JP2019066385A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基部は、基準に対して相対移動不能である
追従部は、被検出体の基準に対する相対移動に追従して移動可能または変形可能に設けられる。
伸縮可能部材は、基部と追従部との間に設けられる。伸縮可能部材は、追従部の移動または変形に応じて伸縮可能な材料から形成され、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する。
熱流束検出部は、伸縮可能部材の熱が伝わるよう設けられる。熱流束検出部は、伸縮可能部材の内部と外部との間の熱の流れである熱流束の大きさに応じた信号を出力する。
復元力発生部材は、弾性変形可能な材料から形成され、基部と追従部との間において基部に支持されつつ追従部に当接する。復元力発生部材は、追従部の移動または変形に応じて伸縮可能部材が収縮または伸長すると当該伸縮可能部材が収縮または伸長する前の状態に戻るよう復元力を発生する。
このように、本発明の位置検出装置は、復元力発生部材の復元力及び剛性によって被検出体の位置検出の応答性及び精度を向上することができる。
第一実施形態による位置検出装置を図1〜8に基づいて説明する。第一実施形態による位置検出装置1は、「基部」としてのベース部材21、「追従部」としての押し当て部材22、「伸縮可能部材」としての弾性部材23、「熱流束検出部」としての熱流束センサ10、「復元力発生部材」としてのダイヤフラム部24、及び、計測部30を備える。なお、図1,2,6,7は、各部の関係を分かりやすくするため、位置検出装置1の縦と横との縮尺比を変更している。
検出部101は、図3に示すように、熱流束センサ10において略環状に配置されている。検出部101は、図4に示すように、絶縁基材11、裏面保護部材12、表面保護部材13、第一層間接続部材14、及び、第二層間接続部材15を有する。なお、図4は、検出部101の構成を分かりやすくするため、実際の形状に比べて裏面保護部材12から表面保護部材13に向かう方向を拡大している。
具体的には、図4に示す熱流束センサ10を押し当て部材22側から見た上面図において最も径内方向に位置する円弧状の二点鎖線Le1で示す検出部配線は、略直線状の二点鎖線Le2で示す検出部配線によって隣り合う円弧状の二点鎖線Le3で示す検出部配線と電気的に接続されている。また、円弧状の二点鎖線Le3で示す検出部配線は、熱流束センサ10の中心軸と同軸の位置検出装置1の中心軸CA1を挟んで二点鎖線Le2の略反対側に位置する略直線状の二点鎖線Le4で示す検出部配線によって隣り合う円弧状の二点鎖線Le5と電気的に接続されている。
二点鎖線Le6で示す検出部配線は、略直線状の二点鎖線Le7で示す検出部配線によって径内方向で隣り合う円弧状の二点鎖線Le8で示す検出部配線と電気的に接続されている。その後、紙面下側において複数回折り返すよう形成されている検出部配線は、図4において最も径内方向に位置する二点鎖線Le1とは異なる円弧状の二点鎖線Le9で示す検出部配線と電気的に接続している。
ダイヤフラム25は、略環状に形成されている部材である。ダイヤフラム25は、弾性変形可能な材料、例えば、ステンレスから形成されている。ダイヤフラム25は、中央に有する通孔250に弾性部材23が挿通されている。すなわち、ダイヤフラム25は、弾性部材23の径外方向の全周に位置している。
テーブル8上に設けられている位置検出装置1の押し当て部材22に外部からの作用力F11が作用すると、図1、2に示す初期状態から、ベース部材21に対する押し当て部材22の相対位置が変化または押し当て部材22の一部が変形する。押し当て部材22の相対位置の変化または変形によって弾性部材23が変形すると、弾性部材23が発熱または吸熱する。弾性部材23が発熱または吸熱すると、外部との熱のやり取りである熱流束が発生する。熱流束センサ10では、第一層間接続部材14及び第二層間接続部材15において発生する起電圧の電圧を出力線143、153を介して検出信号として計測部30に出力する。計測部30は、熱流束センサ10が出力する検出信号に基づいて熱流束センサ10を通る熱流束の大きさを算出し、押し当て部材22の相対位置の変化量または変形量を算出する。
図7は、位置変化の検出対象である被検出体90に適用される位置検出装置1の模式図である。図8は、被組み付け部材91へのプッシャ92の組み付け時における熱流束センサ10のセンサ出力の時間変化を示す特性図である。
本体部911は、テーブル8上に設けられている位置検出装置1の押し当て部材22のベース部材21とは反対側の面221に当接している。
