JP2019066200A - 表面弾性波センサ及び測定システム - Google Patents

Abstract

【課題】測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、挿入された表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサを提供する。【解決手段】本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、入力信号を入力する、あるいは出力信号を出力する、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される電極部と、当該電極部を構成する対向した一対の櫛歯状電極間に設けられたインピーダンス部とを備え、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類の識別を行う識別情報が前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定される。【選択図】図２

Description

本発明は、表面弾性波構成素子を有する表面弾性波センサ及び測定システムに関する。

一般に、表面弾性波素子は、圧電基板と、この圧電基板上に設けられた櫛歯状電極指からなる入力電極及び出力電極を備えている。表面弾性波素子を用いたセンサとして、表面弾性波のうち、伝搬方向と直交する方向に変位するすべり表面弾性波（SH-SAW:Shear horizontal Surface Acoustic Wave、以下、単に表面弾性）を利用する表面弾性波素子を用いた各種物質の検出や物性値等の測定を行うための弾性波センサが研究されている（特許文献１参照）。

上記表面弾性波素子を備える表面弾性波センサは、例えば、インフルエンザ検査キットなどの種類の検査を行うバイオセンサに用いられている。表面弾性波センサは、その反応検出部分に検体が直接触れるため、基本的に使い捨てを前提として用いられている。このため、測定システムは、一般的に、表面弾性波センサと測定装置とに分けて構成される。測定装置は、いずれの種類の検査を行う表面弾性波センサに対しても対応可能に汎用的な構成となっており、入力端子に対して表面弾性波センサの入出力端子が挿入されることで、この表面弾性波センサの検出する検体の特性データを入力する。
そして、検出装置は、供給される特性データを解析して検査結果を求め、表示装置などの出力装置から検査結果を通知する。

特許第３４８１２９８号公報

しかしながら、表面弾性波センサがどの種類の検査に対応しているかは、表面弾性波センサの包装や箱に印刷やシールなどで示されているが、一旦包装や箱から取り出した後には、表面弾性波センサが対応する検査の種類の区別が付き難くなる。
このため、第１の種類の検査を行う際、異なる第２の種類の検査の表面弾性波センサを、第１の種類の検査の表面弾性波センサと取り違えて検出装置に挿入した場合、第１の種類の検査が行われず、必要な検査結果を得ることができないことになる。

本発明は、上記の課題を考慮してなされたものであって、測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサ及び測定システムを提供することを目的とする。

本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、入力信号を入力する、あるいは出力信号を出力する、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される電極部と、当該電極部を構成する対向した一対の櫛歯状電極間に設けられたインピーダンス部とを備え、個々の表面弾性波センサが行う検査の種類の識別を行う識別情報が前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定されることを特徴とする。
本発明によれば、抵抗部の抵抗値を表面弾性波センサそれぞれにおいて他と異なるように変更するより、表面弾性波センサの検査の種類を抵抗部の抵抗値を識別情報として識別することができる。

本発明の表面弾性波センサは、前記電極部が対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される櫛歯状電極であり、前記所定周波数における前記櫛歯状電極のインピーダンスに比較して、前記インピーダンス部のインピーダンス値が高いことを特徴とする。
本発明によれば、抵抗部の抵抗値が、表面弾性波センサの検査の処理に影響を与えることが無く、検査の精度を落とさずに識別情報を付加することができる。

本発明の表面弾性波センサは、前記インピーダンス部がインピーダンス値の各々異なる複数のインピーダンス素子の並列接続により形成され、前記インピーダンス素子の各々が前記電極部とレーザにより切断可能に接続されており、前記識別情報が、前記インピーダンス素子の接続の有無による前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定されることを特徴とする。
本発明によれば、各抵抗と電極部との接続をレーザにより容易に溶断することができ、抵抗の各々を接続するか否かにより抵抗値を制御することで、抵抗部の抵抗値を任意に制御し、識別情報を設定することができる。

本発明の表面弾性波センサは、前記識別情報が、前記インピーダンス部の前記インピーダンス素子が全て前記電極部に接続されていないか、あるいはいずれか一つが前記電極部に接続されているかにおける、前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定されることを特徴とする。
本発明によれば、抵抗部における各々の抵抗の抵抗値が異なっているため、抵抗部における抵抗をいずれか一つを接続することにより、識別情報を簡易に設定することができる。

