JP2019099613A - レーザー加工用離型フィルム及びレーザー加工品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】離型フィルムとしての性能を有しつつ、離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままの状態でレーザー加工しても、フィルム由来の異物発生が極力少なくレーザー加工性が良好な離型フィルム及びレーザー加工品の製造方法を提供する。【解決手段】レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するレーザー加工用離型フィルム、及び該離型フィルムを被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含むレーザー加工品の製造方法である。【選択図】なし

Description

本発明は、レーザー加工用離型フィルム及びレーザー加工品の製造方法に関する。

ポリエステルフィルムは機械的強度、耐熱性、耐薬品性等の特性を有することから、離型フィルムの基材として用いられている。ポリエステルフィルムを基材とした離型フィルムについては多くの技術改良が行われており、例えば特許文献１では基材のポリエステルフィルムと離型層の接着性及び離型性の改良を目的とする技術が開示されている。
また、ポリエステルフィルムの上記特性から、これを基材とする離型フィルムは、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと略記することがある。）用偏光板製造用、位相差板製造用、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略記することがある。）構成部材製造用、及び有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと略記することがある。）構成部材製造用等、各種ディスプレイ構成部材製造用等、各種光学用途等に使用されている。

特開平５−１９４７６８号公報

近年では離型フィルムを貼り合わせた製品の切断加工において、生産性向上の観点から、従来の切断刃からレーザーカットに切り替える場合がある。その際、離型フィルム使用上の問題点として、通常汎用的に使用されている離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままでレーザーカットすると、所望する形状には切断可能な反面、フィルム端面にはフィルム由来の異物が発生し、被加工品に付着する問題があった。特に、異物の混入を嫌う光学用途には対応困難な場合があった。
しかしながら、上述の特許文献１のように接着性や離型性等の改良技術についてはこれまでにも多くの開示があるものの、離型フィルムを貼り合わせた被加工品のレーザー加工による離型フィルム由来の異物・変色といった問題には十分な検討がされていない。

そこで本発明は、離型フィルムとしての性能を有しつつ、離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままの状態でレーザー加工しても、フィルム由来の異物発生が極力少なくレーザー加工性が良好であり、光学用途等の異物混入を嫌う用途に対応可能な離型フィルム、及びレーザー加工品の製造方法を提供するものである。

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記本発明を想到し、当該課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明は下記のとおりである。

［１］レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するレーザー加工用離型フィルム。
［２］前記レーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含むレーザー加工品の製造方法。

本発明によれば、離型フィルムとしての性能を有しつつ、離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままの状態でレーザー加工しても、フィルム由来の異物発生が極力少なくレーザー加工性が良好であり、光学用途等の異物混入を嫌う用途に対応可能な離型フィルム、及びレーザー加工品の製造方法を提供することができる。

［レーザー加工用離型フィルム］
本発明に係るレーザー加工用離型フィルム（以下、単に離型フィルムと称すことがある。）は、レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するものである。

（ポリエステルフィルム）
ポリエステルフィルムは、ポリエステル層を層構成として含む離型フィルムの基材である。ポリエステルフィルムは、ポリエステル層の単層構成であってもよく、多層の積層構成であってもよい。例えば、２層、３層構成以外にも本発明の効果を損なわない限り、４層又はそれ以上の多層であってもよく、特に限定されるものではない。また、各ポリエステル層は１種又は２種以上のポリエステルを併用してもよい。
ポリエステルフィルムは、無延伸フィルム（シート）であっても延伸フィルムであってもよいが、延伸フィルムであることが好ましく、二軸延伸フィルムであることがより好ましい。

〈ポリエステル〉
ポリエステル層に使用するポリエステルは、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。
ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。
芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸等が挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート等が挙げられる。

一方、共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸が挙げられる。
グリコール成分としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等が挙げられる。

また、本発明においてポリエステルは、フィルム成形性（強度等）を良好とする観点から、好ましくは６０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上が、エチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート等であることが好ましい。

ポリエステルの重合触媒としては、特に制限はなく、従来公知の化合物を使用することができる。例えば、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物、マンガン化合物、アルミニウム化合物、マグネシウム化合物、カルシウム化合物等が挙げられる。重合触媒は１種又は２種以上を併用してもよい。

