溝で形成されるドットの視認性をさらに高めることが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、上記溝が、円環状をなすものであってもよい。
ドットは、情報表示部の構成単位であるから、ドットに汎用性をもたせる観点から、ドットを形成する溝については、点対称であると視認し得る形状が好ましい。従って、溝を円環状、特に真円環状とすることで、この溝で形成されるドットの配置態様に関する汎用性を高めることが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、ドットの外径寸法を0.05mm以上でかつ0.2mm以下としたものであってもよい。
このようにドットの視認形態となる環の外径寸法を規定することで、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、ドットを形成する溝の内径寸法を0.0375mm以上でかつ0.125mm以下としたものであってもよい。
このようにドットの視認形態となる環の内径寸法を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、ドットを形成する溝の深さ寸法を2.0μm以上でかつ30μm以下としたものであってもよい。
このようにドットを構成する溝の深さ寸法を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、互いに隣り合うドットの中心間距離を0.06mm以上でかつ0.25mm以下としたものであってもよい。
このように、互いに隣り合うドットの中心間距離を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、表面が円板状をなし、その周縁部に位置決め部が設けられ、情報表示部の円周方向中央位置が、位置決め部の円周方向中央位置を基準として円周方向に2°以上でかつ10°以下の範囲に設定されるものであってもよい。
本発明に係る板ガラスであれば、情報表示部が形成される領域の強度を確保することができるので、例えば上述のように表面が円板状をなし、周縁部に位置決め部が設けられる板ガラスにおいて、この位置決め部の近傍(円周方向に所定の位相分だけずれた位置)に情報表示部が形成される場合であっても、本発明を好適に適用することが可能となる。
また、本発明に係る板ガラスは、情報表示部が、文字、記号、二次元コード、及び図形を含む群から選択される1種以上の要素を有するもので、要素が複数のドットで構成されるものであってもよい。
このように、情報表示部が、文字、記号、二次元コード、及び図形等の要素を有する場合にあっては、当該文字等の要素を複数のドットで構成することができる。従って、情報表示部の種類によらずその要素(いわば中間構成単位)をドット(いわば最小構成単位)でもって正確に表示することができる。
また、本発明に係る板ガラスは、情報表示部が、板ガラスの寸法、線膨張率、ロット、偏肉率、製造者名、販売者名、及び材質コードを含む群から選択される少なくとも1つの情報を示すものであってもよい。なお、ここでいう寸法には、板ガラスの厚み寸法、外径寸法など(後述するように、板ガラスに切欠き部等の位置決め部が設けられる場合には、切欠き部の深さ寸法や開口幅寸法など位置決め部の形状、大きさを代表する部位の寸法が含まれる)が含まれるものとする。
本発明に係る板ガラスによれば、その表示形式を問わず、様々な種類の情報を視認性よく板ガラスの表面に表示することが可能となるので、例えば上記例示の情報を示す情報表示部であっても問題なく板ガラスの表面に形成することが可能となる。
また、前記課題の解決は、本発明に係る情報表示部の形成方法によっても達成される。すなわち、この方法は、板ガラスの表面への情報表示部の形成方法であって、情報表示部はドットを構成単位とし、かつドットを、環状の溝で形成する点をもって特徴付けられる。
上述のように、本発明に係る情報表示部の形成方法によれば、本発明に係る板ガラスと同様に、ドットを環状の溝で形成することで、この環状の溝で囲まれた領域が残るので、外径寸法を同一とする従来形状(略円筒状)の凹部と比べて、凹部の容積が大幅に減少する。従って、板ガラスの情報表示部が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝であれば、外径寸法が変わらない限り当該溝の幅寸法を小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下する心配もない。よって、溝の外径寸法を変えることなく幅寸法を小さくすれば、その分だけ溝よりも内側の領域(溝で囲まれる領域)の体積を大きくとることができ、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。あるいは、同様の理由で、溝の深さ寸法を、従来形状の凹部の深さ寸法より小さくすれば、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。
また、本発明に係る情報表示部の形成方法は、環状の溝を、レーザー光を照射してアブレーションにより形成するものであってもよい。