本発明の表面弾性波センサは、前記識別情報が、前記電極部に対する前記インピーダンス素子の接続の組み合わせによる前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定されることを特徴とする。
本発明によれば、抵抗部における各々の抵抗の抵抗値が異なっているため、抵抗それぞれを切断するか否かの組み合わせにより、合成抵抗の抵抗値の種類を多く設定することが可能となり、多くの表面弾性波センサ１を識別する識別情報を簡易に設定することができる。

本発明の表面弾性波センサは、前記表面弾性波センサが複数の表面弾性波センサ素子を有している場合、当該表面弾性波センサ素子の各々の前記電極部を構成する対向した一対の櫛歯状電極間に前記インピーダンス部を設けることを特徴とする。
本発明によれば、表面弾性波センサが複数のチャネルで構成されている場合、複数のチャネルの電極の各々にインピーダンス部を設けることにより、表面弾性波素子を識別する識別情報を、容易に増大させることができる。

本発明の測定システムは、上記のいずれかに記載された表面弾性波センサを備え、前記出力信号及び前記識別情報により、前記表面弾性波センサの種類を検出する検出部を備えることを特徴とする。
本発明の測定システムは、前記検出部が前記出力信号と前記識別情報とを比較し、前記表面弾性波センサから入力される当該出力信号が、当該表面弾性波センサを用いて行う検査の種類を示す前記識別情報と一致しているか否かを判定することを特徴とする。

この本発明によれば、測定装置に挿入された際に、表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサ及び測定システムを提供することができる。

本発明の第１の実施形態による表面弾性波センサを用いた測定システムの一例を示す図である。 本発明の第１の実施形態の表面弾性波センサを上面から見た上面視における概略図を示している。 本発明の第１の実施形態による抵抗部１０４の構成例を示す図である。 本発明の第１の実施形態による検出装置２の構成例を示す図である。 図３の抵抗部１０４の構成に対応する第１の実施形態の他の構成におけるビットテーブルを示す図である。 複数チャネルを有する表面弾性波センサ１を上面から見た上面視における概略図を示している。 図３の抵抗部１０４の構成に対応する第３の実施形態の他の構成におけるビットテーブルを示す図である。 本発明の第４の実施形態の表面弾性波センサを上面から見た上面視における概略図を示している。

本発明は、表面弾性波センサ素子が備えられた表面弾性波センサにおいて、この表面弾性波素子における入力信号を入力する電極、あるいは出力信号を出力する電極のいずれかに接続された抵抗部の抵抗値を、表面弾性波センサ素子が搭載された表面弾性波センサのＩＤ（Identification）情報（以下、識別情報とも言う）として用いることを特徴としている。ここで、抵抗部は複数の抵抗が並列に接続されて構成されている。抵抗の各々は、電極に対して切断可能に接続されている。

＜第１の実施形態＞
以下、図面を参照して、第１の実施形態による表面弾性波センサを説明する。図１は、第１の実施形態による表面弾性波センサを用いた測定システムの一例を示す図である。測定システムは、表面弾性波センサ１、検出装置２、サーバ３とから構成されている。この表面弾性波センサ１としては、検体の特性を測定するバイオセンサ、ガスの種類を測定するガスセンサ、溶液の電気特性（導電率及び比誘電率など）に基づき溶液の種類を測定する溶液検出センサなどである。すなわち、表面弾性波センサ１は、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物である検査対象の物性を測定する。表面弾性波センサ１の端子１ａを検出装置２の端子２ａに挿入することにより、検出装置２は表面弾性波センサ１とのデータの送受信を行う。検出装置２とサーバ３とは、有線あるいは無線で接続され、有線であれば、例えばＵＳＢ（Universal Serial Bus）のケーブルを用いて接続されている。
サーバ３は、検出装置２に対する測定の制御、測定結果の表示及び測定結果の蓄積などを行う。また、サーバ３は、表面弾性波センサ１の識別情報と表面弾性波センサ１の検査の種類とが対応付けられた種類テーブルを有し、前記識別情報に対応する表面弾性波センサ１の検査の種類を種類テーブルから読み出して表示（出力）する。
ただし、検出装置２と評価サーバ３の役割は上記形態に関わらず、検出装置２に評価サーバ３の機能を持たせることも可能であり、例えば、測定結果の表示や測定結果の蓄積を行っても良い。

