JP2019075288A

JP2019075288A - 荷電粒子線装置

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Publication number: JP2019075288A
Application number: JP2017200841A
Authority: JP
Inventors: 伸聡田辺; Nobusato Tanabe
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2017-10-17
Filing date: 2017-10-17
Publication date: 2019-05-16

Abstract

【課題】意図しない形で電子光学系の状態が変化してしまう可能性を低減できる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】荷電粒子線装置１００は、荷電粒子光学系を含む荷電粒子線装置本体２と、荷電粒子光学系のパラメータの変更指示を受け付ける操作部４と、変更指示に応じて、荷電粒子光学系を制御する制御部６と、を含み、制御部６は、操作部４が変更指示を受け付けた場合に、荷電粒子線装置本体２の状態に基づいて、荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能か否かを判定し、荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、変更指示を無効にする。【選択図】図１

Description

本発明は、荷電粒子線装置に関する。

電子顕微鏡などの荷電粒子線装置は、一般的に、複数のレンズおよび複数の偏向器を含んで構成された電子光学系を備えている。ユーザーは、電子顕微鏡を制御するための制御用ＰＣ（パーソナルコンピュータ）に表示されるＧＵＩ（Graphical User Interface）の操作や、操作パネルの操作によって、電子光学系のパラメータ（印加される電圧値等）を調整して、電子光学系の状態を制御することができる（例えば特許文献１参照）。

電子光学系の状態を制御する場合、ユーザーは、電子銃から電子光学系に電子線が供給されている状態で、電子線の断面形状や、電子顕微鏡像の質を確認しながら、これらが望ましい状態となるように各レンズや各偏向器のパラメータを調整する。

このようにして、電子光学系が調整できたら、試料への電子線の照射を抑制する等の理由で、ビームバルブを一旦閉じる。そして、電子顕微鏡像を取得したいタイミングで、ビームバルブを開く。

特開平５−２８３０３３号公報

従来の電子顕微鏡では、例えば、ビームバルブが開いていない場合であっても、ＧＵＩや操作パネルの操作によって、レンズや偏向器のパラメータを操作できてしまう。このような操作が行われてしまうと、意図しない形で電子光学系の状態が変化してしまい、再度、電子光学系の調整を行わなければならない。

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、意図しない形で荷電粒子光学系の状態が変化してしまう可能性を低減できる荷電粒子線装置を提供することにある。

本発明に係る荷電粒子線装置は、
荷電粒子光学系を含む荷電粒子線装置本体と、
前記荷電粒子光学系のパラメータの変更指示を受け付ける操作部と、
前記変更指示に応じて、前記荷電粒子光学系を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記操作部が前記変更指示を受け付けた場合に、前記荷電粒子線装置本体の状態に基づいて、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能か否かを判定し、
前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、前記変更指示を無効にする。

このような荷電粒子線装置では、制御部は、操作部が変更指示を受け付けた場合に、荷電粒子線装置本体の状態に基づいて、荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能か否かを
判定し、荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、変更指示を無効にするため、例えば、荷電粒子光学系に荷電粒子線が供給されていない状態で、荷電粒子光学系のパラメータが変更されてしまうことを防止することができる。これにより、意図しない形で、荷電粒子光学系の状態が変化してしまう可能性を低減できる。

本実施形態に係る電子顕微鏡の構成を示す図。電子顕微鏡本体を模式的に示す図。制御装置の構成を示す図。操作パネルを模式的に示す図。制御ＧＵＩを模式的に示す図。制御装置の処理の流れの一例を示すフローチャート。

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

以下では、本発明に係る荷電粒子線装置として、透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope、ＴＥＭ）を例に挙げて説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線（イオンビーム等）を利用した装置であってもよい。本発明に係る荷電粒子線装置は、例えば、走査透過電子顕微鏡（Scanning Transmission Electron Microscope、ＳＴＥＭ）、走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、ＳＥＭ）、集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam system、ＦＩＢ）であってもよい。

１．電子顕微鏡
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る電子顕微鏡１００の構成を示す図である。

電子顕微鏡１００は、図１に示すように、電子顕微鏡本体２（荷電粒子線装置本体の一例）と、操作パネル４（操作部の一例）と、制御装置６（制御部の一例）と、を含む。

電子顕微鏡本体２は、電子光学系（荷電粒子光学系の一例）、試料を保持する試料ステージ、ＴＥＭ像を取得するための検出器などを含んで構成されている。また、電子顕微鏡本体２は、制御装置６からの制御信号を受けて電子光学系や試料ステージなどを動作させる駆動回路などを含んで構成されている。また、電子顕微鏡本体２は、検出器の出力信号を画像データとして制御装置６に送る信号処理回路などを含んで構成されている。

操作パネル４は、ユーザーからの指示を受け付ける。ユーザーが操作パネル４を操作することで、操作パネル４からユーザーの操作に応じた入力情報、すなわち、ユーザーからの指示が、制御装置６に入力される。例えば、操作パネル４のつまみを回転させることで、そのつまみに割り当てられているレンズ（または偏向器）のパラメータ（電圧値等）を変化さえることができる。

制御装置６（制御用コンピュータ）は、電子顕微鏡本体２を制御する。制御装置６は、電子顕微鏡本体２および操作パネル４に接続されている。制御装置６は、例えば、操作パネル４で受け付けたユーザーからの指示に応じて、電子光学系を制御する。制御装置６は、操作パネル４からの入力情報に基づき制御信号を生成し、電子顕微鏡本体２に送る。これにより、電子光学系を構成するレンズや偏向器のパラメータを変更することができる。

図２は、電子顕微鏡本体２を模式的に示す図である。電子顕微鏡本体２は、電子光学系１０と、試料ステージ２０と、撮像装置３０と、を含む。

電子光学系１０は、電子銃（電子源、荷電粒子源の一例）１１０と、照射系レンズ１２０と、対物レンズ１３０と、中間レンズ１４０と、投影レンズ１５０と、を含む。電子光学系１０は、鏡筒内に収容されている。鏡筒内は、真空排気装置（図示せず）により高い真空度に維持されている。

電子銃１１０は、エミッタ１１１と、引き出し電極１１２と、静電レンズ１１３と、加速管１１４と、ガンアライメントコイル１１５，１１６と、ガン固定絞り１１７と、を含んで構成されている。電子銃１１０では、ガンアライメントコイル１１５，１１６およびガン固定絞り１１７によってビームバルブ１０２が構成されている。

電子銃１１０では、引き出し電極１１２に印加された電圧によりエミッタ１１１から放出された電子線ＥＢは、静電レンズ１１３により集束する方向の力を受けながら加速管１１４を通過し、ガンアライメントコイル１１５，１１６付近にクロスオーバーを形成する。

このとき、ガンアライメントコイル１１５，１１６の磁場出力を電子線ＥＢが撮像装置３０まで到達するように設定することにより、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出される。このようにビームバルブ１０２を開くことで、電子線ＥＢが試料Ｓに照射される。

一方、ガンアライメントコイル１１５，１１６の磁場出力を電子線ＥＢがガン固定絞り１１７でカットされるように設定することにより、電子銃１１０から電子線ＥＢは放出されない。このようにビームバルブ１０２を閉じることで、電子線ＥＢが試料Ｓに照射されない。

電子顕微鏡１００では、ビームバルブ１０２を用いて、電子線ＥＢが試料Ｓに照射される状態と、電子線ＥＢが試料Ｓに照射されない状態と、を切り替えることができる。

照射系レンズ１２０は、電子銃１１０から放出された電子線ＥＢを集束させて試料Ｓに照射する。照射系レンズ１２０は、図示の例では、３つのレンズで構成されている。

電子銃１１０と照射系レンズ１２０との間には、コンデンサー固定絞り１２１が配置されている。

対物レンズ１３０は、試料Ｓを透過した電子線ＥＢで透過電子顕微鏡像（ＴＥＭ像）を結像するための初段のレンズである。対物レンズ１３０は、上部磁極（ポールピースの上極）と、下部磁極（ポールピースの下極）と、上部磁極と下部磁極との間に磁場を発生させるためのコイルと、を有している。

中間レンズ１４０および投影レンズ１５０は、対物レンズ１３０で結像されたＴＥＭ像をさらに拡大し、撮像装置３０上に結像する。

試料ステージ２０は、試料Ｓを保持する。試料Ｓは、試料ホルダー２２に固定されており、試料ステージ２０は、試料ホルダー２２を介して、試料Ｓを保持している。また、試料ステージ２０は、試料Ｓを移動させたり、試料Ｓを傾斜させたりすることができる。

試料ホルダー２２は、試料Ｓを支持している。試料ホルダー２２は、電子顕微鏡本体２に装着可能に構成されている。試料ホルダー２２が電子顕微鏡本体２に装着されることで
、試料Ｓを電子顕微鏡本体２に導入することができる。

撮像装置３０は、ＴＥＭ像を撮影する。撮像装置３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラなどのデジタルカメラである。

