JP2019121843A - 近接スイッチ及びクランプシステム - Google Patents

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Abstract

【課題】検出領域において検出体が位置するエリアを検出可能とする。【解決手段】検出用コイル101と、発振して検出用コイル101に高周波磁界を発生させる発振回路104と、発振回路104による発振の振幅を検波する検波回路105と、検波回路105により検波された振幅を複数の閾値とそれぞれ比較する比較回路106と、比較回路106による複数の閾値との比較結果に基づいて、検波回路105により検波された振幅が当該複数の閾値から構成される複数の出力範囲内であるかを示す信号をそれぞれ出力する出力回路107とを備えた。【選択図】図1

Description

この発明は、検出領域において検出体が位置するエリアを検出可能とする近接スイッチ、及びこの近接スイッチを用いたクランプシステムに関する。
従来から、1つの閾値を用い、検出領域における検出体の有無を検出可能とする近接スイッチが知られている。しかしながら、従来の近接スイッチでは、閾値が1つであるため、検出体が検出領域におけるどのエリアに位置しているのかは検出できないという課題がある。
一方、検出体までの距離に応じた電圧を出力する変位センサも従来から知られており、この変位センサにより検出体の位置を検出可能である(例えば特許文献1参照)。しかしながら、この変位センサはアナログ出力であるため、アナログ出力を受けるAI(アナログ入力)カード又はAD(アナログ−デジタル)変換器等の機器が別途必要となり、コストが増大するという課題がある。
特開2000−354939号公報
上記のように、従来の近接スイッチでは検出領域において検出体が位置するエリアを検出できず、また、従来の変位センサではアナログ出力に対する機器が別途必要となり、コストが増大するという課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、安価な構成で、検出領域において検出体が位置するエリアを検出可能とする近接スイッチを提供することを目的としている。
この発明に係る近接スイッチは、検出用コイルと、発振して検出用コイルに高周波磁界を発生させる発振回路と、発振回路による発振の振幅を検波する検波回路と、検波回路により検波された振幅を複数の閾値とそれぞれ比較する比較回路と、比較回路による複数の閾値との比較結果に基づいて、検波回路により検波された振幅が当該複数の閾値から構成される複数の出力範囲内であるかを示す信号をそれぞれ出力する出力回路とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、上記のように構成したので、安価な構成で、検出領域において検出体が位置するエリアを検出可能となる。
この発明の実施の形態1に係る近接スイッチの構成例を示す回路図である。 図2Aは検出体の位置とこの発明の実施の形態1における出力回路が有する2つの出力端子からの出力との対応関係の一例を示す図であり、図2Bは検出領域を4つのエリアに分割した場合でのエリアの検出方法の一例を示す図である。 この発明の実施の形態1に係るクランプシステムの構成例を示す図である。 図4Aはこの発明の実施の形態1におけるドローバが有するテーパ部と近接スイッチとの関係の一例を示す図であり、図4Bはドローバの位置sと近接スイッチの検波回路により検波された振幅Voとの関係の一例を示す図である。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る近接スイッチ1の構成例を示す回路図である。
近接スイッチ1は、複数の閾値を用い、検出領域における検出体2の有無及び検出領域において検出体2が位置するエリアを検出可能とする。検出体2は、金属製の物体である。また以下では、後述する出力回路107が2つの出力範囲(第1の出力範囲及び第2の出力範囲)を用いる場合を示す。この近接スイッチ1は、図1に示すように、検出用コイル101、電源102、安定化電源回路103、発振回路104、検波回路105、比較回路106、出力回路107、及び2系統のトランジスタ108(トランジスタ108a及びトランジスタ108b)を備えている。また、近接スイッチ1には、2系統の抵抗3(抵抗3a及び抵抗3b)が接続されている。
安定化電源回路103は、電源102から供給された電力により動作し、発振回路104、検波回路105及び比較回路106に対して所定の電圧の電力を供給する。
発振回路104は、発振して検出用コイル101に高周波磁界を発生させる。この発振回路104では、検出用コイル101が発生する高周波磁界に検出体2が近づくと、検出体2に誘導電流が流れて熱損失が発生し、検出用コイル101のインピーダンスが変化して発振が減衰する。なお、発振回路104は、検出体2が最も近づいた場合でも発振を維持し、検出用コイル101のインピーダンス変化に応じて発振振幅が変化するように構成されている。
検波回路105は、発振回路104による発振の振幅を検波する。すなわち、検波回路105は、発振回路104による発振の振幅を直流化して整流する。
比較回路106は、検波回路105により検波された振幅を各閾値とそれぞれ比較する。なお、各閾値は例えば外部機器により設定される。
出力回路107は、比較回路106による各閾値との比較結果に基づいて、検波回路105により検波された振幅が当該各閾値から構成される各出力範囲内であるかを示す信号をそれぞれ出力する。具体的には、出力回路107は、検波回路105により検波された振幅が第1の出力範囲内である場合に、2つの出力端子のうちの一方からオン信号を出力する。また、出力回路107は、検波回路105により検波された振幅が第2の出力範囲内である場合に、2つの出力端子のうちの他方からオン信号を出力する。なお、各出力範囲は互いに一部が重複している。検出体2の位置と出力回路107が有する2つの出力端子からの出力との対応関係の一例を図2Aに示す。
なお図2では、2つの出力端子のうちの一方(第1の出力)からオン信号が出力されている状態をONとし、オン信号が出力されていない状態をOFFとしている。また、2つの出力端子のうちの他方(第2の出力)からオン信号が出力されている状態をONとし、オン信号が出力されていない状態をOFFとしている。
トランジスタ108aは、ゲート端子が、出力回路107が有する2つの出力端子のうちの一方に接続され、エミッタ端子が電源102のプラス端子に接続されている。このトランジスタ108aは、出力回路107が有する2つの出力端子のうちの一方からのオン信号により駆動する。
トランジスタ108bは、ゲート端子が、出力回路107が有する2つの出力端子のうちの他方に接続され、エミッタ端子が電源102のプラス端子に接続されている。このトランジスタ108bは、出力回路107が有する2つの出力端子のうちの他方からのオン信号により駆動する。
なお、抵抗3aは、一端がトランジスタ108aのコレクタ端子に接続され、他端が電源102のマイナス端子に接続されている。この抵抗3aは、トランジスタ108aが駆動することで電源102から電力が供給される。
また、抵抗3bは、一端がトランジスタ108bのコレクタ端子に接続され、他端が電源102のマイナス端子に接続されている。この抵抗3bは、トランジスタ108bが駆動することで電源102から電力が供給される。
この抵抗3a,3bとしては、例えばPLC(Programmable Logic Controller)又はリレー等の負荷が挙げられる。
そして、この近接スイッチ1により、抵抗3a及び抵抗3bに供給される電力から、検出領域における検出体2の有無及び検出領域において検出体2が位置するエリアを検出できる。図1に示すように近接スイッチ1が2つの出力を有する場合、図2Bに示すように、検出体2が4つのエリア(第1のエリア〜第4のエリア)に分割された検出領域のうちのどのエリアに位置するかを検出可能となる。
図1に示す近接スイッチ1では、出力回路107の2つの出力範囲に対応して、出力回路107に2つの出力端子が設けられ、また、トランジスタ108が2系統設けられた場合を示した。一方、近接スイッチ1が3つ以上の出力範囲を用いる場合には、出力回路107には当該出力範囲と同数の出力端子が設けられ、また、トランジスタ108は当該出力範囲と同数の系統設けられる。
次に、近接スイッチ1をクランプシステムに適用した場合について、図3を参照しながら説明する。図3では、クランプシステムとして、マシニングセンタ等に用いられるツールクランプシステムの場合を示している。
ツールクランプシステムは、図3に示すように、ツール4、クランプ機構5、及び近接スイッチ1を備えている。
ツール4は、一端に設けられた工具401により加工対象物(不図示)に対して加工を行う。このツール4は、他端側にテーパ状のシャンク部402が形成され、その端部にプルスタッド403が形成されている。
クランプ機構5は、ツール4のクランプを行う。このクランプ機構5は、主軸部501、コレットチャック502及びドローバ503を有している。
主軸部501の軸心には、一端に、ツール4のシャンク部402が挿入されるテーパ状の挿入部5011が形成されている。また、主軸部501の軸心には、挿入部5011の後段に、コレットチャック502が収容される収容部5012が形成されている。この収容部5012は、上記一端側が径が大きく構成され、他端側が径が小さく構成されている。
コレットチャック502は、一端にコレット爪5021を有し、このコレット爪5021が開閉することで、挿入部5011にシャンク部402が挿入されたツール4のプルスタッド403の固定を行う。このコレットチャック502は、軸心方向に移動可能であり、コレット爪5021が収容部5012の一端側に位置する場合にはコレット爪5021が開き、コレット爪5021が収容部5012の他端側に位置する場合には、収容部5012によりコレット爪5021が閉じられて、プルスタッド403の固定を行うことができる。
ドローバ503は、軸心方向に移動可能であり、一端にコレットチャック502の他端が接続されている。そして、ドローバ503は、自身が軸心方向に移動することでコレットチャック502を軸心方向に移動させ、コレット爪5021の開閉を行う。すなわち、ドローバ503は、クランプ機構5によるツール4のクランプ状態により停止位置が異なる。このドローバ503は、上記の検出体2に相当する。また、ドローバ503は、近接スイッチ1と対向する部分に、ドローバ503の移動により近接スイッチ1との間の距離を可変とするテーパ部5031を有している。
図3に示す近接スイッチ1は、ドローバ503に対して当該ドローバ503の軸心方向に垂直な方向に対向配置され、検出領域においてドローバ503が位置するエリアを検出可能とする。このエリアとしては、例えば、空クランプの際でのドローバ503の位置を含むエリア、クランプの際でのドローバ503の位置を含むエリア、ミスクランプの際でのドローバ503の位置を含むエリア、及び、アンクランプの際でのドローバ503の位置を含むエリアの4つのエリアが挙げられる。なお、空クランプとは、ツール4が無い状態でコレット爪5021が閉じている状態を意味する。また、クランプとは、クランプ機構5がツール4を正常にクランプできている状態を意味する。また、ミスクランプとは、クランプ機構5に切りくず等が入り込み、ツール4を正常にクランプできていない状態を意味する。また、アンクランプとは、コレット爪5021が開いている状態を意味する。
ここで、マシニングセンタでは、1つの加工対象物に対する加工を行う際に、様々なツール4を付替えながら加工を行う。そのため、クランプ機構5でツール4を確実にクランプできていないと、加工対象物の寸法がずれて不良が発生する可能性がある。そこで、従来のマシニングセンタでは、従来の複数の近接スイッチ又は単一の変位センサを用いてドローバ503の位置を検出し、クランプ機構5がツール4を確実(正常)にクランプできている場合にのみ加工を実施するように構成されている。しかしながら、従来の複数の近接スイッチを用いた場合、各近接スイッチの配置を物理的に調整しながら検出対象となるエリアを調整する必要があり、技量を要し、また、作業工数が増大する。また、従来の変位センサを用いた場合には、アナログ出力を受けるAIカード又はAD変換器等の機器が別途必要となり、コストが増大する。また、マシニングセンタにおいて検出対象となるエリアは数箇所のみであり、アナログ出力とする必要はない。
それに対し、実施の形態1に係るツールクランプシステムでは、検出領域においてドローバ503が位置するエリアをデジタルで検出可能とする近接スイッチ1を用い、クランプ機構5でツール4を確実にクランプできているかを確認している。これにより、近接スイッチ1を容易に設置可能となり、検出対象となるエリアの調整が簡易化される。また、コストの増大を抑制できる。
また、ドローバ503は、近接スイッチ1の検出面に対して垂直な方向に移動する。そのため、例えばドローバ503が円柱形状である場合には、近接スイッチ1は、ドローバ503が近接スイッチ1に対して対向する面積の変化しか検出できない。この場合、近接スイッチ1でドローバ503を検出可能とする領域が狭く、上記の4つのエリアを検出できない場合がある。そこで、実施の形態1に係るツールクランプシステムでは、図4に示すように、ドローバ503にテーパ部5031を設け、近接スイッチ1に、ドローバ503と近接スイッチ1との間の距離の変化を検出させるように構成している。これにより、近接スイッチ1でドローバ503を検出可能とする領域が広くなり、上記の4つのエリアを検出可能となる。図4Bにおいて、符号A〜Dは第1のエリア〜第4のエリアに対応している。なお、テーパ部5031のテーパ角度は、必要な検出領域の長さ及び近接スイッチ1の検出面の幅等に応じて設定される。
なお上記では、クランプ機構5がツール4をクランプする場合を示した。しかしながら、これに限らず、クランプ機構5が加工対象物をクランプする場合についても同様に実施の形態1に係る近接スイッチ1を適用可能であり、上記と同様の効果が得られる。
また上記では、クランプシステムとして、マシニングセンタ等に用いられるツールクランプシステムの場合を示した。しかしながら、これに限らず、ドローバ503が用いられるものであればよく、クランプシステムとして、例えばNC旋盤等に用いられるツールクランプシステムを用いてもよい。この場合、検出領域を分割するエリアとしては、(空クランプの際でのドローバ503の位置を含むエリア)、クランプの際でのドローバ503の位置を含むエリア、及び、アンクランプの際でのドローバ503の位置を含むエリアの2つ(3つ)のエリアが挙げられる。
以上のように、この実施の形態1によれば、検出用コイル101と、発振して検出用コイル101に高周波磁界を発生させる発振回路104と、発振回路104による発振の振幅を検波する検波回路105と、検波回路105により検波された振幅を複数の閾値とそれぞれ比較する比較回路106と、比較回路106による複数の閾値との比較結果に基づいて、検波回路105により検波された振幅が当該複数の閾値から構成される複数の出力範囲内であるかを示す信号をそれぞれ出力する出力回路107とを備えたので、検出領域において検出体2が位置するエリアを検出可能となる。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
1 近接スイッチ
2 検出体
3,3a,3b 抵抗
4 ツール
5 クランプ機構
101 検出用コイル
102 電源
103 安定化電源回路
104 発振回路
105 検波回路
106 比較回路
107 出力回路
108,108a,108b トランジスタ
401 工具
402 シャンク部
403 プルスタッド
501 主軸部
502 コレットチャック
503 ドローバ
5011 挿入部
5012 収容部
5021 コレット爪
5031 テーパ部