図２は、本発明の第１の実施形態の表面弾性波センサを上面から見た上面視における概略図を示している。図２に示す表面弾性波センサは、反射型の表面弾性波センサ素子が用いられている。基板１０１は、材料を特に限定しないが、表面弾性波を伝搬させることが可能な材料、例えば水晶あるいはＬiＴaＯ_３（Lithium Tantalate）単結晶などの圧電基板で構成されている。この基板１０１の表面１０１Ｓには、入出力電極１０２と反射電極１０３とが形成されている。入出力電極１０２と反射電極１０３との各々は、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される櫛歯状電極であり、例えばアルミニウムなどの金属薄膜がパターニングされて形成されている。反応領域薄膜１０５は、金属薄膜、例えば金を蒸着することにより薄膜が形成され、検出する抗原に対応する抗体を金の薄膜の表面に固定される。この反応領域薄膜１０５が検出領域（センサの検出面となる領域）となり、この検出領域には検体が導入される。入出力電極１０２に所定の周波数の電気信号が供給されることにより、電極指間に電界が発生し、圧電効果により励振された表面弾性波が基板１０１の表面１０１Ｓを伝搬する。

反応領域薄膜１０５は、基板１０１の表面１０１Ｓにおいて、入出力電極１０２と反射電極１０３との間における表面弾性波の伝搬路上に配置されている。入出力電極１０２は、上述したように、入力される電気信号を表面弾性波に変換し、矢印の示す方向Ｈ（入出力電極１０２から反射電極１０３に向かう方向）に伝搬させるよう設計されている。
反射電極１０３は、測定に用いる所定の周波数である検出周波数の表面弾性波を反射する反射器であり、検出周波数の周波数帯域以外の周波数の表面弾性波を透過させる特性を有する反射器である。
抵抗部１０４は、入出力電極１０２に接続されている。また、抵抗部１０４は、反射電極１０３に設ける構成としても良い。

図３は、本発明の第１の実施形態による抵抗部１０４の構成例を示す図である。抵抗部１０４は、複数の抵抗で構成されるが、本実施形態においては３個の抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３が並列に接続されて構成されている。ラインＬは、一端が入出力電極１０２に対して接続されている。抵抗Ｒ１は、一端が切断可能領域Ｃｕｔａを介してラインＬに接続され他端が接地（接地端子に対して接続）されている。また、抵抗Ｒ２は、一端が切断可能領域Ｃｕｔｂを介してラインＬに接続され他端が接地されている。抵抗Ｒ３は、一端が切断可能領域Ｃｕｔｃを介してラインＬに接続され他端が接地されている。切断可能領域Ｃｕｔａ、Ｃｕｔｂ及びＣｕｔｃの各々は、表面弾性波センサの作成後のトリミング処理において、レーザにより切断可能に形成されている。例えば、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される櫛歯状電極において、対向する櫛歯状電極指の配置は、所定測定周波数に対して櫛歯状電極のインピーダンスが５０Ωとなるように設計されている。

本実施形態で使用する抵抗部１０４の抵抗値は、数ＫΩ程度として、上記所定測定周波数における櫛歯状電極のインピーダンスに対して非常に大きくなるように、構成する各抵抗、例えば抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の抵抗値を設定する。この図３の抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３の各々と入出力電極１０２との接続をレーザにより容易に切断することで、表面弾性波センサ１それぞれの抵抗部１０４（インピーダンス部）の抵抗値を、他の表面弾性波センサ１と異なるように変更することができる。これにより、抵抗部１０４の抵抗値を表面弾性波センサ１を識別する識別情報として用いる。また、入出力電極１０２を形成する櫛歯状電極に対し設けられている（例えば、並列に接続されている）抵抗部１０４の抵抗値は、櫛歯状電極の測定周波数におけるインピーダンスに比較して非常に大きく設定しており、測定に与える影響が極めて少なく、検査の精度を落とさずに識別情報を付加することができる。
また、本実施形態においては、インピーダンス素子として抵抗を用いているが、コンデンサ及びインダクタの各々、あるいはコンデンサ、インダクタ及び抵抗を組み合わせた回路を、抵抗部に代えて用いても良い。このとき、インピーダンス素子のインピーダンスは、表面弾性波センサ素子において測定に用いる周波数帯において、測定に影響の無い高インピーダンスとなるように設定される。コンデンサ及びインダクタの各々を含むインピーダンス素子の場合、識別情報を読み出すにあたり、測定に用いる周波数帯とは異なる周波数の電気信号を表面弾性波センサ１に対して供給する。

