JP2019075541A - 片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置 - Google Patents

片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ディスプレイに用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬する産業現場において振動の減衰に無駄に長引く時間を短縮することにより、作業効率の向上はもとより、生産力の増進に大きく寄与することができる片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供する。【解決手段】カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有する四角パイプ１０と、四角パイプの表面に接着される接着部材２０と、四角パイプの片面と同じ大きさを有するものであって、前記接着部材２０の表面に接着可能なように形成されるダンピングプレート３０と、を備え、前記四角パイプ１０の上面又は下面の表面に前記接着部材２０の片面を貼り付け、前記接着部材２０の表面に前記ダンピングプレート３０を接着する。【選択図】図２

Description

本発明は、片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰構造に係り、更に詳しくは、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬するのに用いられるカセットに取り付けられるサポートバーの振動を減衰させて、作業時間の削減を図って生産力を増進させることのできる片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造に関する。
一般に、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板は、外部の僅かな衝撃にも損傷を受ける虞があるため、間隔をあけて収納し得る基板積載用カセットにより保管されたり運搬されたりする。
この種の前記カセットは、四角フレームを組み、フレームの一方の側に多数本の垂直バーを並べて立て、垂直バーには等間隔で複数の層のサポートバーが継合されて前記ガラス基板を積層するように形成される。
このようなタイプのカセットに設けられるサポートバーは、一方の側のみが支持される片持ち梁状であって、長さが１．５〜４．０ｍ以上であり、外部の衝撃により振動が発生するが、特に、積載された基板を取り外すときに、過度な振動が発生すれば、使用可能な振幅（上下ｌｍｍ以内）に減衰されるまで約３０〜４０秒かかるため、次の段階の作業が遅滞されてしまうという問題を抱えている。
上述した問題を解消するために、本出願人は、サポートバーを様々な素材から製作する実験を行ったが、満足のいく結果が得られなかった。このため、各物質（物体）には固有の振動数があるということに着目して、両物体の結合により固有振動数を打ち消すことができるものと判断して、様々な素材の四角パイプと、ダンピングプレート薄板及び前記両物質を貼り合わせるのに最も好適な物性を有する接着剤を選択するための研究を重ねた。
大韓民国特許第１０−０８０４３１３号公報 大韓民国特許第１０−１３００６８８号公報
上述した問題を解消するための本発明の目的は、四角パイプと、接着部材及びダンピングプレートを備える片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
本発明の他の目的は、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有することを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
本発明の更に他の目的は、四角パイプは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作することを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
本発明の更に他の目的は、四角パイプの一方の側の表面にダンピングプレートを接着するために構成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
本発明の更に他の目的は、ダンピングプレートは、四角パイプの片面と同じ大きさを有するものであって、接着部材の表面に接着可能なように形成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
本発明の更に他の目的は、ダンピングプレートは、四角パイプの材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプがＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレートは、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
発明の更に他の目的は、製作工程は、四角パイプの上面又は下面の表面に接着部材の片面を貼り付け、前記接着部材の表面に前記ダンピングプレートを接着し、四角パイプは、一方の側の端部にカセットの垂直バーに結合できるように支持端が形成され、前記支持端の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔が貫通して形成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造を提供することである。
このような目的を達成するための本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、四角パイプと、接着部材及びダンピングプレートを備えることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の四角パイプは、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有することを特徴とする。
本発明の四角パイプは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作することを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の接着部材は、四角パイプの一方の側の表面にダンピングプレートを接着するために構成されることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造のダンピングプレートは、四角パイプの片面と同じ大きさを有するものであって、接着部材の表面に接着可能なように形成されることを特徴とする。