レーザー光を照射することで対象物の表面に何らかのマークを形成する(いわゆるレーザーマーキングを行う)に際しては、レーザー光を照射した領域を溶融することでマークをなす凹部を形成するのが一般的である。しかしながら、板ガラスの如き脆性材料にレーザーマーキングを施すに当たっては、レーザー光の照射時に板ガラスに蓄積される熱に起因したひずみ(熱ひずみ)に留意する必要がある。すなわち、レーザー光の照射により板ガラスを加熱溶融して凹部を形成する場合、レーザー光の照射領域及びその周囲に熱の蓄積が生じる。この熱の蓄積は板ガラスの表面にひずみを生じさせるため、強度低下の一因となる。また、溶融した部分は周囲に流動して残るため、レーザー光の照射領域に倣って正確な形状及び寸法の溝を形成することが難しい。
この点に関し、本発明では、環状の溝を、レーザー光を照射してアブレーションにより形成するようにしたので、レーザー光が照射された領域のガラスが気化することで消失する。また、アブレーションを生じさせるために、ごく短時間に高エネルギー密度のレーザー光を照射することで、レーザー光の照射領域及びその周囲に熱が蓄積する事態を抑制することができる。よって、熱ひずみの発生を抑制しつつ溝を形成することができ、レーザー光の照射領域における強度を確保することが可能となる。また、アブレーションにより溝を形成することで、溶融したガラスの流動量が減少することが期待できるため、レーザー光を照射した領域に倣って正確な形状及び寸法の溝を形成することが可能となる。
また、この場合、本発明に係る情報表示部の形成方法は、レーザー光を環状に走査することにより環状の溝を形成するものであってもよい。
また、本発明に係る情報表示部の形成方法は、レーザー光として、パルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザーを用いるものであってもよい。
例えばこの種のマーキングに一般的に使用されているナノ秒レーザー(パルス幅がナノ秒オーダーのパルスレーザー)を用いた場合であっても、その照射条件を精密に制御すれば、レーザー光の照射領域にアブレーションを発生させることは可能と考えられるが、その場合にも少なからずガラスの溶融は生じる。これに対して、レーザー光にパルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザー(ピコ秒レーザー又はフェムト秒レーザー)を用いるようにすれば、パルス幅が非常に短いために、ガラスに熱が蓄積することなくレーザー光の照射領域にアブレーションのみを生じさせることができる(レーザー光の照射領域の周囲におけるガラスの溶融は実質的に生じない)。従って、熱ひずみの発生を確実に防止して、より安定的に強度を確保することが可能となる。また、ガラスが溶融して周囲に流動する事態を防止できるので、レーザー光を照射した領域のみに溝を形成することができ、溝の形状精度ないし寸法精度の向上が期待できる。また、ピコ秒レーザーやフェムト秒レーザーであれば、ナノ秒レーザーのように溶融したガラスの流動を考慮することなくレーザー光の照射条件を設定できるため、制御も簡易なもので済む。
以上に述べたように、本発明によれば、板ガラスの強度低下を招くことなく、その表面に、視認性に優れた情報表示部を形成することが可能となる。
以下、本発明の一実施形態を、図1〜図7を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る板ガラス1の平面図である。この板ガラス1は例えば半導体支持基板として使用可能である。同図に示すように、板ガラス1は、その表面2に情報表示部3を形成したものである。本実施形態では、板ガラス1は略円板状をなす。また、この板ガラス1の周縁部1aには位置決め部としての切欠き部4が設けられており、この切欠き部4の近傍に情報表示部3が形成されている。
なお、この板ガラス1としては、ウェハ状(略真円板状)が好ましく、その際、直径は100mm以上でかつ500mm以下、好ましくは150mm以上でかつ450mm以下に設定される。このような形状及びサイズの板ガラス1であれば、半導体パッケージの製造工程に適用し易い。
また、上述の用途に用いられる場合、板ガラス1の板厚は、2.0mm未満、好ましくは1.5mm以下、より好ましくは1.2mm以下、より一層好ましくは1.1mm以下、さらに好ましくは1.0mm以下、最も好ましくは0.9mm以下に設定される。板厚が小さくなるほど、板ガラス1を含む積層体の質量が小さくなるため、当該積層体のハンドリング性が向上するためである。一方、板厚が小さ過ぎると、板ガラス1自体の強度が低下して、支持板としての機能を果たさないおそれが生じる。よって、板ガラス1の板厚は、0.1mm以上、好ましくは0.2mm以上、より好ましくは0.3mm以上、より一層好ましくは0.4mm以上、さらに好ましくは0.5mm以上、特に好ましくは0.6mm以上、最も好ましくは0.7mm以上に設定される。
情報表示部3は、図2中のA部を拡大して示すように、例えば複数の文字5(ここでいう文字5は、少なくとも図2に示すように数字などの表意文字を含む。)の組み合わせからなる。また、各文字5はそれぞれ、図3に示すように、複数のドット6で構成されている。
ここで、各ドット6の構成につき更に説明する。図4はドット6を拡大して示したもので、同図に示すように、各ドット6は、環状の溝7で形成される。そのため、文字5を構成する各ドット6は環状に視認される(図3及び図4)。本実施形態では、溝7は真円環状をなしている。また、溝7の外周縁と内周縁は共に、真円形状をなしている。よって、この場合、溝7の幅寸法wは全周にわたって一定である。