電子顕微鏡１００では、電子銃１１０から放出された電子線ＥＢは、コンデンサー固定絞り１２１を通過し、照射系レンズ１２０および対物レンズ１３０で集束されて、試料ステージ２０に支持された試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した電子線ＥＢは、対物レンズ１３０、中間レンズ１４０、および投影レンズ１５０を通過し、撮像装置３０にＴＥＭ像が結像される。このＴＥＭ像を撮像装置３０で撮影することにより、ＴＥＭ像を取得することができる。

図３は、制御装置６の構成を示す図である。制御装置６は、図３に示すように、処理部６０と、操作部６２と、表示部６４と、記憶部６６と、を含む。

操作部６２は、ユーザーによる操作に応じた操作信号を取得し、処理部６０に送る処理を行う。操作部６２は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなどである。

表示部６４は、処理部６０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display、ＬＣＤ）などにより実現できる。

記憶部６６は、処理部６０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部６６は、処理部６０の作業領域として用いられ、処理部６０が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶するためにも使用される。記憶部６６の機能は、ＲＯＭ（Read On Memory）や、ＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置により実現することができる。

処理部６０は、記憶部６６に記憶されているプログラムに従って、各種の制御処理や計算処理を行う。処理部６０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ（Central Processing Unit）等）で記憶部６６に記憶されているプログラムを実行することにより実現することができる。なお、処理部６０の機能の少なくとも一部を、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などの専用回路により実現してもよい。処理部６０は、検知部６０２と、判定部６０４と、制御信号生成部６０６と、を含む。

検知部６０２は、電子顕微鏡本体２の状態を検知する。検知部６０２は、例えば、電子光学系１０を構成する各種レンズや、各種偏向器の状態を検知する。また、検知部６０２は、例えば、鏡筒内の真空度を検知する。また、検知部６０２は、試料ホルダー２２が装着されているか否かを検知する。検知部６０２は、あらかじめ設定された時間間隔で電子顕微鏡本体２の状態を検知する。なお、検知部６０２は、後述する操作パネル４が電子光学系１０のパラメータを変更する指示を受け付けた場合に、電子顕微鏡本体２の状態を検知してもよい。

判定部６０４は、操作パネル４が電子光学系１０のパラメータを変更する指示を受け付けた場合に、電子顕微鏡本体２の状態に基づいて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定する。

制御信号生成部６０６は、判定部６０４の判定結果に基づいて、制御信号を生成する処理を行う。制御信号生成部６０６は、判定部６０４が電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定した場合、パラメータの変更指示に応じた制御信号を生成し、電子顕微鏡本
体２に送る処理を行う。制御信号生成部６０６は、判定部６０４が電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、パラメータの変更指示を無効にする処理を行う。すなわち、制御信号は生成されず、電子光学系１０のパラメータは変更されない。

なお、上記では、パラメータの変更指示を操作パネル４で受け付ける場合について説明したが、パラメータの変更指示を受け付ける操作部は、操作パネル４に限定されない。例えば、処理部６０が表示部６４に表示させる制御ＧＵＩによって、パラメータの変更指示を受け付けてもよい。

２．電子顕微鏡の動作
次に、電子顕微鏡１００の動作について説明する。図４は、操作パネル４を模式的に示す図である。図５は、表示部６４に表示される制御ＧＵＩ６１０を模式的に示す図である。

操作パネル４には、図４に示すように、複数のつまみ４０および複数のボタン４２が配置されている。例えば、つまみ４０を回転させることで、つまみ４０に割り当てられた電子光学系１０を構成するレンズ（または偏向器）のパラメータ（電圧値等）の情報が制御装置６に入力される。

制御ＧＵＩ６１０には、図５に示すように、電子光学系１０を構成しているレンズおよび偏向器ごとにパラメータを入力するための入力欄６１２がある。この入力欄６１２に数値を入力することで、この入力欄６１２に対応するレンズ（または偏向器）のパラメータの情報が制御装置６に入力される。例えば、図５に示す「ＯＬ」に並んで表示されている入力欄６１２は、対物レンズ１３０のパラメータを入力するための入力欄である。

このように、電子顕微鏡１００では、操作パネル４または制御ＧＵＩ６１０が電子光学系１０のパラメータを変更するための指示を受け付ける。

ここで、電子光学系１０のパラメータは、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出されて電子光学系１０に電子線ＥＢが供給されている状態で、電子線ＥＢの断面形状や、電子顕微鏡像の質を確認しながら、これらが望ましい状態となるように電子光学系１０のパラメータを調整することで行われる。例えば、電子光学系１０に電子線ＥＢが供給されていない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうと、意図しない形で電子光学系１０の状態が変化してしまうこととなる。