本発明のダンピングプレートは、四角パイプの材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプがＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレートは、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の製作工程は、四角パイプの上面又は下面の表面に接着部材の片面を貼り付け、前記接着部材の表面に前記ダンピングプレートを接着し、四角パイプは、一方の側の端部にカセットの垂直バーに結合できるように支持端が形成され、前記支持端の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔が貫通して形成されることを特徴とする。
上述したように、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、同じ素材又は異なる素材を貼り合わせて固有振動数を打ち消して１０秒以内に基準値に達する片持ち梁状のカセットを製作することにより、製品の性能を向上させることで、製品の品質競争力を備えることができる。
また、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、技術的な構成が簡単であり、しかも、製作し易いのに対し、その効果が非常に高いことから、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬する産業現場において振動に伴い無駄に長引く時間を短縮することにより、作業効率の向上はもとより、生産力の増進に大きく寄与することができる。
本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰構造の分解斜視図である。 本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰構造の組み合わせ状態の斜視図である。 従来のカセット用サポートバーの四角パイプの斜視図である。 カセット用サポートバーが組み付けられるカセットの一部を示す斜視参考図である。 本発明の＜実験例１＞の接着部材として用いられる３Ｍ社製の３００ＬＳＥ接着剤の接着強度を示す表である。
本発明は、様々な変更を加えることができ、色々な実施形態を有することができるが、特定の実施形態を図面に例示し、これは、発明について詳細に説明するときに供される。
しかしながら、これは、本発明を特定の実施形態に限定する意図を有するものではなく、本発明の思想及び技術の範囲に含まれるあらゆる変更、均等物ないし代替物を含むものと理解されるべきである。
本発明に用いられた用語や単語は、単に特定の実施形態について説明するために用いられたものであり、本発明を限定しようとする意図を有するものではない。自分の発明を最良の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に踏まえて、本発明の技術的思想に沿う意味及び概念としてのみ解釈されるべきである。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰構造のカセット用サポートバーは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作するが、これは、カセット５に片持ち梁状に結合されてディスプレイ用ガラス基板を運搬及び保管するのに用いられる。このような作業中に大型のガラス基板が取り外されれば、カセット用サポートバーには振動が発生することになる。過度な振動が発生すれば、使用可能な振幅（上下１ｍｍ以内）に減衰されるまで約３０〜４０秒かかるため、作業の待機時間が長くなる。
本発明者は、四角パイプ１０の素材の多様化に工夫を凝らし、接着部材２０もまた様々な範囲の接着強度を有するものを採用し、ダンピングプレート３０の素材として前記四角パイプと同種又は異種の素材を適用する実験を通じて、振動の減衰後に停止される時間を所定の要求条件に符合させた。
本発明の具体的な特徴及び利点は、添付図面に基づく以下の説明からなお一層明らかになる筈である。
図１は、本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰構造の分解斜視図であり、図２は、本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰構造の組み合わせ状態の斜視図であり、図３は、従来のカセット用サポートバーの分解斜視図であり、図４は、カセット用サポートバーが組み付けられるカセットの一部を示す斜視図であり、図５は、本発明の＜実験例１＞の接着部材として用いられる３Ｍ社製の３００ＬＳＥ接着剤の接着強度を示す表である。
図１及び図２に示すように、本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、四角パイプ１０と、接着部材２０及びダンピングプレート３０を備えてなる。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の四角パイプ１０は、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有する。
このような本発明の四角パイプ１０は、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作する
このような本発明の四角パイプ１０は、１．５〜４．０ｍの長さを有し、主として上面及び下面の幅が高さよりも広い四角形状を呈しているが、先端部に向かって進むにつれて所定の割合で断面の高さを減らすテーパー状（ｔ２→ｔ１）の構造である場合もある（図３参照）。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の接着部材２０は、前記四角パイプ１０の一方の側の表面にダンピングプレート３０を接着するために構成される。
このような発明の接着部材２０としては、接着強度が７５〜１２６Ｎ／１００ｍｍの範囲のアクリル系の接着剤を用いることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰構造のダンピングプレート３０は、前記四角パイプ１０の片面と同じ大きさを有するものであって、前記接着部材２０の表面に接着可能なように形成される。
このような本発明のダンピングプレート３０は、四角パイプ１０の材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプ１０がＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレート３０は、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなる。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の製作工程は、前記四角パイプ１０の上面又は下面の表面に前記接着部材２０の片面を貼り付け、前記接着部材２０の表面に前記ダンピングプレート３０を接着してｌ次的に構成される。上述したようにしてｌ次的に製作された四角パイプ１０は、一方の側の端部にカセット５の垂直バー５１に結合可能なように支持端１０１が形成され、前記支持端１０１の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔１０２が貫通して形成される（図４参照）。
＜実験例１＞
１．実験計画
上述した工程により製作される本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰能を測定する実験を行う。
２．実験方法及びその結果
イ．本発明においては、カセット用サポートバーの四角パイプの素材を、１）ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰが混合された素材、２）ＣＦＲＰ、３）ＧＦＲＰの３種に分けて実験を行った。
ロ．四角パイプの長さは、ディスプレイ用ガラス基板が積載できるように３．４ｍにした。
ハ．ダンピングプレートの素材としては、１）金属、２）非鉄金属、３）ＧＦＲＰ、４）ＣＦＲＰを用いた。
ニ．接着部材としては、アクリル系接着剤（３Ｍ社製、３００ＬＳＥ）を用いた（図５参照）。
前記それぞれの素材から上述した工程により製作されたカセット用サポートバーに振動を与え、振幅が１ｍｍ以内に達する時間を測定した。
前記［表１］から明らかなように、振動時間とは、振幅が１ｍｍ以内に達する時間を意味する。本実験は、四角パイプの素材を、ダンピングプレートの種類に応じて、１）ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層した素材、２）ＣＦＲＰ、３）ＧＦＲＰとダンピングプレートの素材と同様にして実験を行ったとき、ダンピングプレートを貼り付けなかったか、或いは、金属及び非鉄金属を貼り合わせたとき、振動時間はそれぞれ４０〜５５及び１０〜２０秒であり、ダンピングプレートの材質をＧＦＲＰ又はＣＦＲＰにして接着したとき、それぞれ８〜１０及び３〜６秒であった。
前記実験の結果、振動減衰の要求条件を満たす素材として、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを混合した素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰ素材を採用した四角パイプに、ＧＦＲＰ製及びＣＦＲＰ製のダンピングプレートをアクリル系接着剤で接着したときに、優れた結果が得られた。
このような本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造の製作工程をまとめると、次の通りである。
１．段取り工程
イ．四角パイプ
−素材：ＣＦＲＰ＋ＧＦＲＰ、ＣＦＲＰ、ＧＦＲＰ
−長さ：３．４ｍ
ロ．ダンピングプレート
−ＧＦＲＰ製又はＣＦＲＰ製の薄板
ハ．接着部材
−接着強度が７５〜１２６Ｎ／１００ｍｍの範囲のアクリル系の接着剤
２．貼り合わせ工程
イ．四角パイプの広幅の一方の側面に接着部材を貼り付ける。
ロ．接着部材を貼り付けた個所にダンピングプレート薄膜を貼り合わせる。
３．振動減衰の実験工程
イ．振動試験機（図示せず）で振動を与えて振動が減衰される時間を測定する。
このような本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、次のような利点を有している。
まず、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、同種の素材又は異種の素材を貼り合わせて固有振動数を打ち消して１０秒以内に基準値に達する片持ち梁状のカセットを製作することにより、製品の性能を向上させることで、製品の品質競争力を備えることができる。
また、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造は、技術的な構成が簡単であり、しかも、製作し易いのに対し、その効果が非常に高いことから、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬する産業現場において振動に伴い無駄に長引く時間を短縮することにより、作業効率の向上はもとより、生産力の増進に大きく寄与することができる。
本発明は、片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰装置に係り、更に詳しくは、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬するのに用いられるカセットに取り付けられるサポートバーの振動を減衰させて、作業時間の削減を図って生産力を増進させることのできる片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置に関する。
一般に、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板は、外部の僅かな衝撃にも損傷を受ける虞があるため、間隔をあけて収納し得る基板積載用カセットにより保管されたり運搬されたりする。
この種の前記カセットは、四角フレームを組み、フレームの一方の側に多数本の垂直バーを並べて立て、垂直バーには等間隔で複数の層のサポートバーが継合されて前記ガラス基板を積層するように形成される。
このようなタイプのカセットに設けられるサポートバーは、一方の側のみが支持される片持ち梁状であって、長さが１．５〜４．０ｍ以上であり、外部の衝撃により振動が発生するが、特に、積載された基板を取り外すときに、過度な振動が発生すれば、使用可能な振幅（上下ｌｍｍ以内）に減衰されるまで約３０〜４０秒かかるため、次の段階の作業が無駄に長引いてしまうという問題を抱えている。
