JP2019128168A - 層流型流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】事前に流体の粘性係数を把握しておく必要をなくす。粘性係数が未知の流体であっても、また計測中に粘度が変動するような条件下でも、正確に流体の流量を計測できるようにする。【解決手段】層流発生機構2が設けられた主流路1に対して分流路3を設け、この分流路3内にMEMSコリオリセンサ4を設ける。MEMSコリオリセンサ4によって計測された質量流量Qmおよび密度ρから分流路3を流れる流体の体積流量Qv1を分流量として求め、この求めた分流量Qv1と層流発生機構2の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)ΔPとから流体の粘性係数μを算出する。算出した流体の粘性係数μと差圧ΔPとから層流発生機構2を流れる流体の体積流量Qv2を主流量として求め、分流量Qv1と主流量Qv2との和を計測流量Qvとする。【選択図】 図1
Description
本発明は、流路内に設けられた層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差から流路を流れる流体の流量を計測する層流型流量計に関する。
従来より、流路を流れる流体の流量を計測する流量計の1つとして、層流型流量計が存在する。この層流型流量計は、流路内に流体の流れを層流とする層流発生機構(例えば、細管の束)を備えており、この層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差から流路を流れる流体の流量を計測する(例えば、特許文献1参照)。
流路内を流体が層流状態で流れた場合、ハーゲンポアズイユの法則により、流体の移動に伴う圧力降下が体積流量に比例する。層流型流量計は、この現象を利用しており、その原理式は以下の通りである。
Q=ΔP×π×d4×n/(128×μ×L) ・・・・(1)
但し、ΔP:層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)、d:層流発生機構の細管の径、L:層流発生機構の細管の長さ、n:層流発生機構の細管の数、μ:流体の粘性係数。
但し、ΔP:層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)、d:層流発生機構の細管の径、L:層流発生機構の細管の長さ、n:層流発生機構の細管の数、μ:流体の粘性係数。
しかしながら、従来の層流型流量計では、その計測原理上、流体の粘性係数が既知でないと正確な流量を計測することができない。すなわち、粘性係数は物質ごとに固有の値を取るため、正確な流量を計測するためには、事前に流体の粘性係数を把握しておく必要がある。また、粘性係数が未知の流体の流量を計測することはできず、計測中に粘度が変動するような条件下での正確な流量の計測も難しい。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、事前に流体の粘性係数を把握しておく必要がなく、粘性係数が未知の流体であっても、また計測中に粘度が変動するような条件下でも、正確に流体の流量を計測することが可能な層流型流量計を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、主流路(1)内に設けられ、通過する流体の流れを層流とするように構成された層流発生機構(2)と、層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部(11、16)と、層流発生機構に流れ込もうとする流体を分流して層流発生機構の下流側に導く分流路(3)と、分流路内に設けられ、この分流路を流れる流体の質量流量および密度を計測するように構成された質量流量計測部(4)と、質量流量計測部によって計測された質量流量および密度から分流路を流れる流体の体積流量を分流量として求めるように構成された分流量算出部(12)と、差圧取得部によって取得された差圧と分流量算出部によって求められた分流量とから流体の粘性係数を算出するように構成された粘性係数算出部(13)と、差圧取得部によって取得された差圧と粘性係数算出部によって算出された粘性係数とから層流発生機構を流れる流体の体積流量を主流量として求めるように構成された主流量算出部(14)と、分流量算出部によって算出された分流量と主流量算出部によって算出された主流量との和を計測流量として求めるように構成された計測流量算出部(15)とを備えることを特徴とする。
この発明では、層流発生機構が設けられた主流路に対して、層流発生機構に流れ込もうとする流体を分流して層流発生機構の下流側に導く分流路を設け、この分流路内に質量流量計測部を設ける。質量流量計測部としては、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)式のコリオリセンサを用いる。そして、質量流量計測部によって計測された質量流量(Qm)および密度(ρ)から分流路を流れる流体の体積流量(Qv1)を分流量として求め、この求めた分流量(Qv1)と層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差(差圧)(ΔP)とから流体の粘性係数(μ)を算出する。そして、この算出した流体の粘性係数(μ)と差圧(ΔP)とから層流発生機構を流れる流体の体積流量(Qv2)を主流量として求め、分流量(Qv1)と主流量(Qv2)との和を計測流量(Qv)として求める。
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の構成要素を、括弧を付した参照符号によって示している。
以上説明したように、本発明によれば、層流発生機構が設けられた主流路に対して、層流発生機構に流れ込もうとする流体を分流して層流発生機構の下流側に導く分流路を設け、この分流路内に質量流量計測部を設けるようにし、この質量流量計測部によって計測された質量流量および密度から分流路を流れる流体の体積流量を分流量として求め、この求めた分流量と層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差とから流体の粘性係数を算出するようにしたので、事前に流体の粘性係数を把握しておく必要がなく、粘性係数が未知の流体であっても、また計測中に粘度が変動するような条件下でも、正確に流体の流量を計測することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る層流型流量計100の要部の構成を示す図である。同図において、1は流体が流れる主流路であり、主流路1内には層流発生機構2が設けられている。層流発生機構2は細管21の束とされている。
この層流型流量計100では、層流発生機構2が設けられた主流路1に対して、層流発生機構2に流れ込もうとする流体を分流して層流発生機構2の下流側に導く分流路3を設け、この分流路3内に質量流量計測部としてMEMS式のコリオリセンサ(以下、MEMSコリオリセンサと呼ぶ。)4を設けている。
MEMSコリオリセンサ4は、MEMS技術で作製されたコリオリの力を利用した質量流量計であって、下記の式(2),(3)より、そこを通過する流体の質量流量Qmと密度ρを求めることができる。
Qm=Ks×θ/(4×ω×Lm×r) ・・・・(2)
ρ=1/V×[(Ks/4×π2×f2)−m] ・・・・(3)
但し、Ks:バネ定数、θ:ねじれ角度、Lm:チューブ長さ、r:チューブ幅、ω:角速度、V:チューブ体積、m:チューブ質量。
Qm=Ks×θ/(4×ω×Lm×r) ・・・・(2)
ρ=1/V×[(Ks/4×π2×f2)−m] ・・・・(3)
但し、Ks:バネ定数、θ:ねじれ角度、Lm:チューブ長さ、r:チューブ幅、ω:角速度、V:チューブ体積、m:チューブ質量。
また、この層流型流量計100において、層流発生機構2の上流側には、この層流発生機構2の上流側の流体の圧力を引き出す導圧路5が設けられ、層流発生機構2の下流側には、この層流発生機構2の下流側の流体の圧力を引き出す導圧路6が設けられている。また、導圧路5の末端には、層流発生機構2の上流側の流体の圧力を上流側圧力P1として検出する上流側圧力センサ7が設けられ、導圧路6の末端には、層流発生機構2の下流側の流体の圧力を下流側圧力P2として検出する下流側圧力センサ8が設けられている。
また、この層流型流量計100には、MEMSコリオリセンサ4によって求められる分流路3を流れる流体の質量流量Qmおよび密度ρと、上流側圧力センサ7が検出する層流発生機構2の上流側圧力P1と、下流側圧力センサ8が検出する層流発生機構2の下流側圧力P2とから、測定管路9を流れる流体の流量Qvを演算する流量演算部10が設けられている
流量演算部10は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、差圧測定部11と分流量算出部12と粘性係数算出部13と主流量算出部14と計測流量算出部15とを備えている。以下、流量演算部10における各部の機能について、その動作を交えながら説明する。
流量演算部10において、差圧測定部11は、上流側圧力センサ7からの層流発生機構2の上流側圧力P1と下流側圧力センサ8からの層流発生機構2の下流側圧力P2とを入力とし、この上流側圧力P1と下流側圧力P2との差を差圧ΔPとして求める。
分流量算出部12は、MEMSコリオリセンサ4からの流体の質量流量Qmおよび密度ρを入力とし、下記の式(4)を用いて、分流路3を流れる流体の体積流量Qv1を分流量として求める。
Qv1=Qm/ρ ・・・・(4)
Qv1=Qm/ρ ・・・・(4)
粘性係数算出部13は、差圧測定部11によって求められた差圧ΔPと分流量算出部12によって求められた分流量Qv1とを入力とし、下記のハーゲンポアズイユの式(5)より、下記の(6)式を用いて、分流路3を流れる流体(層流発生機構2を流れる流体)の粘性係数μを算出する。
Qv1=ΔP×π×d1 4/(128×μ×L1) ・・・・(5)
μ=(ΔP/Qv1×(π×d1 4)/(128×L1) ・・・・(6)
但し、d1:MEMSコリオリセンサの流路径、L1:MEMSコリオリセンサの流路長さ。
Qv1=ΔP×π×d1 4/(128×μ×L1) ・・・・(5)
μ=(ΔP/Qv1×(π×d1 4)/(128×L1) ・・・・(6)
但し、d1:MEMSコリオリセンサの流路径、L1:MEMSコリオリセンサの流路長さ。
主流量算出部14は、差圧測定部11からの差圧ΔPと粘性係数算出部13からの粘性係数μとを入力とし、下記のハーゲンポアズイユの式(7)より、層流発生機構2を流れる流体の体積流量Qv2を主流量として算出する。
Qv2=ΔP×π×d2 4×n/(128×μ×L2) ・・・・(7)
但し、d2:層流発生機構の細管径、L2:層流発生機構の細管長さ、n:層流発生機構の細管の数。
Qv2=ΔP×π×d2 4×n/(128×μ×L2) ・・・・(7)
但し、d2:層流発生機構の細管径、L2:層流発生機構の細管長さ、n:層流発生機構の細管の数。
計測流量算出部15は、分流量算出部12によって算出された分流量Qv1と主流量算出部14によって算出された主流量Qv2とを入力とし、この分流量Qv1と主流量Qv2との和を計測流量Qvとして算出する。すなわち、主流路1と分流路3とに流れる流体の総量を層流型流量計100の測定管路9を流れる流体の流量Qvとして算出する。
Qv=Qv1+Qv2 ・・・・(8)
Qv=Qv1+Qv2 ・・・・(8)
このように、本実施の形態の層流型流量計100によれば、層流発生機構2が設けられた主流路1に対して、層流発生機構2に流れ込もうとする流体を分流して層流発生機構2の下流側に導く分流路3を設け、この分流路3内にMEMSコリオリセンサ4を設けるようにし、このMEMSコリオリセンサ4によって計測された質量流量Qmおよび密度ρから分流路3を流れる流体の体積流量Qv1を分流量として求め、この求めた分流量Qv1と層流発生機構2の上流側と下流側の流体の圧力の差ΔPとから流体の粘性係数μを算出するようにしているので、事前に流体の粘性係数μを把握しておく必要がなく、粘性係数μが未知の流体であっても、また計測中に粘度が変動するような条件下でも、正確に流体の流量を計測することができるようになる。
なお、MEMSコリオリセンサは、上記の式(2)で示されるように、流体の粘性係数μに依存せずに質量流量Qmを求めることができるため、原理的にはMEMSコリオリセンサのみで流路を流れる流体の流量を計測することは可能である。しかし、MEMSコリオリセンサの構造的な課題として圧力損失が大きくなるため、MEMSコリオリセンサを主流路に入れる場合には流体の圧力を高くしなければならない問題がある。これに対して、本実施の形態の層流型流量計100では、主流路1と並列に分流路3を設け、この分流路3にMEMSコリオリセンサ4を設けているので、流量計全体の圧力損失を大きくすることがない。
また、上述した実施の形態では、分流路3を導圧路5,6とは別の独立した流路として設けるようにしているが、図2に示すように導圧路5,6からから枝分かれした流路として分流路3を設けるようにしてもよい。このようにすることにより、主流路1側に加工を施す必要がなくなり、既存の構成をそのまま使用することができるため、省コストとなる。
また、上述した実施の形態では、上流側圧力センサ7が検出する上流側圧力P1と下流側圧力センサ8が検出する下流側圧力P2との差を差圧測定部11において差圧ΔPとして求めるようにしたが、図3に示すように、層流発生機構2の上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧ΔPとして検出する差圧センサ16を設け、この差圧センサ16が検出する差圧ΔPを粘性係数算出部13および主流量算出部14に送るようにしてもよい。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
1…主流路、2…層流発生機構、3…分流路、4…MEMSコリオリセンサ、5,6…導圧路、7…上流側圧力センサ、8…下流側圧力センサ、9…測定管路、10…流量演算部、11…差圧測定部、12…分流量算出部、13…粘性係数算出部、14…主流量算出部、15…計測流量算出部、16…差圧センサ、21…細管、100…層流型流量計。
Claims (5)
- 主流路内に設けられ、通過する流体の流れを層流とするように構成された層流発生機構と、
前記層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧として取得するように構成された差圧取得部と、
前記層流発生機構に流れ込もうとする流体を分流して前記層流発生機構の下流側に導く分流路と、
前記分流路内に設けられ、この分流路を流れる流体の質量流量および密度を計測するように構成された質量流量計測部と、
前記質量流量計測部によって計測された質量流量および密度から前記分流路を流れる流体の体積流量を分流量として求めるように構成された分流量算出部と、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記分流量算出部によって求められた分流量とから前記流体の粘性係数を算出するように構成された粘性係数算出部と、
前記差圧取得部によって取得された差圧と前記粘性係数算出部によって算出された粘性係数とから前記層流発生機構を流れる流体の体積流量を主流量として求めるように構成された主流量算出部と、
前記分流量算出部によって算出された分流量と前記主流量算出部によって算出された主流量との和を計測流量として求めるように構成された計測流量算出部と
を備えることを特徴とする層流型流量計。 - 請求項1に記載された層流型流量計において、
前記層流発生機構の上流側の流体の圧力を引き出す第1の導圧路と、
前記層流発生機構の下流側の流体の圧力を引き出す第2の導圧路とを備え、
前記分流路は、
前記第1の導圧路および前記第2の導圧路とは別の独立した流路として設けられている
ことを特徴とする層流型流量計。 - 請求項1に記載された層流型流量計において、
前記層流発生機構の上流側の圧力を引き出す第1の導圧路と、
前記層流発生機構の下流側の圧力を引き出す第2の導圧路とを備え、
前記分流路は、
前記第1の導圧路および前記第2の導圧路から枝分かれした流路として設けられている
ことを特徴とする層流型流量計。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された層流型流量計において、
前記差圧取得部は、
前記層流発生機構の上流側と下流側の流体の圧力の差を差圧として検出する差圧センサである
ことを特徴とする層流型流量計。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された層流型流量計において、
前記質量流量計測部は、
MEMS式のコリオリセンサである
ことを特徴とする層流型流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018007902A JP2019128168A (ja) | 2018-01-22 | 2018-01-22 | 層流型流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018007902A JP2019128168A (ja) | 2018-01-22 | 2018-01-22 | 層流型流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019128168A true JP2019128168A (ja) | 2019-08-01 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018007902A Pending JP2019128168A (ja) | 2018-01-22 | 2018-01-22 | 層流型流量計 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2019128168A (ja) |
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2018
- 2018-01-22 JP JP2018007902A patent/JP2019128168A/ja active Pending
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