JP2019127424A - 誘電体薄膜形成用液状組成物及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、BST(チタン酸バリウムストロンチウム)誘電体薄膜を形成するための誘電体薄膜形成用液状組成物は、一般式:Ba1-xSrxTiyO3(0.2<x<0.6、0.9<y<1.1)で示される複合金属酸化物の薄膜を形成するための液状組成物である。この液状組成物中の水分の含有割合は、0.08質量%〜0.5質量%、好ましくは0.08質量%〜0.20質量%である。ここで、液状組成物中の水分の含有割合を0.08質量%〜0.5質量%の範囲内に限定したのは、アスピレータを高性能化して長時間減圧状態に保持しても水分の含有割合を0.08質量%未満にすることが難しく、0.5質量%を超えると液状組成物の保存安定性が低下するからである。また、上記一般式中のx値が上記一般式を満たすように原料割合を調整する理由は、x値が0.2以下では誘電損失の増加が生じ、一方、0.6以上になるとチューナビリティの低下を生じるからである。更に、上記一般式中のy値が上記範囲になるように原料割合を調整する理由は、y値が0.9以下又は1.1以上になるとチューナビリティの低下を生じるからである。なお、「チューナビリティ(tunability)」とは、静電容量の可変性又は変化率をいう。
図2は本発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態では、先ず、バリウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機バリウム化合物を調製し、この有機バリウム化合物を減圧蒸留する。また、ストロンチウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機ストロンチウム化合物を調製し、この有機ストロンチウム化合物を減圧蒸留する。上記バリウム化合物、ストロンチウム化合物及び脂肪酸は、第1の実施の形態のものと同一である。また、還流の条件及び減圧蒸留の条件は、第1の実施の形態の条件と同一である。
図1に示すように、先ず、100mlの2−エチルヘキサン酸(純度99.8%)に、20gの炭酸バリウム(純度99.99%)を溶解し、150℃で3時間還流して、有機バリウム化合物を作製した。また、100mlの2−エチルヘキサン酸に、20gの炭酸ストロンチウム(純度99.96%)を溶解し、150℃で3時間還流して、有機ストロンチウム化合物を作製した。次に、Ba:Srがモル比で70:30となるように、上記有機バリウム化合物と有機ストロンチウム化合物とを混合し、0.015MPaの絶対圧力であって、150℃の温度に1時間保持する減圧蒸留を行うことにより、水分が大幅に除去された有機バリウムストロンチウム化合物を作製した。更に、Ba:Sr:Tiがモル比で70:30:100となるように、上記有機バリウムストロンチウム化合物とチタンイソプロポキシド(純度99.2%)とを混合し、この混合物を300mlの酢酸イソアミル(純度99.9%)に溶解した後に、150℃で1.5時間還流して、誘電体薄膜形成用液状組成物を得た。この誘電体薄膜形成用液状組成物を実施例1とした。なお、混合前に、有機バリウム化合物、有機ストロンチウム化合物及びチタンイソプロポキシド中の水分量をカールフィッシャー水分量計(HIRANUMA社製、平沼微量水分測定装置:AQ−7)によりそれぞれ測定した。
実施例2〜36及び比較例1〜8の誘電体薄膜形成用液状組成物は、表1及び表2に示すような製造条件で製造した。なお、表1及び表2に示した製造条件以外は、実施例1と同様の製造条件で誘電体薄膜形成用液状組成物を作製した。
実施例1〜36及び比較例1〜8の誘電体薄膜形成用液状組成物に含まれる水分の含有割合及びアルコールの含有割合と、その液状組成物の粘度及び保存安定性をそれぞれ測定した。
(1) 液状組成物中の水分の含有割合
液状組成物中の水分の含有割合は、少量の液状組成物を取ってその質量を測り、その少量の液状組成物中の水分量をカールフィッシャー水分量計(HIRANUMA社製、平沼微量水分測定装置:AQ−7)により測定して算出した。カールフィッシャー法による水分測定法(電量滴定法)は、滴定セルにヨウ化物イオン・二酸化硫黄・アルコールを主成分とする電解液(カールフィッシャ試薬)が、メタノールの存在下で水と特異的に反応することを利用して、液状組成物中の水分が定量される。
(2) 作製直後の液状組成物中のアルコールの含有割合
作製直後の液状組成物中のアルコールの含有割合は、ガスクロマトグラフ質量分析計(SHIMADZU社製:GCMS-QP2010 Ultra,GC-2010Plus)により、注入口の温度を100℃に保持し、カラムオーブン内を10℃/分の速度で昇温し最高到達温度を320℃とした。
