JP2019067908A - 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 - Google Patents
圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019067908A JP2019067908A JP2017191611A JP2017191611A JP2019067908A JP 2019067908 A JP2019067908 A JP 2019067908A JP 2017191611 A JP2017191611 A JP 2017191611A JP 2017191611 A JP2017191611 A JP 2017191611A JP 2019067908 A JP2019067908 A JP 2019067908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- piezoelectric
- resin
- piezoelectric film
- stretching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 36
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 97
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 97
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 claims description 3
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 17
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 14
- -1 trifluoroethylene, trifluorochloroethylene, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene Chemical group 0.000 description 10
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 5
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 5
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920006290 polyethylene naphthalate film Polymers 0.000 description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dinitroanilino)-4-methylpentanoic acid Chemical compound CC(C)CC(C(O)=O)NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQZDDWKUQKQXGC-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylprop-2-enoxymethyl)oxirane Chemical compound CC(=C)COCC1CO1 LQZDDWKUQKQXGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCOC(=O)C=C QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229920000571 Nylon 11 Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- CXAGJEAEALGNNB-NSCUHMNNSA-N oxiran-2-ylmethyl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OCC1CO1 CXAGJEAEALGNNB-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M pent-4-enoate Chemical compound [O-]C(=O)CCC=C HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/098—Forming organic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/857—Macromolecular compositions
Abstract
Description
一態様に係る圧電フィルムは、圧電性を有している樹脂を含んでいる材料から成形されるフィルムである。ここで、圧電性を有している樹脂には、例えば、ポリフッ化ビニリデン樹脂およびナイロン11等の奇数鎖ナイロン等が挙げられ、圧電性、耐候性、および耐熱性等が高いという観点から、これらのなかでも、フッ化ビニリデン樹脂を用いることが最も好ましい。
フッ化ビニリデン樹脂は、フッ化ビニリデンの単独重合体、および共重合体、並びにこれらの混合樹脂の何れでもよい。フッ化ビニリデン樹脂がフッ化ビニリデン共重合体である場合は、フッ化ビニリデンおよびフッ化ビニリデンと共重合可能な単量体からなることが好ましい。フッ化ビニリデンと共重合可能な単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン等の炭化水素系単量体、またはフッ化ビニル、トリフルオロエチレン、トリフルオロクロロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、フルオロアルキルビニルエーテル等のフッ化ビニリデン以外の含フッ素単量体との共重合体が含まれる。フッ化ビニリデン樹脂が共重合体である場合、フッ化ビニリデン樹脂中において、フッ化ビニリデン単量体の含有量は90モル%以上であることが好ましく、95モル%以上であることがさらに好ましい。