上述した問題を解消するために、本出願人は、 サポートバーを様々な素材から製作する実験を行ったが、満足のいく結果が得られなかった。このため、各物質（物体）には固有の振動数があるということに着目して、両物体の結合により固有振動数を打ち消すことができるものと判断して、様々な素材の四角パイプと、ダンピングプレート薄板及び前記両物質を貼り合わせるのに最も好適な物性を有する接着剤を選択するための研究を重ねた。
大韓民国特許第１０−０８０４３１３号公報 大韓民国特許第１０−１３００６８８号公報
上述した問題を解消するための本発明の目的は、四角パイプと、接着部材及びダンピングプレートを備える片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の他の目的は、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有することを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、四角パイプは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作することを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、四角パイプの一方の側の表面にダンピングプレートを接着するために構成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、ダンピングプレートは、四角パイプの片面と同じ大きさを有するものであって、接着部材の表面に接着可能なように形成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、ダンピングプレートは、四角パイプの材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプがＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレートは、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、製作工程は、四角パイプの上面又は下面の表面に接着部材の片面を貼り付け、前記接着部材の表面に前記ダンピングプレートを接着し、四角パイプは、一方の側の端部にカセットの垂直バーに結合できるように支持端が形成され、前記支持端の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔が貫通して形成されることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置を提供することである。
このような目的を達成するための本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、四角パイプと、接着部材及びダンピングプレートを備えることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の四角パイプは、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有することを特徴とする。
本発明の四角パイプは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作することを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の接着部材は、四角パイプの一方の側の表面にダンピングプレートを接着するために構成されることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置のダンピングプレートは、四角パイプの片面と同じ大きさを有するものであって、接着部材の表面に接着可能なように形成されることを特徴とする。
本発明のダンピングプレートは、四角パイプの材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプがＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレートは、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の製作工程は、四角パイプの上面又は下面の表面に接着部材の片面を貼り付け、前記接着部材の表面に前記ダンピングプレートを接着し、四角パイプは、一方の側の端部にカセットの垂直バーに結合できるように支持端が形成され、前記支持端の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔が貫通して形成されることを特徴とする。
上述したように、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、同じ素材又は異なる素材を貼り合わせて固有振動数を打ち消して１０秒以内に基準値に達する片持ち梁状のカセットを製作することにより、製品の性能を向上させることで、製品の品質競争力を備えることができる。
また、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、技術的な構成が簡単であり、しかも、製作し易いのに対し、その効果が非常に高いことから、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬する産業現場において振動に伴い無駄に長引く時間を短縮することにより、作業効率の向上はもとより、生産力の増進に大きく寄与することができる。
本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰装置の分解斜視図である。 本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰装置の組み合わせ状態の斜視図である。 従来のカセット用サポートバーの四角パイプの斜視図である。 カセット用サポートバーが組み付けられるカセットの一部を示す斜視参考図である。 本発明の＜実験例１＞の接着部材として用いられる３Ｍ社製の３００ＬＳＥ接着剤の接着強度を示す表である。
本発明は、様々な変更を加えることができ、色々な実施形態を有することができるが、特定の実施形態を図面に例示し、これは、発明について詳細に説明するときに供される。
しかしながら、これは、本発明を特定の実施形態に限定する意図を有するものではなく、本発明の思想及び技術の範囲に含まれるあらゆる変更、均等物ないし代替物を含むものと理解されるべきである。