〈レーザー吸収剤〉
ポリエステルフィルムは、レーザー吸収剤を含有することを必須要件とするものである。ポリエステルフィルムを構成する層のうち少なくとも１層を、レーザー吸収剤を含有したポリエステル層とすることで、上記ポリエステルフィルムとすることができる。
例えば、レーザー吸収剤を含有しないポリエステル層をＸ層、レーザー吸収剤を含有するポリエステル層をＹ層とした場合、Ｘ層／Ｙ層、Ｙ層／Ｙ層、Ｘ層／Ｙ層／Ｘ層、Ｙ層／Ｘ層／Ｙ層等の層構成とすることができる。中でも、レーザー吸収剤のブリードアウトの観点から、Ｘ層／Ｙ層／Ｘ層とすることが好ましい。この場合、複数のＸ層及びＹ層は、それぞれ同一であってもよく異なっていてもよい。

ポリエステルフィルムに、レーザー吸収剤を含有させる目的は、粘着剤層を介して離型フィルムを被加工品に貼り合わせた状態でレーザー加工する際に、被加工品への離型フィルム由来の異物付着等が極力少ないレーザー加工を可能とすることにある。特に、レーザー光の吸収波長が赤外線領域（好ましくは１０００ｎｍ波長以上）にある場合、赤外線吸収に伴い、発生する熱エネルギーを効率的に利用してレーザー加工できる点で好ましい。
また、レーザー光の照射時に、貼り合わせている被加工品自体に過剰な熱エネルギーがかかることを離型フィルム自身で防止できることから、例えば、熱に敏感な電子回路等の電子部品をレーザー光の照射による損傷から保護することも可能となる。

レーザー吸収剤としては、例えば、アンチモン、インジウム、亜鉛及びタングステンから選ばれる１種又は２種以上の金属元素を含む金属化合物が挙げられる。好ましくは、アンチモンドープ酸化錫、錫ドープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化亜鉛及び酸化タングステンから選ばれる１種又は２種以上である。これらの中でも、赤外線領域（好ましくは１０００ｎｍ波長以上）の広範囲の波長領域において、レーザー吸収性が良好である観点から、より好ましくは酸化タングステンである。なお、アンチモンを含む金属化合物のうち、一般にポリエステルの重合用触媒として使用される三酸化アンチモンは、レーザー吸収剤には含まないものとする。

レーザー吸収剤は、離型フィルムの光線透過率が波長１０００〜１３００ｎｍの範囲において、好ましくは２０％以下、より好ましくは１０％以下となるように、ポリエステル層中に含有させる。離型フィルムの光線透過率が上記範囲内であればレーザー光を効果的に吸収させることができる。
また、上記離型フィルムは、例えばＪＩＳ Ｋ７１３６に準拠して測定した全光線透過率が、可視光領域（５５０ｎｍ波長下）での透明性確保の観点から、好ましくは７０％以上であり、より好ましくは８０％以上である。

波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における光線透過率が、上記範囲を満足するためには、例えば、ポリエステルフィルム中のレーザー吸収剤の含有量により調整することができる。ポリエステルフィルム中のレーザー吸収剤含有量は、好ましくは０．１〜３質量％であり、より好ましくは、０．２〜２．５質量％であり、さらに好ましくは、０．５〜２質量％である。該含有量が０．１質量％以上であれば、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんどない良好なレーザー加工性を得ることができる。該含有量が３質量％以下であれば、例えば光学部材に用いることができる離型フィルムとして必要な透明性を得ることができる。通常、光学部材の品質検査は、部材の表面に離型フィルムが貼られた状態で、離型フィルムの上から検査光を透過させて行われる。このため、離型フィルムの透明性が高いと、光学部材の検査性が良好となる。

ポリエステル層中にレーザー吸収剤を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができる。

〈粒子〉
ポリエステル層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではない。例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機粒子が挙げられる。これらの中でも易滑性付与の観点から、シリカ粒子を用いることが好ましい。
また、特公昭５９−５２１６号公報、特開昭５９−２１７７５５号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。
これら粒子は１種又は２種以上を併用してもよい。

また、粒子はポリエステルフィルムの構成層のうち、少なくともポリエステルフィルムの最表面の層に粒子を含有させることが、易滑性の観点から好ましい。
使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。

粒子の平均粒径は、好ましくは０．０１〜３μｍであり、より好ましくは０．０１〜２μｍである。平均粒径が０．０１μｍ以上であれば、粒子が凝集するおそれが少なく十分な分散性が得られ、３μｍ以下であれば、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎず、後工程において離型層を塗設させる場合等に不具合が生じるおそれがない。
本発明において粒子の平均粒子径は、例えば実施例において後述する方法により測定することができる。