当接部912は、本体部911の位置検出装置1とは反対側に設けられている。当接部912は、プッシャ92に当接可能な当接面910を有する。
小径部913は、当接部912の位置検出装置1とは反対側に設けられている断面が略円形状の棒状の部位である。小径部913の外径は、プッシャ92が有する通孔923の内径に比べ小さい。
大径部914は、小径部913の位置検出装置1とは反対側に設けられている断面が略円形状の部位である。大径部914の外径は、プッシャ92が有する通孔923の内径とほぼ同じである。
本体部921は、略有底筒状に形成されている部材である。本体部921は、大径部914及び小径部913を挿入可能な通孔923を有する。
スプリングプランジャ922は、本体部921の径方向外側の側壁に設けられている。スプリングプランジャ922は、先端のピン924が通孔923に突出可能なよう設けられている。スプリングプランジャ922では、スプリング925によってピン924が本体部921の径内方向に付勢されている。
プッシャ92の通孔923に大径部914を挿入すると、ピン924は、大径部914の径方向外側の外壁面915に当接した後、小径部913の径方向外側の外壁面916に当接する。
図8の時刻t11において、大径部914をプッシャ92に挿入するとピン924が大径部914の外壁面915に当接する。これにより、スプリング925の付勢力が大径部914に作用する。また、大径部914をプッシャ92にさらに挿入すると、センサ出力は、時刻t11でのセンサ出力に比べ次第に大きくなる(時刻t12から時刻t13までの間)。
このように、位置検出装置1は、ダイヤフラム25の復元力によって被検出体90の位置検出の応答性を向上しつつ、ダイヤフラム25の剛性によって被検出体90の位置検出の精度を向上することができる。
次に、第二実施形態による位置検出装置を図9〜11に基づいて説明する。第二実施形態は、熱流束センサの数が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
弾性部材43は、ベース部材21とは反対側の面431が押し当て部材22の面222に、例えば、接着剤によって、接着されている。弾性部材43は、押し当て部材22の移動または変形に応じて、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する。
二つの弾性部材23,43は、ダイヤフラム25の通孔250に挿通されている。
二つの熱流束センサ10,40は、位置検出装置2の中心軸CA2を挟むよう設けられている。図9に示すように、熱流束センサ10は、中心軸CA2の紙面左側に位置し、熱流束センサ40は、中心軸CA2の紙面右側に位置している。
熱流束センサ40の構成は、熱流束センサ10と同じであって、円形状に形成されている。熱流束センサ40は、弾性部材43の内部と外部との間の熱の流れである熱流束を検出可能なセンサである。熱流束センサ40は、検出した熱流束を、例えば、電圧信号として出力する。第二実施形態では、二つの熱流束センサ10,40は、計測部30に対して並列に接続されている。なお、図9〜11では、熱流束センサ10,40が有する接続端子、及び、接続バンプ、及び、出力線は省略し、熱流束センサ10,40のそれぞれと計測部30とを電気的に接続するケーブル100,400のみを記載している。
一方、弾性部材43は、図10に示すように、伸長する。これにより、熱流束センサ40には、伸長する弾性部材43が自身の周囲から吸収する外部の熱に起因する熱流束(図10の白抜き矢印Th12)が通る。熱流束センサ40は、当該熱流束の大きさに応じた電圧信号を出力する。
一方、弾性部材43は、図11に示すように、収縮する。これにより、熱流束センサ40には、収縮する弾性部材43において発生する熱に起因する熱流束(図11の白抜き矢印Th22)が通る。熱流束センサ40は、当該熱流束の大きさに応じた電圧信号を出力する。
図11に示す状態では、例えば、熱流束センサ10から計測部30に入力される電気信号がマイナスの場合、熱流束センサ40から計測部30に入力される電気信号はプラスになる。したがって、計測部30に入力される電圧信号は、図11の状態における一つの熱流束センサが出力する電圧信号の2倍になる。
また、図10の作用力F21や図11の作用力F22のように、位置検出装置2の中心軸CA2からずれた位置に外部から力が作用する場合、二つの熱流束センサ10,40が出力する電圧信号は、極性が逆になる。これにより、計測部30における被検出体90の位置変化の算出に用いる電圧信号の大きさが一つの熱流束センサが出力する電圧信号の大きさに比べ2倍になる。したがって、被検出体90の微小な位置変化を確実に検出することができる。