図４は、本発明の第１の実施形態による検出装置２の構成例を示す図である。検出装置２は、入出力制御部２１、信号制御部２２、判定部２３及び記憶部２４の各々を備えている。ここで、検出装置２は、例えば、マイクロコンピュータ及びメモリ（記憶部２４）により構成された装置であり、表面弾性波センサ１の検査項目の種類に対応した検査処理を行うアプリケーションのプログラムがインストールされている。そして、検出装置２において、上記信号制御部２２及び判定部２３の各々の機能がソフトウェアのプログラムにより検査処理を行う手段として実行される。また、記憶部２４には、上記アプリケーションのプログラムと後述する識別情報が記憶されている。本実施形態の場合記憶部２４に書き込まれる識別情報は、表面弾性波センサ１の検査の種類に対応した電流値の各々と比較する参照電流値範囲である。参照電流値範囲は、検査の種類を識別するため、表面弾性波センサ１の検査の種類毎に設定された抵抗値の抵抗に流れる電流値の範囲を定義している。ここで、参照電流値範囲は、抵抗の製造による抵抗値のばらつき、及び抵抗を測定する際の電流値の測定誤差を考慮した範囲で設定されている。

入出力制御部２１は、表面弾性波センサ１が検出装置２に挿入されると、表面弾性波センサ１とのデータの送受信を行う。信号制御部２２は、入出力制御部２１を介して表面弾性波センサ１に検出周波数の電気信号を送信し、表面弾性波センサ１から反射電極により反射された表面弾性波に対応する電気信号を取得する。続いて、信号制御部２２は、取得した当電気信号をサーバ３に出力する。

また、信号制御部２２は、表面弾性波センサ１が挿入されたタイミングにより、入出力電極１０２を介して抵抗部１０４に対して、ＤＣ（直流）電圧である識別情報検出電圧を印加する。そして、信号制御部２２は、識別情報検出電圧を印加することで、抵抗部１０４に流れる電流値を検出し、判定部２３に対して検出した電流値を出力する。
このように、本実施形態によれば、検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際に、挿入された表面弾性波センサ１の検査の種類を識別することができる。判定部２３は、記憶部２４に記憶されている参照電流値範囲を参照し、検出した電流値が電流値範囲に含まれているか否かの判定を行う。
このとき、判定部２３は、検出した電流値がこの参照電流値範囲に含まれている場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と一致したことを検出する。そして、判定部２３は、検査対象の種類に応じた表面弾性波センサ１に対する検査の処理を検出装置２に対して実行させる。
一方、判定部２３は、検出した電流値がこの参照電流値範囲に含まれていない場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と異なることを検出する。

上述した識別処理を実現するため、第１の実施形態における抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々の切断及び接続の組合せは以下に示す通りである。抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てが切断された場合に電流値がＩ０（抵抗が無限大であるため電流値が０）であり、抵抗Ｒ２及びＲ３が切断されて抵抗Ｒ１のみが接続されている場合に電流値がＩ１であり、抵抗Ｒ１及びＲ３が切断されて抵抗Ｒ２のみが接続されている場合に電流値Ｉ２となり、抵抗Ｒ１及びＲ２が切断されて抵抗Ｒ３のみが接続されている場合に電流値Ｉ３となる。これにより、本実施形態においては、異なる抵抗値をそれぞれ有する抵抗を３本用いた場合、４種類の異なる検査の種類の表面弾性波センサ１を識別することができる。

上述したように、本実施形態によれば、抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々の抵抗値に応じて、表面弾性波センサ１の各々の検査の種類を識別する識別情報を簡易に設定できる。
また、本実施形態の説明においては、抵抗を抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の３個として説明したが、識別する表面弾性波センサの数に対応させ、必要に応じた数であって、それぞれが異なる抵抗値の抵抗を設定しても良い。そして、そのいずれが接続されているかにより識別情報を設定するようにしても良い。

また、第１の実施形態の他の構成として、信号制御部２２が抵抗部１０４に流れる電流値を一旦ビット値に変換した後、判定部２３がこのビット値を識別情報として用いても良い。
図５は、図３の抵抗部１０４の他の構成におけるビットテーブルを示す図である。この図５には、検出される電流値と電流値に対応する識別情報（ビット値）との対応が示されている。第１の実施形態の他の構成の抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々の切断及び接続の組合せは以下に示す通りである。すなわち、本実施形態においては、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てが切断されて電流値が０である場合、電流値Ｉ１、電流値Ｉ２及び電流値Ｉ３のいずれでもないため、ビット値は「０００」となる。抵抗Ｒ２及びＲ３が切断され、抵抗Ｒ１のみ接続される場合、電流値Ｉ１となりビット値は「００１」となる。また、抵抗Ｒ１及びＲ３が切断され、抵抗Ｒ２のみ接続される場合、電流値Ｉ２となりビット値は「０１０」となる。抵抗Ｒ１及びＲ２が切断され、抵抗Ｒ３のみ接続される場合、電流値Ｉ３となりビット値は「１００」となる。

これにより、第１の実施形態の他の構成は、３ビットの識別情報により４種類の表面弾性波センサ１を識別することができる。検出装置２は、記憶部２４に記憶されている識別情報を参照し、変換したビット値が参照した識別情報（ビット値）と一致するか否かの判定を行う。
また、図２においては、表面弾性波センサ１が１個の表面弾性波センサ素子、すなわち１チャンネルで形成されている。しかしながら、複数の表面弾性波センサ素子が並列に配列された複数チャンネルの表面弾性波センサの場合、それぞれのチャンネルの表面弾性波センサ素子の入出力電極１０２に対して、上述した識別情報を形成する抵抗部１０４を配置するように構成しても良い。これにより、上述した識別情報の数に対してチャンネル数を乗算した数（以下、チャンネル数倍）の表面弾性波センサの検査の種類を識別する情報量を、表面弾性波センサ１に持たせることができる。
また、全てのチャンネルに識別情報のための抵抗部１０４を設けるのではなく、表面弾性波センサ１の識別する検査の種類の数を満足させるように、複数のチャンネルから必要な数のチャンネルを選択し、これら選択したチャンネルの表面弾性波素子に抵抗部１０４を配置する。

また、本実施形態においては、抵抗部１０４が入出力電極１０２と接地端子との間、あるいは反射電極と接地端子との間に設けられているが、入出力電極１０２を形成する、対向した一対の櫛歯状電極の間に設けても良い。この場合、櫛歯状電極間の抵抗値を測定することになる。
本実施形態において、複数の表面弾性波センサ素子が並列に配列された複数チャンネルの表面弾性波センサ１の場合、それぞれのチャンネルの表面弾性波センサ素子の入出力電極あるいは反射電極に対して、上述した識別情報を形成する抵抗部１０４を配置することにより、チャンネル数倍の表面弾性波センサの検査の種類を識別する情報量を、表面弾性波センサ１に持たせることで、検査の種類を示す識別情報を増大させることができる。
また、複数チャンネルの表面弾性波センサ１においては、全てのチャンネルに識別情報のための抵抗部を設けるのではなく、表面弾性波センサ１の識別する検査の種類の数を満足させるように、複数のチャンネルから必要な数のチャネルを選択し、これら選択したチャネルの表面弾性波素子に抵抗部を配置するようにしても良い。