ポリエステル層中の粒子含有量は、好ましくは０．００１〜５質量％であり、より好ましくは０．００５〜３質量％である。粒子含有量が０．００１質量％以上であれば、ポリエステルフィルムに十分な易滑性が得られ、５質量％以下であれば、ポリエステルフィルムの透明性が保持される。
なお、ポリエステルフィルムが３層以上の積層構成である場合は、中間層には粒子を含有せず、表層のポリエステル層のみに粒子を含有することが好ましい。その場合は、表層中の粒子の含有量が上記の範囲であることが好ましい。

ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階又はエステル交換反応終了後、粒子を添加し重縮合反応を進めてもよい。
また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールあるいは水等に分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、又は混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法等によって行われる。

〈その他の成分〉
また、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル層中には、上述の粒子以外に必要に応じて従来公知の酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができる。

〈ポリエステルフィルムの製造方法〉
ポリエステルフィルムの製造方法について具体的に説明するが、該製造方法は以下の製造例に何ら限定されるものではない。
まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法及び／又は液体塗布密着法が好ましく採用される。
次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロール又はテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０℃程度であり、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通常２．５〜７倍程度であり、好ましくは３．０〜６倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する延伸温度は、通常７０〜１７０℃程度であり、延伸倍率は通常３．０〜７倍程度であり、好ましくは３．５〜６倍である。
そして、引き続き通常１８０〜２７０℃程度の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。
上記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うことが好ましい。

また、ポリエステルフィルム製造に関しては同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は、前記の未延伸シートを通常７０〜１２０℃程度、好ましくは８０〜１１０℃で温度コントロールされた状態で機械方向（縦方向）及び幅方向（横方向）に同時に延伸し配向させる方法である。延伸倍率は面積倍率で、通常４〜５０倍程度であり、好ましくは７〜３５倍であり、より好ましくは１０〜２５倍である。
そして、引き続き通常１７０〜２５０℃程度の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。
上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を採用することができる。

さらに上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法（インラインコーティング）を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。

離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、好ましくは６〜２５０μｍであり、より好ましくは１２〜１８８μｍである。

〈固有粘度〉
ポリエステルの固有粘度は、フィルム成形性の観点から、好ましくは０．６０〜０．８０ｄＬ／ｇである。
本発明においてポリエステルの固有粘度は、例えば全自動溶液粘度計を用いて測定することができるが、詳しくは実施例において後述する方法により測定することができる。

（塗布層）
離型フィルムには、ポリエステルフィルムと離型層との塗膜密着性を良好とするために塗布層を形成することができる。
塗布層に関しては上述の塗布延伸法（インラインコーティング）を用いてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用してもよく、何れの手法を採用してもよい。

塗布層には必要に応じて消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機系潤滑剤、有機系高分子粒子、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料等を含有させることができる。

（離型層）
離型フィルムを構成する離型層とは、離型性を有する層のことをいう。
離型性の程度は離型フィルムの用途により適宜特定されるが、例えば、アクリル系粘着剤層と離型層との剥離力（Ｆ）が、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離で、通常５〜５００ｍＮ／ｃｍ程度だが、好ましくは１０〜２０ｍＮ／ｃｍであり、より好ましくは１０〜１６ｍＮ／ｃｍである。該剥離力が１０ｍＮ／ｃｍ以上であれば、剥離する必要がない状況において容易に離型フィルムが剥離する不具合が生じるおそれが少なく、２０ｍＮ／ｃｍ以下であれば離型フィルムの剥離が困難になるおそれは少ない。
本発明の離型フィルムの剥離力は、例えば実施例において後述する方法により測定することができる。

〈樹脂成分〉
離型層は、離型性を良好とするために硬化型シリコーン樹脂の硬化物を含有することが好ましい。硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。
硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型・縮合型・紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。
硬化型シリコーン樹脂としては、例えばポリメチルハイドロジェンシロキサン、ポリメチルハイドロジェンシロキサン−ポリメチルシロキサン共重合物等のポリハイドロジェンシロキサン等が挙げられる。

