WO2019074142A1 - 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조 - Google Patents

외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조 Download PDF

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WO2019074142A1
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support bar
cassette
vibration
present
square pipe
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PCT/KR2017/011517
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주치홍
김정석
주민완
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주식회사 넥스컴스
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Publication date
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Definitions

  • the present invention relates to a vibration attenuating structure of a support bar for a cassette in the form of a cantilever, and more particularly to a vibration attenuating structure for a support bar mounted on a cassette used for safely storing and transporting a glass substrate, To a vibration damping structure of a support bar for a cassette in the form of a cantilever capable of reducing the working time and improving the productivity.
  • a glass substrate used for manufacturing a flat panel display is stored or transported by a cassette for substrate loading capable of being housed at intervals, which may be damaged even by a small external impact.
  • the cassette is formed to weave a rectangular frame, a plurality of vertical bars on one side of the frame side by side, and a plurality of support bars on the vertical bar at equal intervals to be laminated.
  • a support bar installed in this type of cassette is a cantilever type supported only on one side and has a length of 1.5 to 4.0 m or more and vibrates due to an external impact. Especially when excessive vibration is generated when a mounted substrate is removed, It takes about 30 to 40 seconds to attenuate to a possible amplitude (within 1 mm above and below), thereby delaying the next step operation.
  • Another object of the present invention is to provide a vibration attenuating structure of a support bar for a cassette in the form of a cantilever having a predetermined standard used for a support bar for a cassette.
  • CFRP carbon fiber reinforced plastic
  • GFRP glass fiber reinforced plastic
  • CFRP CFRP
  • Another object of the present invention is to provide a vibration attenuating structure of a support bar for a cassette in the form of a cantilever, wherein the damping plate is formed so as to be adhered to the surface of the adhesive member with the same size as one surface of the square pipe I have to.
  • the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention includes a square pipe, an adhesive member, and a damping plate.
  • the square pipe of the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention has a predetermined standard used for a cassette support bar.
  • the square pipe of the present invention is characterized in that it is manufactured by laminating carbon fiber reinforced resin (CFRP), glass fiber reinforced plastic (GFRP) or CFRP and GFRP.
  • CFRP carbon fiber reinforced resin
  • GFRP glass fiber reinforced plastic
  • the adhesive member of the vibrating damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention is characterized in that it is configured to adhere the damping plate to one side surface of the square pipe.
  • the damping plate of the vibration damping structure of the cassette support bar in the form of a cantilever according to the present invention is formed so as to be adhered to the surface of the adhesive member with the same size as one surface of the square pipe.
  • the material of the square pipe is made of the mixed material of CFRP and GFRP, CFRP and GFRP, the material of the damping plate is formed of GFRP or CFRP And are joined together.
  • the manufacturing process of the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever beam according to the present invention is characterized in that one surface of the adhesive member is stuck to the upper surface or the lower surface of the square pipe and the damping plate is bonded to the surface of the adhesive member And the square pipe is formed with a support end so as to be coupled to a vertical bar of the cassette at one end and a support hole is formed through both ends of the support end so as to be fastened with bolts.
  • the cantilever type support bar for a cassette according to the present invention has a vibration damping structure of a cantilever-type cassette in which the same material or different materials are bonded to cancel the natural frequency and reach the reference value within 10 seconds
  • the quality of the product can be competitive.
  • the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention has a simple technical structure and is easy to fabricate, but has an excellent effect, so that the industry that safely stores and transports a glass substrate used for manufacturing flat panel displays By shortening the delay time in response to the vibration of the support bar in the field, it can greatly contribute to the improvement of the working efficiency as well as the productivity improvement.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a vibration attenuating structure of a support bar for a cassette according to the present invention.
  • FIG. 2 is an assembled perspective view of a vibration damping structure of a support bar for a cassette according to the present invention.