一態様に係る圧電フィルムは、電気物性、機械物性等を調製するために必要に応じて樹脂以外の成分を含有してもよい。このような成分には、例えば、無機物を挙げることができ、無機物には無機酸化物粒子が挙げられる。
一態様において、圧電フィルムの厚さは、300μm以下であり、80μm以下であることが好ましく、30μm以下であることがより好ましい。圧電フィルムの厚さを300μm以下、好ましくは80μm以下、より好ましくは、30μm以下とすることで、ディスプレイパネルおよびモバイル機器等のキーボード等に用いられる圧電センサーとして好適に使用することができる。なお、限定されるものではないが、圧電フィルムの厚さは、10μm以上であれば、使用時の強度を維持することができる。
本発明の圧電フィルムは、タッチパネル等の圧電パネルに使用することができる。更に、本発明の圧電フィルムを有する圧電パネルは、入力装置、およびタッチセンサー装置に用いることができる。当該入力装置としては、具体的には、スマートフォン、タブレットPC、ATM、自動券売機、テレビ等のディスプレイ装置等が挙げられる。当該タッチセンサー装置としては、具体的には、衝撃センサー、ロボット掃除機、PCのキーボード等が挙げられる。
一態様に係るフィルムの製造方法は、樹脂フィルムの一方の面(表面、第1面とも称する)に、該面を保護する保護フィルムを重ねる保護工程と、延伸ロールによって、保護フィルム側から保護フィルムとともに樹脂フィルムを延伸して圧電フィルムを得る延伸工程と、延伸工程後、圧電フィルムから保護フィルムを取り外す取り外し工程を含んでいる。
図1は、一態様に係る圧電フィルムの製造方法の一例を示す模式図である。一態様に係る圧電フィルムの製造方法は、保護工程において、フッ化ビニリデン樹脂を主成分とする樹脂フィルムを延伸する前に、樹脂フィルム11と延伸ロールの接する面に保護フィルム12を重ねる。ここで、一態様に係る圧電フィルムの製造方法では、樹脂フィルム11は予熱ロール(不図示)によって予め加熱し、保護フィルム12は予熱ロールによって予め加熱していない状態にて、該樹脂フィルム11と保護フィルム12とを重ねあわせる。
一態様の延伸工程においては、保護工程で重ねた保護フィルム12と共に、樹脂フィルム11を表面の粗い延伸ロール21を用いて延伸することで圧電フィルム11aおよび延伸された保護フィルムである延伸保護フィルム12aの積層体を得ることができる。
上記延伸工程で得られた圧電フィルム11aおよび延伸保護フィルム12aの積層体は、延伸ロール21を通過した後、延伸保護フィルム12aが取り外される(取り外し工程)。保護フィルムの取り外し方法としては、圧電フィルムに保護フィルムが残らない方法であれば特に限定されるものではないが、例えば、圧電フィルム11aおよび延伸保護フィルム12aの積層体をスライドさせて取り外す方法が挙げられる。なお、延伸ロール22にピンチロールが設けられている場合、当該ピンチロールを通過した後に、積層体から延伸保護フィルム12aを取り外す。
一態様に係る製造方法では、延伸工程にて得られた圧電フィルム11aをさらに直流高圧電源25に接続された非接触の尖端電極24と接地された分極ロール23(対向電極)との間の直流高電界の作用により分極処理を行なう。
上記のようにして得られた分極処理圧電フィルム11bは、寸法安定化のための熱処理工程等の後処理を行なってもよい。熱処理方法は、特に限定されるものではない。
一態様に係る圧電フィルムの製造方法は上記態様に限定されない。例えば、一態様に係る圧電フィルムの製造方法は、保護工程前、フッ化ビニリデン樹脂を含んでいる樹脂材料を押出成形することによって、樹脂フィルムを得る樹脂フィルム成形工程をさらに含んでいる態様である。
圧電フィルムの両面に厚さ100〜500ÅのAl蒸着電極を形成し、Al蒸着した圧電フィルムの所定箇所(フィルムの平面部分における中心近傍)から、7mm×30mmのサンプルを切り出し試験片とした。次いで、圧電定数測定装置(株式会社東洋精機製作所製「レオログラフソリッド」)のサンプルチャンバー内において試験片をクランプ止めし、長辺方向に沿って、張力:1ニュートン(N)、周波数:10Hzの条件で振動を加え、圧電定数d31を測定した。
JIS B0601−1994に準拠した表面粗さ計(株式会社小坂研究所製「Surfcorder SE1700」)により算術平均粗さ(表面粗さ)Raを測定した。なお、算術平均粗さ(表面粗さ)Raは、圧電フィルムの幅方向(TD方向)において測定した。
表面粗さRaと同様に、表面粗さ計(株式会社小坂研究所製「Surfcorder SE1700」)を使用し、最大高さRzについても評価した。最大高さRzも、算術平均粗さ(表面粗さ)Raと同様にして圧電フィルムの幅方向(TD方向)において測定した。
インヘレント粘度が1.3dl/gであるPVDF(ポリフッ化ビニリデン:株式会社クレハ製)から成形された樹脂フィルム(厚さ、110μm)の裏面にPP(ポリプロピレン:株式会社クレハ製)の保護フィルム(厚さ、40μm)を重ねた。重ねたPVDFの樹脂フィルムと保護フィルムとを、表面温度110℃に加熱されているハードクロムメッキ鏡面仕上げ予熱ロール(直径300mm、表面粗さRa=0.012μm)を通し、引き続き、表面温度120℃に加熱されているセラミック延伸ロール(直径150mm、表面粗さRa=0.44μm)に通し、送り速度が0.8m/分の条件にて、延伸倍率が3.6倍になるように延伸した(延伸工程)。
保護フィルムとしてポリエチレンナフタレート(以下、PENと略記)を使用した以外は、実施例1と同様の手法で圧電フィルムを得た。得られたフィルムの物性を表1に示す。
保護フィルムとしてポリエチレンテレフタラート(以下、PETと略記)を使用した以外は、実施例1と同様の手法で圧電フィルムを得た。得られたフィルムの物性を表1に示す。
保護フィルムを使用しない以外は、実施例1と同様の手法で圧電フィルムを得た。得られたフィルムの物性を表1に示す。
Claims (11)
- フッ化ビニリデン樹脂を主成分とする圧電フィルムであって、
上記圧電フィルムは、厚さが300μm以下であり、
上記圧電フィルムの両面のそれぞれは、算術平均粗さRaが0.050μm以下であることを特徴とする圧電フィルム。 - 上記圧電フィルムの厚さが80μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電フィルム。
