JP2019094232A - 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 - Google Patents
石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019094232A JP2019094232A JP2017225352A JP2017225352A JP2019094232A JP 2019094232 A JP2019094232 A JP 2019094232A JP 2017225352 A JP2017225352 A JP 2017225352A JP 2017225352 A JP2017225352 A JP 2017225352A JP 2019094232 A JP2019094232 A JP 2019094232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- outer layer
- raw material
- quartz
- ppm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
上記方法において、シリコン融液を収容するためのルツボには、一般に、内層が高純度の石英ガラスからなり、外層が内層よりも純度が低く、安価な、天然石英ガラスからなる石英ガラスルツボが用いられている。
例えば、特許文献1には、少なくともルツボの外周部分にアルミニウム濃度5〜45ppmおよびリチウム濃度がアルミニウム濃度の2%以上の石英粉を用いて製造されたルツボであって、1500℃での粘度が9.6×109ポイズ以上であるルツボが示されている。
このしわの発生について、図1に基づいて具体的に説明する。
図1に示すように、石英ガラスルツボ1は、高純度の石英ガラスからなる内層2と、石英原料粉にアルミニウム(Al)を添加し、粘性を高めた天然石英ガラスからなる外層3を備え、開口端部から直胴部4、湾曲部5、底部6が形成され、全体形状として有底円筒状に形成されている。
そして、この石英ガラスルツボ1が長時間にわたって高温下に曝されると、図1に示すように、直胴部4の下部から湾曲部5の領域における石英ガラスルツボ1の内表面に、多数のしわ(凹凸)が発生する。
その結果、石英ガラスルツボの外層の石英原料粉にアルミニウム(Al)を添加し石英ガラスの粘性を高めたとしても、内層と外層の粘性の差が大きい場合には、粘性の小さい内層の沈み込み(図1における矢方向への移動)が大きくなり、直胴部の下部から湾曲部の領域において多数のしわ(凹凸)が発生することを知見した。
また、このしわの発生により結晶化した内表面では亀裂幅(クラックの幅:クラックの長さ方向(長手方向)ではなく、幅方向(短手方向)の幅)が大きくなりやすく、シリコン融液と石英ガラス内表面との反応により発生したガスが溜りやすくなる。溜まったガスが離脱し、シリコン融液内に移動して固液界面に到達し、シリコン単結晶内に取り込まれ、エアポケットとなることを知見した。
また、前記しわ(凹凸)の発生によって生じる亀裂(クラック)も抑制でき、またその幅をより小さくできる。
このように、シリコン融液と石英ガラス内表面との反応により発生したガスの溜りとなる亀裂(クラック)が抑制され、その結果、シリコン単結晶内のエアポケットも抑制される。
前記内層は、シリコン融液中への不純物の拡散を抑制するため、高純度の石英ガラスで形成される。そのため、Al濃度は10ppm以下である必要がある。
また、前記内層と前記外層の1400℃における粘性差が0.8×10-10(poise)以下になすためには、前記外層のAl濃度が7ppm以上20ppm以下である必要がある。
外層のAl濃度が7ppm未満の場合には、高温下でのルツボの変形抑制できないため、好ましくない。一方、外層のAl濃度が20ppmを超える場合には、前記内層と前記外層の1400℃における粘性差を0.8×10-10(poise)以下にできず、直胴部の下部から湾曲部の内表面領域において多数のしわ(凹凸)が発生するため、好ましくない。
本発明にかかる石英ガラスルツボは、高純度の石英ガラスからなる内層と、天然石英ガラスからなる外層を有するシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボであって、前記内層と前記外層の1400℃における粘性差が0.8×10-10(poise)以下であることを特徴としている。
Alは石英原料に比較的多く含まれている元素である、一方、Na、Kは粘性が低下し、ルツボが変形を生じやすくなるため、濃度が低いことが好ましい。また、前記高純度石英原料粉に含まれる不純物のうち、特に、Al,Na,K又はLiが石英ガラス中で拡散しやすく、ブラウンモールドの生成、さらに、ルツボ内表面の荒れや剥離に大きな影響を及ぼす。このため、これらの不純物をほとんど含まないことが好ましい。
即ち、内層のAl濃度が10ppm以下、また他の不純物、例えば、Na,K,Liの濃度が1ppm未満であることが好ましい。
前記高純度石英原料粉は、合成石英粉末でも、天然石英粉末を合成石英粉末と同等レベルまで高純度化したものであってもよい。合成石英粉末としては、例えば、シリコンアルコキシドの加水分解等により合成されたものを用いることができ、また、天然石英粉末としては、例えば、水晶等の天然石英原料を用いることができる。
前記アルミニウム(Al)は、外層のAl濃度が7ppm以上20ppm以下となるように天然石英原料粉末に添加される。
一方、前記天然石英原料粉への前記アルミニウム(Al)の添加量が多く、外層のAl濃度が20ppmを超える場合には、前記内層と前記外層の1400℃における粘性差を0.8×10-10(poise)以下にできず、直胴部の下部から湾曲部の内面領域において多数のしわ(凹凸)が発生するため、好ましくない。
その理由は、内層と外層の粘性差が大きい場合には、図1の矢印Xに示すように、外層に対して内層が僅かに下方へ移動する(沈み込み)。一方、外層は粘性が高いために(結晶化するために)、下方へ移動はない(沈み込みはない)。その結果、内層と外層の移動量(沈み込み量)に差が生じ、更に湾曲部、底面部のおける内層の沈み込み量が直胴部に比べて小さいために、直胴部の下部から湾曲部の内表面の領域において多数のしわ(凹凸)が発生するものと推察される。特に、ルツボ内表面(内層表面)に結晶化促進剤が添加されている場合は、よりしわが生じやすくなる。
また、外層の厚さは、特に限定されるものではないが、同様の観点から、3〜28mm程度であることが好ましい。
また、内層の厚さは、特に限定されるものではないが、同様の観点から、2mm程度であることが好ましい。
以下に、具体的な製造方法の一例を説明するが、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法は、これに限定されるものではない。