  • FIG 3 is a perspective view of a conventional support bar square pipe for a cassette.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a part of a cassette in which a cassette support bar is assembled.
  • the cassette support bar of the cantilever type support bar for a cassette of the present invention having the vibration damping structure of the cassette is made of carbon fiber reinforced plastics (CFRP), glass fiber reinforced plastics (GFRP) Or CFRP and GFRP, which are cantilevered to cassette 5 and used to transport and store glass substrates for display. If the large glass substrate is removed during this operation, vibration will occur in the support bar for the cassette. When excessive vibration occurs, it takes about 30 ⁇ 40 seconds to attenuate to the usable amplitude (within 1mm above and below), so that waiting time for work is long.
  • CFRP carbon fiber reinforced plastics
  • GFRP glass fiber reinforced plastics
  • CFRP GFRP
  • the inventor of the present invention has various kinds of materials of the square pipe 10 and a variety of adhesive strengths of the adhesive member 20.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a vibration damping structure of a support bar for a cassette according to the present invention
  • FIG. 3 is a perspective view of a support bar for a cassette according to the present invention
  • 4 is a perspective view showing a part of a cassette in which a support bar for a cassette is assembled
  • Fig. 5 is a table showing the adhesive strength of a 300LSE adhesive of 3M used as an adhesive member of Experimental Example 1 of the present invention.
  • the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever comprises a square pipe 10, an adhesive member 20, and a damping plate 30 .
  • the rectangular pipe 10 of the vibration damping structure of the cassette support bar in the cantilever shape of the present invention has a predetermined standard used for the cassette support bar.
  • the square pipe 10 of the present invention is fabricated by laminating carbon fiber reinforced plastics (CFRP), glass fiber reinforced plastics (GFRP), or CFRP and GFRP.
  • CFRP carbon fiber reinforced plastics
  • GFRP glass fiber reinforced plastics
  • CFRP CFRP and GFRP.
  • the square pipe 10 according to the present invention has a length of 1.5 to 4.0 m and is mainly formed in a rectangular shape having a width greater than that of the upper surface and a lower surface.
  • the square pipe 10 has a tapered shape t 2 ? t 1 ) structure (see FIG. 3).
  • the adhesive member 20 of the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention is configured to adhere the damping plate 30 to one surface of the square pipe 10.
  • the adhesive member 20 of the present invention is characterized by using an acrylic-based adhesive having an adhesive strength of 75 to 126 N / 100 mm.
  • the damping plate 30 of the vibration damping structure of the cassette support bar in the form of a cantilever according to the present invention has the same size as one surface of the square pipe 10 and is adhered to the surface of the adhesive member 20 Respectively.
  • the damping plate 30 according to the present invention can be manufactured in the same or similar system as the material of the square pipe 10, that is, when the material of the square pipe 10 is made of a mixed material of CFRP and GFRP, CFRP and GFRP, 30) is made of GFRP or CFRP as a thin film and bonded.
  • the manufacturing process of the vibration damping structure of the cassette support bar in the form of a cantilever according to the present invention is characterized in that one surface of the adhesive member 20 is attached to the surface of the upper surface or the lower surface of the square pipe 10, 20 by bonding the damping plate 30 to the surface of the damping plate 30.
  • the rectangular pipe 10, which is primarily manufactured as described above, has a supporting end 101 formed at one end thereof so as to be coupled to the vertical bar 51 of the cassette 5, Support holes 102 are formed through both sides so as to be bolt-fastened (see Fig. 4).
  • the material of the square pipe of the cassette support bar was divided into 1) a mixture of CFRP and GFRP, 2) CFRP, and 3) GFRP.
  • the length of the square pipe was set at 3.4 m so that the glass substrate for display could be loaded.
  • the damping plate was composed of 1) metal, 2) nonferrous metal, 3) GFRP, and 4) CFRP.
  • the vibration time means a time at which the amplitude reaches within 1 mm.