図６は、複数チャネルを有する表面弾性波センサ１を上面から見た上面視における概略図を示している。図６において、表面弾性波センサ１は、基板１０１の表面１０１Ｓに、表面弾性波センサ素子２００−１、…表面弾性波センサ素子２００−ａが並列に配列された複数チャンネルを有している。図６に示す表面弾性波センサは、図２と同様に、反射型の表面弾性波センサ素子が用いられている。それぞれのチャネルを構成する表面弾性波センサ素子２００から表面弾性波センサ素子２００ａの各々は、図２の表面弾性波センサ素子と同様の構成である。
表面弾性波センサ素子２００から表面弾性波センサ素子２００ａには、それぞれ入出力電極１０２に抵抗部１０４が設けられている。
これにより、表面弾性波センサ１は、複数のチャンネルの各々における表面弾性波素子に設ける抵抗部１０４により、検査の種類を示す識別情報を増大させることができる。

＜第２の実施形態＞
以下、図面を参照して、第２の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。第２の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを用いた測定システムとしては、第１の実施形態における図１と同様のシステムである。また、第２の実施形態の表面弾性波センサの構成は、図２に示す第１の実施形態の表面弾性波センサの構成と同様である。また、第２の実施形態においては、抵抗部１０４における抵抗の接続に関しても、第１の実施形態における図３に示す構成と同様である。

第２の実施形態において、第１の実施形態と異なる点は、抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てを同様の抵抗値で構成する点である。そして、第２の実施形態における抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々の切断及び接続の組合せは以下に示す通りである。すなわち、本実施形態では、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２及びＲ３の全てが切断された場合に電流値がＩ０（抵抗値が無限大となり、電流値０）である。抵抗Ｒ２及びＲ３が切断されて抵抗Ｒ１のみが接続されている場合に電流値がＩ１である。抵抗Ｒ３が切断されて抵抗Ｒ１及びＲ２が接続されている場合に電流値がＩ２である。抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のいずれの抵抗も切断されておらず、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てが接続されている場合に電流値がＩ３である。

これにより、抵抗部１０４において、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の同一の抵抗値を有する３本の抵抗により４種類の表面弾性波センサを識別することができる。
すなわち、判定部２３は、記憶部２４に予め書き込まれて記憶されている参照電流値範囲を参照し、検出した電流値がこの電流値範囲に含まれているか否かの判定を行う。そして、判定部２３は、検出した電流値がこの参照電流値範囲に含まれている場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と一致したことを検出する。
一方、判定部２３は、検出した電流値がこの参照電流値範囲に含まれていない場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と異なることを検出する。

上述した処理により、本実施形態によれば、レーザにより切断可能領域の溶断処理を行うことにより、表面弾性波センサ１の各々の検査の種類を識別する識別情報を抵抗部１０４の合成抵抗により簡易に設定できる。これにより、検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際に、第１の実施形態と同様に、挿入された表面弾性波センサ１の検査の種類を容易に識別することが可能となる。

＜第３の実施形態＞
以下、図面を参照して、本発明の第３の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。第３の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを用いた測定システムとしては、第１の実施形態における図１と同様のシステムである。また、第３の実施形態の表面弾性波センサの構成は、図２に示す第１の実施形態の表面弾性波センサの構成と同様である。また、第３の実施形態においては、抵抗部１０４における抵抗の接続に関しても、第１の実施形態における図３に示す構成と同様である。
第３の実施形態において、第１及び第２の実施形態と異なる点は、抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々が、それぞれ異なる抵抗値に設定されている点である。

第３の実施形態における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の各々の切断及び接続の組合せは以下に示す通りである。すなわち、電流値としては、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てが切断された場合に電流値Ｉ０（抵抗値無限大のため電流値が０Ａ）となる。抵抗Ｒ２及びＲ３が切断されて抵抗Ｒ１のみが接続されている場合に電流値Ｉ１となる。抵抗Ｒ１及びＲ３が切断されて抵抗Ｒ２のみが接続されている場合に電流値Ｉ２となる。抵抗Ｒ３が切断されて抵抗Ｒ１及びＲ２が接続されている場合に電流値Ｉ３となる抵抗Ｒ１及びＲ２が切断されて抵抗Ｒ３のみが接続されている場合に電流値Ｉ４となる。抵抗Ｒ２が切断されて抵抗Ｒ１及びＲ３が接続されている場合に電流値Ｉ５となり、抵抗Ｒ１が切断されて抵抗Ｒ２及びＲ３が接続されている場合に電流値Ｉ６となる。抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２及びＲ３いずれの抵抗も切断されず、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３が全て接続されている場合に電流値Ｉ７となる。これにより、電流値がＩ０からＩ７までの８種類の識別情報としての電流値が得られる。

