JP6466357B2 - 産業機械および異常検出方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、産業機械および異常検出方法に関する。

産業機械の駆動機構部には、振動や異常な動きなどの不具合が生じることがある。従来では駆動機構部に不具合が生じた場合、考えらえる原因を推定し、必要と思われる箇所に対策を施し、不具合が解消するか確認する作業が行われる。そして不具合が解消しない場合には、考えらえる別の原因を推定し、必要な対策を施し、不具合が解消するか再び確認する作業が行われる。すなわち現状では、考えられる原因をひとつひとつ潰して対策を繰り返すといった手法が取られている。このような手法では、不具合を解消するまでに多くの時間が掛かる場合があった。

特開平６−３２０３７９号公報 特公平６−６３７６１号公報

本発明が解決しようとする課題は、不具合原因の判別の容易化を図ることができる産業機械および異常検出方法を提供することである。

実施形態の産業機械は、モータと、駆動機構部と、センサと、情報解析部とを持つ。前記駆動機構部は、前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する。前記センサは、前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出する。前記情報解析部は、前記センサが検出した加速度を微分することで得られた値と、前記センサが過去に検出した加速度を微分することで得られた値および予め設定される基準値の少なくとも一方とを比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する。

実施形態の産業機械を示す図である。 実施形態の情報解析部のシステム構成を示すブロック図である。 実施形態の移動体の可動範囲を示す側面図である。 ねじ緩みが生じた場合の加速度の傾向を示す図である。 芯ずれが生じた場合の加速度の傾向を示す図である。 実施形態の異常検出方法の処理流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態の産業機械の変形例を示す側面図である。

以下、実施形態の産業機械および異常検出方法を、図面を参照して説明する。
なお本願では「異常」との用語を「正常とは異なる」との意味で用いている。一方で「不具合」との用語を「好ましくない異常」との意味で用いている。また本願で言う「加速度の値」とは、「加速度の大きさを示す値」の意味であり、加速度［Ｇ］に換算された値に限らず、センサから出力された電圧値などでもよい。また本願で言う「過去」とは「過去の正常時」の意味である。また、本願において加速度に関する２つの値が比較される場合は、例えば互いに略同じ条件（移動体の速度パターンや移動体に載せられたワークの重さなどが同じ）で検出された値である。

まず、図１から図３を参照し、実施形態の産業機械１の構成について説明する。
図１は、実施形態の産業機械１を示す図である。
図１に示すように、本実施形態の産業機械１は、例えばボールねじを含む送り機構装置、またはこの送り機構装置を含む工作機械や成形機、産業用ロボットなどである。ただし、産業機械１は、上記例に限られない。産業機械１は、モータによって駆動される駆動機構部を有した装置であればよく、様々な分野で広く利用可能である。

図１に示すように、本実施形態の産業機械１は、ベース１１、モータ部１２、駆動機構部１３、カップリング１４、移動体１５、センサ１６、インターフェース１７、および制御装置１８を備える。

ベース１１は、産業機械１の設置面に設置されて、駆動機構部１３などを支持する。
モータ部１２は、モータ２１と、位置検出器２２とを有する。モータ２１は、駆動機構部１３を駆動する駆動用モータである。モータ２１は、例えばサーボモータであるが、これに限定されるものではなく、電源が入れられた場合に一定速度で回転するモータでもよい。位置検出器２２は、モータ２１に設けられて、モータ２１の位置を検出する。例えば、位置検出器２２は、モータ２１の位置として、モータ２１の回転角度を検出する。位置検出器２２は、例えばエンコーダやレゾルバであるが、これらに限定されるものではない。

駆動機構部１３は、ねじ軸３１、ナット３２、第１支持部３３、第２支持部３４、および一対のリニアガイド３５Ａ，３５Ｂを有する。

ねじ軸３１は、カップリング１４によってモータ２１に連結され、モータ２１によって回転駆動される。ねじ軸３１は、カップリング１４に接続された第１端部３１ａと、第１端部３１ａとは反対側に位置した第２端部３１ｂとを有する。
ここで、ねじ軸３１の軸方向Ｚ、径方向ｒ、および周方向θについて定義する。軸方向Ｚは、ねじ軸３１の中心軸（軸心）Ｃと略平行な方向である。径方向ｒは、ねじ軸３１の中心軸Ｃから放射状に離れる方向である。周方向θは、ねじ軸３１の中心軸Ｃに対して一定の距離を保ちながら中心軸Ｃの周りを回転する方向である。

ナット３２は、ねじ軸３１に貫通されるとともに、ねじ軸３１に装着されている。ナット３２とねじ軸３１との間には、図示しない複数のボールが配置されている。ねじ軸３１、ナット３２、およびボールは、ボールねじ機構の一例を形成している。ナット３２は、ねじ軸３１がモータ２１によって回転駆動されることで、ねじ軸３１に沿って直線移動する。

第１支持部３３は、ねじ軸３１の第１端部３１ａが挿入される軸受４１を有し、ねじ軸３１の第１端部３１ａを回転可能に支持している。同様に、第２支持部３４は、ねじ軸３１の第２端部３１ｂが挿入される軸受４１を有し、ねじ軸３１の第２端部３１ｂを回転可能に支持している。第１支持部３３および第２支持部３４は、固定部材４２（例えばボルト）によってベース１１に固定されている。なお、第１支持部３３および第２支持部３４は、ベース１１と一体に形成されてもよい。

一対のリニアガイド３５Ａ，３５Ｂは、ねじ軸３１の軸方向Ｚとは略直交する方向において、ねじ軸３１の両側に分かれて配置されている。一対のリニアガイド３５Ａ，３５Ｂは、それぞれ移動体１５を下方から支持する。リニアガイド３５Ａ，３５Ｂは、軸方向Ｚに沿って移動体１５を案内するガイド部である。リニアガイド３５Ａ，３５Ｂは、ねじ軸３１の周方向θにおける移動体１５の傾きを規制する。

移動体１５は、ナット３２に連結されている。移動体１５は、例えば、ワークや搬送対象の部品などが載せられるテーブルであるが、これに限定されるものではない。移動体１５は、ねじ軸３１がモータ２１によって回転駆動されることで、ナット３２とともにねじ軸３１に沿って直線移動する。例えば、移動体１５は、ねじ軸３１に沿ってモータ２１から離れる方向（以下、＋Ｚ方向と称する。）と、ねじ軸３１に沿ってモータ２１に近付く方向（以下、−Ｚ方向と称する。）とに移動可能である。

センサ１６は、駆動機構部１３に生じる異常を検出するセンサである。本実施形態のセンサ１６は、第１センサ５１と、第２センサ５２とを含む。第１センサ５１は、第１支持部３３に取り付けられている。第２センサ５２は、第２支持部３４に取り付けられている。第１センサ５１および第２センサ５２の各々は、少なくとも加速度を検出可能なセンサである。例えば、第１センサ５１は、第１支持部３３に振動が生じる場合に、第１支持部３３の振動に伴う加速度を検出する。第２センサ５２は、第２支持部３４に振動が生じる場合に、第２支持部３４の振動に伴う加速度を検出する。第１センサ５１および第２センサ５２は、振動が大きいほど、大きな値を出力する。第１センサ５１および第２センサ５２は、例えば振動の大きさに応じたアナログ信号を出力するが、これに代えてデジタル信号を出力してもよい。

本実施形態では、第１センサ５１および第２センサ５２の各々は、温度センサ、湿度センサ、圧力センサ、加速度センサ、角加速度センサ、磁力センサ、電子回路、および入出力インターフェースが１つのモジュール（１つのチップ部品の場合も有る）に搭載（センサは全てのセンサでは無く必要なセンサだけの場合も有る）されたマイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems））センサである。例えば、第１センサ５１および第２センサ５２の各々は、上述の各種センサ、電子回路、および入出力インターフェースが１つの基板に設けられて一体にモールドされたモジュールである。第１センサ５１および第２センサ５２の各々の加速度センサは、いわゆる３軸加速度センサであり、ねじ軸３１の軸方向Ｚと略平行な第１方向の加速度、ねじ軸３１の径方向ｒと略平行な第２方向の加速度、およびねじ軸３１の径方向ｒと略平行であるとともに上記第２方向とは略直交した第３方向の加速度を検出する。

なお、第１センサ５１および第２センサ５２は、ＭＥＭＳセンサに限定されるものではなく、通常の加速度センサでもよい。また、第１センサ５１および第２センサ５２は、いずれか一方が省略されてもよい。また、センサ１６が取り付けられる場所は、支持部３３，３４に限らず、駆動機構部１３における他の場所でもよい。

インターフェース（ヒューマンマシンインターフェース）１７は、入力装置を含み、ユーザーからの入力を受け付ける。また、インターフェース１７は、制御装置１８による不具合の解析結果が表示される出力装置を含んでもよい。

制御装置（駆動機構制御装置）１８は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなプロセッサとメモリなどが設けられた回路基板を有する。制御装置１８は、電気接続ライン６１を介して、モータ２１に対して制御指示を通知する。また、制御装置１８は、電気接続ライン６２を介して、位置検出器２２から位置検出器２２の出力を受け取る。また、制御装置１８は、電気接続ライン６３を介して、ユーザーが入力した情報をインターフェース１７から受け取る。さらに、制御装置１８は、電気接続ライン６４Ａ，６４Ｂを介して、第１センサ５１および第２センサ５２から、第１センサ５１および第２センサ５２の出力（センサ信号）を受け取る。なお、電気接続ラインは有線／無線どちらでも良い。

次に、制御装置１８に設けられた情報解析部（信号解析部）７０について説明する。
図１に示すように、本実施形態の制御装置１８は、第１センサ５１および第２センサ５２の出力を解析する情報解析部７０を有する。
図２は、各種センサから出力されるセンサ信号がアナログ信号の場合の情報解析部７０のシステム構成を示すブロック図である。
図２に示すように、情報解析部７０は、信号入力部７１、フィルタ部７２、Ａ／Ｄ変換部（アナログ−デジタル変換部）７３、信号処理部７４、およびメモリ７５を有する。

信号入力部７１は、電気接続ライン６４Ａ，６４Ｂを介して送られた第１センサ５１および第２センサ５２の出力（センサ信号）を受け取る。信号入力部７１は、受け取った第１センサ５１および第２センサ５２の出力（以下、センサ１６の出力と称する。）をフィルタ部７２に送る。

フィルタ部７２は、信号入力部７１から送られたセンサ１６の出力を濾波することで、センサ１６の出力に含まれる不要な成分（例えば高調波）を除去する。フィルタ部７２で濾波されたセンサ１６の出力は、Ａ／Ｄ変換部７３に送られる。

Ａ／Ｄ変換部７３は、フィルタ部７２から送られたセンサ１６の出力を、アナログ信号からデジタル信号に変換する。デジタル信号に変換されたセンサ１６の出力は、信号処理部７４に送られる。

信号処理部７４は、Ａ／Ｄ変換部７３から送られたセンサ１６の出力を、場合によってデジタルフィルタ処理し、データとして取り込む。信号処理部７４は、前記データを例えば一定時間毎に取り込み、必要に応じてメモリ７５に格納する。これにより、信号処理部７４は、駆動機構部１３の正常時にセンサ１６の出力から得られたデータをメモリ７５に格納する。メモリ７５に格納されたデータは、例えば駆動機構部１３の駆動パターン毎の正常時の加速度変化の波形形状（複数の時刻における加速度の値）を表すデータを含む。

そして、本実施形態の信号処理部７４は、新しく得られたセンサ１６の出力に基づく値と、メモリ７５に格納されたセンサ１６の過去の出力に基づく値とを比較することで、駆動機構部１３の異常の有無を判定する。さらに、本実施形態の信号処理部７４は、駆動機構部１３に異常があると判定された場合に、新しく得られたセンサ１６の出力に基づく値と、メモリ７５に格納されたセンサ１６の過去の出力に基づく値とを所定の演算処理を交えて比較することで、駆動機構部１３の異常の原因を判定する。なお、信号処理部７４の具体的な処理については、詳しく後述する。

メモリ７５は、上述のように、センサ１６の過去の出力に関するデータを格納する。また、メモリ７５には、駆動機構部１３の異常の有無の判定や、異常の原因の判定に用いられる各種の基準値が格納される。

次に、信号処理部７４の具体的な処理を説明するための前提となる、移動体１５の可動範囲Ｒについて説明する。
図３は、移動体１５の可動範囲Ｒを示す側面図である。
図３に示すように、移動体１５の可動範囲Ｒは、移動体１５がねじ軸３１に沿って直線移動できる範囲であり、−Ｚ方向の限界位置Ｌ１と、＋Ｚ方向の限界位置Ｌ２との間の範囲である。ここで、可動範囲Ｒの中央位置Ｍ、第１端部Ａ１、第２端部Ａ２、および中央部Ａ３について定義する。中央位置Ｍは、限界位置Ｌ１と限界位置Ｌ２との間の中央位置である。第１端部Ａ１は、可動範囲Ｒのなかで、中央位置Ｍに対してよりも限界位置Ｌ１に近い領域である。第２端部Ａ２は、可動範囲Ｒのなかで、中央位置Ｍに対してよりも限界位置Ｌ２に近い領域である。中央部Ａ３は、可動範囲Ｒのなかで、第１端部Ａ１と第２端部Ａ２との間の領域である。

また、異常の有無を判定する試験運転に用いられる移動体１５の速度パターンＰについて説明する。図４中の（ａ）は、移動体１５の速度パターンＰの一例を示す。この速度パターンＰは、大きく分けて第１から第５の区間Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５を含む。

第１区間Ｂ１は、０秒（運転開始時）から１秒までの間の区間である。この第１区間Ｂ１では、可動範囲Ｒの第１端部Ａ１で移動体１５が停止しているとともに、移動体１５の停止位置がモータ２１によって保持される停止位置保持状態が実現されている。なお、「移動体の停止位置がモータによって保持される」とは、移動体１５を一定位置に保持する制御指示がモータ２１に通知されている状態を意味し、例えば移動体１５の位置がずれた場合に、移動体１５を元の位置に戻そうとするトルクがモータ２１によって出力される状態を意味する。

第２区間Ｂ２は、１秒から２秒までの間の区間である。この第２区間Ｂ２では、産業機械１は、可動範囲Ｒの第１端部Ａ１から第２端部Ａ２に移動体１５を移動させる。具体的には、産業機械１は、移動体１５を、一定の加速度で加速させ、ある速度に達した後に等速移動させ、ある位置に達した後に一定の減速度で減速させることで、移動体１５を第１端部Ａ１から第２端部Ａ２に移動させる。

第３区間Ｂ３は、２秒から３秒の間の区間である。この第３区間Ｂ３では、可動範囲Ｒの第２端部Ａ２で移動体１５が停止しているとともに、移動体１５の停止位置がモータ２１によって保持される停止位置保持状態が実現されている。

第４区間Ｂ４は、３秒から４秒までの間の区間である。この第４区間Ｂ４では、産業機械１は、可動範囲Ｒの第２端部Ａ２から第１端部Ａ１に移動体１５を移動させる。具体的には、産業機械１は、移動体１５を、一定の加速度で加速させ、ある速度に達した後に等速移動させ、ある位置に達した後に一定の減速度で減速させることで、移動体１５を第２端部Ａ２から第１端部Ａ１に移動させる。

第５区間Ｂ５は、４秒から５秒の間の区間である。この第５区間Ｂ５では、可動範囲Ｒの第１端部Ａ１で移動体１５が停止しているとともに、移動体１５の停止位置がモータ２１によって保持される停止位置保持状態が実現されている。

次に、駆動機構部１３に生じる異常の原因と、それら原因により異常が生じた場合に駆動機構部１３で検出される加速度の傾向との関係を説明する。なお、以下に示す関係は、本願の発明者らの研究によって新たに見出されたものである。

まず、異常の一例として駆動機構部１３にねじ緩みが生じた場合について説明する。
本願で言う「ねじ緩み」とは、ボールねじ機構（例えば、ねじ軸３１、ナット３２、およびボール）に関するガタつきを意味する。例えば、ねじ緩みは、第１支持部３３および第２支持部３４をベース１１に固定する固定部材４２の締結が緩んだ場合や、第１支持部３３および第２支持部３４の内部で軸受４１の固定が緩んだ場合、またはねじ軸３１とナット３２との間に配置されたボールが摩耗した場合などに生じる。

図４は、駆動機構部１３にねじ緩みが生じた場合に、駆動機構部１３で検出される加速度の傾向を示す図である。なお、図４中の（ａ）は、上述したように、試験運転に用いられる移動体１５の速度パターンＰを示す。そして、図４中の（ｂ）は、上記速度パターンＰの運転が行われた場合に、センサ１６（例えば第１センサ５１）によって検出された加速度の値を示す。具体的には、図中の実線は、駆動機構部１３に異常が無い場合にセンサ１６によって検出された加速度の値を示す。一方で、図中の破線は、駆動機構部１３にねじ緩みが生じた場合にセンサ１６によって検出された加速度の値を示す。図４中の（ｂ）に示すように、ねじ緩みが生じた場合に、正常時に比べて大きな加速度が検出されることが分かる。

次に、異常の別の例として駆動機構部１３に芯ずれが生じた場合について説明する。
本願で言う「芯ずれ」とは、第１支持部３３および第２支持部３４の軸受４１の軸心に対してねじ軸３１の少なくとも一部の軸心が径方向ｒに偏心した状態や、リニアガイド３５Ａ，３５Ｂなどによって径方向ｒの位置が規制されたナット３２の軸心に対してねじ軸３１の少なくとも一部の軸心が径方向ｒに偏心した状態を意味する。芯ずれが生じると、径方向ｒの位置が規制されたナット３２と、ねじ軸３１との間で力が生じ、その力によって振動が生じる。例えば、芯ずれは、駆動機構部１３の組立時における組立誤差や、駆動機構部１３に過負荷が作用した場合（例えばねじ軸３１が曲がった場合）などに生じる。

図５は、駆動機構部１３に芯ずれが生じた場合に、駆動機構部１３で検出される加速度の傾向を示す図である。なお、図５中の（ａ）は、試験運転に用いられる移動体１５の速度パターンＰを示す。速度パターンＰは、図４中の（ａ）に示す速度パターンＰと同一である。そして、図５中の（ｂ）は、上記速度パターンＰの運転が行われた場合に、センサ１６（例えば第１センサ５１）によって検出された加速度の値を示す。具体的には、図中の実線は、駆動機構部１３に異常が無い場合にセンサ１６によって検出された加速度の値を示す。一方で、図中の破線は、駆動機構部１３に芯ずれが生じた場合にセンサ１６によって検出された加速度の値を示す。図５中の（ｂ）に示すように、芯ずれが生じた場合に、正常時に比べて大きな加速度が検出されることが分かる。

ここで、図４中の（ｂ）と図５中の（ｂ）とを参照し、ねじ緩みが生じた場合と、芯ずれが生じた場合とで検出される加速度の傾向の違いについて説明する。

まず、１つ目の違いとして、芯ずれの場合には、ねじ緩みの場合に比べて大きな加速度の変化率（加速度の微分値）が検出される（図５中のＣ１参照）。この大きな加速度の変化率は、移動体１５の１つの移動において、複数回検出される場合がある。なお本願で言う「１つの移動」とは、停止状態から加速し、等速移動し、減速して停止するまでの動作の纏まりを意味する。また別の観点で見ると、移動体１５の等速移動中において、芯ずれの場合には、ねじ緩みの場合に比べて大きな加速度の変化率が検出される場合がある。

２つの目の違いとして、芯ずれの場合には、１つの等速移動に関して、前記等速移動中の第１時刻（例えば図５中の時刻ｔ１）に検出される加速度の値と、前記等速移動中の第２時刻（例えば図５中の時刻ｔ２）に検出される加速度の値との差分（変化量）が比較的大きい（図５中のＣ２参照）。一方で、ねじ緩みの場合には、１つの等速移動に関して、前記等速移動中の第１時刻（例えば図４中の時刻ｔ１）に検出される加速度の値と、前記等速移動中の第２時刻（例えば図４中の時刻ｔ２）に検出される加速度の値との差分が比較的小さい。なお、第１時刻（時刻ｔ１）および第２時刻（時刻ｔ２）は、例えば加速の時に生じた振動が安定状態に収束した状況での時刻である。すなわち、加速の時に生じた振動が安定状態に収束した状況で第１時刻および第２時刻が決定される。一方で、等速移動において加速の時に生じた振動が安定状態に収束しない場合は、等速移動の速度を下げて、再度測定が行われてもよい。つまり、速度を下げた等速移動において第１時刻および第２時刻が決定されてもよい。なお第１時刻および第２時刻は、上記例に限られない。例えば、第１時刻は、加速後に等速移動になった時刻（加速の時に生じた振動が安定状態に収束しきらない状況の時刻でもよい）であり、第２時刻（時刻ｔ２）は、加速の時に生じた振動が安定状態に収束した状況での時刻である。

３つ目の違いとして、芯ずれの場合には、可動範囲Ｒの端部（図５に示す例では第１端部Ａ１）を移動体１５が移動する端部移動時に検出される加速度の値と、可動範囲Ｒの中央部Ａ３を移動体１５が移動する中央移動時に検出される加速度の値との差分（変化量）が比較的大きい（図５中のＣ３参照）。一方で、ねじ緩みの場合には、上記端部移動時に検出される加速度の値と、上記中央移動時に検出される加速度の値との差分が比較的小さい。なお本願で言う「可動範囲の端部を移動体が移動する」とは、移動体の少なくとも一部が可動範囲の端部に位置した状態で移動体が移動することを意味する。

４つ目の違いとして、芯ずれの場合には、可動範囲Ｒの第１端部Ａ１を移動体１５が移動する第１端部移動時に検出される加速度の値と、可動範囲Ｒの第２端部Ａ２を移動体１５が移動する第２端部移動時に検出される加速度の値との差分（変化量）が比較的大きい（図５中のＣ４参照）。一方で、ねじ緩みの場合には、上記第１端部移動時に検出される加速度の値と、上記第２端部移動時に検出される加速度の値との差分が比較的小さい。

５つ目の違いとして、芯ずれの場合には、移動体１５の停止位置がモータ２１によって保持される停止位置保持状態において検出される加速度の値が比較的大きい（図５中のＣ５参照）。一方で、ねじ緩みの場合には、上記停止位置保持状態において検出される加速度の値が比較的小さい。

６つ目の違いとして、ねじ緩みの場合には、移動体１５の等速移動中の振動（加速度）が全体的にレベルとして正常時に比べて大きい。すなわち、移動体１５の等速移動中でセンサ１６によって検出する加速度の変化が所定幅以下の期間（加速度の変化がほぼ無い期間）の加速度の平均値と、過去の前記加速度の平均値との違いが比較的大きい。一方で、芯ずれの場合には、前記加速度の平均値と、過去の前記加速度の平均値との違いが比較的小さい。なお上記「所定幅」は、任意に設定可能である。

７つ目の違いとして、芯ずれの場合には、移動体１５の加速時あるいは減速時、または加速時あるいは減速時の前後の加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示す（図５中のＣ７参照）。言い換えると、加速度の微分値が、比較的短い時間内で正の値と負の値との間で変化する。なお上記「所定時間差」は、任意に設定可能である。

以上を踏まえて、本実施形態の信号処理部７４による具体的な処理について説明する。
図６は、信号処理部７４によって実行される異常検出方法の処理流れの一例を示す。
図６に示すように、まず、信号処理部７４は、センサ１６の出力に基づく値を取得する（Ｓ１０１）。なお本願で言う「センサの出力に基づく値」とは、センサの出力に含まれる値そのものでもよいし、センサの出力に対して演算処理や判定処理などが行われることで得られる値でもよい。例えば本願で言う「センサの出力に基づく値」とは、センサの出力に対して演算処理が行われることで得られる加速度の変化率（加速度の微分値）や後述する各種差分値なども含む。また本願で言う「値を取得する」とは、その値そのものを受け取る場合に限らず、受け取った情報などに基づいて自ら算出してその値を得る場合も含む。

そして、信号処理部７４は、まず、駆動機構部１３の異常の有無を判定する。具体的には、信号処理部７４は、センサ１６によって新たに検出された加速度の値を、センサ１６によって過去に検出された加速度の値および予め設定された基準値ＢＶａの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０２）。基準値ＢＶａは、「第１基準値」の一例であり、任意に設定可能である。そして、信号処理部７４は、センサ１６によって新たに検出された加速度の値と過去に検出された加速度の値との違いが予め設定された範囲内である場合、またはセンサ１６によって新たに検出された加速度の値が基準値ＢＶａ以下の場合に、駆動機構部１３に異常が無いと判定する（Ｓ１１０）。一方で、信号処理部７４は、センサ１６によって新たに検出された加速度の値と過去に検出された加速度の値とが予め設定された範囲を超えて異なる場合、またはセンサ１６によって新たに検出された加速度の値が基準値ＢＶａよりも大きい場合に、駆動機構部１３に異常があると判定する。

本実施形態の信号処理部７４は、駆動機構部１３に異常があると判定された場合に、異常の原因を判定する処理に進む。この異常の原因を判定する処理は、例えば７種類の異なる判定処理（Ｓ１０３，Ｓ１０４，Ｓ１０５，Ｓ１０６，Ｓ１０７，Ｓ１０８，Ｓ１０９）のうち少なくとも１つを含む。これら７種類の判定処理はいずれも、異常の原因が芯ずれであるか、それともねじ緩みであるかを判定する処理である。このため、信号処理部７４は、以下の７種類の判定処理のなかからどれか１つだけを実行することで、異常の原因が芯ずれであるか、それともねじ緩みであるかを判定してもよい。また、信号処理部７４は、以下の７種類の判定処理の２つ以上を順に実行し、１つまたは複数の判定処理で芯ずれと判定された場合に、最終的な判定結果として異常の原因を芯ずれと判定してもよい。一方で、信号処理部７４は、例えば実行した１つまたは複数の判定処理の全てで芯ずれと判定されなかった場合に、異常の原因をねじ緩みと判定する（Ｓ１１２）。なお、以下の７種類の判定処理が実行される順番は、特に限定されない。

例えば、信号処理部７４は、センサ１６が新たに検出した加速度を微分することで得られた値（新たに得られた加速度の微分値）を、センサ１６が過去に検出した加速度を微分することで得られた値（過去の加速度の微分値）および予め設定された基準値ＢＶｂの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０３）。基準値ＢＶｂは、「第２基準値」の一例であり、任意に設定可能である。例えば、信号処理部７４は、新たに得られた加速度の微分値と、過去の加速度の微分値または予め設定された基準値ＢＶｂとの比較を、移動体１５の１つの移動について、所定のサンプリング周期で複数回行う。そして、信号処理部７４は、前記複数回の比較のうち少なくとも１回の比較において、新たに得られた加速度の微分値と過去の加速度の微分値とが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた加速度の微分値が基準値ＢＶｂよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。なお、信号処理部７４は、前記複数回の比較のうち２回以上の比較において、新たに得られた加速度の微分値と過去の加速度の微分値とが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた加速度の微分値が基準値ＢＶｂよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定してもよい。また、前記加速度の微分値は、移動体１５の等速移動時に検出される加速度の微分値でもよい。一方で、信号処理部７４は、新たに得られた加速度の微分値と過去の加速度の微分値との違いが予め設定された範囲内の場合、または新たに得られた加速度の微分値が基準値ＢＶｂ以下の場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、移動体１５の１つの等速移動に関して、前記等速移動中の第１時刻においてセンサ１６が検出した加速度の値と、前記等速移動中の第２時刻においてセンサ１６が検出した加速度の値との差分である差分値ＤＶａを、センサ１６の過去の出力から得られる前記差分値ＤＶａおよび予め設定された基準値ＢＶｃの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０４）。差分値ＤＶａは、「第１差分値」の一例である。基準値ＢＶｃは、「第３基準値」の一例であり、任意に設定可能である。なお「センサの過去の出力から得られる前記差分値ＤＶａ」とは、過去の等速移動中の第１時刻における加速度の値と、前記過去の等速移動中の第２時刻における加速度の値との差分である。また「第１時刻」および「第２時刻」の定義は、上記したとおりである。
そして、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶａとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶａとが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた差分値ＤＶａが基準値ＢＶｃよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。一方で、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶａとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶａとの違いが予め設定された範囲内の場合、または新たに得られた差分値ＤＶａが基準値ＢＶｃ以下の場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、可動範囲Ｒの端部（第１端部Ａ１または第２端部Ａ２）を移動体１５が移動する端部移動時にセンサ１６が検出した加速度の値と、可動範囲Ｒの中央部Ａ３を移動体１５が移動する中央移動時にセンサ１６が検出した加速度の値との差分である差分値ＤＶｂを、センサ１６の過去の出力から得られる前記差分値ＤＶｂおよび予め設定された基準値ＢＶｄの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０５）。差分値ＤＶｂは、「第２差分値」の一例である。基準値ＢＶｄは、「第４基準値」の一例であり、任意に設定可能である。なお「センサの過去の出力から得られる前記差分値ＤＶｂ」とは、過去の端部移動時における加速度の値と、過去の中央移動時における加速度の値との差分である。
そして、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶｂとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶｂとが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた差分値ＤＶｂが基準値ＢＶｄよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。一方で、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶｂとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶｂとの違いが予め設定された範囲内の場合、または新たに得られた差分値ＤＶｂが基準値ＢＶｄ以下の場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、可動範囲Ｒの第１端部Ａ１を移動体１５が移動する第１端部移動時にセンサ１６が検出した加速度の値と、可動範囲Ｒの第２端部Ａ２を移動体１５が移動する第２端部移動時にセンサ１６が検出した加速度の値との差分である差分値ＤＶｃを、センサ１６の過去の出力から得られる前記差分値ＤＶｃおよび予め設定された基準ＢＶｅの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０６）。差分値ＤＶｃは、「第３差分値」の一例である。基準値ＢＶｅは、「第５基準値」の一例であり、任意に設定可能である。なお「センサの過去の出力から得られる前記差分値ＤＶｃ」とは、過去の第１端部移動時における加速度の値と、過去の第２端部移動時における加速度の値との差分である。
そして、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶｃとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶｃとが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた差分値ＤＶｃが基準値ＢＶｅよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。一方で、信号処理部７４は、新たに得られた差分値ＤＶｃとセンサ１６の過去の出力から得られた差分値ＤＶｃとの違いが予め設定された範囲内の場合、または新たに得られた差分値ＤＶｃが基準値ＢＶｅ以下の場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、移動体１５の停止位置がモータ２１によって保持される停止位置保持状態においてセンサ１６が新たに検出した加速度の値を、過去の前記停止位置保持状態においてセンサ１６が検出した加速度の値および予め設定された基準値ＢＶｆの少なくとも一方と比較する（Ｓ１０７）。基準値ＢＶｆは、「第６基準値」の一例であり、任意に設定可能である。
そして、信号処理部７４は、停止位置保持状態においてセンサ１６が新たに検出した加速度の値と過去の停止位置保持状態においてセンサ１６が検出した加速度の値が予め設定された範囲を超えて異なる場合、または停止位置保持状態においてセンサ１６が新たに検出した加速度の値が基準値ＢＶｆよりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。一方で、信号処理部７４は、停止位置保持状態においてセンサ１６が新たに検出した加速度の値と過去の停止位置保持状態においてセンサ１６が検出した加速度の値との違いが予め設定された範囲内の場合、または停止位置保持状態においてセンサ１６が新たに検出した加速度の値が基準値ＢＶｆ以下の場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、移動体１５の等速移動中でセンサ１６が検出する加速度の変化が所定幅以下の期間の加速度の平均値と、過去の前記加速度の平均値および予め設定された基準値ＢＶｇの少なくとも一方とを比較する（Ｓ１０８）。基準値ＢＶｇは、「第７基準値」の一例であり、任意に設定可能である。なお「過去の前記加速度の平均値」とは、移動体１５の過去の等速移動中でセンサ１６が検出する加速度の変化が所定幅以下の期間の加速度の平均値である。
そして、信号処理部７４は、新たに得られた前記加速度の平均値と過去の前記加速度の平均値とが予め設定された範囲を超えて異なる場合、または新たに得られた前記加速度の平均値が前記基準値ＢＶｇよりも大きい場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定する（Ｓ１１２）。一方で、新たに得られた前記加速度の平均値と過去の前記加速度の平均値との違いが予め設定された範囲内の場合、または新たに得られた前記加速度の平均値が前記基準値ＢＶｇ以下の場合に、異常の原因は芯ずれであると判定してもよい（Ｓ１１１）。

また、信号処理部７４は、移動体１５の加速時あるいは減速時、または加速時あるいは減速時の前後の加速度の微分値の変化が所定時間差内で正の値と負の値とを示すか否か判定する（Ｓ１０９）。そして、信号処理部７４は、前記加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示す場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する（Ｓ１１１）。例えば、信号処理部７４は、前記加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示し、且つ、新たに得られたセンサ１６の出力に基づく値（例えば加速度の値または加速度の微分値）とセンサ１６の過去の出力に基づく値（加速度の値または加速度の微分値）とが予め設定された範囲を超えて異なる場合、またはセンサ１６の出力に基づく値（加速度の値または加速度の微分値）が予め設定された基準値よりも大きい場合に、異常の原因は芯ずれであると判定する。なお、前記基準値は、基準値ＢＶａと同じでもよく、異なってもよい。一方で、信号処理部７４は、前記加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示さない場合に、異常の原因はねじ緩みであると判定してもよい（Ｓ１１２）。

また、信号処理部７４は、上記７種類の判定処理に代えて、またはこれらに加えて、次の判定処理を行ってもよい。すなわち、信号処理部７４は、移動体１５が可動範囲Ｒを複数回往復する動作において、特定の同じ位置で加速度の値または加速度の微分値がある基準値を超えて大きく変化する場合に、異常の原因は芯ずれであると判定してもよい。

なお、上記第１から第７の基準値および第１から第３の差分値の「第１」「第２」…とは、互いの区別のために、便宜上付けられたものである。このため上記複数の基準値および複数の差分値は、「第１」「第２」…の番号が適宜付け直されてもよい。また、センサが過去に検出した加速度を微分することで得られた値や、センサの過去の出力から得られる第１から第３の差分値などは、例えば予め算出されてメモリ７５に格納されるが、これに代えて上記判定処理が行われる時に算出されてもよい。

産業機械１は、例えば暖機運転時に、上述のような判定処理を含む試験運転を行ってもよい。例えばこの場合、産業機械１は、検出された加速度に関する値を基準値ＢＶａ，ＢＶｂ，ＢＶｃ，ＢＶｄ，ＢＶｅ，ＢＶｆ，ＢＶｇなどと比較することで、上述の判定処理を行ってもよい。
また、産業機械１は、移動体１５の上にワークや部品が載せられた実際の作業時にセンサ１６によって加速度を検出し、信号処理部７４によって上述のような判定処理を逐次行ってもよい。例えばこの場合、産業機械１は、検出された加速度に関する値をメモリ７５に格納された過去の加速度に関する値と比較することで、上述の判定処理を行ってもよい。この場合、移動体１５に載せられるワークや部品の種類（または重さ）や移動体１５の移動条件に関する情報が、インターフェース１７を通じて信号処理部７４に入力されてもよい。これにより、信号処理部７４は、新たに検出された加速度に関する値を、ワークや部品の種類（または重さ）や移動体１５の移動条件が同一の場合における過去の加速度に関する値と比較する。

このような構成によれば、不具合原因の判別の容易化を図ることができる産業機械１が提供される。すなわち、本実施形態の信号処理部７４（情報解析部７０）は、駆動機構部１３に設けられたセンサ１６の出力に基づく値を、センサ１６の過去の出力に基づく値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較する。これにより、例えば駆動機構部１３に比較的大きな振動を伴う異常が存在する場合に、その異常を容易に知ることができる。その結果、例えば不具合が生じている場合に、不具合原因をいくつかに絞ることができる。これにより、不具合原因の判別の容易化を図ることができる。また、センサ１６の出力に基づく値をセンサ１６の過去の出力に基づく値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較する方法であれば、例えばフーリエ解析などを用いる方法に比べて高価な装置が必要なくなる。

本実施形態では、駆動機構部１３は、ねじ軸３１の第１端部３１ａを回転可能に支持した第１支持部３３と、ねじ軸３１の第２端部３１ｂを回転可能に支持した第２支持部３４とを有する。センサ１６は、第１支持部３３および第２支持部３４の少なくとも一方に設けられている。このような構成によれば、ねじ軸３１の振動に伴う異常が存在することを容易に検出しやすくなる。このため、不具合原因の判別の精度を高めることができる。

本実施形態では、センサ１６は、少なくともねじ軸３１の径方向ｒの加速度を検出する。このような構成によれば、ねじ軸３１に異常が生じた場合に振動が最も生じやすいねじ軸３１の径方向ｒの振動を精度良く検出することができる。このため、不具合原因の判別の精度をさらに高めることができる。

本実施形態では、上述のＳ１０３，Ｓ１０４，Ｓ１０５，Ｓ１０６，Ｓ１０７，Ｓ１０８，Ｓ１０９のうち少なくとも１つの判定処理が行われる。このような構成によれば、不具合原因を、ねじ緩みであるか、芯ずれであるかを容易に判別することができる。これにより、不具合原因の判別のさらなる容易化を図ることができる。

本実施形態では、センサ１６は加速度、温度、および磁力が１つのモジュールで検出可能であり通信でデータをやり取りできるＭＥＭＳセンサである。このような構成によれば、駆動機構部１３の加速度を検出するセンサ１６と、例えば産業機械１で温度を測定したい別の箇所に配置されるセンサや磁力を測定したい別の箇所に配置されるセンサとを同じ規格のＭＥＭＳセンサにすることができ、制御装置１８のインターフェースを共通化（統一化）することができる。これにより、駆動機構部１３の加速度を検出するセンサ１６を安価に容易に設けることができ、産業機械１のコストダウンを図ることができる。

なお、上述した実施形態の信号処理部７４の一部または全部は、ＣＰＵのようなプロセッサがプログラムを実行することにより機能するソフトウェア機能部である。また、信号処理部７４の一部または全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のハードウェア機能部であってもよい。上記プログラムは、制御装置１８のメモリに格納されていてもよいし、インターネット設備などを介して外部装置からダウンロードされてもよい。また、信号処理部７４の一部または全部は、インターネットを通じたクラウドコンピューティングなどによって実現されてもよい。また、メモリ７５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、フラッシュメモリなどで実現される。

以上、実施形態に係る産業機械１について説明したが、実施形態の構成は上記例に限られない。例えば、図７は、変形例に係る産業機械１を示す。本変形例の産業機械１は、成形機である。例えば、センサ１６は、成形機の第１から第３の駆動機構部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃに設けられてもよい。これらの構成によっても、上記実施形態と同様に、不具合原因の判別の容易化を図ることができる。なお以下に示す構成において、上記実施形態の構成と同一または類似の機能を有する構成には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

例えば、成形機は、溶融材料を射出する射出装置８１を有する。第１駆動機構部１３Ａは、射出装置８１を移動させる駆動機構部である。第１駆動機構部１３Ａは、ねじ軸３１と、ねじ軸３１が通された穴付き部材８２と、ねじ軸３１を回転可能に支持した支持部３３と、ねじ軸３１に取り付けられた従動プーリ８３と、モータ２１に取り付けられた駆動プーリ８４と、従動プーリ８３と駆動プーリ８４とに掛け渡されたベルト８５とを含む。穴付き部材８２は、射出装置８１に設けられるとともに、移動体の一例を形成している。ねじ軸３１は、モータ２１によって回転駆動されることで、射出装置８１および穴付き部材８２を直線移動させる。センサ１６は、支持部３３および穴付き部材８２にそれぞれ取り付けられている。すなわち、センサ１６は、ねじ軸３１を回転可能に支持する支持部に限らず、モータ２１によってねじ軸３１が回転駆動されることで直線移動する移動体に設けられてもよい。

また、成形機は、移動金型を保持する移動盤８６を有する。第２駆動機構部１３Ｂは、移動盤８６を移動させる駆動機構部（トグル機構）である。第２駆動機構部１３Ｂは、ねじ軸３１と、ねじ軸３１が通されたリンク接続部８７と、ねじ軸３１を回転可能に支持したトグルサポート（支持部）８８と、従動プーリ８３と、駆動プーリ８４と、ベルト８５とを含む。リンク接続部８７は、リンクを介して移動盤８６に連結されるとともに、移動体の一例を形成している。ねじ軸３１は、モータ２１によって回転駆動されることで、リンク接続部８７を直線移動させる。センサ１６は、リンク接続部８７およびトグルサポート８８にそれぞれ取り付けられている。

また、成形機は、エジェクタピンが取り付けられたエジェクタ板８９を有する。第３駆動機構部１３Ｃは、エジェクタ板８９を移動させる駆動機構部である。第３駆動機構部１３Ｃは、ねじ軸３１と、ねじ軸３１が通されたエジェクタ板８９と、従動プーリ８３と、駆動プーリ８４と、ベルト８５とを含む。エジェクタ板８９は、移動体の一例を形成している。ねじ軸３１は、モータ２１によって回転駆動されることで、エジェクタ板８９を直線移動させる。センサ１６は、エジェクタ板８９に取り付けられている。

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、産業機械は、駆動機構部に設けられたセンサの出力に基づく値と、センサの過去の出力に基づく値および予め設定される基準値の少なくとも一方との比較を行う。これにより、不具合原因の判別の容易化を図ることができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１…産業機械、１３…駆動機構部、１５…移動体、１６…センサ、２１…モータ、３１…ねじ軸、３１ａ…ねじ軸の第１端部、３１ｂ…ねじ軸の第２端部、３３…第１支持部、３４…第２支持部、７０…情報解析部、Ｒ…可動範囲、Ａ１…可動範囲の第１端部、Ａ２…可動範囲の第２端部、Ａ３…可動範囲の中央部。

Claims (12)

1. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記センサが検出した加速度を微分することで得られた値と、前記センサが過去に検出した加速度を微分することで得られた値および予め設定される基準値の少なくとも一方とを比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
2. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の１つの等速移動に関して、前記等速移動中の第１時刻において前記センサが検出した加速度の値と、前記等速移動中の第２時刻において前記センサが検出した加速度の値との差分値を、前記センサの過去の出力から得られる前記差分値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
3. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の可動範囲の端部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値と、前記移動体の可動範囲の中央部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値との差分値を、前記センサの過去の出力から得られる前記差分値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
4. 前記情報解析部は、前記センサの出力から得られる前記差分値と前記センサの過去の出力から得られる前記差分値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記センサの出力から得られる前記差分値が前記基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸に芯ずれがあると判定する、
   請求項３に記載の産業機械。
5. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の可動範囲の第１端部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値と、前記移動体の可動範囲の第２端部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値との差分値を、前記センサの過去の出力から得られる前記差分値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
6. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の停止位置が前記モータによって保持される停止位置保持状態において前記センサが検出した加速度の値を、過去の前記停止位置保持状態において前記センサが検出した加速度の値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較することで、前記駆動機構部に生じた異常が、前記ねじ軸の緩みであるか、前記ねじ軸の芯ずれであるかを判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
7. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の等速移動中で前記センサが検出する加速度の変化が所定幅以下の期間の加速度の平均値を、過去の前記加速度の平均値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較し、前記加速度の平均値と過去の前記加速度の平均値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記加速度の平均値が前記基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸にねじ緩みがあると判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
8. モータと、
   前記モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部と、
   前記駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサと、
   前記移動体の加速時あるいは減速時、または加速時あるいは減速時の前後の加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示し、前記センサの出力に基づく値と前記センサの過去の出力に基づく値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記センサの出力に基づく値が予め設定される基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸に芯ずれがあると判定する情報解析部と、
   を備えた産業機械。
9. 前記センサは、加速度、温度、および磁力が検出可能な１つのモジュールで構成されたマイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）センサである、
   請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の産業機械。
10. モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサの出力に基づく値を取得し、
    前記移動体の可動範囲の端部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値と、前記移動体の可動範囲の中央部を前記移動体が移動する時に前記センサが検出した加速度の値との差分値を、前記センサの過去の出力から得られる前記差分値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較し、
    前記センサの出力から得られる前記差分値と前記センサの過去の出力から得られる前記差分値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記センサの出力から得られる前記差分値が前記基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸に芯ずれがあると判定する、
    異常検出方法。
11. モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサの出力に基づく値を取得し、
    前記移動体の等速移動中で前記センサが検出する加速度の変化が所定幅以下の期間の加速度の平均値を、過去の前記加速度の平均値および予め設定される基準値の少なくとも一方と比較し、
    前記加速度の平均値と過去の前記加速度の平均値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記加速度の平均値が前記基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸にねじ緩みがあると判定する、
    異常検出方法。
12. モータによって回転駆動されることで移動体を移動させるねじ軸と、前記ねじ軸の一端部を回転可能に支持した第１支持部と、前記ねじ軸の他端部を回転可能に支持した第２支持部とを有する駆動機構部の前記第１支持部および前記第２支持部の少なくとも一方に設けられ、少なくとも加速度を検出するセンサの出力に基づく値を取得し、
    前記移動体の加速時あるいは減速時、または加速時あるいは減速時の前後の加速度の微分値が所定時間差内で正の値と負の値とを示し、前記センサの出力に基づく値と前記センサの過去の出力に基づく値とが予め設定される範囲を超えて異なる場合、または前記センサの出力に基づく値が予め設定される基準値よりも大きい場合に、前記ねじ軸に芯ずれがあると判定する、
    異常検出方法。

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