  • CFRP and GFRP laminated with a square pipe according to the damping plate type 2 CFRP, and 3 GFRP.
  • the vibration time was 40 ⁇ 55 and 10 ⁇ 20 seconds respectively, and when the damping plate was bonded with GFRP or CFRP, it showed 8 ⁇ 10 and 3 ⁇ 6 seconds respectively.
  • the material is CFRP + GFRP, CFRP, GFRP
  • the dicing plate thin film is bonded to the place where the adhesive member is attached.
  • Vibration is applied in a vibration tester (not shown) to measure the time at which vibration is attenuated.
  • the vibration damping structure of the cantilever support bar for a cassette according to the present invention has the following advantages.
  • the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever comprises a cantilever-shaped cassette which is bonded to the same material or different materials to cancel a natural frequency thereof to reach a reference value within 10 seconds, By improving the performance, the quality of the product can be competitive.
  • the vibration damping structure of the support bar for a cassette in the form of a cantilever according to the present invention has a simple technical structure and is easy to fabricate, but has an excellent effect, so that the industry in which the glass substrate used for manufacturing a flat panel display is safely stored and transported By shortening the delay time in response to the vibration of the support bar in the field, it can greatly contribute to the improvement of the working efficiency as well as the productivity improvement.

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Abstract

본 발명은 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바(Bar)의 진동을 감쇄시키는 구조에 관한 것으로서, 카세트용 서포트바에 사용되는 소정의 규격을 가지는 사각 파이프; 사각 파이프의 표면에 접착되는 접착부재; 사각 파이프의 한 면과 동일한 크기로서 상기 접착부재의 표면에 접착될 수 있도록 형성되는 댐핑 플레이트를 포함하며, 상기 사각 파이프의 윗면 또는 아래 면의 표면에 상기 접착부재의 한 면을 붙이고, 상기 접착부재의 표면에 상기 댐핑 플레이트를 접착하여 구성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트 바의 진동감쇄구조에 관한 것이다. 이와 같은 구조를 가지는 본 발명은 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 고질적인 진동 문제를 해결함으로서, 디스플레이에 이용되는 유리기판을 안전하게 보관 및 운반하는 산업현장에서 진동감쇄에 지체되는 시간을 단축함으로서 작업효율 제고는 물론, 생산력 증진에 크게 기여 할 수 있다.

Description

외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조
본 발명은 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바(Bar)의 진동감쇄구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판을 안전하게 보관 및 운반하는데 사용되는 카세트에 장착되는 서포트바의 진동을 감쇄시켜 작업시간을 절약하여 생산력을 증진할 수 있는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있어 간격을 두고 수납할 수 있는 기판 적재용 카세트에 의해 보관되거나 운반된다.
이러한 상기 카세트는 사각 프레임을 짜고 프레임의 일 측에 다수 개의 수직바를 나란히 세우고, 수직바에는 등 간격으로 여러 층의 서포트바가 결합되어 상기 유리기판을 적층 하도록 형성된다.
이러한 형태의 카세트에 설치되는 서포트바는 일 측만 지지 되는 외팔보 형태로서 길이가 1.5 ~ 4.0m 이상으로서 외부 충격에 의해 진동이 발생하는데, 특히 적재된 기판을 제거할 때, 과한 진동이 발생하게 되면 사용 가능한 진폭(상하 1mm 이내)으로 감쇄되기까지 약 30 ~ 40초 소요됨으로써 다음 단계 작업이 지체되는 문제점을 가지고있다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인은 서포트바를 다양한 소재로 제작하는 실험을 진행하였으나 만족할 만한 결과를 얻지 못하였다. 이에 각 물질(물체)에는 고유한 진동수가 있다는 점에 착안하여 두 물체의 결합으로 고유진동수를 상쇄할 수 있다고 판단되어 다양한 소재의 사각 파이프와, 댐핑 플레이트 박판 및 상기 두 물질을 접합하는데 가장 적합한 물성을 가지는 접착제를 선택하기 위한 연구를 거듭하였다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 사각 파이프, 접착부재, 댐핑 플레이트를 포함하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 카세트용 서포트바에 사용되는 소정의 규격을 가지는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 사각 파이프는, 탄소섬유강화수지(Carbon Fiber Reinforced Plastics;CFRP), 유리섬유강화수지(Glass Fiber Reinforced Plastics;GFRP) 또는 CFRP와 GFRP를 적층하여 제작되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 사각 파이프의 일 측 표면에 댐핑 플레이트를 접착하기 위하여 구성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 댐핑 플레이트는, 사각 파이프의 한 면과 동일한 크기로서 접착부재의 표면에 접착될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 댐핑 플레이트는, 사각 파이프의 재질과 같거나 유사한 계통 즉, 사각 파이프의 재질이 CFRP와 GFRP의 혼합 소재, CFRP 및 GFRP로 제조되면, 댐핑 플레이트의 재질은 GFRP 또는 CFRP를 박막으로 형성하여 접합 되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 제작 공정은, 사각 파이프의 윗면 또는 아래면의 표면에 접착부재의 한 면을 붙이고, 상기 접착부재의 표면에 상기 댐핑 플레이트를 접착하고, 사각 파이프는, 일 측 단부에 카세트의 수직바에 결합 될 수 있도록 지지단이 형성되고, 상기 지지단의 양측에는 볼트 체결할 수 있도록 지지홀이 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조를 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는, 사각 파이프, 접착부재, 댐핑 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 사각 파이프는, 카세트용 서포트바에 사용되는 소정의 규격을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 사각 파이프는, 탄소섬유강화수지(Carbon Fiber Reinforced Plastics;CFRP), 유리섬유강화수지(Glass Fiber Reinforced Plastics;GFRP) 또는 CFRP와 GFRP를 적층 하여 제작되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 접착부재는, 사각 파이프의 일 측 표면에 댐핑 플레이트를 접착하기 위하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 댐핑 플레이트는, 사각 파이프의 한 면과 동일한 크기로서 접착부재의 표면에 접착될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 댐핑 플레이트는, 사각 파이프의 재질과 같거나 유사한 계통 즉, 사각 파이프의 재질이 CFRP와 GFRP의 혼합 소재, CFRP 및 GFRP로 제조되면, 댐핑 플레이트의 재질은 GFRP 또는 CFRP를 박막으로 형성하여 접합 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 제작 공정은, 사각 파이프의 윗면 또는 아래면의 표면에 상기 접착부재의 한 면을 붙이고, 접착부재의 표면에 상기 댐핑 플레이트를 접착하고, 사각 파이프는, 일 측 단부에 카세트의 수직바에 결합 될 수 있도록 지지단이 형성되고, 지지단의 양측에는 볼트 체결할 수 있도록 지지홀이 관통하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는 동일한 소재 또는 서로 다른 소재를 접합하여 고유진동수를 상쇄시켜 10초 이내에 기준치에 도달하는 외팔보 형태로 된 카세트를 제작함으로서 제품의 성능을 향상시킴으로써 제품의 품질경쟁력을 갖출 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는 기술적 구성이 간단하고 제작이 용이한 반면에 그 효과가 매우 뛰어나서 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판을 안전하게 보관 및 운반하는 산업현장에서 서포트바의 진동에 따라 지체되는 시간을 단축함으로써 작업효율 제고는 물론, 생산력 증진에 크게 기여할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 결합 사시도이다.
도 3은 종래의 카세트용 서포트바 사각 파이프의 사시도이다.
도 4는 카세트용 서포트바가 조립되는 카세트의 일부분을 나타내는 사시 참고도이다.
도 5는 본 발명의 <실험 예 1>의 접착부재로 사용되는 3M사의 300LSE 접착제의 접착강도를 나타내는 표이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 발명의 설명에 상세하게 설명하고자 한다.
그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 사용된 용어나 단어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바(Bar)의 진동감쇄구조의 카세트용 서포트바는, 탄소섬유강화수지(Carbon Fiber Reinforced Plastics;CFRP), 유리섬유강화수지(Glass Fiber Reinforced Plastics;GFRP) 또는 CFRP와 GFRP를 적층 하여 제작하는데, 이는 카세트(5)에 외팔보 형태로 결합 되어 디스플레이용 유리 기판을 운반 및 보관하는데 사용된다. 이러한 작업 중에 대형 유리 기판이 제거되면 카세트용 서포트바에는 진동이 발생하게 된다. 과한 진동이 발생하게 되면 사용 가능한 진폭(상하 1mm 이내)으로 감쇄되기까지 약 30 ~ 40초 소요됨으로써 작업대기 시간이 길어진다.
본 발명자는 사각 파이프(10)의 소재를 다양하게 구비하고, 접착부재(20)의 접착강도 또한 다양한 범위의 것을 적용하며, 댐핑 플레이트(30)를 상기 사각 파이프와 동일하거나 다른 소재를 적용하는 실험을 통하여 진동감쇄 후 정지되는 시간을 소정의 요구 조건에 부합시켰다.
본 발명의 구체적인 특징 및 이점은 첨부된 도면을 참조한 이하의 설명으로 더욱 명확해 질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 결합 사시도이고, 도 3은 종래의 카세트용 서포트바의 분해 사시도이고, 도 4는 카세트용 서포트바가 조립되는 카세트의 일부분을 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 <실험 예 1>의 접착부재로 사용되는 3M사의 300LSE 접착제의 접착강도를 나타내는 표이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는, 사각 파이프(10), 접착부재(20), 댐핑 플레이트(30)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 사각 파이프(10)는, 카세트용 서포트바에 사용되는 소정의 규격을 가진다.
이러한 본 발명의 사각 파이프(10)는, 탄소섬유강화수지(Carbon Fiber Reinforced Plastics;CFRP), 유리섬유강화수지(Glass Fiber Reinforced Plastics;GFRP) 또는 CFRP와 GFRP를 적층하여 제작된다.
이러한 본 발명의 사각 파이프(10)는, 1.5 ~ 4.0m 길이로서, 주로 윗면과 아랫면의 폭이 높이보다 넓은 사각형의 형태를 이루고 있으나, 끝단부로 갈수록 소정의 비율로 단면의 높이를 줄이는 테이퍼형(t2 t1) 구조인 경우도 있다(도 3 참조).
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 접착부재(20)는, 상기 사각 파이프(10)의 일 측 표면에 댐핑 플레이트(30)를 접착하기 위하여 구성된다.
이러한 본 발명의 접착부재(20)는, 접착강도가 75 ~ 126 N/100mm 범위의 아크릴 계열의 접착제를 사용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바(Bar)의 진동감쇄구조의 댐핑 플레이트(30)는, 상기 사각 파이프(10)의 한 면과 동일한 크기로서 상기 접착부재(20)의 표면에 접착될 수 있도록 형성된다.
이러한 본 발명의 댐핑 플레이트(30)는, 사각 파이프(10)의 재질과 같거나 유사한 계통 즉, 사각 파이프(10)의 재질이 CFRP와 GFRP의 혼합 소재, CFRP 및 GFRP로 제조되면, 댐핑 플레이트(30)의 재질은 GFRP 또는 CFRP를 박막으로 형성하여 접합한다.
본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 제작 공정은, 상기 사각 파이프(10)의 윗면 또는 아래 면의 표면에 상기 접착부재(20)의 한 면을 붙이고, 상기 접착부재(20)의 표면에 상기 댐핑 플레이트(30)를 접착하여 1차적으로 구성된다. 상기와 같이 1차적으로 제작된 사각 파이프(10)는, 일 측 단부에 카세트(5)의 수직바(51)에 결합될 수 있도록 지지단(101)이 형성되고, 상기 지지단(101)의 양측에는 볼트 체결할 수 있도록 지지홀(102)이 관통하여 형성된다(도 4 참조).
<실험 예 1>
1. 실험계획
상술한 공정으로 제작되는 본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄 능력을 측정하는 실험을 실시 한다.
2. 실험방법 및 그 결과
가. 본 발명은 카세트용 서포트바의 사각 파이프의 소재를 1) CFRP와 GFRP가 혼합된 소재, 2) CFRP, 3) GFRP 3종으로 구분하여 실시하였다.
나. 사각 파이프의 길이는 디스플레이용 유리 기판이 적재될 수 있도록 3.4m로 정하였다.
다. 댐핑 플레이트는 1) 금속, 2) 비철금속, 3) GFRP, 4) CFRP를 사용하였다.
라. 접착부재는 아크릴계열 접착제(3M사(社), 300LSE)를 사용하였다(도 5 참조).
상기 각각의 소재로 상술한 공정으로 제작된 카세트용 서포트바에 진동을 주고 진폭이 1mm 이내에 도달하는 시간을 측정하였다.
<실험 예1에 의한 카세트용 서포트바의 진동감쇄 실험결과>
연번 사각 파이프(3.4m기준) 댐핑 플레이트 진동시간 비 고
재 질 재 질 (초)
1 CFRP + GFRP - 40 ~ 55 - 접착부재:아크릴계열 접착제 사용.- 진동시간:진폭 1mm 이내 도달시간.- 진동감쇄 요구기준:10초 이내 기준진폭(1mm) 도달.
CFRP
GFRP
2 CFRP + GFRP 금속비철금속 10 ~ 20
CFRP
GFRP
3 CFRP + GFRP GFRP 8 ~ 10
CFRP
GFRP
4 CFRP + GFRP CFRP 3 ~ 6
CFRP
GFRP
자료제공 : (주)넥스컴스
상기 [표 1]에서 보는 바와 같이 진동시간은 진폭이 1mm 이내에 도달하는 시간을 의미한다. 본 실험은 사각 파이프를 댐핑 플레이트의 종류에 따라 1) CFRP와 GFRP를 적층한 소재, 2) CFRP, 3) GFRP로 동일하게 하여 실험했을 때, 댐핑 플레이트를 붙이지 않거나, 금속 및 비철금속을 접합했을 때 진동시간은 각각 40 ~ 55 및 10 ~ 20초로 나타나며, 댐핑 플레이트를 GFRP 또는 CFRP를 접착했을 때 각각 8 ~ 10 및 3 ~ 6초로 나타났다.
상기 실험결과, 진동감쇄 요구조건에 충족되는 소재로는 CFRP와 GFRP를 혼합한 소재, CFRP 및 GFRP 소재의 사각 파이프에 GFRP 및 CFRP로 된 댐핑 플레이트를 아크릴계열 접착제로 접합했을 때 우수한 결과가 나타났다.
이러한 본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조의 제작공정을 정리하면 다음과 같다.
1. 준비공정
가. 사각 파이프
- 소재는 CFRP + GFRP, CFRP, GFRP
- 길이는 3.4m
나. 댐핑 플레이트
- GFRP 또는 CFRP 박판
다. 접착부재
- 아크릴계열의 접착 강도가 75 ~ 126 N/100mm 범위의 접착제
2. 접합공정
가. 사각 파이프의 폭이 넓은 일 측면에 접착부재를 붙인다.
나. 접착부재를 붙인 곳에 딤핑 플레이트 박막을 접합한다.
3. 진동감쇄 실험공정
가. 진동시험기(미도시)에서 진동을 주어 진동이 감쇄되는 시간을 측정한다.
이와 같은 본 발명의 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는 다음과 같은 이점을 가지고 있다.
