JP2019122906A - ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ガス処理装置1は、容器10を備えている。容器10は、処理室11と、導入口12と、排出口13とを有する。導入口12及び排出口13は、それぞれ、処理室11に接続されている。被処理ガスは、導入口12から処理室11に導入される。処理室11において処理された処理済みのガスは、排出口13から排出される。本実施形態では、導入口12は、容器10の下部に設けられている。排出口13は、容器10の上部に設けられている。もっとも、本発明は、この構成に限定されない。例えば、容器の上部に導入口が設けられており、下部に排出口が設けられていてもよい。
第1の処理層11aには、被処理ガスの処理剤として、酸化鉄(Fe2O3)が配されている。このため、下記式の通り、第1の処理層11aでは、被処理ガスに含まれる三塩化ホウ素及び塩化水素の処理が行われる。
6HCl+Fe2O3=2FeCl3+3H2O
6HCl+Fe2O3=2FeCl3+3H2O
第2の処理層11bは、第1の処理層11aよりも排出口13側に設けられている。このため、第1の処理層11aにより処理された被処理ガスが第2の処理層11bに流入する。
6HCl+3ZnO=3ZnCl2+3H2O
H2SO4+Z2O=ZnSO4+H2O
第3の処理層11cは、第2の処理層11bよりも排出口13側に設けられている。このため、第1及び第2の処理層11a、11bにより処理されたガスが第3の処理層11cに流入する。
本実施形態では、ガス処理装置1の性能劣化の検知は、ロードセル20を用いて行う。具体的には、ガス処理装置1は、ロードセル20の上に配置されており、ロードセル20により、ガス処理装置1の重量を測定することができる。
6HCl+3ZnO=3ZnCl2+3H2O
H2SO4+Z2O=ZnSO4+H2O
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:10質量%)350g、ゼオライト50gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/7であった。
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:3質量%)350g、ゼオライト50gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/7であった。
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:15質量%)350g、ゼオライト50gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/7であった。
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:10質量%)381g、ゼオライト19gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/20であった。
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:10質量%)200g、ゼオライト200gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/1であった。
ガス導入口、ガス排出口及び露点計、ガス検知器を備えた容量500ccの容器に、酸化鉄50g、亜鉛系処理剤(酸化亜鉛10質量%及びチオ硫酸ナトリウム20質量%を含有、水分含有率:10質量%)350g、ゼオライト50gを下部から順次層状に充填した。このときの亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比は1/7であった。
10 :容器
11 :処理室
11a :第1の処理層
11b :第2の処理層
11c :第3の処理層
12 :導入口
13 :排出口
20 :ロードセル
Claims (5)
- 塩素を主成分として含む被処理ガスを処理するガス処理装置であって、
被処理ガスが導入される導入口と、処理済みのガスが排出される排出口と、前記導入口と前記排出口とに接続された処理室とを有する容器を備え、
前記処理室は、
第1の処理層と、
前記第1の処理層よりも前記排出口側に位置する第2の処理層と、
前記第2の処理層よりも前記排出口側に位置する第3の処理層と、
を有し、
前記第1の処理層には、酸化鉄が配されており、
前記第2の処理層には、硫黄系還元剤と酸化亜鉛とを含む亜鉛系処理剤が配されており、
前記第3の処理層には、ゼオライトが配されており、
前記亜鉛系処理剤の初期の水分含有量が5質量%以上15質量%未満である、ガス処理装置。 - 前記亜鉛系処理剤に対するゼオライトの質量比が1/20以上1/2以下である、請求項1に記載のガス処理装置。
- 前記亜鉛系処理剤中の前記酸化亜鉛の含有率が5質量%〜25質量%である、請求項1又は2に記載のガス処理装置。
- 前記亜鉛系処理剤中の前記硫黄系還元剤の含有率が10質量%〜30質量%である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガス処理装置。
- 被処理ガスが三塩化ホウ素及び塩化水素の少なくとも一方を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガス処理装置。
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