JP5080816B2 - 塗布液組成物および該塗布液組成物を用いる金属酸化物膜の製造方法 - Google Patents
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[製造例1]2−エチルヘキサン酸チタン化合物の製造
乾燥アルゴンガス雰囲気下で、反応フラスコにテトラキス(イソプロポキシ)チタン0.5モルおよび乾燥トルエン250mlを仕込み、これに2−エチルヘキサン酸2モルを加え、4時間還流させた。バス温度135℃でトルエンおよび低沸点物を反応系から留去した後、さらに系内を3〜1torrに減圧し、145℃で濃縮を行い黄色粘性液体を257g得た。得られた黄色液体について、元素分析を行った。チタン含有量は、灰化法により二酸化チタンとして定量し、炭素および水素含有量は、CHN元素分析で定量した結果、Tiは13.1質量%、Cは54.9質量%、Hは8.5質量%であった。
乾燥アルゴンガス雰囲気下で、反応フラスコにペンタキス(エトキシ)ニオブ0.5モルおよび乾燥キシレン200mlを仕込み、これに無水酢酸2.6モル、2−エチルヘキサン酸2.6モルを加え、バス温度145℃で4時間還流させた。バス温度135℃でキシレンおよび低沸点物を反応系から留去した後、さらに系内を3〜1torrに減圧して濃縮を行い黄色粘性液体を304g得た。得られた黄色液体について、元素分析を行った。ニオブ含有量は、63質量%硝酸中、100℃で酸化分解しNb2O5として定量し、炭素および水素含有量は、CHN元素分析で定量した結果、Nbは15.7質量%、Cは55.1質量%、Hは8.3質量%であった。
上記の製造例1で得た2−エチルヘキサン酸チタン化合物14.6gと1−ブタノール80gとを混合して溶液を調製した。これに2−エチルヘキサン酸無水物が2−エチルヘキサン酸チタン化合物の10質量%となる量を添加したもの(塗布液組成物A)と、添加しないもの(塗布液組成物B)を、それぞれ20mlのサンプル瓶に15ml入れ、開放状態で湿度60%、25℃で5日間放置し、放置後の組成物の状態を目視で比べた。塗布液組成物Aは、沈殿および濁りは発生しなかったが、塗布液組成物Bは、濁りを生じた。この結果から、2−エチルヘキサン酸無水物は、2−エチルヘキサン酸チタンの1−ブタノール溶液に対して安定剤として機能することが確認できた。
2−エチルヘキサン酸ストロンチウム7.64g、2−エチルヘキサン酸バリウム8.63g、1−ブタノール80gを混合したところ溶解しなかった。これに2−エチルヘキサン酸無水物を1.25g加えたところ、透明な溶液(塗布液組成物C)を得た。この結果から、2−エチルヘキサン酸無水物は、2−エチルヘキサン酸ストロンチウム、2−エチルヘキサン酸バリウムに関しては、可溶化剤として機能することが確認できた。
上記の実施例1で得た塗布液組成物Aと参考例1で得た塗布液組成物Cを質量比1:1で混合し、塗布液組成物Dを得た。当該塗布液組成物のチタン:ストロンチウム:バリウムのモル比は2:1:1である。また、上記製造例で得た2−エチルヘキサン酸ニオブ、2−エチルヘキサン酸リチウム、1−ブタノールをニオブ、リチウムのモル比が1:1となり、ニオブ濃度が0.2モル/リットルとなるように混合し、これに2−エチルヘキサン酸無水物を2−エチルヘキサン酸リチウムの10質量%加えて溶液化させて、塗布液組成物Eを得た。塗布液組成物Dと塗布液組成物Eを20mlのサンプル瓶に15ml入れ、開放状態で湿度60%、25℃で5日間放置し、放置後の組成物の状態を目視で比べた結果、濁りおよび沈殿は発生していなかった。この結果から、2−エチルヘキサン酸無水物が有する安定化効果と可溶化効果を確認することができた。
上記で得た塗布液組成物DおよびEをそれぞれ、Si/SiO2/Ti/Ptの積層基板にキャストし、500rpmで5秒、2,000rpmで15秒スピンコート法で塗布した後、120℃10分間の乾燥工程、400℃で15分の仮焼工程、700℃で30分の焼成工程による形成工程を3回行い、基板のPt層上にセラミックス膜を形成した。得られた膜について、目視と光学顕微鏡による表面クラック、断面SEM像による膜厚測定およびX線回折による組成分析を行った。結果を表1に示す。
Claims (6)
- 炭素数6〜12の脂肪族有機酸と4族または5族の金属との化合物を含有してなるプレカーサ成分(A)と、
炭素数6〜12の脂肪族有機酸の酸無水物(B)と、
有機溶剤(C)と、を含有してなることを特徴とする塗布液組成物。 - 前記プレカーサ成分(A)が、炭素数6〜12の脂肪族有機酸と4族または5族の金属との化合物と、炭素数6〜12の脂肪族有機酸と1族または2族の金属との化合物とを含む請求項1に記載の塗布液組成物。
- 前記酸無水物(B)が、前記プレカーサ成分(A)を与える前記脂肪族有機酸と同一の有機酸の酸無水物である請求項1または2に記載の塗布液組成物。
- 前記プレカーサ成分(A)が、2−エチルヘキサン酸の金属化合物の少なくとも1種類を含み、かつ前記酸無水物(B)が、2−エチルヘキサン酸無水物である請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布液組成物。
- 前記有機溶剤(C)が、炭素数1〜6のアルコール系溶剤またはジオール系溶剤を50質量%以上含有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の塗布液組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の塗布液組成物を基体上に塗布する塗布工程と、
50〜200℃に加熱する乾燥工程と、
400〜900℃に加熱する焼成工程と、を経ることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
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