また、板ガラス1の表面2のうち、情報表示部3が形成される領域、すなわちドット6が形成される領域は、環状の溝7によって、溝7の内側に区画される第一区画領域2aと、溝7の外側に区画される第二区画領域2bとに区画される。この際、図5に示すように、各区画領域2a,2bは共に平坦な形状をなし、かつ同一平面上にある。
次に、環状の溝7に関する寸法について述べる。まず溝7の外径寸法d1(図4)は、例えば0.05mm以上でかつ0.20mm以下に設定され、好ましくは0.07mm以上でかつ0.13mm以下に設定され、さらに好ましくは0.09mm以上でかつ0.11mm以下に設定される。溝の内径寸法d2(図4)は、例えば0.035mm以上でかつ0.14mm以下に設定され、好ましくは0.05mm以上でかつ0.10mm以下に設定され、より好ましくは0.06mm以上でかつ0.08mm以下に設定される。溝7の深さ寸法d3(図5)は、例えば2.0μm以上でかつ30μm以下に設定され、好ましくは、4.0μm以上でかつ15μm以下に設定される。互いに隣り合う環状の溝7,7の中心C1,C2間の距離d4(図4)は、例えば0.06mm以上でかつ0.25mm以下に設定され、好ましくは0.10mm以上でかつ0.16mm以下に設定される。また、この際、互いに隣り合う溝7,7同士が干渉する事態を回避するため、互いに隣り合う溝7,7の中心C1,C2間の距離d4は、当該溝7の外径寸法d1よりも大きく設定される。具体的には、互いに隣り合う溝7,7の間隔d5は0.10mm以上、好ましくは0.20mm以上に設定される。これらは何れもドット6の視認性と、板ガラス1の強度、特にドット6が形成される領域の強度とを共に満足する観点から規定される。
また、本実施形態のように、板ガラス1の表面2が円板状をなし、その周縁部1aに位置決め部としての切欠き部4が設けられる場合(図1)、切欠き部4の円周方向中央位置C3を基準とした場合の、情報表示部3の円周方向中央位置C4の位相θ(図2)が2°以上でかつ10°以下に設定され、好ましくは3°以上でかつ7°以下に設定される。
このように、本発明では、板ガラス1の表面2に、ドット6を構成単位とする文字5、及び複数の文字5の組合わせからなる情報表示部3を設けるに際し、ドット6を、環状の溝7で形成するようにした。ドット6を環状の溝7で形成することで、この環状の溝7で囲まれた領域(溝より内側の領域)が残存する。よって、外径寸法d1を同一とする従来形状(略有底円筒状)の凹部と比べて、本発明に係る凹部(環状の溝7)の容積が大幅に減少する。従って、板ガラス1の情報表示部3が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝7であれば、外径寸法d1が変わらない限り溝7の幅寸法wを小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下することもない。よって、溝7の外径寸法d1を変えることなく幅寸法wを小さくすれば、その分だけ溝7よりも内側の領域の体積を大きくとることができ、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。
上記構成の板ガラス1は、例えばレーザー光を用いた方法により形成することが可能である。以下に詳細を述べる。
図6は、本発明の一実施形態に係るレーザーマーキング装置10の一構成例を示している。同図に示すように、このレーザーマーキング装置10は、所定のパルス幅を有するパルスレーザー11を発振可能なレーザー発振器12と、レーザー発振器12から発振されたパルスレーザー11の二次元照射位置を制御するための第一スキャナミラー13及び第二スキャナミラー14と、第一及び第二スキャナミラー13,14でその二次元照射位置が制御されたパルスレーザー11を集光するレンズ15とを備える。
よって、この場合、レーザー発振器12から発振されたパルスレーザー11が、第一スキャナミラー13の第一レーザー反射面13aに反射し、この反射したパルスレーザー11が第二スキャナミラー14の第二レーザー反射面14aに反射して、レンズ15を通過し、支持台16上に支持された板ガラス1の所定部位、すなわち情報表示部3が形成されるべき領域にパルスレーザー11が照射されるようになっている。また、この際、第一スキャナミラー13に連結された第一スキャナモータ17を回転駆動させて、第一スキャナミラー13の第一レーザー反射面13aの位相を調整し、第二スキャナミラー14に連結された第二スキャナモータ18を回転駆動させて、第二スキャナミラー14の第二レーザー反射面14aの位相を調整することで、板ガラス1の表面2に照射されるパルスレーザー11の走査軌跡L1(後述する図7を参照)が設定される。
また、この際、レーザー発振器12から発振されるパルスレーザー11の照射条件の一例を以下に示す。すなわち、このパルスレーザー11のパルス幅は、ピコ秒オーダー、好ましくはフェムト秒オーダーに設定され、具体的には10fs以上でかつ500000fs(500ps)以下に設定される。また、このパルスレーザー11の波長は200nm以上でかつ2500nm以下に設定されると共に、その繰り返し周波数は1Hz以上でかつ1G(ギガ)Hz以下に設定される。また、パルスレーザー11のビーム径は1μm以上でかつ100μm以下に設定され、その走査速度、すなわち図7に示す走査軌跡L1上をパルスレーザー11が移動する速度は1mm/s以上でかつ800mm/s以下に設定される。