次に、第三実施形態による位置検出装置を図12に基づいて説明する。第三実施形態は、熱流束センサと計測部との接続方法が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
接続ケーブル410は、図12に示すように、熱流束センサ10と熱流束センサ40とを直接接続する。これにより、例えば、熱流束センサ10が出力する電圧信号は、熱流束センサ40を通って計測部30に入力される。すなわち、第三実施形態では、二つの熱流束センサ10,40は、計測部30に対して直列に接続されており、計測部30には、一つの電圧信号が入力される。
また、位置検出装置3では、計測部30に入力される電圧信号は、熱流束センサ10の電圧信号と、熱流束センサ40の電圧信号との合計となっている。これにより、複数の熱流束センサを備えていても、計測部30における熱流束の大きさの算出、及び、被検出体90の位置変化の算出を比較的容易に行うことができる。
次に、第四実施形態による位置検出装置を図13,14に基づいて説明する。第四実施形態は、熱流束センサの数が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
熱流束センサ10は、図13に示すように、位置検出装置4の中心軸CA4上に位置している。熱流束センサ40,50,60,70は、熱流束センサ10の周囲に設けられている。
熱流束センサ40は、図14に示すように、熱流束センサ10から見てx方向の一方の側に位置する。熱流束センサ40は、ケーブル400を介して計測部30と電気的に接続している。熱流束センサ40と押し当て部材22との間には、弾性部材43が設けられる。弾性部材43は、ベース部材21とは反対側の面431が、熱流束センサ40及び押し当て部材22と、例えば、接着剤によって、接着されている。
このように、位置検出装置4では、五つの熱流束センサ10,40,50,60,70によって、位置検出装置1の中心軸CA4に沿う方向である被検出体90のz軸に沿う方向の位置変化に加え、x軸に沿う方向の位置変化及びy軸に沿う方向の位置変化のそれぞれを算出することができる。したがって、被検出体の位置変化をさらに高精度に検出することができる。
上述の実施形態では、熱流束センサは、形状が円形状となるよう形成されるとした。しかしながら、熱流束センサの形状は、これに限定されない。
図15に、矩形状の熱流束センサ80を備える位置検出装置5の上面図を示す。位置検出装置5は、「基部」としてのベース部材81、「追従部」としての押し当て部材82、「伸縮可能部材」としての弾性部材83、「熱流束検出部」としての熱流束センサ80、「復元力発生部材」としてのダイヤフラム部84、及び、計測部30を備える。
弾性部材83は、例えば、バイトンゴムから熱流束センサ80の検出部801の形状に合うよう略矩形状に形成されている。弾性部材83は、押し当て部材82及び熱流束センサ80に、例えば、接着剤によって接着されている。
検出部801は、端子部802に二点で接続する図示しない検出部配線を有する。
端子部802は、検出部配線に接続する二本の出力線を束ねるケーブル800を有する。ケーブル800は、ベース部材81が有する溝812に収容されている。ケーブル800が有するアース線804は、溝812においてベース部材81に当接している。
ダイヤフラム85は、外形が八角形の略環状に形成されている部材である。ダイヤフラム85は、弾性変形可能な材料、例えば、ステンレスから形成されている。ダイヤフラム85は、中央に有する通孔850に弾性部材83が挿通されている。
ベース側スペーサ86は、ベース部材81とダイヤフラム85との間に設けられている。位置検出装置5では、ベース側スペーサ86は、熱流束センサ80及び弾性部材83を挟むよう二つ設けられている。ベース側スペーサ86は、一端がベース部材81に固定され、他端がダイヤフラム25に固定されている。これにより、ダイヤフラム25は、ベース部材81に対して相対移動不能となる。
押し当て側スペーサ87は、ダイヤフラム85と押し当て部材82との間に設けられている。位置検出装置5では、押し当て側スペーサ87は、熱流束センサ80及び弾性部材83を挟むよう三つ設けられている。押し当て側スペーサ87は、一端が押し当て部材82に固定され、他端がダイヤフラム25に固定されている。これにより、ダイヤフラム25は、押し当て部材82に対して相対移動不能となる。
図15に示す位置検出装置5は、第一実施形態と同じ効果を奏する。