これにより、異なる抵抗値の抵抗を３本用いることにより、電流値を識別情報として８種類の表面弾性波センサを識別することができる。検出装置２は、第１の実施形態と同様に、記憶部２４に予め書き込まれて記憶されている参照電流値範囲を参照し、検出した電流値がこの電流値範囲に含まれているか否かの判定を行う。このとき、判定部２３は、検出した電流値がこの電流値範囲に含まれている場合、表面弾性波センサ１の検査の種類がアプリケーションプログラムの検査の種類と一致したことを検出する。

上述した処理により、本実施形態によれば、異なる抵抗値の抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３を用い、抵抗それぞれをレーザにより溶断するか否かの組み合わせにより、抵抗部４の合成抵抗の抵抗値の種類を多く設定することが可能となり、多くの表面弾性波センサ１の識別を行う識別情報を簡易に設定することができる。

また、第３の実施形態の他の構成として、判定部２３は、記憶部２４に書き込まれて記憶されているビットテーブルを参照し、検出した電流値に対応するビット値である識別情報を読み出す（電流値を識別情報に変換する）構成としても良い。この記憶テーブルには、検出される電流値と、この電流値に対応するビット値とが対応付けて記憶されている。
図７は、図３の抵抗部１０４の構成に対応する第３の実施形態の他の構成におけるビットテーブルを示す図である。

抵抗部１０４における抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の全てが切断されて電流値がＩ０である場合、ビット値は「０００」となる。また、抵抗Ｒ１のみの場合、電流値Ｉ１となりビット値は「００１」となる。また、抵抗Ｒ２のみの場合、電流値Ｉ２となりビット値は「０１０」となる。抵抗Ｒ１及びＲ２が接続されている場合、電流値Ｉ３となりビット値は「０１１」となる。抵抗Ｒ３のみが接続されている場合、電流値Ｉ４となりビット値は「１００」となる。抵抗Ｒ１及びＲ３が接続されている場合、電流値Ｉ５となりビット値は「１０１」となる。抵抗Ｒ２及びＲ３が接続されている場合、電流値Ｉ６となりビット値は「１１０」となる。抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３が接続されている場合、電流値Ｉ７となりビット値は「１１１」となる。
ここで、検出装置２は、記憶部２４に書き込まれて記憶されている識別情報を参照し、変換したビット値が参照した識別情報（ビット値）と一致するか否かの判定を行う。
第２及び第３の実施形態において、抵抗が３個である場合について説明したが、識別する表面弾性波センサの数に対応させ、必要に応じた数のそれぞれが異なる抵抗値の抵抗を設定しても良い。

＜第４の実施形態＞
以下、図面を参照して、本発明の第４の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを説明する。第４の実施形態による識別情報を搭載した表面弾性波センサを用いた測定システムとしては、第１の実施形態における図１と同様のシステムである。
図８は、本発明の第４の実施形態の表面弾性波センサの上面視における概略図を示している。図８の表面弾性波センサ１において、図２と同様な構成については同一の符号を付してある。以下、図２の第１の実施形態における構成と異なる構成について説明する。

第４の実施形態の基板１０１の表面１０１Ｓには、入出力電極１０２に換えて、入力電極１０６及び出力電極１０７の各々が形成されている。図８の表面弾性波センサ１は、透過型であり、反射型である第１の実施形態から第３の実施形態と電極が異なる。入力電極１０６及び出力電極１０７の各々は、入出力電極１０２と同様に、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される櫛歯状電極であり、例えばアルミニウムなどの金属薄膜をパターニングされて形成されている。入力電極１０６に電気信号が供給されると、電極指間に電界が発生し、圧電効果により表面弾性波が励振され、基板１０１の表面１０１Ｓを伝搬する。出力電極１０７は、入力電極１０６から伝搬される表面弾性波を、反応領域薄膜１０５を介して遅延時間経過後に受信する。