- 上記フッ化ビニリデン樹脂は、フッ化ビニリデンの単独重合体であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電フィルム。
- 圧電定数d31が、10pC/N以上、40pC/N以下の範囲内であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電フィルム。
- 樹脂フィルムの一方の面に、該面を保護する保護フィルムを重ねる保護工程と、
延伸ロールによって、上記保護フィルム側から上記保護フィルムと共に上記樹脂フィルムを延伸して延伸フィルムを得る延伸工程と、
上記延伸工程後、上記延伸フィルムから上記保護フィルムを取り外す取り外し工程と、を含んでいることを特徴とするフィルムの製造方法。 - 上記樹脂フィルムは、フッ化ビニリデン樹脂を主成分とする樹脂フィルムであり、上記延伸フィルムは圧電フィルムであることを特徴とする請求項5に記載のフィルムの製造方法。
- 上記保護工程前、樹脂材料を押出成形することによって、上記樹脂フィルムを得る樹脂フィルム成形工程をさらに含んでいることを特徴とする請求項5または6に記載のフィルムの製造方法。
- 上記延伸工程後、上記圧電フィルムを分極することにより分極フィルムを得る分極工程を含んでいることを特徴とする請求項6に記載のフィルムの製造方法。
- 上記保護フィルムは、ポリオレフィン樹脂フィルム、またはポリエステル樹脂フィルムである請求項5から8のいずれか1項に記載のフィルムの製造方法。
- 上記保護フィルムは、厚さが10μm以上200μm以下である請求項5から9のいずれか1項に記載のフィルムの製造方法。
- 上記延伸ロールの表面における算術平均粗さRaは0.1μm以上30μm以下である請求項5から10のいずれか1項に記載のフィルムの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017191611A JP2019067908A (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 |
PCT/JP2018/023492 WO2019064739A1 (ja) | 2017-09-29 | 2018-06-20 | 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 |
TW107127574A TW201915034A (zh) | 2017-09-29 | 2018-08-08 | 壓電膜及膜之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017191611A JP2019067908A (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019067908A true JP2019067908A (ja) | 2019-04-25 |
JP2019067908A5 JP2019067908A5 (ja) | 2020-08-13 |
Family
ID=65901267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017191611A Pending JP2019067908A (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019067908A (ja) |
TW (1) | TW201915034A (ja) |
WO (1) | WO2019064739A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021215284A1 (ja) * | 2020-04-22 | 2021-10-28 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素重合体フィルム |
WO2022091828A1 (ja) | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 株式会社クレハ | 圧電フィルム、タッチパネル、および圧電フィルムの製造方法 |
WO2022091827A1 (ja) | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 株式会社クレハ | 透明圧電積層フィルムおよびタッチパネル |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021108107A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 株式会社クレハ | タッチパネル用シート |
CN111244264B (zh) * | 2020-01-15 | 2023-04-18 | 山东大学 | 一种pvdf薄膜卷对卷复合极化装置及方法 |
WO2021200790A1 (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-07 | 株式会社クレハ | 積層フィルム、その製造方法および利用 |
JPWO2022270364A1 (ja) * | 2021-06-22 | 2022-12-29 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6047034A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-14 | Kureha Chem Ind Co Ltd | フッ化ビニリデン共重合体圧電膜の製造方法 |
JPS60111483A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Daikin Ind Ltd | 圧電性高分子材料 |
WO2004029109A1 (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-08 | Kureha Chemical Industry Company, Limited | ポリ弗化ビニリデン系共重合体及びその溶液 |
JP2008171935A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Kureha Corp | 高分子圧電体フィルムの製造方法および高分子圧電体フィルム |
WO2010061726A1 (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-03 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 有機圧電材料、超音波振動子および超音波探触子 |
JP2011006596A (ja) * | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Kureha Corp | 高分子組成物および高分子圧電体フィルム |
JP2011501678A (ja) * | 2007-09-21 | 2011-01-13 | バイオ−エービーシー ラボ,インコーポレイテッド | 延伸により電気的信号を発生させる物質を含むセンサー |
JP2015097220A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-05-21 | ダイキン工業株式会社 | 圧電フィルム |
WO2015129829A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | ダイキン工業株式会社 | バイモルフ型圧電フィルム |
JP2015188055A (ja) * | 2014-10-20 | 2015-10-29 | 三井化学株式会社 | 積層体 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013142552A1 (en) * | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Bayer Materialscience Ag | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
JP2015111641A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-06-18 | ダイキン工業株式会社 | 有機圧電フィルム |
JP2015111640A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-06-18 | ダイキン工業株式会社 | 圧電フィルムの製造方法 |
-
2017
- 2017-09-29 JP JP2017191611A patent/JP2019067908A/ja active Pending
-
2018
- 2018-06-20 WO PCT/JP2018/023492 patent/WO2019064739A1/ja active Application Filing
- 2018-08-08 TW TW107127574A patent/TW201915034A/zh unknown
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6047034A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-14 | Kureha Chem Ind Co Ltd | フッ化ビニリデン共重合体圧電膜の製造方法 |
JPS60111483A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Daikin Ind Ltd | 圧電性高分子材料 |
WO2004029109A1 (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-08 | Kureha Chemical Industry Company, Limited | ポリ弗化ビニリデン系共重合体及びその溶液 |
JP2008171935A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Kureha Corp | 高分子圧電体フィルムの製造方法および高分子圧電体フィルム |
JP2011501678A (ja) * | 2007-09-21 | 2011-01-13 | バイオ−エービーシー ラボ,インコーポレイテッド | 延伸により電気的信号を発生させる物質を含むセンサー |
WO2010061726A1 (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-03 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 有機圧電材料、超音波振動子および超音波探触子 |
JP2011006596A (ja) * | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Kureha Corp | 高分子組成物および高分子圧電体フィルム |
JP2015097220A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-05-21 | ダイキン工業株式会社 | 圧電フィルム |
WO2015129829A1 (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | ダイキン工業株式会社 | バイモルフ型圧電フィルム |
JP2015188055A (ja) * | 2014-10-20 | 2015-10-29 | 三井化学株式会社 | 積層体 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
TAKASHI NAKAJIMA ET AL.: "Intrinsic Switching Characteristics of Ferroelectric Ultrathin Vinylidene Fluoride/Trifluoroethylene", JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 44, no. 45, JPN6021036405, 2005, JP, pages 1385 - 1388, ISSN: 0004596846 * |