Claims (3)

  1. 検出用コイルと、
    発振して前記検出用コイルに高周波磁界を発生させる発振回路と、
    前記発振回路による発振の振幅を検波する検波回路と、
    前記検波回路により検波された振幅を複数の閾値とそれぞれ比較する比較回路と、
    前記比較回路による複数の閾値との比較結果に基づいて、前記検波回路により検波された振幅が当該複数の閾値から構成される複数の出力範囲内であるかを示す信号をそれぞれ出力する出力回路と
    を備えた近接スイッチ。
  2. 軸心方向に移動可能なドローバと、
    前記ドローバに対して前記軸心方向に垂直な方向に対向配置された請求項1記載の近接スイッチと
    を備えたクランプシステム。
  3. 前記ドローバは、
    前記近接スイッチと対向する部分に、前記ドローバの移動により前記近接スイッチとの間の距離を可変とするテーパ部を有する
    ことを特徴とする請求項2記載のクランプシステム。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05335922A (ja) * 1992-05-28 1993-12-17 Sanyo Electric Co Ltd 光検出装置
JPH06232723A (ja) * 1993-01-29 1994-08-19 Yamatake Honeywell Co Ltd 近接スイッチ
JPH0936729A (ja) * 1995-07-13 1997-02-07 Casio Comput Co Ltd 半導体装置
JP2000354939A (ja) * 1999-06-11 2000-12-26 Mori Seiki Co Ltd 主軸装置のクランプ・アンクランプ検出機構
JP2006317237A (ja) * 2005-05-11 2006-11-24 Keyence Corp 多光軸光電式安全装置
JP2016057170A (ja) * 2014-09-10 2016-04-21 株式会社ハシマ 検出センサーの動作確認方法、検針機、及びテストピース

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH069336B2 (ja) * 1987-04-03 1994-02-02 本田技研工業株式会社 高周波発振型近接スイツチ
JPH09238063A (ja) * 1996-02-29 1997-09-09 Omron Corp 検出スイッチ
JP2002251945A (ja) * 2001-12-25 2002-09-06 Omron Corp 高周波発振型近接スイッチ及びその生産方法
JP2008021524A (ja) * 2006-07-12 2008-01-31 Tokai Rika Co Ltd 非接触スイッチ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05335922A (ja) * 1992-05-28 1993-12-17 Sanyo Electric Co Ltd 光検出装置
JPH06232723A (ja) * 1993-01-29 1994-08-19 Yamatake Honeywell Co Ltd 近接スイッチ
JPH0936729A (ja) * 1995-07-13 1997-02-07 Casio Comput Co Ltd 半導体装置
JP2000354939A (ja) * 1999-06-11 2000-12-26 Mori Seiki Co Ltd 主軸装置のクランプ・アンクランプ検出機構
JP2006317237A (ja) * 2005-05-11 2006-11-24 Keyence Corp 多光軸光電式安全装置
JP2016057170A (ja) * 2014-09-10 2016-04-21 株式会社ハシマ 検出センサーの動作確認方法、検針機、及びテストピース

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