具体的には、信越化学工業（株）製ＫＳ−７７４、ＫＳ−７７５、ＫＳ−７７８、ＫＳ−７７９Ｈ、ＫＳ−８４７Ｈ、ＫＳ−８５６、Ｘ−６２−２４２２、Ｘ−６２−２４６１、Ｘ−６２−１３８７、ＫＮＳ−３０５１、Ｘ−６２−１４９６、ＫＮＳ３２０Ａ、ＫＮＳ３１６、Ｘ−６２−１５７４Ａ／Ｂ、Ｘ−６２−７０５２、Ｘ−６２−７０２８Ａ／Ｂ、Ｘ−６２−７６１９、及びＸ−６２−７２１３；ダウ・コーニング・アジア（株）製ＤＫＱ３−２０２、ＤＫＱ３−２０３、ＤＫＱ３−２０４、ＤＫＱ３−２０５、及びＤＫＱ３−２１０；ＧＥ東芝シリコーン（株）製ＹＳＲ−３０２２、ＴＰＲ−６７００、ＴＰＲ−６７２０、ＴＰＲ−６７２１、ＴＰＲ６５００、ＴＰＲ６５０１、ＵＶ９３００、ＵＶ９４２５、ＸＳ５６−Ａ２７７５、ＸＳ５６−Ａ２９８２、ＵＶ９４３０、ＴＰＲ６６００、ＴＰＲ６６０４、及びＴＰＲ６６０５；東レ・ダウコーニング（株）製ＳＲＸ３５７、ＳＲＸ２１１、ＳＤ７２２０、ＬＴＣ７５０Ａ、ＬＴＣ７６０Ａ、ＳＰ７２５９、ＢＹ２４−４６８Ｃ、ＳＰ７２４８Ｓ、及びＢＹ２４−４５２等の市販品が挙げられる。
さらに離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。

〈離型層を設ける方法〉
離型フィルムを構成する離型層は上述の塗布延伸法（インラインコーティング）等のフィルム製造工程内において、ポリエステルフィルム上に設けられてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用しても良く、何れの手法を採用してもよい。
塗布延伸法（インラインコーティング）については以下に限定するものではないが、例えば、逐次二軸延伸においては特に１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前にコーティング処理を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に離型層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に離型層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。

ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。塗工方式に関しては「コーティング方式」槇書店、原崎勇次著、１９７９年発行に記載例がある。

離型層を形成する際の硬化条件に関しては特に限定されるわけではなく、オフラインコーティングにより離型層を設ける場合、通常１００〜２００℃程度で３〜４０秒間程度、好ましくは１２０〜１８０℃で３〜４０秒間を目安として熱処理を行うのがよい。また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。なお、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、従来から公知の装置、及びエネルギー源を用いることができる。

離型層の塗工量（乾燥後）は塗工性の面から、好ましくは０．００５〜１ｇ／ｍ^２であり、より好ましくは０．００５〜０．５ｇ／ｍ^２であり、さらに好ましくは０．０１〜０．２ｇ／ｍ^２である。塗工量が０．００５ｇ／ｍ^２以上であれば、塗工性の面からの安定性を有し、均一な塗膜を得ることができる。１ｇ／ｍ^２以下であれば、離型層自体の塗膜密着性及び硬化性等が低下するおそれが少なくなる。

（その他の層）
本発明の離型フィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するが、ポリエステルフィルムに離型層が設けられていない面がある場合、当該離型層が設けられていない面には本発明の主旨を損なわない範囲において、接着層、帯電防止層、オリゴマー析出防止層等の塗布層を設けてもよい。
離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予め、コロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。

［レーザー加工品の製造方法］
また本発明は、上述のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含む、レーザー加工品の製造方法に係るものである。
上述のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品に被覆したままレーザー光照射により加工しても、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんど生じないため被加工品の汚染を抑制することができる。また、上述のレーザー加工用離型フィルムは、離型フィルムとしての性能を有しているため、レーザー加工時において離型フィルムが被加工品から剥離することなく、またレーザー加工後に加工品から離型フィルムを容易に剥離することができる。

（光学部材）
上記製造方法が奏する効果から、被加工品として異物の混入を嫌う光学部材が好適である。
光学部材としては、例えば、スマートフォン、タブレット及びパソコン等のＬＣＤ用偏光板、位相差板等のＬＣＤ構成部材製造用、ＰＤＰ構成部材製造用、並びに有機ＥＬ構成部材製造用等の各種ディスプレイ構成部材製造用の他、各種光学用途の部材が挙げられる。

（レーザー光照射）
本発明の離型フィルムは、特に赤外線領域におけるレーザー加工性（切断、マーキング、トリミング、穴あけ等）が良好である。このことから、上記製造方法において被加工品は、好ましくは波長１０００〜１３００ｎｍ、より好ましくは１０６０ｎｍのレーザー光の照射条件で加工されることによって、発明の効果を好適に発揮することができる。また、レーザー光の１パルスあたりのエネルギー密度は、レーザー加工性向上の観点から好ましくは１００〜８００ｍＪ／ｃｍ^２である。また、レーザー光の繰り返し周波数は、レーザー加工性向上の観点から好ましくは６０〜１５０Ｈｚである。
離型フィルムが被加工品の片面に被覆されている場合、レーザー光照射は、離型フィルム側からでも被加工品側からでもよいが、フィルム由来の異物発生低減の観点から被加工品側から照射することが好ましい。

（粘着層）
レーザー加工用離型フィルムは、被加工品の少なくとも片面に粘着層を介して、被加工品と離型フィルムの離型層とが対向するように被覆することができる。粘着層を構成する粘着剤は、特に限定されないが、光学部材との接着性や低アウトガス性の観点からアクリル系粘着剤を使用することが好ましい。
アクリル系粘着剤は、官能基含有モノマーと、アクリル酸エステル、メタアクリル酸エステル等の他のモノマーとを共重合して得られるアクリル系共重合体が主成分として構成されるものが挙げられる。粘着剤には、必要に応じて溶媒、架橋剤、粘着付与剤、充填剤、着色剤、酸化防止剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤等をさらに含んでいてもよい。

以下、本発明を実施例及び比較例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

本発明で用いた測定法及び評価法は次のとおりである。
（１）ポリエステルの固有粘度（ｄＬ／ｇ）の測定
ポリエステル（粒子を含む場合は粒子を除去したポリエステル）１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（質量比）の混合溶媒１００ｍｌを加えて溶解させ、全自動溶液粘度計（センテック社製、「ＤＴ５５３」）を用いて３０℃で測定した。
（２）シリカ粒子の平均粒径（ｄ_５０：μｍ）の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置（（株）島津製作所社製、「ＳＡ−ＣＰ３型」）を使用して測定した等価球形分布における積算（質量基準）５０％の値を平均粒径とした。

（３）離型フィルムの剥離性（離型性）評価
実施例及び比較例で得られた離型フィルムの離型層表面に、両面粘着テープ（日東電工（株）製、「Ｎｏ．３１Ｂ」、アクリル系粘着剤）の片面を貼り付けた後、５０ｍｍ×３００ｍｍのサイズにカットし、室温にて１時間放置後、引張試験機（（株）インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離で、剥離力を測定し、評価した。
なお、表１中に示したカッコ内の数値は剥離力（ｍＮ／ｃｍ）の測定値である。
（評価基準）
＜３００ｍｍ／分での剥離力＞
○：１０〜２０ｍＮ／ｃｍの範囲（適切な剥離力）。
×：１０ｍＮ／ｃｍより小さい、もしくは、２０ｍＮ／ｃｍより大きい。

（４）光線透過率の測定
実施例及び比較例で得られた離型フィルムについて、分光光度計（（株）日立ハイテクフィールディング製、「Ｕ−３３１０」）により、波長１１００ｎｍでの光線透過率を測定し、評価した。
なお、表１中に示したカッコ内の数値は光線透過率（％）の測定値である。
（評価基準）
○：光線透過率が１０％以下。
△：光線透過率が１０％を越えて２０％以下。
×：光線透過率が２０％を越える。

（５）離型フィルムのレーザー加工性評価（実用特性代用評価）
実施例及び比較例で得られた離型フィルムの離型面上に粘着剤（東洋インキ社製、「オリバインＢＰＳ６４２１」、溶剤型アクリル系粘着剤）を塗布した後、ガラスパネル（厚み：０．３３ｍｍ）と貼り合わせた状態で、ガラスパネル側から、ＹＡＧレーザー（エネルギー密度：６００ｍＪ／ｃｍ^２、周波数：２０Ｈｚ、波長：１０６０ｎｍ）を照射し、ガラスパネルを６０ｍｍ×１３０ｍｍサイズに切断した。切断面を光学顕微鏡により観察し、評価した。
（評価基準）
○：離型フィルム由来の異物付着がない。
△：離型フィルム由来の異物が極微量（異物の存在を目視で確認するのが困難）付着している。
×：離型フィルム由来の異物が明瞭（異物の存在を目視で容易に確認可能）に付着している。