そのため、本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、意図しない形で電子光学系１０の状態が変化してしまう可能性を低減するために、操作パネル４または制御ＧＵＩ６１０が電子光学系１０のパラメータを変更する指示を受け付けた場合に、判定部６０４が電子顕微鏡本体２の状態に基づいて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定する処理を行う。

以下、電子光学系１０のパラメータを変更するときの制御装置６の処理について詳細に説明する。図６は、制御装置６の処理の流れの一例を示すフローチャートである。

操作パネル４（または制御ＧＵＩ６１０）が電子光学系１０のパラメータを変更する指示（以下「変更指示」ともいう）を受け付けた場合（Ｓ１００のＹｅｓ）、判定部６０４は、変更指示を受け付けたときのビームバルブ１０２の状態に応じて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定する（Ｓ１０２）。

具体的には、判定部６０４は、ビームバルブ１０２が開いている場合には、電子光学系
１０のパラメータの変更が可能と判定する。判定部６０４は、ビームバルブ１０２が閉じている場合には、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。変更指示を受け付けたときのビームバルブ１０２の状態は、検知部６０２で検知する。

電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定された場合（Ｓ１０２のＹｅｓ）、制御信号生成部６０６は、変更指示を有効として（Ｓ１０４）、変更指示に基づき電子光学系１０のパラメータを変更するための制御信号を生成する（Ｓ１０６）。生成された制御信号は、電子顕微鏡本体２に送られ、電子光学系１０のパラメータが変更される。

電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定された場合（Ｓ１０２のＮｏ）、制御信号生成部６０６は、変更指示を無効として（Ｓ１０８）、制御信号を生成しない。

制御信号が生成された後、および変更指示を無効とした後、再び、ステップＳ１００に戻って、ステップＳ１００、ステップＳ１０２、ステップＳ１０４、ステップＳ１０６、ステップＳ１０８の処理が行われる。

なお、上記の電子光学系１０のパラメータを変更するときの制御装置６の処理において、ビームバルブ１０２のパラメータを変更する処理は除外される。すなわち、ビームバルブ１０２が閉じている状態においても、ビームバルブ１０２を開く操作は有効となる。

上記では、判定部６０４が、ビームバルブ１０２の状態に基づいて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定する場合について説明したが、判定部６０４における判定の基準は、ビームバルブ１０２の状態に限定されない。

例えば、判定部６０４は、検知部６０２で検出された電子銃１１０の状態に基づいて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定してもよい。例えば、判定部６０４は、電子銃１１０に加速電圧が印加されている場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定し、電子銃１１０に加速電圧が印加されていない場合（加速電圧が調整中の場合または加速電圧がＯＦＦの場合）、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。

また、例えば、判定部６０４は、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出されている場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定し、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出されていない場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。検知部６０２は、例えば、エミッション電流の測定結果から、電子線ＥＢが放出されているか否かを検出する。

また、例えば、判定部６０４は、検知部６０２において電子銃１１０が検出された場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定し、検知部６０２において電子銃１１０が検出されなかった場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。例えば、メンテナンスなどにより電子顕微鏡本体２から電子銃１１０が取り外されている場合に、検知部６０２において電子銃１１０が検出されない。

また、判定部６０４における判定の基準は、電子銃１１０の状態に限定されず、電子顕微鏡１００を構成するその他の電子光学系１０や、真空排気装置（真空ポンプ）、試料ホルダー２２等の状態であってもよい。すなわち、判定部６０４は、電子顕微鏡１００を構成する電子銃１１０以外の電子光学系１０や、真空排気装置、試料ホルダー２２等の状態に基づいて、電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定してもよい。

例えば、判定部６０４は、電子顕微鏡１００の鏡筒内の真空度があらかじめ設定された真空度以上の場合（設定された圧力よりも鏡筒内の圧力が低い場合）、電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定し、電子顕微鏡１００の鏡筒内の真空度があらかじめ設定された真空度より低い場合（設定された圧力よりも鏡筒内の圧力が高い場合）、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。

また、例えば、判定部６０４は、電子顕微鏡本体２に試料ホルダー２２が装着されている場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能と判定し、電子顕微鏡本体２に試料ホルダー２２が装着されていない場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。

また、判定部６０４は、電子顕微鏡１００においてトモグラフィなどを取得するための自動連続撮影中でない場合、電子光学系１０のパラメータの変更が可能であると判定し、自動連続撮影中である場合には、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判断する。

上述した判定部６０４の各種判定基準は、どの判定基準を用いるのかを選択可能であってもよい。また、判定部６０４は、複数の判定基準が選択された場合は、複数の判定基準のうちの少なくとも１つにおいて、パラメータの変更が可能でないと判定された場合に、パラメータの変更を無効にする。例えば、制御ＧＵＩにおいて、どの判定基準を用いるのかを選択可能となっていてもよい。

電子顕微鏡１００は、例えば、以下の特徴を有する。

電子顕微鏡１００では、制御装置６は、操作部（操作パネル４または制御ＧＵＩ６１０）が、電子光学系１０のパラメータを変更する指示（変更指示）を受け付けた場合に、電子顕微鏡本体２の状態に基づいて電子光学系１０のパラメータの変更が可能か否かを判定し、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、変更指示を無効にする。そのため、電子顕微鏡１００では、電子光学系１０に電子線ＥＢが供給されていない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうことを防止することができる。これにより、意図しない形で、電子光学系１０の状態が変化してしまう可能性を低減できる。

電子顕微鏡１００では、電子顕微鏡本体２は、電子線ＥＢが試料Ｓに照射される状態と、電子線ＥＢが試料Ｓに照射されない状態と、を切り替えるビームバルブ１０２を含み、制御装置６は、ビームバルブ１０２が閉じている場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。そのため、電子顕微鏡１００では、ビームバルブ１０２が閉じて電子光学系１０に電子線ＥＢが供給されない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうことを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００では、電子顕微鏡本体２は、電子線ＥＢを放出する電子銃１１０を含み、制御装置６は、電子銃１１０に電子線ＥＢを加速させる加速電圧が印加されていない場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。そのため、電子顕微鏡１００では、電子銃１１０に加速電圧が印加されていない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうことを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００では、制御装置６は、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出されていない場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。そのため、電子顕微鏡１００では、電子銃１１０から電子線ＥＢが放出されていない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうことを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００では、電子顕微鏡本体２に装着可能な試料ホルダー２２を含み、制御装置６は、試料ホルダー２２が電子顕微鏡本体２に装着されていない場合に、電子光学系１０のパラメータの変更が可能でないと判定する。そのため、電子顕微鏡１００では、試料ホルダー２２が装着されていない状態で、電子光学系１０のパラメータが変更されてしまうことを防ぐことができる。

なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

２…電子顕微鏡本体、４…操作パネル、６…制御装置、１０…電子光学系、２０…試料ステージ、２２…試料ホルダー、３０…撮像装置、４０…つまみ、４２…ボタン、６０…処理部、６２…操作部、６４…表示部、６６…記憶部、１００…電子顕微鏡、１０２…ビームバルブ、１１０…電子銃、１１１…エミッタ、１１２…引き出し電極、１１３…静電レンズ、１１４…加速管、１１５…ガンアライメントコイル、１１６…ガンアライメントコイル、１１７…ガン固定絞り、１２０…照射系レンズ、１２１…コンデンサー固定絞り、１３０…対物レンズ、１４０…中間レンズ、１５０…投影レンズ、６０２…検知部、６０４…判定部、６０６…制御信号生成部、６１０…制御ＧＵＩ、６１２…入力欄

Claims

荷電粒子光学系を含む荷電粒子線装置本体と、
前記荷電粒子光学系のパラメータの変更指示を受け付ける操作部と、
前記変更指示に応じて、前記荷電粒子光学系を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記操作部が前記変更指示を受け付けた場合に、前記荷電粒子線装置本体の状態に基づいて、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能か否かを判定し、
前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定した場合、前記変更指示を無効にする、荷電粒子線装置。
請求項１において、
前記荷電粒子線装置本体は、荷電粒子線が試料に照射される状態と、荷電粒子線が試料に照射されない状態と、を切り替えるビームバルブを含み、
前記制御部は、前記ビームバルブが閉じている場合に、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定する、荷電粒子線装置。
請求項１または２において、
前記荷電粒子線装置本体は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源を含み、
前記制御部は、前記荷電粒子源に荷電粒子線を加速させる加速電圧が印加されていない場合に、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定する、荷電粒子線装置。
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記荷電粒子線装置本体は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源を含み、
前記制御部は、前記荷電粒子源から荷電粒子線が放出されていない場合に、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定する、荷電粒子線装置。
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記荷電粒子線装置本体に装着可能な試料ホルダーを含み、
前記制御部は、前記試料ホルダーが前記荷電粒子線装置本体に装着されていない場合に、前記荷電粒子光学系のパラメータの変更が可能でないと判定する、荷電粒子線装置。