次に、上記構成のレーザーマーキング装置10を用いたドット6、及びドット6を構成要素とする文字5(情報表示部3)の形成方法について説明する。
まず、図7(a)に示すように、パルスレーザー11を所定の走査軌跡L1上の走査開始点P0に向けて照射すると共に、パルスレーザー11の走査軌跡L1に沿った走査を開始する。この照射動作により、パルスレーザー11の照射領域A1にアブレーションを生じさせ、これにより走査開始点P0を起点として走査軌跡L1に沿った領域に、所定の幅寸法w、ここでは照射領域A1の外径寸法に準じた大きさの溝7を形成していく(図4、図7(b))。
そして、走査軌跡L1上を略一周して、パルスレーザー11の照射中心が走査開始点P0に戻ってきた時点で、パルスレーザー11の走査及び照射を停止する。これにより、走査軌跡L1に沿って閉じた環状、本実施形態では円環状の溝7が完成する(図7(c))。
このようにして、1個のドット6が形成されたら、続いて、隣り合うドット6の形成予定領域にレーザー11の焦点を移動し、図7(a)〜図7(c)に示す態様でパルスレーザー11を照射することで、当該照射によるアブレーションを生じさせ、ドット6をなす環状の溝7を形成する。この照射動作を1個の文字5を構成する全てのドット6の形成予定領域に対して繰り返すことで、対応する複数のドット6、すなわちこれら複数のドット6を構成単位とする1個の文字5が形成される(図2)。
さらに、以上の動作を、他の文字5の形成予定領域に対しても同様に繰り返すことで、情報表示部3をなす複数の文字5がそれぞれ、対応する複数のドット6により形成される(図2、図3)。
このように、本発明では、各ドット6をなす環状の溝7を、パルスレーザー11の照射によるアブレーションで形成するようにしたので、パルスレーザー11が照射された領域(すなわち照射領域A1)のガラスが気化することで消失する。また、アブレーションを生じさせるために、ごく短時間に高エネルギー密度のパルスレーザー11を照射することで、パルスレーザー11の照射領域A1及びその周囲に熱が蓄積する事態を抑制することができる。よって、熱ひずみの発生を抑制しつつ溝7を形成することができ、パルスレーザー11の照射領域A1における強度を確保することが可能となる。また、アブレーションにより溝7を形成することで、溶融したガラスが周囲に流動するケースが大幅に減少することが期待できるため、パルスレーザー11の照射領域A1が辿る軌跡(走査軌跡L1)に倣って正確な形状及び寸法の溝7を形成することが可能となる。
また、本実施形態では、パルスレーザー11として、パルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザー(いわゆるピコ秒レーザー又はフェムト秒レーザー)を用いるようにした。この種のレーザー光であれば、そのパルス幅が非常に短いという特性を活かして、板ガラス1に熱を蓄積させることなくパルスレーザー11の照射領域A1にアブレーションのみを生じさせることができる。従って、熱ひずみの発生を確実に防止して、より安定的に板ガラス1の強度を確保することが可能となる。また、ガラスが溶融して周囲に流動する事態を防止できるので、パルスレーザー11の照射領域A1のみに正確に溝7を形成することができる。本実施形態でいえば、板ガラス1の表面2のうち、環状の溝7によりその内側に区画される第一区画領域2aと、環状の溝7の外側に区画される第二区画領域2bとが共に平坦かつ同一平面上に形成されるため、視認性も良好である。また、ピコ秒レーザーやフェムト秒レーザーであれば、ナノ秒レーザーのように溶融したガラスの流動を考慮することなくパルスレーザー11の照射条件を設定できるため、制御も簡易なもので済む。
また、本実施形態のように、パルスレーザー11の照射により円環状の溝7を形成するのであれば、例えば溝7を略矩形などの多角形状に形成する場合に比べて、パルスレーザー11の照射エネルギーの偏り(照射時間のばらつき)が小さく抑えられる。よって、その分形状や寸法が整った高精度な溝7を形成することができる。もちろん、形状精度や寸法精度が高いほど、強度上の欠陥となる部分が少なくなるので、更なる強度向上にもつながる。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、上述した板ガラス1及び情報表示部3の形成方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。
例えば溝7の形状に関し、上記実施形態では、円環状をなすもの(図4)を例示したが、もちろんこの形態には限られない。例えば図示は省略するが、略矩形などの多角形状など、非円環状に溝7を形成することも可能である。あるいは、これら多角形状や楕円形状など溝7の中心(重心)に対して点対称をなす形状に溝7を形成することも可能である。
また、上記実施形態では、図4等に示すように、完全に閉じた形態に環状の溝7を形成した場合を例示したが、必ずしもこの形態に限定されるわけではない。視認性が問題とならない範囲において、例えばC形状など、その一部を開いた形態に環状の溝7を形成するようにしてもよい。このように溝7を形成すれば、例えば上述のように環状の溝7をパルスレーザー11の照射により形成する場合に、パルスレーザー11の走査により照射領域A1が重複して、当該重複部分に形成される溝7の形状ないし幅寸法wがばらつくのを回避することができる。