また、ダイヤフラムは、ステンレスから形成されるとした。しかしながら、「復元力発生部材」の材料は、これに限定されない。弾性変形可能な材料であればよい。上述の実施形態では、復元力発生部材の材料を変更することによって、位置検出装置の剛性を変更することが可能である。これにより、第一実施形態の効果(a)で述べたように、押し当て部材に外部からの作用力が作用するときの当該作用力に抗する位置検出装置の剛性を最適な値にすることができる。したがって、被検出体の特性に影響されることなく、被検出体の位置変化を高精度に検出することができる。
8・・・テーブル(基準)
21,81・・・ベース部材(基部)
22,82・・・押し当て部材(追従部)
23,43,53,63,73,83・・・弾性部材(伸縮可能部材)
10,40,50,60,70,80・・・熱流束センサ(熱流束検出部)
24,84・・・ダイヤフラム部(復元力発生部材)
Claims (10)
- 被検出体(90)の基準(8)に対する相対位置の変化を検出可能な位置検出装置であって、
前記基準に対して相対移動不能な基部(21,81)と、
前記被検出体の前記基準に対する相対移動に追従して移動可能または変形可能に設けられる追従部(22,82)と、
前記基部と前記追従部との間に設けられ、前記追従部の移動または変形に応じて伸縮可能な材料から形成され、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する伸縮可能部材(23,43,53,63,73,83)と、
前記伸縮可能部材の熱が伝わるよう設けられ、前記伸縮可能部材の内部と外部との間の熱の流れである熱流束の大きさに応じた信号を出力する熱流束検出部(10,40,50,60,70,80)と、
弾性変形可能な材料から形成され、前記基部と前記追従部との間において前記基部に支持されつつ前記追従部に当接し、前記追従部の移動または変形に応じて前記伸縮可能部材が収縮または伸長すると当該伸縮可能部材が収縮または伸長する前の状態に戻るよう復元力を発生する復元力発生部材(24,84)と、
を備える位置検出装置。 - 前記復元力発生部材は、前記伸縮可能部材または前記熱流束検出部の少なくとも一つの径外方向の全周に設けられる請求項1に記載の位置検出装置。
- 前記復元力発生部材は、
前記伸縮可能部材の収縮または伸長に応じて復元力を発生するダイヤフラム(25,85)、
前記ダイヤフラムと前記基部との間に設けられ、前記ダイヤフラムの一部を前記基部に対して相対移動不能に固定する基部側固定部(26,86)、
及び、
前記ダイヤフラムから前記基部に向かって延びるよう形成され、前記ダイヤフラムの一部を前記追従部に対して相対移動不能に固定する追従部側固定部(27,87)、
を有する請求項1または2に記載の位置検出装置。 - 前記復元力発生部材は、二つの前記基部側固定部、及び、二つの前記追従部側固定部を有し、
二つの前記基部側固定部及び二つの前記追従部側固定部は、前記伸縮可能部材及び前記熱流束検出部の径外方向において、交互かつ等間隔に設けられている請求項3の記載の位置検出装置。 - 二つの前記熱流束検出部を備える請求項1〜4のいずれか一項に記載の位置検出装置。
- 前記熱流束検出部と電気的に接続し、前記熱流束検出部が出力する信号に基づいて熱流束の大きさを算出可能な演算部(30)をさらに備え、
二つの前記熱流束検出部は、前記演算部に対して並列に接続されている請求項5に記載の位置検出装置。 - 前記熱流束検出部と電気的に接続し、前記熱流束検出部が出力する信号に基づいて熱流束の大きさを算出可能な演算部(30)をさらに備え、
二つの前記熱流束検出部は、前記演算部に対して直列に接続されている請求項5に記載の位置検出装置。 - 五つの前記熱流束検出部を備え、
五つの前記熱流束検出部のうちの第一の熱流束検出部(10)の周囲に前記第一の熱流束検出部を除く第二の熱流束検出部(40)、第三の熱流束検出部(50)、第四の熱流束検出部(60)、及び、第五の熱流束検出部(70)が設けられ、
第二の熱流束検出部の中心及び第三の熱流束検出部の中心を通る一の仮想線は、第一の熱流束検出部の中心を通り、
第四の熱流束検出部の中心及び第五の熱流束検出部の中心を通る他の仮想線は、第一の熱流束検出部の中心を通り、
前記一の仮想線と前記他の仮想線とは、垂直に交わる請求項1〜4のいずれか一項に記載の位置検出装置。 - 前記追従部は、弾性変形可能な材料から形成されている請求項1〜8のいずれか一項に記載の位置検出装置。
- 前記基部と前記熱流束検出部、前記熱流束検出部と前記伸縮可能部材、及び、前記伸縮可能部材と前記追従部とは、それぞれ接着されている請求項1〜9のいずれか一項に記載の位置検出装置。
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