먼저, 본 발명에 따른 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는 동일한 소재 또는 서로 다른 소재를 접합하여 고유진동수를 상쇄시켜 10초 이내에 기준치에 도달하는 외팔보 형태로 된 카세트를 제작함으로서 제품의 성능을 향상시킴으로써 제품의 품질경쟁력을 갖출 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조는 기술적 구성이 간단하고 제작이 용이한 반면에 그 효과가 매우 뛰어나서 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리기판을 안전하게 보관 및 운반하는 산업현장에서 서포트바의 진동에 따라 지체되는 시간을 단축함으로써 작업효율 제고는 물론, 생산력 증진에 크게 기여할 수 있다.

Claims (4)

  1. 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바(Bar)의 진동을 감쇄시키는 구조에 있어서,
    소정의 규격을 가지며, 상기 카세트용 서포트바에 사용되는 사각 파이프(10);
    상기 사각 파이프(10)의 표면에 접착되는 접착부재(20);
    상기 사각 파이프(10)의 한 면과 동일한 크기로서 상기 접착부재(20)의 표면에 접착될 수 있도록 형성되는 댐핑 플레이트(30);를 포함하며,
    상기 사각 파이프(10)의 윗면 또는 아래면의 표면에 상기 접착부재(20)의 한 면을 붙이고, 상기 접착부재(20)의 표면에 상기 댐핑 플레이트(30)를 접착하여 구성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접착부재(20)는, 접착 강도가 75 ~ 126 N/100mm 범위의 아크릴 계열의 접착제인 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 댐핑 플레이트(30)는, 사각 파이프(10)의 재질과 같거나 유사한 계통의 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바는, 10초 이내에 1mm 미만의 진폭으로 진동이 감쇄되는 것을 특징으로 하는 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇄구조.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI727735B (zh) * 2020-04-10 2021-05-11 中勤實業股份有限公司 懸臂、其減振結構以及具有該懸臂之卡匣

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005340480A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Nippon Oil Corp 基板カセット用サポートバー
KR20070078678A (ko) * 2006-02-23 2007-08-01 (주)넥스컴스 엘씨디 기판 적재 카세트용 서포트바
JP2007281251A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co サポートバーおよび基板カセット
KR101073376B1 (ko) * 2011-04-01 2011-10-13 (주)상아프론테크 유리기판용 적재카세트
KR20120107954A (ko) * 2009-11-20 2012-10-04 제이엑스 닛코닛세키에너지주식회사 서포트 바 및 기판 수납 카세트

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4029104B2 (ja) * 2006-01-30 2008-01-09 新日本石油株式会社 楕円状支持部材
JP2007281252A (ja) 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co 基板カセット
US20080247857A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-09 Ichiro Yuasa End effector and robot for transporting substrate
JP5189843B2 (ja) * 2008-01-04 2013-04-24 Jx日鉱日石エネルギー株式会社 Cfrp製搬送用部材及びそれを用いたロボットハンド
KR101300688B1 (ko) 2011-05-04 2013-08-26 (주)케이엠 기판적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법
KR101515005B1 (ko) 2014-02-27 2015-07-02 (주)상아프론테크 기판 적재용 카세트의 서포트바 및 이 서포트바의 제조 방법
KR101638747B1 (ko) 2015-10-30 2016-07-11 (주) 하이테크시스템 글라스 적재 카세트용 서포트바 및 그 제조방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005340480A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Nippon Oil Corp 基板カセット用サポートバー
KR20070078678A (ko) * 2006-02-23 2007-08-01 (주)넥스컴스 엘씨디 기판 적재 카세트용 서포트바
JP2007281251A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co サポートバーおよび基板カセット
KR20120107954A (ko) * 2009-11-20 2012-10-04 제이엑스 닛코닛세키에너지주식회사 서포트 바 및 기판 수납 카세트
KR101073376B1 (ko) * 2011-04-01 2011-10-13 (주)상아프론테크 유리기판용 적재카세트

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