また、上記実施形態では、1個のドット6を、対応する1つの環状の溝7のみで形成した場合を例示したが、必ずしもこの形態に限定される必要はない。例えば図示は省略するが、視認性の更なる向上を目的として、ドット6の外郭をなす環状の溝7の内側(図4でいえば、第一区画領域2a)の中心に、点状の凹部を形成してもかまわない。あるいは、ドット6の外郭をなす環状の溝7の内側に、さらにもう一つの環状の溝を形成してもかまわない。
また、パルスレーザー11によるドット6の形成態様に関し、上記実施形態では、1本のパルスレーザー11を照射及び走査することで、当該照射及び走査領域に、1個の環状の溝7を形成する場合を例示したが、作業効率の向上のため、各ドット6をなす複数の環状の溝7を同時に形成するようにしてもかまわない。この場合、例えば図示は省略するが、1又は複数のビームスプリッタ又は空間光位相変調器など公知の分岐手段により、パルスレーザー11を分岐させて、分岐したパルスレーザー11をそれぞれ対応するドット6の形成予定領域上に照射及び走査することで、同時に(一度に)複数の溝7すなわち複数のドット6を形成することも可能である。
また、上記実施形態では、ドット6をなす環状の溝7を形成するための手段として、レーザーマーキング装置10を用いてパルスレーザー11を走査する形態を例示したが、必ずしもこの方式に限る必要はない。例えば図示は省略するが、所定のマスクにレーザーを照射して、当該マスクを透過したレーザーを対象物(板ガラス1)に照射することで、マスクに予め形成しておいた透過パターンに倣った形状に環状の溝7を形成することも可能である。
また、以上の説明では、周縁部1aに切欠き部4を形成した板ガラス1の表面2に本発明を適用する場合を例示したが、切欠き部4以外の位置決め部を周縁部1aに設けた板ガラス1に対しても本発明を適用することは可能である。もちろん、ドット6を構成単位とする情報表示部3をその表面2に形成すべき板ガラス1であれば、位置決め部が形成されていないものについても本発明を適用することが可能である。
1 板ガラス
1a 周縁部
2 表面
2a,2b 区画領域
3 情報表示部
4 切欠き部
5 文字
6 ドット
7 環状の溝
10 レーザーマーキング装置
11 パルスレーザー
12 レーザー発振器
13,14 スキャナミラー
13a,14a レーザー反射面
15 レンズ
16 支持台
17,18 スキャナモータ
A1 レーザーの照射領域
L1 レーザーの走査軌跡
1a 周縁部
2 表面
2a,2b 区画領域
3 情報表示部
4 切欠き部
5 文字
6 ドット
7 環状の溝
10 レーザーマーキング装置
11 パルスレーザー
12 レーザー発振器
13,14 スキャナミラー
13a,14a レーザー反射面
15 レンズ
16 支持台
17,18 スキャナモータ
A1 レーザーの照射領域
L1 レーザーの走査軌跡
Claims (9)
- 表面に、ドットを構成単位とする情報表示部が設けられた板ガラスにおいて、
前記ドットは、環状の溝で形成され、
前記表面は、前記溝により、前記溝の内側に区画される内側区画領域と、前記溝の外側に区画される外側区画領域とに区画されており、
前記内側区画領域は平坦な形状をなし、かつ前記内側区画領域と前記外側区画領域とが同一平面上にあることを特徴とする板ガラス。 - 前記溝は、円環状をなす請求項1に記載の板ガラス。
- 前記ドットの外径寸法が0.05mm以上でかつ0.2mm以下である請求項1又は2に記載の板ガラス。
- 前記ドットを形成する前記溝の内径寸法が0.035mm以上でかつ0.14mm以下である請求項1〜3の何れか一項に記載の板ガラス。
- 前記ドットを形成する前記溝の深さ寸法が2.0μm以上でかつ30μm以下である請求項1〜4の何れか一項に記載の板ガラス。
- 互いに隣り合う前記ドットの中心間距離が0.06mm以上でかつ0.25mm以下である請求項1〜5の何れか一項に記載の板ガラス。
- 円板状をなし、その周縁部に位置決め部が設けられ、
前記情報表示部の円周方向中央位置が、前記位置決め部の円周方向中央位置を基準として円周方向に2°以上でかつ10°以下の範囲に設定される請求項1〜6の何れか一項に記載の板ガラス。 - 前記情報表示部は、文字、記号、二次元コード、及び図形を含む群から選択される1種以上の要素を有するもので、前記1種以上の要素は複数の前記ドットで構成される請求項1〜7の何れか一項に記載の板ガラス。
- 前記情報表示部は、前記板ガラスの寸法、線膨張率、ロット、偏肉率、製造者名、販売者名、及び材質コードを含む群から選択される少なくとも1つの情報を示すものである請求項1〜8の何れか一項に記載の板ガラス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019076994A JP6685514B2 (ja) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 板ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019076994A JP6685514B2 (ja) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 板ガラス |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015094097A Division JP6579361B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | 板ガラスへの情報表示部の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019131462A true JP2019131462A (ja) | 2019-08-08 |