〈ポリエステルの製造〉
［製造例１］（ポリエステルＡ）
ジメチルテレフタレート１００質量部、エチレングリコール６０質量部及び酢酸マグネシウム・４水塩０．０９質量部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、エチレングリコールスラリーエチルアシッドフォスフェート０．０４質量部、三酸化アンチモン０．０３質量部、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻し、固有粘度０．６１ｄＬ／ｇのポリエステルＡを得た。

［製造例２］（ポリエステルＢ）
ジメチルテレフタレート１００質量部、エチレングリコール６０質量部及び酢酸マグネシウム・４水塩０．０９質量部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、エチレングリコールスラリーエチルアシッドフォスフェート０．０４質量部、三酸化アンチモン０．０３質量部、平均粒径１．５μｍのシリカ粒子を０．０１質量部添加した後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻し、固有粘度０．６１ｄＬ／ｇのポリエステルＢを得た。

［製造例３］（ポリエステルＣ）
ポリエステルＡ中に酸化タングステン微粒子（富士色素（株）社製：ＦＵＪＩ−ＥＬ ＭＷＯ３ ♯４３３）を１０質量部添加する以外は製造例１と同様にして、固有粘度０．６２ｄＬ／ｇのポリエステルＣを得た。

［製造例４］（ポリエステルＤ）
ポリエステルＡ中に酸化タングステン微粒子（富士色素（株）社製：ＦＵＪＩ−ＥＬ ＭＷＯ３ ♯４０１）を１０質量部添加する以外は製造例１と同様にして、固有粘度０．６２ｄＬ／ｇのポリエステルＤを得た。

〈離型フィルムの製造〉
［実施例１］
ポリエステルＡ、Ｂをそれぞれ９０質量％、１０質量％の割合で混合した混合原料を最外層（表層）の原料とし、ポリエステルＡ、Ｃをそれぞれ９０質量％、１０質量％の割合で中間層の原料として、２台の押出機に各々を供給した。その後、各々２８５℃で溶融した後、４０℃に設定した冷却ロール上に、２種３層（表層／中間層／表層）の層構成で共押出しし、冷却固化させて未延伸シートを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８５℃で縦方向に３．４倍延伸した後、テンターに導き、横方向に１２０℃で４．３倍延伸し、２２５℃で５秒間熱処理を行った後、横方向に３％弛緩し、厚さ３８μｍ（表層２μｍ、中間層３４μｍ）のポリエステルフィルムを得た。フィルムは両端部をスリットして１０００ｍｍ幅で１２０００ｍ長のフィルムロールとした。
その後、下記離型剤組成からなる離型剤を、塗布量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ^２になるようにリバースグラビアコート方式により塗設し、１２０℃、３０秒間熱処理した後、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの評価結果を表１に示す。

（離型剤組成）
・硬化型シリコーン樹脂（ＫＳ−８４７Ｈ：信越化学工業（株）製、付加型シリコーン樹脂）：９９質量％
・硬化剤（ＰＬ−５０Ｔ：信越化学工業（株）製）：１質量％
上記組成からなる離型剤を、メチルエチルケトン／トルエン混合溶媒（混合比率は１：１）で希釈し、濃度２質量％の塗布液を作成した。

［実施例２〜実施例６及び比較例１］
表１に示すポリエステルフィルムの原料配合とした以外は、実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの評価結果を表１に示す。
［比較例２］
離型層を設けない以外は、実施例１と同様にして製造し、ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表１に示す。

本発明の離型フィルムは、被加工品に被覆したままレーザー光照射により加工しても、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんど生じないため、例えば、各種光学部材に好適であり、また光学部材をレーザー光照射で加工してレーザー加工品を製造する方法に好適に利用できる。

Claims (6)

1. レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するレーザー加工用離型フィルム。
2. 前記レーザー吸収剤が、アンチモン、インジウム、亜鉛及びタングステンから選ばれる１種又は２種以上の金属元素を含む金属化合物である、請求項１に記載のレーザー加工用離型フィルム。
3. 前記ポリエステルフィルム中の前記レーザー吸収剤の含有量が、０．１〜３質量％である、請求項１又は２に記載のレーザー加工用離型フィルム。
4. 光線透過率が、波長１０００〜１３００ｎｍ領域において２０％以下である、請求項１〜３のいずれかに記載のレーザー加工用離型フィルム。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含むレーザー加工品の製造方法。
6. 前記被加工品が、光学部材である、請求項５に記載のレーザー加工品の製造方法。