抵抗部１０４は、図３の構成をしており、表面弾性波センサの作成後の抵抗部１０４に対するトリミング処理により、抵抗部１０４の抵抗値が任意に変更される。
また、本実施形態においては、第１の実施形態から第３の実施形態の各々の抵抗の組み合わせ（あるいはビットテーブル）のいずれかを用いて、表面弾性波センサ１に対して識別情報を付加する。ここで、サーバ３の動作は、それぞれの組み合わせを用いた実施形態と同様となる。
本実施形態においては、抵抗部１０４を入力電極１０６にラインＬで接続しているが、抵抗部１０４を出力電極１０７に接続するように構成しても良い。
また、本実施形態においては、抵抗部１０４（インピーダンス部）が入力電極１０６と接地端子との間に設けられているが、入力電極１０６を形成する、対向した一対の櫛歯状電極の間に設けても良い。この場合、櫛歯状電極間の抵抗値（インピーダンス）を測定することになる。

また、第４の実施形態においても、第１の実施形態における図６と同様に、複数のチャネルで構成されている場合、各チャネルの表面弾性波センサ素子それぞれの入力電極１０６または出力電極１０７のいずれかに抵抗部１０４を接続する構成としても良い。
これにより、表面弾性波センサ１は、複数のチャンネルの各々における表面弾性波素子に設ける抵抗部１０４により、検査の種類を示す識別情報を増大させることができる。

上述した第１から第４の実施形態によれば、検出装置２に表面弾性波センサ１が挿入された際、挿入された表面弾性波センサ１の検査の種類が、検出装置２にインストールされているアプリケーションの検査の種類と異なる場合、アプリケーションの検査と異なる表面弾性波センサ１に対する無駄な検査の解析処理の実行を中止させ、検査担当者に対して通知することで、アプリケーションが対象とする検査と異なる検査による間違った検査結果の出力を防止することができる。

以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１…表面弾性波センサ １ａ，２ａ…端子 ２…検出装置（検出部） ３…サーバ ２１…入出力制御部 ２２…信号制御部 ２３…判定部 ２４…記憶部 １０１…基板 １０１Ｓ…表面 １０２…入出力電極 １０３…反射電極 １０４…抵抗部（インピーダンス部） １０５…反応領域薄膜 １０６…入力電極 １０７…出力電極 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３…抵抗

Claims (7)

1. 表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、
   入力信号を入力する、あるいは出力信号を出力する、対向した一対の櫛歯状電極指の電極により構成される電極部と、
   当該電極部を構成する対向した一対の櫛歯状電極間に設けられたインピーダンス部と
   を備え、
   個々の表面弾性波センサが行う検査の種類の識別を行う識別情報が前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定される
   ことを特徴とする表面弾性波センサ。
2. 前記所定周波数における前記櫛歯状電極のインピーダンスに比較して、前記インピーダンス部のインピーダンス値が高い
   ことを特徴とする請求項１に記載の表面弾性波センサ。
3. 前記インピーダンス部がインピーダンス値の各々異なる複数のインピーダンス素子の並列接続により形成され、前記インピーダンス素子の各々が前記電極部とレーザにより切断可能に接続されており、
   前記識別情報が、前記インピーダンス素子の接続の有無による前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定される
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面弾性波センサ。
4. 前記識別情報が、前記インピーダンス部の前記インピーダンス素子が全て前記電極部に接続されていないか、あるいはいずれか一つが前記電極部に接続されているかにおける、前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定される
   ことを特徴とする請求項３に記載の表面弾性波センサ。
5. 前記識別情報が、前記電極部に対する前記インピーダンス素子の接続の組み合わせによる前記インピーダンス部のインピーダンス値によって設定される
   ことを特徴とする請求項３に記載の表面弾性波センサ。
6. 前記表面弾性波センサが複数の表面弾性波センサ素子を有している場合、当該表面弾性波センサ素子の各々の前記電極部を構成する対向した一対の櫛歯状電極間に前記インピーダンス部を設ける
   ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の表面弾性波センサ。
7. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載された表面弾性波センサを備え、前記出力信号と前記識別情報とを比較し、前記表面弾性波センサから入力される当該出力信号が、当該表面弾性波センサを用いて行う検査の種類を示す前記識別情報と一致しているか否かを判定する検出部
   を有する
   ことを特徴とする測定システム。

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