JP3873084B2 - 動粘度計 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、流体の動粘度を測定する装置、特に、流体に振動を加えたときの、圧力勾配の内の流速比例成分と加速度比例成分の大きさの比を利用して動粘度を測定する装置に係わる。本発明は、粘性抵抗に起因する圧力降下を利用して流量を測る層流式流量計と組み合わせて、粘性係数の変化の影響を受けることなく質量流量を測定する目的に利用される他、流体の動粘度を測定する任意の用途に適用出来る。
【0002】
【従来の技術】
動粘度は、流体の粘性係数を密度で割った量であり、粘性係数と密度を別々に測定して計算して求めるのが一般的で、動粘度を直接測定する装置は少ない。とくに、プロセスなどで連続的に動粘度を測定できる簡便な方法はほとんどない状況である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、小形簡便廉価で、連続測定に適した動粘度測定装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明では、管路内の被測定流体に流速変動を加え、このときに管路内に発生する圧力勾配の内の、流速に比例した成分と加速度に比例した成分の大きさの比から、流体の動粘度を測定する。
【0005】
【作用】
管路内の流体に流速変動を加えると、流体中には流速方向に圧力勾配が発生する。この圧力勾配には、流体の粘性に起因し流速に比例する成分と、流体の慣性に起因し加速度に比例する成分とが含まれる。この二つの成分の比は、管路の形状が決まれば、流速変動の周波数と動粘度の関数となる。従って、管路内の流体に流速変動を加えたときの、変動周波数と上記二成分の大きさの比がわかれば、動粘度を知ることができる。
【0006】
【実施例】
以下、本発明の実施の形態を、実施例に基づいて説明する。図1は本発明の第一実施例である。図1において、1は被測定流体の充たされた直径2aの円断面の管路である。2は、管路1に取り付けられた金属製のフランジである。3は、薄い金属製のダイヤフラムである。ダイヤフラム3とフランジ2とは、薄い絶縁体4をはさんで僅かな距離を隔てて平行に配置されており、いわゆる平行平板コンデンサ−を形成している。5および5’は管路1の管壁に開口した導圧管で、管路1の管軸に沿ってΔxの距離だけ隔てた二点の圧力を、差圧検出器6に導いている。7は増幅器で、電圧制御発振器8からの正弦波信号sin(2πft)を増幅して、フランジ2とダイヤフラム3の間に電位差として印加することによって、ダイヤフラム3を振動させる働きをしている。この振動の周波数fは、波長の長さが管路1およびフランジ2の寸法に比較して十分に大きくなり、一方、ダイヤフラム3の共振周波数に比べると十分に小さくなるような値に設定されている。9は位相比較器で、電圧制御発振器8の出力信号と差圧検出器6の出力信号の位相差に比例した電圧を、電圧制御発振器8にフィ−ドバックしている。本実施例においては、管路1内の流体系と2〜9の機器とは、フェーズロックトループを形成しており、ダイヤフラム3の振動と差圧検出器6の出力とが、常に一定の位相差となるような周波数で流体が加振されることとなる。10は表示回路で、電圧制御発振器8の発振周波数を動粘度に変換して出力している。
【0007】
ダイヤフラム3が振動すると、管路1内の流体は管軸方向に正弦的に振動し、管路内の管軸方向には同じ周波数の正弦的な圧力勾配が生じる。上述のように、波長が管路1の長さに比べて十分に大きくなるように振動周波数fが選ばれているので、管路内流速の管軸方向の変化は無視でき、管路内の任意の断面内で同じ流速分布となる。このとき、管路1内の管軸方向の圧力勾配も、管路内で一様で場所による位相差は無視できる。従って、差圧検出器6の出力ΔpはΔx・∂p/∂xに等しく、圧力勾配に比例した信号となる。ここで、pは管路内の圧力、xは管軸方向にとった座標である。
【0008】
振動周波数fは、ダイヤフラム3の共振周波数に比べては十分に低く選ばれていて、ダイヤフラム3とフランジ2によって形成された振動系はいわゆるスチフネス制御の領域にあるので、ダイヤフラム3とフランジ2の間の電位差は、ダイヤフラム3の変位に比例する。従って、ダイヤフラム3の変位は駆動信号sin(2πft)に比例した信号となる。このとき、管路1内の流体の変位もsin(2πft)に比例した信号となるから、管断面内平均流速uは、ダイヤフラム3の振動の速度と同相となり、Uを流速振幅としてUcos(2πft)と表される。一方、管路内の流体の断面内平均流速と圧力勾配の間には、円管内の振動的なポアズイユ流れの式から