本発明に用いられた用語や単語は、単に特定の実施形態について説明するために用いられたものであり、本発明を限定しようとする意図を有するものではない。自分の発明を最良の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に踏まえて、本発明の技術的思想に沿う意味及び概念としてのみ解釈されるべきである。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰装置のカセット用サポートバーは、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作するが、これは、カセット５に片持ち梁状に結合されてディスプレイ用ガラス基板を運搬及び保管するのに用いられる。このような作業中に大型のガラス基板が取り外されれば、カセット用サポートバーには振動が発生することになる。過度な振動が発生すれば、使用可能な振幅（上下１ｍｍ以内）に減衰されるまで約３０〜４０秒かかるため、作業の待機時間が長くなる。
本発明者は、四角パイプ１０の素材の多様化に工夫を凝らし、接着部材２０もまた様々な範囲の接着強度を有するものを採用し、ダンピングプレート３０の素材として前記四角パイプと同種又は異種の素材を適用する実験を通じて、振動の減衰後に停止される時間を所定の要求条件に符合させた。
本発明の具体的な特徴及び利点は、添付図面に基づく以下の説明からなお一層明らかになる筈である。
図１は、本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰装置の分解斜視図であり、図２は、本発明に係るカセット用サポートバーの振動減衰装置の組み合わせ状態の斜視図であり、図３は、従来のカセット用サポートバーの分解斜視図であり、図４は、カセット用サポートバーが組み付けられるカセットの一部を示す斜視図であり、図５は、本発明の＜実験例１＞の接着部材として用いられる３Ｍ社製の３００ＬＳＥ接着剤の接着強度を示す表である。
図１及び図２に示すように、本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、四角パイプ１０と、接着部材２０及びダンピングプレート３０を備えてなる。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の四角パイプ１０は、カセット用サポートバーに用いられる所定の規格を有する。
このような本発明の四角パイプ１０は、炭素繊維強化樹脂（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ；ＧＦＲＰ）又はＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層して製作する。
このような本発明の四角パイプ１０は、１．５〜４．０ｍの長さを有し、主として上面及び下面の幅が高さよりも広い四角形状を呈しているが、先端部に向かって進むにつれて所定の割合で断面の高さを減らすテーパー状（ｔ２→ｔ１）の構造である場合もある（図３参照）。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の接着部材２０は、前記四角パイプ１０の一方の側の表面にダンピングプレート３０を接着するために構成される。
このような発明の接着部材２０としては、接着強度が７５〜１２６Ｎ／１００ｍｍの範囲のアクリル系の接着剤を用いることを特徴とする。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動減衰装置のダンピングプレート３０は、前記四角パイプ１０の片面と同じ大きさを有するものであって、前記接着部材２０の表面に接着可能なように形成される。
このような本発明のダンピングプレート３０は、四角パイプ１０の材質と同種又は類似種の系統、すなわち、四角パイプ１０がＣＦＲＰ及びＧＦＲＰの混合素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰから製造されれば、ダンピングプレート３０は、ＧＦＲＰ又はＣＦＲＰを材質とする薄膜から形成して貼り合わせてなる。
本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の製作工程は、前記四角パイプ１０の上面又は下面の表面に前記接着部材２０の片面を貼り付け、前記接着部材２０の表面に前記ダンピングプレート３０を接着してｌ次的に構成される。上述したようにしてｌ次的に製作された四角パイプ１０は、一方の側の端部にカセット５の垂直バー５１に結合可能なように支持端１０１が形成され、前記支持端１０１の両側にはボルト締め付けが行えるように支持孔１０２が貫通して形成される（図４参照）。
＜実験例１＞
１．実験計画
上述した工程により製作される本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰能を測定する実験を行う。
２．実験方法及びその結果
イ．本発明においては、カセット用サポートバーの四角パイプの素材を、１）ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰが混合された素材、２）ＣＦＲＰ、３）ＧＦＲＰの３種に分けて実験を行った。
ロ．四角パイプの長さは、ディスプレイ用ガラス基板が積載できるように３．４ｍにした。
ハ．ダンピングプレートの素材としては、１）金属、２）非鉄金属、３）ＧＦＲＰ、４）ＣＦＲＰを用いた。
ニ．接着部材としては、アクリル系接着剤（３Ｍ社製、３００ＬＳＥ）を用いた（図５参照）。
前記それぞれの素材から上述した工程により製作されたカセット用サポートバーの先端部に３ｋｇの撓み荷重用の錘を吊り下げて初期の撓みを与え、吊り下げた紐を切って振動を与え、振幅が１ｍｍ以内に達する時間を測定した。
前記［表１］から明らかなように、振動時間とは、振幅が１ｍｍ以内に達する時間を意味する。本実験は、四角パイプの素材を、ダンピングプレートの種類に応じて、１）ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを積層した素材、２）ＣＦＲＰ、３）ＧＦＲＰとダンピングプレートの素材と同様にして実験を行ったとき、ダンピングプレートを貼り付けなかったか、或いは、金属及び非鉄金属を貼り合わせたとき、振動時間はそれぞれ４０〜５５及び１０〜２０秒であり、ダンピングプレートの材質をＧＦＲＰ又はＣＦＲＰにして接着したとき、それぞれ８〜１０及び３〜６秒であった。