JP6685514B2 JP6685514B2 (ja) | 2020-04-22 |
Family
ID=67544723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019076994A Active JP6685514B2 (ja) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 板ガラス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6685514B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11802080B2 (en) | 2021-07-28 | 2023-10-31 | AGC Inc. | Glass substrate |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042763A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-15 | Komatsu Ltd | レーザビームによるドットマーク形態と、そのマーキング装置及びマーキング方法 |
JP2000223382A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-08-11 | Komatsu Ltd | レ―ザビ―ムによる微小ドットマ―ク形態、そのマ―キング方法 |
JP2002346772A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-12-04 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | レーザマーキングウェーハ |
JP2005039046A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エッジ保持アライナ |
JP2005270992A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Toppan Printing Co Ltd | パルスレーザーによる材料の表面加工方法、複製版の製造方法、表面加工データの処理方法、情報担体、光学素子及び画像 |
JP2006272384A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Aisin Seiki Co Ltd | レーザ加工装置及び方法 |
JP2007245411A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Tokyo Denki Univ | パラメトリック加工装置およびパラメトリック加工方法 |
JP2010002443A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
JP2010003795A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板位置検出装置及び基板位置検出方法 |
JP2010186863A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 位置合わせ機構、加工装置および位置合わせ方法 |
-
2019
- 2019-04-15 JP JP2019076994A patent/JP6685514B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042763A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-15 | Komatsu Ltd | レーザビームによるドットマーク形態と、そのマーキング装置及びマーキング方法 |
JP2000223382A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-08-11 | Komatsu Ltd | レ―ザビ―ムによる微小ドットマ―ク形態、そのマ―キング方法 |
JP2002346772A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-12-04 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | レーザマーキングウェーハ |
JP2005039046A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エッジ保持アライナ |
JP2005270992A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Toppan Printing Co Ltd | パルスレーザーによる材料の表面加工方法、複製版の製造方法、表面加工データの処理方法、情報担体、光学素子及び画像 |
JP2006272384A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Aisin Seiki Co Ltd | レーザ加工装置及び方法 |
JP2007245411A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Tokyo Denki Univ | パラメトリック加工装置およびパラメトリック加工方法 |
JP2010002443A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Hoya Corp | マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク用ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
JP2010003795A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | 基板位置検出装置及び基板位置検出方法 |
JP2010186863A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 位置合わせ機構、加工装置および位置合わせ方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11802080B2 (en) | 2021-07-28 | 2023-10-31 | AGC Inc. | Glass substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6685514B2 (ja) | 2020-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5094994B2 (ja) | ウェハ | |
JP6353683B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP5632751B2 (ja) | 加工対象物切断方法 | |
JP5479924B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP6272145B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
KR100698858B1 (ko) | 레이저 표지 방법, 레이저 표지 장치, 및 표지 검출 방법 및 장치 | |
US9889523B2 (en) | Method and device for processing a workpiece using laser radiation | |
JP5840215B2 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
WO2011065373A1 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP5905274B2 (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP6579361B2 (ja) | 板ガラスへの情報表示部の形成方法 | |
JP6632203B2 (ja) | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
JP6685514B2 (ja) | 板ガラス | |
JPH08150484A (ja) | ビームスキャン式レーザマーキング方法および装置ならびにこのためのマスク | |
JP2012240107A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2002066769A (ja) | レーザマーキング装置、マーキング方法及びマーキングされた光学部材 | |
JP2002244060A (ja) | レーザビーム走査装置 | |
JP2004122233A (ja) | レーザマーキング装置、マーキング方法及びマーキングされた光学部材 | |
JP2006315035A (ja) | レーザーマーキング方法及びその装置 | |
JP7456604B2 (ja) | スクライブ加工方法及びスクライブ加工装置 | |
JP2001180038A (ja) | レーザマーキング方法及び同方法を実施するためのレーザマーカ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200302 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6685514 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |