JP2019063882A - ロボットの異常判定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ロボットを自動運転しつつ周波数解析により異常を判定する異常判定装置において、異常の発見が遅れることを抑制しつつ、処理負荷を軽減する。【解決手段】ロボット１０の異常判定装置７０であって、ロボットが自動運転により所定動作を実行中に、関節を回転させる際のトルク相関量の波形である第１波形を取得する第１波形取得部７１と、ロボットが正常な状態で自動運転により所定動作を実行中に取得した第２波形と第１波形との偏差波形を取得する偏差波形取得部７２と、偏差波形に、半値幅が所定幅よりも狭いピークが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定する第１判定部７３と、第１判定部により肯定判定されたことを条件として、偏差波形について周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する周波数解析部７４と、特定周波数の振幅に基づいて、関節に異常が生じたか否か判定する第２判定部７５と、を備える。【選択図】 図３

Description

本発明は、ロボットの関節の異常を判定する異常判定装置に関する。

従来、生産工程中のロボットのトルクデータを周波数解析した結果と、ロボットが正常に動作している時に取得された正常時データとを比較して、異常判定を実行する装置がある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の装置では、速度が一定である期間のトルクデータを抽出して、周波数解析を行っている。

特開２０１６−１７９５２７号公報

ところで、装置によりロボットを自動運転中に頻繁に周波数解析を行うと、装置の処理負荷が大きくなる。一方、異常判定を行う頻度を下げれば、異常の発見が遅れるおそれがある。

本発明は、こうした課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、ロボットを自動運転しつつ周波数解析により異常を判定する異常判定装置において、異常の発見が遅れることを抑制しつつ、処理負荷を軽減することにある。

上記課題を解決するための第１の手段は、
関節を備えるロボットを自動運転しつつ前記関節の異常を判定する異常判定装置であって、
前記ロボットが自動運転により所定動作を実行中に、前記関節を回転させる際のトルク及び前記トルクに相関するパラメータを含むトルク相関量の波形である第１波形を取得する第１波形取得部と、
前記ロボットが正常な状態で自動運転により前記所定動作を実行中に取得した前記トルク相関量の波形である第２波形と、前記第１波形との偏差の波形である偏差波形を取得する偏差波形取得部と、
前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形に、半値幅が所定幅よりも狭いピークが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定する第１判定部と、
前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形について周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する周波数解析部と、
前記周波数解析部により抽出された前記特定周波数の振幅に基づいて、前記関節に異常が生じたか否か判定する第２判定部と、
を備える。

上記構成によれば、異常判定装置は、関節を備えるロボットを自動運転しつつ関節の異常を判定する。第１波形取得部により、ロボットが自動運転により所定動作を実行中に、関節を回転させる際のトルク及びトルクに相関するパラメータを含むトルク相関量の波形である第１波形が取得される。なお、トルクに相関するパラメータとして、関節を駆動するモータに流れる電流、モータの回転加速度、それらと基準値との比等を採用することができる。

ロボットが正常な状態で自動運転により上記所定動作を実行中に、上記トルク相関量の波形である第２波形が取得されている。そして、偏差波形取得部により、第２波形と第１波形との偏差の波形である偏差波形が取得される。第１波形の取得時にロボットが正常な状態であれば、第１波形は第２波形に近い波形となるため、偏差波形は０付近で緩かに変動する波形となる。一方、関節において摺動部材に傷が付いたり、機械部品の間に異物が混入したりした場合、関節が回転する際にその傷や異物の箇所で短時間の特定トルク変動（固有振動）が生じる。このため、第１波形に半値幅の狭いピークが周期的に生じ、偏差波形にも同様のピークが生じる。

この点、第１判定部により、偏差波形取得部により取得された偏差波形に、半値幅が所定幅よりも狭いピークが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定される。そして、周波数解析部は、第１判定部により肯定判定されたことを条件として、偏差波形について周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する。このため、関節に異常が生じた可能性の高い場合に周波数解析が行われ、関節に異常が生じた可能性の高くない場合は周波数解析が行われない。その後、第２判定部によって、周波数解析部により抽出された特定周波数の振幅に基づいて、関節に異常が生じたか否か判定される。

周波数解析が行われないのは、関節に異常が生じた可能性が高くない場合である。一方、関節に異常が生じた可能性が高い場合は、周波数解析が行われる。このため、周波数解析を頻繁に行わなくても、異常の発見が遅れることを抑制することができる。したがって、ロボットを自動運転しつつ周波数解析により異常を判定する異常判定装置において、異常の発見が遅れることを抑制しつつ、処理負荷を軽減することができる。

従来技術では、生産工程中のロボットのトルクデータを周波数解析した結果と、ロボットが正常に動作している時に取得された正常時データとを比較して、異常判定を実行している。この場合、生産工程中に取得した周波数解析の結果と、正常動作時に取得した周波数解析の結果とを比較する必要がある。

これに対して、第２の手段では、前記第２判定部は、周波数解析部により抽出された前記特定周波数の振幅が閾値よりも大きい場合に、前記関節に異常が生じたと判定する。すなわち、偏差波形について周波数解析した結果と閾値との比較により、関節に異常が生じたと判定することができる。したがって、より簡易な処理により、関節に異常が生じたか否か判定することができる。

関節において摺動部材に傷が付いたり、機械部品の間に異物が混入したりした場合に生じる特定トルク変動（固有振動）の周波数は、関節の回転速度に比例する。このため、関節の回転速度が一定でない場合は、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が特定周波数からずれるおそれがある。

この点、第３の手段では、前記周波数解析部は、前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形を前記関節の回転速度に応じて補正した上で周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する。このため、関節の回転速度が一定でない場合であっても、特定トルク変動を周波数解析により特定周波数のトルク変動として適切に抽出することができる。したがって、関節に異常が生じたか否かを正確に判定することができる。

関節の回転速度が低いほど、特定トルク変動の生じる時間間隔が長くなる。このため、例えば関節の回転速度が一定回転速度になるまで加速する際に、回転速度が一定回転速度よりも低い期間は特定トルク変動の周波数が低くなる。

この点、第４の手段では、前記周波数解析部は、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形を、前記関節の回転速度が低い部分ほど時間に対して短縮するように補正する。したがって、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が、特定周波数からずれることを抑制することができる。

また、第５の手段では、前記周波数解析部は、前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形のうち前記関節の回転速度の変動幅が所定幅よりも狭い部分に限定して周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する。こうした構成によれば、関節の回転速度が一定でない場合であっても、周波数解析に用いられる偏差波形が、関節の回転速度の変動幅が所定幅よりも狭い部分に限定される。したがって、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が、特定周波数からずれることを抑制することができる。

ロボット、及びコントローラの概要を示す図。 軸受けを示す斜視図。 ロボット及びコントローラの機能を示すブロック図。 第２波形の一例を示すグラフ。 第１波形及び第２波形の一例を示すグラフ。 正常時の偏差波形の一例を示すグラフ。 異常時の第１波形、及び第２波形の一例を示すグラフ。 図７の第２波形と第１波形との偏差波形を示すグラフ。 図６の偏差波形について周波数解析を行った結果を示すスペクトル。 図８の偏差波形について周波数解析を行った結果を示すスペクトル。 異常判定の手順を示すフローチャート。

以下、垂直多関節型ロボットの制御装置に具現化した一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態のロボットは、例えば産業用ロボットとして機械組立工場などの組立システムにて用いられる。

はじめに、ロボット１０の概要を図１に基づいて説明する。

ロボット１０は、例えば６軸の垂直多関節型ロボットとして構成されている。ロボット１０は、ベース１１、ショルダ部１３、下アーム１５、第１上アーム１６Ａ、第２上アーム１６Ｂ、手首部１７、及びフランジ１８を備えている。ショルダ部１３（第１回転部）は、ベース１１により水平方向に回転可能に支持されている（Ｊ１軸）。下アーム１５（第２回転部）は、ショルダ部１３により上下方向に回転可能に支持されている（Ｊ２軸）。第１上アーム１６Ａ（第３回転部）は、下アーム１５により上下方向に回転可能に支持されている（Ｊ３軸）。第２上アーム１６Ｂ（第４回転部）は、第１上アーム１６Ａにより捻り回転可能に支持されている（Ｊ４軸）。手首部１７（第５回転部）は、第２上アーム１６Ｂにより上下方向に回転可能に支持されている（Ｊ５軸）。フランジ１８（第６回転部）は、手首部１７により捻り回転可能に支持されている（Ｊ６軸）。

ベース１１、ショルダ部１３、下アーム１５、第１上アーム１６Ａ、第２上アーム１６Ｂ、手首部１７及びフランジ１８は、ロボット１０のアームとして機能する。アーム先端であるフランジ１８には、図示は省略するが、エンドエフェクタ（手先）が取り付けられる。ロボット１０の各関節（各回転部）は、対応して設けられた各モータ３１（図３参照）により駆動（回転）される。

各関節には、それぞれ軸受けが設けられている。図２は、１つの軸受け２０を示している。

同図に示すように、軸受け２０（転がり軸受け）は、例えば周知のボールベアリング（玉軸受）であり、内輪２１、外輪２２、転動体２３等を備えている。内輪２１と外輪２２との間に、複数の転動体２３（玉又はころ）が設けられている。各転動体２３は、内輪２１に形成された転走面２１ａ、及び外輪２２に形成された転走面２２ａに転がり接触することで摺動する。軸受け２０としては、クロスローラベアリング等を採用することもできる。

図３は、ロボット１０、及びコントローラ７０の機能を示すブロック図である。

コントローラ７０（ロボットの異常判定装置）は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路、入出力インターフェース等を備えるマイクロコンピュータとして構成されている。そして、コントローラ７０は、第１波形取得部７１、偏差波形取得部７２、第１判定部７３、周波数解析部７４、及び第２判定部７５の機能を実現する。なお、同図では、１つの関節に対応する構成を記載しているが、モータ３１、位置検出部３４及び電流検出部３５は、各関節に設けられている。

コントローラ７０には、各関節に設けられたモータ３１が接続されている。これらのモータ３１は、コントローラ７０からの制御信号に基づいて駆動される。

コントローラ７０には、関節の回転位置を検出する位置検出部３４（例えばエンコーダ）が接続されている。コントローラ７０には、各位置検出部３４から各関節の回転位置情報が入力される。コントローラ７０には、モータ３１に流れる電流値を検出する電流検出部３５が接続されている。コントローラ７０には、各電流検出部３５から各モータ３１の電流値が入力される。位置検出部３４及び電流検出部３５は、それぞれ回転位置及び電流値を所定周期（例えば数ｍｓ〜数十ｍｓ）で検出する。コントローラ７０は、各位置検出部３４により検出された回転位置、及び電流検出部３５により検出された電流値を記憶する。コントローラ７０は、位置検出部３４から入力される回転位置情報、及び電流検出部３５から入力される電流値に基づいて、各モータ３１の回転位置をフィードバック制御する。

第１波形取得部７１は、ロボット１０が自動運転により所定動作を実行中に、各関節を回転させる際のトルクに相関するパラメータの波形である第１波形Ｗ１を取得する。ここでは、各関節を回転させる際のトルクに相関するパラメータとして、電流検出部３５から入力される各モータ３１の電流値（トルク相関量）を採用している。第１波形Ｗ１は、時間に対する電流値の変化を示す波形である。なお、所定動作は、ロボット１０のティーチング等により設定されている。

また、ロボット１０が正常な状態で自動運転により上記所定動作を実行中に、上記電流値の波形である第２波形Ｗ２が取得されている。この第２波形Ｗ２は、例えばロボット１０のティーチング終了時に、自動運転時と同様の条件でロボット１０に所定動作を実行させて取得することができる。図４は、第２波形Ｗ２の一例を示すグラフである。第２波形Ｗ２は、時間に対する電流値の変化を示す波形である。

偏差波形取得部７２は、上記第２波形Ｗ２と上記第１波形Ｗ１との偏差の波形である偏差波形Ｗｄを取得する。図５は、第１波形Ｗ１及び第２波形Ｗ２の一例を示すグラフである。

ここで、第１波形Ｗ１の取得時にロボット１０が正常な状態であれば、第１波形Ｗ１は第２波形Ｗ２に近い波形となるため、偏差波形Ｗｄは０付近で緩かに変動する波形となる。図６は、偏差波形Ｗｄの一例を示すグラフである。同図では、偏差波形Ｗｄにおいて、各時間の偏差は０になっている。

一方、関節において摺動部材に傷が付いたり、機械部品の間に異物が混入したりした場合、関節が回転する際にその傷や異物の箇所で短時間の特定トルク変動（固有振動）が生じる。このため、第１波形Ｗ１に半値幅の狭いピークが周期的に生じる。図７は、異常時の第１波形Ｗ１、及び第２波形Ｗ２の一例を示すグラフである。同図に示すように、第１波形Ｗ１には、半値幅の狭いピークＰが、一定周期ではないものの周期的に生じている。

図８は、図７の第２波形Ｗ２と第１波形Ｗ１との偏差波形Ｗｄを示すグラフである。第１波形Ｗ１に半値幅の狭いピークＰが周期的に生じる場合には、同図に示すように、偏差波形Ｗｄにも同様のピークＰが周期的に生じている。

そこで、第１判定部７３は、偏差波形取得部７２により取得された各関節の偏差波形Ｗｄに、半値幅が所定幅よりも狭いピークＰが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定する。この所定幅は、電流値の長波長の変動ではなく、上記特定トルク変動による短波長の変動を判定することのできる幅に設定されている。この所定頻度は、関節が回転する際に傷や異物の箇所で生じる高頻度（高周波数）の特定トルク変動を判定することのできる頻度に設定されている。なお、ピークＰの高さ（突出量）が所定高さ（所定突出量）よりも高い（大きい）ことを更に要件としてもよい。

そして、周波数解析部７４は、第１判定部７３により肯定判定されたことを条件として、偏差波形取得部７２により取得された偏差波形Ｗｄについて周波数解析を行って、各関節に対応する特定周波数（固有振動数）の振幅を抽出する。すなわち、周波数解析部７４は、第１判定部７３により肯定判定された場合に周波数解析を行い、第１判定部７３により否定判定された場合には周波数解析を行わない。特定周波数は、各関節に設けられた軸受けの仕様等に対応して定まっている。

図９は、図６の偏差波形Ｗｄについて周波数解析を行った結果を示すスペクトルである。同図に示すように、いずれの周波数においても、振幅が閾値よりも大きくなっていない。

図１０は、図８の偏差波形Ｗｄについて周波数解析を行った結果を示すスペクトルである。同図に示すように、特定周波数Ｈ１において、振幅が閾値よりも大きくなっている。特定周波数Ｈ２においては、振幅が閾値よりも大きくなっていない。なお、特定周波数は、同図に異常領域を設定した範囲の周波数にのみ存在し、０〜周波数Ｈ０までの範囲には存在しない。

そして、第２判定部７５は、周波数解析部７４により抽出された特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅が閾値よりも大きい場合に、特定周波数Ｈ１，Ｈ２に対応する関節（詳しくは軸受け、減速機等）に異常が生じたと判定（異常が生じた軸受け等を特定）する。このため、周波数解析を行った結果が図９であった場合は、第２判定部７５は関節に異常が生じていないと判定する。一方、周波数解析を行った結果が図１０であった場合は、第２判定部７５は特定周波数Ｈ１に対応する関節に異常が生じていると判定する。すなわち、第２判定部７５は、周波数解析部７４により抽出された特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅に基づいて、関節に異常が生じたか否か判定する。なお、上記閾値は、想定される特定トルク変動の大きさに応じて設定された一定値であってもよいし、周波数解析の結果においてトルク変動の標準偏差σに基づき設定される値（例えば２σ）であってもよい。

そして、コントローラ７０は、図１１に示す異常判定を一定期間毎（例えば数秒毎）に実行する。この一連の処理は、各関節について実行される。ここでは、１つの関節についての異常判定の手順を説明する。

第１波形Ｗ１を取得する（Ｓ１０）。第２波形Ｗ２と第１波形Ｗ１との偏差の波形である偏差波形Ｗｄを取得する（Ｓ１１）。偏差波形Ｗｄに、半値幅が所定幅よりも狭いピークＰが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定する（Ｓ１２）。この判定において、肯定判定した場合（Ｓ１２：ＹＥＳ）、偏差波形Ｗｄについて周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数Ｈ１，Ｈ２（固有振動数）の振幅を抽出する（Ｓ１３）。特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅に基づいて、関節に異常が生じたか否か判定する（Ｓ１４）。その後、この一連の処理を終了する（ＥＮＤ）。一方、Ｓ１２の判定において、否定判定した場合（Ｓ１２：ＮＯ）、この一連の処理を終了する（ＥＮＤ）。

以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。

・第１判定部７３により、偏差波形取得部７２により取得された偏差波形Ｗｄに、半値幅が所定幅よりも狭いピークＰが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定される。そして、周波数解析部７４は、第１判定部７３により肯定判定されたことを条件として、偏差波形Ｗｄについて周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅を抽出する。このため、コントローラ７０は、関節に異常が生じた可能性が高い場合に周波数解析を行い、関節に異常が生じた可能性の高くない場合は周波数解析を行わないようにすることができる。その後、第２判定部７５によって、周波数解析部７４により抽出された特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅に基づいて、関節に異常が生じたか否か判定することができる。

・周波数解析が行われないのは、関節に異常が生じた可能性が高くない場合である。一方、関節に異常が生じた可能性が高い場合は、周波数解析が行われる。このため、周波数解析を頻繁に行わなくても、異常の発見が遅れることを抑制することができる。したがって、ロボット１０を自動運転しつつ周波数解析により異常を判定するコントローラ７０において、異常の発見が遅れることを抑制しつつ、処理負荷を軽減することができる。

・従来技術では、生産工程中のロボットのトルクデータを周波数解析した結果と、ロボットが正常に動作している時に取得された正常時データとを比較して、異常判定を実行している。この場合、生産工程中に取得した周波数解析の結果と、正常動作時に取得した周波数解析の結果とを比較する必要がある。これに対して、第２判定部７５は、周波数解析部７４により抽出された特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅が閾値よりも大きい場合に、関節に異常が生じたと判定する。すなわち、偏差波形Ｗｄについて周波数解析した結果と閾値との比較により、関節に異常が生じたと判定することができる。したがって、より簡易な処理により、関節に異常が生じたか否か判定することができる。

なお、上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。上記実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。

・関節において摺動部材に傷が付いたり、機械部品の間に異物が混入したりした場合に生じる特定トルク変動（固有振動）の周波数は、関節の回転速度に比例する。このため、関節の回転速度が一定でない場合は、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が特定周波数Ｈ１，Ｈ２からずれるおそれがある。

そこで、周波数解析部７４は、第１判定部７３により肯定判定されたことを条件として、偏差波形取得部７２により取得された偏差波形Ｗｄを関節の回転速度に応じて補正した上で周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅を抽出してもよい。こうした構成によれば、関節の回転速度が一定でない場合であっても、特定トルク変動を周波数解析により特定周波数Ｈ１，Ｈ２のトルク変動として適切に抽出することができる。したがって、関節に異常が生じたか否かを正確に判定することができる。

・関節の回転速度が低いほど、特定トルク変動の生じる時間間隔が長くなる。このため、例えば関節の回転速度が一定回転速度になるまで加速する際に、回転速度が一定回転速度よりも低い期間は特定トルク変動の周波数が低くなる。また、関節の回転速度が一定回転速度から減速する際に、回転速度が一定回転速度よりも低い期間は特定トルク変動の周波数が低くなる。

そこで、具体的には、周波数解析部７４は、偏差波形取得部７２により取得された偏差波形Ｗｄを、関節の回転速度が低い部分ほど時間に対して短縮するように補正するとよい。こうした構成によれば、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が、特定周波数Ｈ１，Ｈ２からずれることを抑制することができる。

・また、周波数解析部７４は、第１判定部７３により肯定判定されたことを条件として、偏差波形取得部７２により取得された偏差波形Ｗｄのうち関節の回転速度の変動幅が所定幅よりも狭い部分に限定して周波数解析を行って、関節に対応する特定周波数Ｈ１，Ｈ２の振幅を抽出してもよい。こうした構成によれば、関節の回転速度が一定でない場合であっても、周波数解析に用いられる偏差波形Ｗｄが、関節の回転速度の変動幅が所定幅よりも狭い部分に限定される。したがって、周波数解析により得られる特定トルク変動の周波数が、特定周波数Ｈ１，Ｈ２からずれることを抑制することができる。なお、ロボット１０の自動運転において関節の回転速度が一定の期間の割合が高ければ、関節の回転速度が変化する影響を考慮しなくてもよい。

・トルク相関量として、電流検出部３５により検出された電流値に代えて、コントローラ７０による電流の指令値や、モータ３１の回転加速度、モータ３１のトルク、基準値に対する電流値の比等を採用することもできる。

・ロボット１０は、垂直多関節型ロボットに限らず、水平多関節型ロボット等であってもよい。

１０…ロボット、７０…コントローラ（ロボットの異常判定装置）、７１…第１波形取得部、７２…偏差波形取得部、７３…第１判定部、７４…周波数解析部、７５…第２判定部。

Claims (5)

1. 関節を備えるロボットを自動運転しつつ前記関節の異常を判定する異常判定装置であって、
   前記ロボットが自動運転により所定動作を実行中に、前記関節を回転させる際のトルク及び前記トルクに相関するパラメータを含むトルク相関量の波形である第１波形を取得する第１波形取得部と、
   前記ロボットが正常な状態で自動運転により前記所定動作を実行中に取得した前記トルク相関量の波形である第２波形と、前記第１波形との偏差の波形である偏差波形を取得する偏差波形取得部と、
   前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形に、半値幅が所定幅よりも狭いピークが所定頻度よりも高い頻度で含まれているか否か判定する第１判定部と、
   前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形について周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する周波数解析部と、
   前記周波数解析部により抽出された前記特定周波数の振幅に基づいて、前記関節に異常が生じたか否か判定する第２判定部と、
   を備えるロボットの異常判定装置。
2. 前記第２判定部は、前記周波数解析部により抽出された前記特定周波数の振幅が閾値よりも大きい場合に、前記関節に異常が生じたと判定する、請求項１に記載のロボットの異常判定装置。
3. 前記周波数解析部は、前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形を前記関節の回転速度に応じて補正した上で周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する、請求項１又は２に記載のロボットの異常判定装置。
4. 前記周波数解析部は、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形を、前記関節の回転速度が低い部分ほど時間に対して短縮するように補正する、請求項３に記載のロボットの異常判定装置。
5. 前記周波数解析部は、前記第１判定部により肯定判定されたことを条件として、前記偏差波形取得部により取得された前記偏差波形のうち前記関節の回転速度の変動幅が所定幅よりも狭い部分に限定して周波数解析を行って、前記関節に対応する特定周波数の振幅を抽出する、請求項１又は２に記載のロボットの異常判定装置。

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