WEN-YANG CHANG ET AL.: "Thermomechanical and Optical Characteristicsof Stretched Polyvinylidene Fluoride", JOURNAL OF POLYMER SCIENCE, vol. 46, JPN6021036406, 2008, pages 949 - 958, ISSN: 0004688765 * |
YUUTA NAKAGAWA ET AL.: "Ferroelectric properties of vinylidene fluoride/tetrafluoroethylene copolymer thin films consisting", JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 55, 051601, JPN6021036409, 2016, JP, pages 1 - 5, ISSN: 0004596847 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021215284A1 (ja) * | 2020-04-22 | 2021-10-28 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素重合体フィルム |
JP2021174834A (ja) * | 2020-04-22 | 2021-11-01 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素重合体フィルム |
JP7071664B2 (ja) | 2020-04-22 | 2022-05-19 | ダイキン工業株式会社 | 含フッ素重合体フィルム |
TWI825408B (zh) * | 2020-04-22 | 2023-12-11 | 日商大金工業股份有限公司 | 含氟聚合物薄膜 |
WO2022091828A1 (ja) | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 株式会社クレハ | 圧電フィルム、タッチパネル、および圧電フィルムの製造方法 |
JPWO2022091828A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | ||
WO2022091827A1 (ja) | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 株式会社クレハ | 透明圧電積層フィルムおよびタッチパネル |
KR20230074765A (ko) | 2020-10-30 | 2023-05-31 | 가부시끼가이샤 구레하 | 압전 필름, 터치 패널 및 압전 필름의 제조 방법 |
JP7426502B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-02-01 | 株式会社クレハ | 圧電フィルム、タッチパネル、および圧電フィルムの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019064739A1 (ja) | 2019-04-04 |
TW201915034A (zh) | 2019-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2019064739A1 (ja) | 圧電フィルムおよびフィルムの製造方法 | |
JP2022040121A (ja) | 有機圧電フィルム | |
JP5078362B2 (ja) | 高分子圧電体フィルムの製造方法および高分子圧電体フィルム | |
KR101871617B1 (ko) | 바이모르프형 압전 필름 | |
KR101942630B1 (ko) | 필름 및 그 제조 방법 | |
TW202020898A (zh) | 透明導電性薄膜 | |
CN112913039A (zh) | 压电膜 | |
JP6760404B2 (ja) | フッ素樹脂フィルム | |
JP6451641B2 (ja) | フィルム | |
JP7331362B2 (ja) | フィルム | |
JP2015111641A (ja) | 有機圧電フィルム | |
JP6468441B2 (ja) | 圧電フィルム | |
JP6638395B2 (ja) | 圧電フィルム | |
JP2015111640A (ja) | 圧電フィルムの製造方法 | |
WO2021215284A1 (ja) | 含フッ素重合体フィルム | |
JP5986831B2 (ja) | フィルムの搬送方法及び光学フィルムの製造方法 | |
CN111699564B (zh) | 压电体膜、压电体膜的制造方法以及压电体器件 | |
JP6439250B2 (ja) | 積層体 | |
JP2010082953A (ja) | 逐次二軸延伸ポリエステルフィルムおよびその製造方法 | |
JP2015097220A (ja) | 圧電フィルム | |
JP2004142305A (ja) | 積層フィルム | |
WO2023224057A1 (ja) | 積層圧電フィルム | |
WO2023224056A1 (ja) | 導電圧電フィルム、デバイス、及び導電圧電フィルムの製造方法 | |
KR102655470B1 (ko) | 압전 필름 | |
JP2018039263A (ja) | 積層フィルムおよびフィルムロール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200611 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211110 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220125 |