まず、内層を形成する高純度石英原料粉の不純物濃度を測定し、Al,Na,K,Liの濃度が10ppm未満となる高純度石英原料を選択する。尚、前記したように、内層のAl濃度が10ppm以下、また他の不純物、例えば、Na,K,Liの濃度が1ppm未満であることが好ましい。
このような高純度石英原料粉を用いることにより、内層におけるAl濃度を10ppm以下になすことができる。また他の不純物、例えば、Na,K,Liの濃度を1ppm未満となすことができる。
前記Al成分は、硝酸アルミニウム九水和物(Al(NO3)3・9H2O)の水溶液として、天然石英原料粉にそれぞれ添加されることが好ましい。
各水溶液は天然石英原料粉の量に応じて、できるだけ均一に添加することができるように適宜濃度調整し、天然石英原料粉に均一に添加した後、これを乾燥して、再度粉末化して使用することが好ましい。
このような硝酸塩の水溶液の添加によれば、Alの濃度調整を均一かつ容易に行うことができる。また、過剰の水分及び硝酸分は、乾燥、加熱により容易に除去することができ、取扱い容易である。
次いで、前記ルツボ成形用型内の外層の成形体の内表面全体に高純度石英原料粉を供給し、遠心力及び機械的押圧によって、前記外層の成形体の内側に内層を成形する。
そして、上記のようにして得られた2層構造のルツボ成形体を、アーク溶融法により全体をガラス化することにより、外層が気泡を含む天然石英ガラスであり、内層が気泡を含まない高純度の石英ガラスにより構成された石英ガラスルツボを製造する。
内層を形成する高純度石英原料粉として、Al,Na,K,Liの濃度が1ppm未満の合成石英原料粉ものを用い、また外層を形成する石英原料粉として、Al濃度が12ppm(Al添加量6ppm)の天然石英原料粉末を用いた。
そして、これら高純度石英原料粉、石英原料粉を用いて、一般的な回転モールド法によりシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボを製造した。
尚、エアポケットは、シリコンインゴットを約1mm厚にスライスし、ウェーハを作成し、次にウェーハの裏面から赤外光を照射し,透過光を表面側のカメラで撮像、画像処理(2値化および形状判定)することによって、エアポケットを測定した。
まず、未使用の石英ガラスルツボを4×4×40mmに切断、加工し、鏡面研磨し、内層サンプル及び外層サンプルを製作する。そして、測定は、各サンプルに1400℃で10分間、荷重をかけ変位量を測定して粘性値を算出した。そして、内層サンプル及び外層サンプルの粘性値から粘性差を求めた。
このしわ発生部の表面粗さは、使用した石英ルツボからしわ発生部分を切り出し、サンプルとした。このしわ発生部の表面粗さについては、表面粗さ計にて基準長さと評価長さを設定し、サンプルの表面をなぞり、触針の上下運動を電気的に検出する方法で測定した。
クラックの表面幅は、マイクロスコープにてサンプル表面部分を拡大してクラック部分の幅を計測する方法で測定した。その結果を表1に示す。
尚、図2に示すように、クラックXの幅は、図2に示すように、クラックの長さ方向(長手方向)ではなく、幅方向(短手方向)の幅tを測定した。
内層を形成する高純度石英原料粉として、Al,Na,K,Liの濃度が10ppm未満の天然石英原料粉末を用い、また外層を形成する石英原料粉として、Al濃度が8.5ppm(Al添加量2.5ppm)の天然石英原料粉末を用いた。そして、これら高純度石英原料粉、石英原料粉を用いて、一般的な回転モールド法によりシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボを製造した。
そして、実施例1と同様に、粘性値、単位体積当たりのエアポケット発生個数、内層、外層の粘性、しわ発生部の表面粗さ、クラックの表面幅を測定した。その結果を表1に示す。
内層を形成する高純度石英原料粉として、Al,Na,K,Liの濃度が1ppm未満の合成石英原料粉末を用い、また外層を形成する石英原料粉として、Al濃度が10ppm(Al添加量4ppm)、Na濃度が約0.6ppm、K濃度が約0.3ppm、Li濃度が約0.1ppmでアルカリ総量が1ppmの天然石英原料粉末を用いた。
そして、これら高純度石英原料粉、石英原料粉を用いて、一般的な回転モールド法によりシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボを製造した。
そして、実施例1と同様に、粘性値、単位体積当たりのエアポケット発生個数、内層、外層の粘性、しわ発生部の表面粗さ、クラックの表面幅を測定した。その結果を表1に示す。
内層を形成する高純度石英原料粉として、Al,Na,K,Liの濃度が1ppm未満の合成石英原料粉末を用い、また外層を形成する石英原料粉として、Na濃度が約2ppm、K,Liの各濃度が約1ppmでアルカリ総量が4ppm、Alを添加しない天然石英原料粉末を用いた。この天然石英原料のAl濃度は、6ppmであった。
そして、これら高純度石英原料粉、石英原料粉を用いて、一般的な回転モールド法によりシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボを製造した。
そして、実施例1と同様に、粘性値、単位体積当たりのエアポケット発生個数、内層、外層の粘性、しわ発生部の表面粗さ、クラックの表面幅を測定した。その結果を表1に示す。
内層を形成する高純度石英原料粉として、Al,Na,K,Liの濃度が1ppm未満の合成石英原料粉末を用い、また外層を形成する石英原料粉として、Al添加量が15ppmの天然石英原料粉末を用いた。このときの天然石英原料のAl濃度は、21ppmであった。
そして、これら高純度石英原料粉、石英原料粉を用いて、一般的な回転モールド法によりシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボを製造した。
そして、実施例1と同様に、粘性値、単位体積当たりのエアポケット発生個数、内層、外層の粘性、しわ発生部の表面粗さ、クラックの表面幅を測定した。その結果を表1に示す。
2 内層
3 外層
4 直胴部
5 湾曲部
6 底部
X 内層の移動方向(沈み込み方向)
Claims (3)
- 高純度の石英ガラスからなる内層と、石英原料粉にアルミニウム(Al)を添加し、粘性を高めた天然石英ガラスからなる外層を有するシリコン単結晶引上石英ガラスルツボであって、前記内層と前記外層の1400℃における粘性差が0.8×10-10(poise)以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 前記内層のAl濃度が10ppm以下であり、かつ、前記外層のAl濃度が7ppm以上20ppm以下であることを特徴とする請求項1記載の石英ガラスルツボ。
- 高純度の石英ガラスからなる内層と、天然石英ガラスからなる外層を有するシリコン単結晶引上用の石英ガラスルツボの製造方法であって、
前記内層を形成するための石英原料粉中にAl成分を添加することなく、かつ前記外層を形成するための石英原料粉中にAl成分を添加し、
前記内層のAl濃度が10ppm以下であり、かつ、前記外層のAl濃度が7ppm以上20ppm以下に調整されることを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017225352A JP7051392B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017225352A JP7051392B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019094232A true JP2019094232A (ja) | 2019-06-20 |
JP7051392B2 JP7051392B2 (ja) | 2022-04-11 |
Family
ID=66970918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225352A Active JP7051392B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7051392B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006016240A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Japan Siper Quarts Corp | 高粘度および高純度の石英ガラス材とその製造方法および用途 |
JP2012116716A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2014005154A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
-
2017
- 2017-11-24 JP JP2017225352A patent/JP7051392B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006016240A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Japan Siper Quarts Corp | 高粘度および高純度の石英ガラス材とその製造方法および用途 |
JP2012116716A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2014005154A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7051392B2 (ja) | 2022-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI410535B (zh) | 矽單晶拉引用石英玻璃坩堝 | |
EP2484813B1 (en) | Composite crucible, method for producing same and use thereof | |
JP5574534B2 (ja) | 複合ルツボ | |
JP5022519B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ | |
JP6973554B2 (ja) | 石英ガラスルツボ | |
JP2010105880A (ja) | 多層構造を有する石英ガラスルツボ | |
JP4233059B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP4975012B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP4994568B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
JP2012116716A (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2010126423A (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2005343774A (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2015127287A (ja) | 石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2005231986A (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2010168240A (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP6351534B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ | |
JP2019094232A (ja) | 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法 | |
JP6324837B2 (ja) | 単結晶シリコン引き上げ用石英ガラスるつぼの製造方法 | |
JP5610570B2 (ja) | シリカガラスルツボ、シリコンインゴットの製造方法 | |
JP2012136398A (ja) | シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボ | |
JP5611904B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP2011121843A (ja) | 単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法 | |
TWI762073B (zh) | 石英玻璃坩堝及其製造方法 | |
JP7014679B2 (ja) | 石英ガラスルツボ | |
JP2020026362A (ja) | 石英ガラスるつぼ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210803 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220330 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7051392 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |