JP2019068131A - 積層型固体撮像装置およびそのランダムノイズ低減方法 - Google Patents
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Description
このような積層型固体撮像装置では、光電変換膜と固体撮像装置の画素内トランジスタの拡散層を、画素電極を介して接続しており、信号電荷を完全転送することが難しいので、画素は、増幅トランジスタ、リセットトランジスタ、行選択トランジスタの3トランジスタ構成となっている。
この場合、画素リセットは、信号読み出しの後に行う必要があるため、画素リセット時に発生したリセットノイズは次のフレームの信号読み出し時に信号電荷に重畳して読み出される。そのため、各水平走査期間内の信号出力とリセット出力にそれぞれ含まれるノイズの間には相関がない(1フレーム分のずれが生じている)ので、リセットノイズの低減法として一般的に利用されている相関二重サンプリング処理(CDS処理)を適用する場合、リセット出力と、それより1フレーム後の信号出力との間で差分演算を実行する必要がある(下記非特許文献1、2を参照)。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、リセットノイズのみならず、暗電流ショットノイズの低減効果が良好で、高画質な出力が得られる積層型固体撮像装置およびそのランダムノイズ低減方法を提供することを目的とするものである。
すなわち、本発明に係る積層型固体撮像装置は、
光電変換部と、半導体技術を用いてなる信号読み出し回路部とが積層され、少なくともソース部の形状が互いに同じとされた、ノイズ信号取得用である第1の転送トランジスタとノイズ入り画像信号取得用である第2の転送トランジスタとを各1つずつ備えた画素が
2次元アレイ状に配置されてなり、
該2次元アレイ状の画素のうち、各列の画素群の各画素における前記第2の転送トランジスタおよび前記第1の転送トランジスタの各ドレインが垂直信号線に接続され、該垂直信号線が電荷−電圧変換回路の入力部に接続され、該電荷−電圧変換回路の出力部が転送スイッチを介してCDS回路の入力部に接続されてなり、
前記光電変換部の受光面には、対応する前記画素の前記第2の転送トランジスタのソース部を接続するとともに前記第1の転送トランジスタのソース部は非接続とし、
各水平走査期間内において、前記第1の転送トランジスタからの暗電流ショットノイズを含むノイズ信号を読み出して、該ノイズ信号のレベルを前記CDS回路に保持するノイズレベル保持指示機能と、
前記第2の転送トランジスタからのノイズ入り画素信号を読み出し、この画素信号のレベルと前記CDS回路に保持された前記ノイズ信号のレベルとの差分値を出力信号として出力するように指示する信号差分出力指示機能と、を有するタイミング制御手段を備えたことを特徴とするものである。
また、前記電荷−電圧変換回路が電荷積分アンプであることが好ましい。
また、前記CDS回路が増幅型カラムノイズ低減回路であることが好ましい。
光電変換部と、半導体技術を用いてなる信号読み出し回路部とが積層された積層型固体撮像装置において、ノイズ信号を低減させるランダムノイズ低減方法であって、
前記積層型固体撮像装置は、少なくともソース部の形状が互いに同じとされた、ノイズ信号の取得用である第1の転送トランジスタとノイズ入り画像信号の取得用である第2の転送トランジスタとを各1つずつ備えた画素が2次元アレイ状に配置され、
該2次元アレイ状の画素のうち、各列の画素群の各画素における該第2の転送トランジスタおよび該第1の転送トランジスタの各ドレインが垂直信号線に接続され、該垂直信号線が電荷−電圧変換回路の入力部に接続され、該電荷−電圧変換回路の出力部が転送スイッチを介してCDS回路の入力部に接続され、
前記光電変換部の受光面には、対応する前記画素の前記第2の転送トランジスタのソース部を接続するとともに前記第1の転送トランジスタのソース部は非接続とした、構成とされ、
各水平走査期間内において、前記第1の転送トランジスタからのノイズ信号を読み出して、該ノイズ信号のレベルを前記CDS回路に保持せしめ、
当該水平走査期間内において、前記第2の転送トランジスタからのノイズ入り画素信号を読み出し、この画素信号のレベルと前記CDS回路に保持された前記ノイズ信号のレベ
ルとの差分値を出力信号として出力することを特徴とするものである。
つの転送トランジスタにより行うことが可能となった背景には、信号読み出しの形態を電流読み出しとしたことにある。これにより数少ないトランジスタにより、良好にランダムノイズを低減することができる。
以下、本発明の第1の実施形態に係る積層型固体撮像装置およびそのランダムノイズ低減方法について図面を用いて説明する。
なお、ここでは、光電変換膜で発生する信号電荷は電子として説明するが、信号電荷が正孔とされていても良い。
また、光電変換膜は横方向の抵抗値が非常に高く、画素間で信号電荷が混合される心配がないため、画素に区切る必要がなく、2次元に配列された画素全面に積層されているものとする。
なお、図1は本実施形態に係る積層型固体撮像装置200の全体構成を示すものであり、信号読み出し回路の各部として、電荷−電圧変換回路204、CDS回路205およびA/D変換器206の接続関係を示すものである。また、図2は、画素アレイ201中の
1画素100の構成、および各画素から出力された信号が入力される各部の具体的な構成を示すものである。また、図3は、1水平走査期間のタイミングチャート(駆動クロックパターン)を示すものである。
この積層型固体撮像装置200は、光電変換部と、信号読み出し回路部とが積層されてなる。
図面では、縦横2次元アレイ状に画素を配列してなる画素アレイ201のうち、1つの画素についての構成を表している。
図1に示す等価回路図においては、1画素あたり2トランジスタ使用の画素回路とされている。なお、この等価回路図に示す画素100の画素回路は、各々、例えばCMOS型撮像装置の画素アレイの各画素に対応して設けられる。
なお、各画素中で、上記2つのトランジスタMT1、MT2の各ソース部、すなわち各電荷蓄積容量部SCの配設位置は出来るだけ近接配置とすることが好ましく、画素サイズ(縦または横一辺の長さ)に比して両トランジスタの配設距離を、製造プロセスの設計ルールが許容する最短距離であることが望ましく、例えば1/4以下、より好ましくは1/6以下にすることが好ましい。その際、前記第1の転送トランジスタのドレイン部と前記第2の転送トランジスタのドレイン部は、拡散層を共通化して接続されることが望ましい。これにより、両者によるノイズ信号取得環境を揃えることが可能となるので、ノイズの相殺を良好に行うことが可能である。
このSC110Bは電荷転送トランジスタ(以下、第2転送トランジスタと称する)MT2のソース部から構成され、光電変換膜120Bの対応する領域に接続される。
されており、この対応領域は入射光が入射しないように、金属層120A等により遮光されている。これにより、SC110Aには、暗電流ショットノイズおよびリセットノイズに応じた量の電子のみが蓄積する。
なお、電荷積分アンプ204´に入力される電荷には、暗電流ショットノイズおよびリセットノイズに応じた電荷も含まれている。
となり、これを解くと、
となるため、これにより、2つの転送トランジスタMT1、MT2から送出された電荷のレベルの差引演算が行われ、ノイズが略除去された正味の画素信号の電圧値のみが出力される。より正確には、正味の画素信号の電荷量に相当する電圧値がCc/Cfc倍に増幅された値が出力される。
すなわち、リセットノイズと暗電流ショットノイズ、すなわちランダムノイズが低減さ
れた上記電圧信号が増幅型カラムノイズ低減回路205´から出力される。
に入力されてA/D変換され、デジタル信号として出力される。
る。なお、このタイミング制御手段150は、一般にコンピュータのCPUやメモリ等からなるハードと、これを機能させ得るプログラムからなるソフトの組み合わせにより構成される。
)によって示すものである。
すなわち、図3においては、1水平走査期間(第1期間、第2期間、第3期間および第4期間の4つの期間に区分されている)におけるタイミングチャートが示されており、この図3を用いて信号読み出し処理を、時系列的に説明する。
このとき、増幅型カラムノイズ低減回路205´のリセットスイッチRSTCがオンされるのと同時またはわずかに遅延したタイミングで第1転送トランジスタMT1および転送スイッチTSがオンされ、所定時間後、増幅型カラムノイズ低減回路205´のリセットスイッチRSTCがオフされるのと同時またはわずかに早いタイミングでオフされる。この動作により、リセットノイズと暗電流ショットノイズが増幅型カラムノイズ低減回路
205´のリセットレベルに保持される。
以下、本発明の第2の実施形態に係る積層型固体撮像装置およびそのランダムノイズ低減方法について図面を用いて説明する。
図4は、第2の実施形態に係るCMOS型の積層型固体撮像装置を示すものである。画素構成の基本部分は図2のものと略同様で、図2に示す電荷積分アンプ204´と同様の回路構成の電荷積分アンプが2個(204´A、204´B)用意され、入力側の転送スイッチTSIAを介して画素100と電荷積分アンプ204´Aが接続され、入力側の転送スイッチTSIBを介して画素100と電荷積分アンプ204´Bが接続される。なお、電荷積分アンプ204´Aを構成するコンデンサCfiAと電荷積分アンプ204´Bを構成するコンデンサCfiBの容量値は同値とする。また、出力側の転送スイッチTSOAを介して電荷積分アンプ204´Aと増幅型カラムノイズ低減回路205´が接続され、入力側の転送スイッチTSOBを介して電荷積分アンプ204´Bと増幅型カラムノイズ低減回路205´が接続される。
次に、画素100を構成する第2転送トランジスタMT2および転送スイッチTSIBがON状態とされると、ノイズ入り画像信号の電荷が、電荷積分アンプ204´Bに入力され、電荷は電圧に変換される。このとき、転送スイッチTSOBをON状態として電荷積分アンプ204´Bから出力された電圧信号がCDS回路205である増幅型カラムノイズ低減回路205´に入力され、上記リセットレベルから光電変換膜120Bに蓄積した電荷量に相当する電圧分だけが、増幅型カラムノイズ低減回路205´から出力される
。信号読み出しの基本メカニズムは上記第1の実施形態と同様であり、リセットノイズと暗電流ショットノイズ、すなわちランダムノイズが低減された電圧信号が増幅型カラムノイズ低減回路205´から出力される。増幅型カラムノイズ低減回路205´から出力された電圧信号は、A/D変換器206に入力されてA/D変換され、デジタル信号として出力される。
やスイッチ開閉動作がなされる。なお、このタイミング制御手段150Aは、タイミング制御手段150と同様、コンピュータのCPUやメモリ等からなるハードと、これを機能させ得るプログラムからなるソフトの組み合わせにより構成される。
図5は、第2の実施形態の1水平走査期間における信号読み出しのタイミングチャートを示すものである。各チャートは、信号線TX1のON/OFF状態、信号線TX2のO
N/OFF状態、転送スイッチTSIAのON/OFF状態、転送スイッチTSIBのON/OFF状態、転送スイッチTSOAのON/OFF状態、転送スイッチTSOBのON/
OFF状態、リセットスイッチRSTAのON/OFF状態、リセットスイッチRSTB
のON/OFF状態およびリセットスイッチRSTCのON/OFF状態を、H(ON状態)またはL(OFF状態)によって示すものである。
このとき、増幅型カラムノイズ低減回路205´のリセットスイッチRSTCがオンされるのと同時またはわずかに遅延したタイミングで第1転送トランジスタMT1、転送スイッチTSIAおよび転送スイッチTSOAがオンされ、所定時間後、増幅型カラムノイズ低減回路205´のリセットスイッチRSTCがオフされるのと同時またはわずかに早いタイミングでオフされる。この動作により、リセットノイズと暗電流ショットノイズが増幅型カラムノイズ低減回路205´のリセットレベルに保持される。
SIAを同時にオンするとともに、電荷積分アンプ204´AのリセットスイッチRSTAもオンし、所定時間後に、これら3者をいずれもオフすることで、転送トランジスタMT1のソース部の電荷をリセットする。
また、電荷−電圧変換回路204およびCDS(相関二重サンプリング)回路205としては、上記実施例に限られるものではなく、他の構成の電荷−電圧変換回路や、他の構成の、ノイズ相殺を用いたノイズ低減回路を用いることが可能である。
110A、B SC(電荷蓄積容量部)
120A 遮光用金属層
120B 光電変換膜
150、150A タイミング制御手段
200 積層型固体撮像装置
201 画素アレイ
202 垂直走査回路
202A シフトレジスタ
202B、C AND回路
204 電荷−電圧変換回路
204´ 電荷積分アンプ
205 CDS回路
205´ 増幅型カラムノイズ低減回路
206 A/D変換器
214A、B オペアンプ
MT1 第1転送トランジスタ(電荷転送トランジスタ)
MT2 第2転送トランジスタ(電荷転送トランジスタ)
TX1、TX2 信号線
RSTI、RSTC リセットスイッチ
TS 転送スイッチ
Claims (6)
- 光電変換部と、半導体技術を用いてなる信号読み出し回路部とが積層され、少なくともソース部の形状が互いに同じとされた、ノイズ信号取得用である第1の転送トランジスタとノイズ入り画像信号取得用である第2の転送トランジスタとを各1つずつ備えた画素が2次元アレイ状に配置されてなり、
該2次元アレイ状の画素のうち、各列の画素群の各画素における前記第2の転送トランジスタおよび前記第1の転送トランジスタの各ドレインが垂直信号線に接続され、該垂直信号線が電荷−電圧変換回路の入力部に接続され、該電荷−電圧変換回路の出力部が転送スイッチを介してCDS回路の入力部に接続されてなり、
前記光電変換部の受光面には、対応する前記画素の前記第2の転送トランジスタのソース部を接続するとともに前記第1の転送トランジスタのソース部は非接続とし、
各水平走査期間内において、前記第1の転送トランジスタからの暗電流ショットノイズを含むノイズ信号を読み出して、該ノイズ信号のレベルを前記CDS回路に保持するノイズレベル保持指示機能と、
前記第2の転送トランジスタからのノイズ入り画素信号を読み出し、この画素信号のレベルと前記CDS回路に保持された前記ノイズ信号のレベルとの差分値を出力信号として出力するように指示する信号差分出力指示機能と、を有するタイミング制御手段を備えたことを特徴とする積層型固体撮像装置。 - 前記タイミング制御手段は、各水平走査期間内において、前記CDS回路をリセットするように指示する第1指示機能と、前記第1の転送トランジスタと前記転送スイッチをオンして前記ノイズ信号が読み出されるように指示する第2指示機能と、前記第1の転送トランジスタと前記転送スイッチをオフするように指示する第3指示機能と、前記第1の転送トランジスタにより読み出された該ノイズ信号のレベルを前記CDS回路に保持されるように指示する第4指示機能と、前記電荷−電圧変換回路がリセット状態とされるように指示する第5指示機能と、前記第2の転送トランジスタと前記転送スイッチをオンして前記ノイズ入り画素信号が読み出されるように指示する第6指示機能と、前記第2の転送トランジスタと前記転送スイッチをオフするように指示する第7指示機能と、前記第1の転送トランジスタと前記第2の転送トランジスタをオンするとともに前記電荷−電圧変換回路がリセット状態とされるように指示する第8指示機能と、を有するタイミング制御手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の積層型固体撮像装置。
- 前記第1の転送トランジスタのソース部の上面に遮光層を配設したことを特徴とする請求項1または2に記載の積層型固体撮像装置。
- 前記電荷−電圧変換回路が電荷積分アンプであることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の積層型固体撮像装置。
- 前記CDS回路が増幅型カラムノイズ低減回路であることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の積層型固体撮像装置。
- 光電変換部と、半導体技術を用いてなる信号読み出し回路部とが積層された積層型固体撮像装置において、ノイズ信号を低減させるランダムノイズ低減方法であって、
前記積層型固体撮像装置は、少なくともソース部の形状が互いに同じとされた、ノイズ信号の取得用である第1の転送トランジスタとノイズ入り画像信号の取得用である第2の転送トランジスタとを各1つずつ備えた画素が2次元アレイ状に配置され、
該2次元アレイ状の画素のうち、各列の画素群の各画素における該第2の転送トランジスタおよび該第1の転送トランジスタの各ドレインが垂直信号線に接続され、該垂直信号線が電荷−電圧変換回路の入力部に接続され、該電荷−電圧変換回路の出力部が転送スイ
ッチを介してCDS回路の入力部に接続され、
前記光電変換部の受光面には、対応する前記画素の前記第2の転送トランジスタのソース部を接続するとともに前記第1の転送トランジスタのソース部は非接続とした、構成とされ、
各水平走査期間内において、前記第1の転送トランジスタからのノイズ信号を読み出して、該ノイズ信号のレベルを前記CDS回路に保持せしめ、
当該水平走査期間内において、前記第2の転送トランジスタからのノイズ入り画素信号を読み出し、この画素信号のレベルと前記CDS回路に保持された前記ノイズ信号のレベルとの差分値を出力信号として出力することを特徴とする積層型固体撮像装置のランダムノイズ低減方法。
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