前記実験の結果、振動減衰の要求条件を満たす素材として、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰを混合した素材、ＣＦＲＰ及びＧＦＲＰ素材を採用した四角パイプに、ＧＦＲＰ製及びＣＦＲＰ製のダンピングプレートをアクリル系接着剤で接着したときに、優れた結果が得られた。
このような本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置の製作工程をまとめると、次の通りである。
１．段取り工程
イ．四角パイプ
−素材：ＣＦＲＰ＋ＧＦＲＰ、ＣＦＲＰ、ＧＦＲＰ
−長さ：３．４ｍ
ロ．ダンピングプレート
−ＧＦＲＰ製又はＣＦＲＰ製の薄板
ハ．接着部材
−接着強度が７５〜１２６Ｎ／１００ｍｍの範囲のアクリル系の接着剤
２．貼り合わせ工程
イ．四角パイプの広幅の一方の側面に接着部材を貼り付ける。
ロ．接着部材を貼り付けた個所にダンピングプレート薄膜を貼り合わせる。
３．振動減衰の実験工程
イ．振動試験機（図示せず）で振動を与えて振動が減衰される時間を測定する。
このような本発明の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、次のような利点を有している。
まず、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、同種の素材又は異種の素材を貼り合わせて固有振動数を打ち消して１０秒以内に基準値に達する片持ち梁状のカセットを製作することにより、製品の性能を向上させることで、製品の品質競争力を備えることができる。
また、本発明に係る片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置は、技術的な構成が簡単であり、しかも、製作し易いのに対し、その効果が非常に高いことから、フラットパネルディスプレイの製造に用いられるガラス基板を安全に保管及び運搬する産業現場において振動に伴い無駄に長引く時間を短縮することにより、作業効率の向上はもとより、生産力の増進に大きく寄与することができる。
１ サポート（片持ち梁）バー
１０ 四角パイプ
１０１ 支持端
１０２ 支持孔
１０３ 直線部
１０４ テーパー部
２０ 接着部材
３０ ダンピングプレート
５ カセット
５１ 垂直バー

Claims (4)

  1. 片持ち梁状のカセット用サポートバー（Ｂａｒ）の振動を減衰させる構造において、
    所定の規格を有し、前記カセット用サポートバーに用いられる四角パイプ（１０）と、
    前記四角パイプ（１０）の表面に接着される接着部材（２０）と、
    前記四角パイプ（１０）の片面と同じ大きさを有するものであって、前記接着部材（２０）の表面に接着可能なように形成されるダンピングプレート（３０）と、
    を備え、
    前記四角パイプ（１０）の上面又は下面の表面に前記接着部材（２０）の片面を貼り付け、前記接着部材（２０）の表面に前記ダンピングプレート（３０）を接着してなることを特徴とする片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造。
  2. 前記接着部材（２０）は、接着強度が７５〜１２６Ｎ／１００ｍｍの範囲のアクリル系の接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造。
  3. 前記ダンピングプレート（３０）は、四角パイプ（１０）の材質と同種又は類似種の系統の薄膜から形成されることを特徴とする請求項１に記載の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造。
  4. 前記片持ち梁状のカセット用サポートバーは、１０秒以内に１ｍｍ未満の振幅で振動が減衰されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれか一項に記載の片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰構造。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI727735B (zh) * 2020-04-10 2021-05-11 中勤實業股份有限公司 懸臂、其減振結構以及具有該懸臂之卡匣

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005340480A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Nippon Oil Corp 基板カセット用サポートバー
JP4029104B2 (ja) * 2006-01-30 2008-01-09 新日本石油株式会社 楕円状支持部材
KR100804313B1 (ko) 2006-02-23 2008-02-18 (주)넥스컴스 엘씨디 기판 적재 카세트용 서포트바
JP2007281252A (ja) 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co 基板カセット
JP2007281251A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co サポートバーおよび基板カセット
US20080247857A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-09 Ichiro Yuasa End effector and robot for transporting substrate
JP5189843B2 (ja) * 2008-01-04 2013-04-24 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 Ｃｆｒｐ製搬送用部材及びそれを用いたロボットハンド
JP5495731B2 (ja) * 2009-11-20 2014-05-21 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 サポートバー及び基板収納カセット
KR101073376B1 (ko) * 2011-04-01 2011-10-13 (주)상아프론테크 유리기판용 적재카세트
KR101300688B1 (ko) 2011-05-04 2013-08-26 (주)케이엠 기판적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법
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