JP2015127287A - 石英ガラスルツボ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英ガラスルツボ1は、上端に開口部を有する円筒状の直胴部10aと、直胴部10aの下端に形成されたコーナー部10cと、コーナー部10cを介して直胴部10aに接続された底部10bとを有している。また、石英ガラスルツボ1は、ルツボの外層を構成する気泡を内包する不透明層11と、ルツボの内層を構成する気泡が除去された透明層12とを備えている。不透明層11は、外表面Soから内表面Siに向かって気泡の平均直径が徐々に小さくなる気泡分布を有する。
【選択図】図1
Description
10a 直胴部
10b 底部
10c コーナー部
10d 開口部
11 不透明層
11a 不透明層の外側領域
11b 不透明層の内側領域
12 透明層
20 石英粉
20a 第1の天然石英粉
20b 第2の天然石英粉
20c 合成石英粉
21 モールド
22 アーク電極
23 通気孔
Si ルツボの内表面
So ルツボの外表面
Claims (5)
- 上端に開口部を有する円筒状の直胴部と、前記直胴部の下端に形成されたコーナー部と、前記コーナー部を介して前記直胴部に接続された底部とを有する石英ガラスルツボであって、
ルツボの外表面側に設けられた気泡を内包する不透明層と、ルツボの内表面側に設けられた気泡が除去された透明層とを備え、
少なくとも前記直胴部における前記不透明層は、前記外表面から前記内表面に向かって気泡の平均直径が徐々に小さくなる気泡分布を有することを特徴とする石英ガラスルツボ。 - 前記直胴部及び前記コーナー部における前記不透明層が、前記外表面から前記内表面に向かって気泡の平均直径が徐々に小さくなる気泡分布を有する、請求項1に記載の石英ガラスルツボ。
- 前記不透明層の厚さ方向の中点よりも前記外表面側に位置する外側領域内における気泡の平均直径は0.3〜0.5mmであり、前記中点よりも前記内表面側に位置する内側領域内における気泡の平均直径は0.1〜0.3mmであって前記外側領域内における気泡の平均直径よりも小さい、請求項1又は2に記載の石英ガラスルツボ。
- 上端に開口部を有する円筒状の直胴部と、前記直胴部の下端に形成されたコーナー部と、前記コーナー部を介して前記直胴部に接続された底部とを有する石英ガラスルツボの製造方法であって、
前記石英ガラスルツボの外形に合わせた形状を有するモールドを回転させながらその内表面に石英粉を堆積させる工程と、
前記石英粉の堆積層をアーク溶融によりガラス化するとともに、前記モールドに設けられた通気孔から脱気することにより、ルツボの外表面側に設けられた気泡を内包する不透明層と、ルツボの内表面側に設けられた気泡が除去された透明層とを有する石英ガラスルツボを形成する工程とを備え、
前記石英粉を堆積させる工程は、
前記モールドの表面に第1の平均粒径を有する第1の天然石英粉を堆積させる工程と、前記第1の天然石英粉の堆積層の表面に前記第1の平均粒径よりも小さい第2の平均粒径を有する第2の天然石英粉を堆積させる工程と、前記第2の天然石英粉の堆積層の表面に前記第2の平均粒径よりも小さい第3の平均粒径を有する第3の天然石英粉を堆積させる工程を含み、
前記不透明層は、前記外表面から前記内表面に向かって気泡の平均直径が徐々に小さくなる気泡分布を有することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。 - 前記第1の平均粒径は200〜400μmであり、前記第2の平均粒径は100〜200μmであり、前記第3の平均粒径は50〜150μmである、請求項4に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019172514A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 三菱ケミカル株式会社 | 合成シリカガラス粉 |
JP2020023411A (ja) * | 2018-08-07 | 2020-02-13 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボおよび石英ガラスルツボの製造方法 |
JP2020196651A (ja) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | クアーズテック株式会社 | 石英ガラスルツボの製造方法 |
CN114481299A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 内蒙古鑫晶新材料有限公司 | 一种石英坩埚及其制作方法 |
WO2022131047A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ及びその製造方法並びにシリコン単結晶の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08169798A (ja) * | 1995-04-04 | 1996-07-02 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ |
JP2003034593A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法及び装置 |
JP2010105880A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Japan Siper Quarts Corp | 多層構造を有する石英ガラスルツボ |
JP2010241623A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ |
JP2012116713A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボ |
-
2013
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08169798A (ja) * | 1995-04-04 | 1996-07-02 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ |
JP2003034593A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法及び装置 |
JP2010105880A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Japan Siper Quarts Corp | 多層構造を有する石英ガラスルツボ |
JP2010241623A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ |
JP2012116713A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019172514A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 三菱ケミカル株式会社 | 合成シリカガラス粉 |
JP7243027B2 (ja) | 2018-03-28 | 2023-03-22 | 三菱ケミカル株式会社 | 合成シリカガラス粉 |
JP2020023411A (ja) * | 2018-08-07 | 2020-02-13 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボおよび石英ガラスルツボの製造方法 |
JP7150250B2 (ja) | 2018-08-07 | 2022-10-11 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボおよび石英ガラスルツボの製造方法 |
JP2020196651A (ja) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | クアーズテック株式会社 | 石英ガラスルツボの製造方法 |
JP7326030B2 (ja) | 2019-06-04 | 2023-08-15 | モメンティブ・テクノロジーズ・山形株式会社 | 石英ガラスルツボの製造方法 |
WO2022131047A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ及びその製造方法並びにシリコン単結晶の製造方法 |
CN114481299A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 内蒙古鑫晶新材料有限公司 | 一种石英坩埚及其制作方法 |
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