【0009】
【数1】
【0010】
の関係がある。ここで
【0011】
【数2】
である。δは振動流の境界層厚さ、ρは流体の密度、ωは角周波数2πf、μは流体の粘性係数、J0 、J1 はそれぞれ0次と1次のベッセル関数、jは虚数単位を表し、u=Uexp(jωt)などの複素数表示を用いている。
【0012】
Kaが無限大に近づく極限、すなわち周波数が高くなって境界層厚さδが管径aに比べてはるかに小さくなる極限では、数1は
【0013】
【数3】
【0014】
に近づき、圧力勾配は流体の密度と加速度に比例する。一方、Kaがゼロに近づく極限、すなわち周波数が低くなって境界層厚さδが管径aよりもはるかに大きくなる極限では
【0015】
【数4】
【0016】
に近づき、圧力勾配は流体の粘性係数と流速に比例する。Kaの値が両極限の中間にある領域では、圧力勾配は、流速に比例する成分と加速度に比例する成分との和となる。これら二つの成分のそれぞれの大きさは、管径a、流体の密度ρ、角周波数ω、粘性係数μおよび流速変動振幅Uの関数である。ところが、これら二つの成分の大きさの比をとると、その値は、角周波数ω、管径a、そして動粘度ν=μ/ρのみで決まる。ここで、管径aは一定、また角周波数ωは既知の量であるから、上記二成分の大きさの比が分かれば、動粘度νの値を知ることができる。上記の比の値は、差圧検出器6の感度あるいは流速変動振幅Uが変化しても、その影響を受けないという重要な性質をもつ。
【0017】
数1から分かる様に、上記二成分の大きさの比は、断面内平均流速uを基準信号としたときの、圧力勾配∂p/∂xしたがって信号Δpの位相角に一対一に対応している。断面内平均流速uとダイヤフラム3の駆動信号との位相差は一定なので、一対一の対応関係は、電圧制御発振器8の出力sin(2πft)を基準信号として圧力勾配信号Δpの位相角を考えても成り立っている。すなわち、Δpと電圧制御発振器8の出力との位相差は、管径aと角周波数ωおよび動粘度ν=μ/ρの関数である。本実施例では、上記二成分の比を直接求める代わりに、流体系および機器2〜9によってフェーズロックトループを構成している。この構成では、圧力勾配信号Δpとダイヤフラム駆動信号sin(2πft)との位相差が一定値になるような、すなわち上記二成分の比が一定値となるような角周波数ω=2πfでダイヤフラム3が駆動され、周波数fが動粘度の大きさの情報を持つ出力信号となる。管径aは一定であるから、流体の動粘度ν=μ/ρが変化すると、位相差を一定に保つために電圧制御発振器8の発振周波数が変化し、結局、動粘度の変化は周波数f=ω/2πの変化となって現れることとなる。表示回路10では、電圧制御発振器8の出力信号の周波数を動粘度に換算して表示している。
【0018】
(第二実施例)図2は、本発明の動粘度計と層流式流量計を組み合わせて、シリコンウェーファー上に質量流量計を構成した第二の実施例である。図2において、21および22はガラス板、23はシリコン基板であり、これらの三枚の板は互いに接合されている。流体は、ガラス板21に穿たれた流入口31から流入し、シリコン基板23上に形成された上流管路28および管路1を通って、流出口32から流出する。管路1は、上壁面がガラス板21、下壁面がシリコン基板23からなる偏平な矩形断面の管路で、高さが2h、長さがΔxである。管路1は、動粘度を測定するための管路であると同時に、層流式流量計の測定チャンネルを兼ねている。3はシリコン製のダイヤフラム、25は導圧管、26はダイヤフラム式の差圧検出器であり、それぞれマイクロマシニングによってシリコン基板23上に形成されたものである。差圧検出器26は、管路1の下流端に配置され、そのダイヤフラムの上側には管路1の下流端の圧力P2 が加わり、他方ダイヤフラムの下側には、導圧管25によって導かれた管路1の上流端の圧力P1 が加わっており、管路1の両端の圧力差を検出している。ダイヤフラム3は上流管路28の中程に配置されていて、上流管路28の下壁面の一部を構成している。24は、ガラス板21上に形成された電極で、ダイヤフラム3と僅かな距離だけ隔てて正対して配置されおり、ダイヤフラム3とともにいわゆる平行平板コンデンサーを構成している。27はダイヤフラム3上に拡散形成された歪みゲージである。
【0019】
シリコン基板23上には、電圧制御発振器、増幅器、位相比較器を含む信号処理回路が別に作りこまれている(図示せず)。電圧制御発振器の出力sin(2πft)は、増幅されてダイヤフラム3と電極24の間に印加されており、ダイヤフラム3は静電力によって正弦的に振動する。なお、振動周波数fは、装置の流体系全体の寸法に比べて波長がはるかに大きくなる様な値に設定されている。ダイヤフラム3の振動変位は、半導体歪みゲージ27によって検出され、位相比較器に入力される。一方、差圧検出器26によって管路1の上下流端の間の差圧が検出され、その出力信号のうちの変動分が、位相比較器に入力される。位相比較器の出力は、電圧制御発振器にフィードバックされている。すなわち、本実施例の流体系と信号処理回路とはフェーズロックトループを構成しており、ダイヤフラム3の振動変位信号と、管路1両端の差圧の変動分との間の位相差が一定となるような周波数で、ダイヤフラム3は駆動されることとなる。
【0020】
高さ2hの偏平な矩形断面管路を定常流が流れているとき、管内の断面内平均流速u0 と圧力勾配∂p0 /∂xの間には、ポアズイユ流れの関係
【0021】
【数5】
【0022】
が成り立つ。いま、ダイヤフラム3が振動すると、管路1の断面内平均流速には正弦的な変動分uが重畳してu0 +uとなる。流速の変動分uは、装置全体に比べて波長が十分に大きくなるような周波数でダイヤフラム3が駆動されているので、ダイヤフラム3の振動速度と同相の正弦波信号となる。このとき、管路1内の圧力勾配にも、変動分∂p/∂xが重畳する。圧力勾配変動∂p/∂xと流速変動分uとの間には、振動的なポアズイユ流れの関係
【0023】
【数6】
【0024】
がなりたつ。ただし、λは
【0025】
【数7】
【0026】
である。圧力勾配信号∂p/∂xは、やはり、流速変動に比例した成分と、流体の加速度に比例した成分からなり、これら二成分の大きさの比は、管路の高さ2h、変動の角周波数ω=2πfおよび流体の動粘度νの関数となる。本実施例ではhは一定値であるから、上記二成分比は、角周波数ωと動粘度νのみの関数となる。この比は、流速変動uを基準信号としたときの圧力勾配信号∂p/∂xの位相角に一対一に対応する。管路1両端の差圧の変動分ΔpはΔx・∂p/∂xに等しく、またダイヤフラム3の変位と管路1内の流速変動uとの位相差は一定だから、上記二成分の比は、ダイヤフラム3の振動変位と差圧信号変動Δpの位相差とも一対一に対応し、位相差は角周波数ωと動粘度νのみの関数である。本実施例では、歪みゲージ24によって検出されたダイヤフラム3の変位信号と、Δpの間の位相差が一定となるように、電圧制御発振器の発振周波数fを制御するフェーズロックトループを構成してあるので、周波数fが流体の動粘度νの情報を担う信号となる。
【0027】
数5から分かる様に、差圧検出器6の出力信号の時間平均値は、流体の断面内平均流速の時間平均値と流体の粘度μに比例している。管路1内の体積流量は、断面内平均流速に断面積をかけたものであるから、差圧検出器の出力信号の時間平均値は、時間平均体積流量と粘度μに比例する。この値を動粘度ν=μ/ρで割れば、粘度μは相殺され、時間平均質量流量が求まる。本実施例では、差圧検出器6の出力信号の時間平均をとって管路1内平均体積速度を求め、一方周波数fを動粘度ν=μ/ρに換算し、平均体積速度を動粘度で割って、管路1を流れる時間平均質量流量を計算している。
【0028】
なお、ダイヤフラム3を振動させたときに、管路1内の流速がどれだけ変動するかは、上流管路28の上流および管路1の下流の条件によって決まる。したがって、流速変動uの振幅は一概には決まらず、更には測定中に変化する可能性もある。しかし、差圧変動信号に含まれる流速比例成分と加速度比例成分の比は、流速変動uの振幅には依らない。従って、管路1内に発生する流速変動uの位相さえ明確であれば、uの振幅によらず、また測定中にその振幅が変化してもその事に影響されることなく、正確に動粘度νは測定される。
【0029】
動粘度を測定するための管路1は、第一実施例では円断面であり、第二実施例では矩形断面である。管断面の形状は、これら二種類に限られる訳ではない。不規則な形状を含む任意の断面形状の管路について、流体の振動方向の圧力勾配信号に速度比例成分と加速度比例成分が含まれ、さらにこれら二成分の大きさの比が、関数形は数1や数6とは異なるが、振動角周波数ωおよび動粘度νのみの関数となるという関係自体は成り立つ。従って、任意の断面形状の管路について、実施例と同様の構成によって動粘度を測定することができる。更に、流体の振動が層流であれば、断面積が管軸に沿って変化する管路を用いても構わない。
【0030】
上述の二つの実施例では、圧力勾配信号中の流速比例成分と加速度比例成分の比を、フェ−ズロックトル−プを構成して間接的に測定している。しかし、このような構成を採らず、ダイヤフラム3の駆動信号あるいは歪みゲージ27の出力信号を参照信号として、差圧信号Δpを同期検波してそれぞれの成分の大きさを測定し、それらの比をとるといった直接的な方法を用いても上記二成分の比は求めることができる。この場合には、加振波形は正弦波に限定されない。また、ダイヤフラム3の加振は、静電力を利用するのではなく、電磁力を利用した加振装置、モーターとカムのような機械的な方法、熱を利用したシリコンアクチュエーター等によっても構わない。さらに、第二実施例の場合にそうであったように、直流的な流れに重畳した変動流速成分と、圧力勾配の変動成分との間にも、数1あるいは数6に相当する関係が成り立つので、管路内の流体に振動を加える手段は、必ずしも交流的な振動のみを発生させる加振機構である必要はなく、流量特性に脈動分の重畳するポンプのようなものであっても構わない。要するに、本発明の本質は、管路内の流体に流速変動を加え、この時に発生する圧力勾配中の速度比例成分と加速度比例成分の大きさの比から動粘度を検出する所にあり、流速変動を加えるための具体的な手段や上記二成分の比を検出するための具体的な手段に係わるものではない。
【0031】
【発明の効果】
本発明では、流体に流速変動を加えた時に発生する圧力勾配中の、速度に比例した成分と加速度に比例した成分の大きさの比から、動粘度を測定している。この方式によって、連続測定に適した動粘度測定装置を実現することができる。また、上記成分の大きさの比をとっているので、流速変動および圧力勾配変動の大きさ自体は知る必要がなく、差圧検出器の感度変化や加振機構の振幅変化が生じても、測定値はその影響を受けない。このため、差圧検出器や加振機構の特性に影響を及ぼす諸条件に影響されること無く、精度よく動粘度を測定することが可能になる。さらに、この特徴のため、構成機器である差圧検出器や加振機構に要求される仕様が緩やかになり、測定装置全体を廉価に作製できる。以上の様に、本発明によって、高精度に連続測定の可能な動粘度測定装置を廉価に実現することが可能になる。
【0032】
通常の層流式流量計では、数5に基づいて、差圧信号から体積流量を求めている。数5から分かる様に、差圧信号は流体の粘度μに比例している。このため、体積流量は同じであっても、流体の温度や組成が変化して粘度μが変化すると、差圧信号の大きさは変化してしまう。したがって、粘度の変化が予測される場合には、粘度の変化を補正する何らかの手段を講じる必要があった。さらに、層流式流量計で測定されるのは体積流量であるのに対して、実際に知りたい量は質量流量である場合がほとんどであるから、何らかの手段で流体の密度を推定して密度補正を施すことも必要である。本発明を、層流式流量計と組み合わせると、流体の温度や組成の変化に影響を受けること無く質量流量を測定できる装置を廉価に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例である。
【図2】本発明の第二実施例である。
【符号の説明】
1 管路
2 フランジ
3 ダイヤフラム
4 絶縁体
5、5’導圧管
6 差圧検出器
7 増幅器
8 電圧制御発振器
9 位相比較器
10 指示計器
21、22 ガラス板
23 シリコン基板
24 電極
25 導圧管
26 差圧検出器
27 歪みゲージ
28 上流管路
31 流入口
32 流出口
Claims (1)
- 流体の充たされた管路と、上記管路内の流体に流速変動を加える手段と、上記管路内の圧力勾配を検出する手段とを有し、前記手段で検出した圧力勾配のうちの、流体の流速に比例した成分と流体の加速度に比例した成分の大きさの比から、流体の動粘度を知ることを特徴とする動粘度計。
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