(3) 作製直後の液状組成物の粘度
作製直後の液状組成物の粘度は、東機産業社製のE型粘度計(RE-80L)を用い、温度20℃、ロータ回転速度が100rpmであるときの粘度を測定した。
液状組成物の保存安定性は、一定期間経過後の液状組成物の粘度の変化率と、液状組成物中のパーティクル数によりそれぞれ評価した。
一定期間経過後の液状組成物の粘度は、液状組成物を作製してから1ヶ月間室温(23℃)で密封保存した後の液状組成物の粘度を、上記(3)と同様の方法で測定した。そして、一定期間経過後の液状組成物の粘度が、作製直後の液状組成物の粘度に対して変化した割合(変化率)を算出し、この変化率が−10%〜+10%の範囲内の変化率であったときを「良」とし、−10%未満又は+10%を超える変化率であったときを「不良」とした。
また、液状組成物中のパーティクル数は、液状組成物を作製してから1ヶ月間室温で保存した後に1mlの液状組成物中のパーティクル数をレーザパーティクルカウンタ(RION社製、KS-42B)で測定し、粒径0.5μm以上のパーティクル数が50個以下であったときを「良」とし、50個を超えたときを「不良」とした。
これらの結果を表1及び表2に示した。なお、表1及び表2において、減圧蒸留の条件の時間の単位『H』は時間(Hour)を示し、保存安定性の『P』はパーティクル数を示す。
Claims (6)
- Ba、Sr及びTiを少なくとも含み、BST誘電体薄膜を形成するための誘電体薄膜形成用液状組成物において、
前記液状組成物中の水分の含有割合が0.08質量%〜0.5質量%であることを特徴とする誘電体薄膜形成用液状組成物。 - 前記液状組成物が、一般式:Ba1-xSrxTiyO3(0.2<x<0.6、0.9<y<1.1)で示される請求項1記載の誘電体薄膜形成用液状組成物。
- 前記液状組成物の調製直後の粘度を100%とするとき、前記液状組成物を調製してから1月経過後の粘度の変化率が−10%〜+10%の範囲内である請求項1記載の誘電体薄膜形成用液状組成物。
- 前記液状組成物を100質量%とするとき、前記液状組成物中のアルコールの含有割合が0.05質量%〜0.15質量%である請求項1記載の誘電体薄膜形成用液状組成物。
- BST誘電体薄膜を形成するための誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法において、
バリウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機バリウム化合物を調製する工程と、
ストロンチウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機ストロンチウム化合物を調製する工程と、
前記有機バリウム化合物と前記有機ストロンチウム化合物とを混合し減圧蒸留して有機バリウムストロンチウム化合物を調製する工程と、
前記有機バリウムストロンチウム化合物とチタンアルコキシドとを混合しこの混合物を脂肪酸エステルに溶解して還流することにより誘電体薄膜形成用液状組成物を得る工程と
を含む誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法であって、
前記減圧蒸留を0.015MPa〜0.02MPaの絶対圧力で130℃〜170℃の温度に1時間〜5時間保持して行うことを特徴とする誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法。 - BST誘電体薄膜を形成するための誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法において、
バリウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機バリウム化合物を調製する工程と、
前記有機バリウム化合物を減圧蒸留する工程と、
ストロンチウム化合物と脂肪酸とを混合し還流して有機ストロンチウム化合物を調製する工程と、
前記有機ストロンチウム化合物を減圧蒸留する工程と、
前記減圧蒸留した有機バリウム化合物と前記減圧蒸留した有機ストロンチウム化合物とチタンアルコキシドとを混合しこの混合物を脂肪酸エステルに溶解して還流することにより誘電体薄膜形成用液状組成物を得る工程と
を含む誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法であって、
前記減圧蒸留を0.015MPa〜0.02MPaの絶対圧力で130℃〜170℃の温度に1時間〜5時間保持して行うことを特徴とする誘電体薄膜形成用液状組成物の製造方法。
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