JP2019057637A - 現像装置及び現像方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インライン式の現像処理を実施する際に、装置に大掛かりな改造を加えることなく、リンス領域に持ち込まれるデブリの量を低減させる。【解決手段】表面に感光性樹脂層を有する原版Ｐを現像する装置であって、感光樹脂層に露光部と未露光部とが形成された原版Ｐを所定の方向に搬送する搬送部２と、搬送部２により搬送される原版Ｐに現像領域内で現像液を供給する現像液供給部と、現像領域内に配置され原版Ｐの未露光部を除去する未露光部除去部４１，４２と、搬送部２により搬送される原版Ｐに、現像領域の下流側に隣接するリンス領域内でリンス液を供給するリンス液供給部３３，３４と、を備える。現像液供給部は、使用済みの現像液を含む現像液を現像領域の上流側領域１１に供給する第一現像液供給部３１と、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を現像領域の下流側領域１２に供給する第二現像液供給部３２と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、現像装置及び現像方法に関する。

従来より、原版の表面に設けられた感光性樹脂層に凹凸を形成して印刷版を製造する技術が知られている。例えば、画像マスクを介して原版に紫外光を照射して感光性樹脂層を所定のパターンで露光することにより、感光性樹脂層に露光部と未露光部とを形成し（露光工程）、原版に現像液を供給しつつブラシで原版の表面を擦ることにより未露光部の樹脂を掻き出してレリーフを形成し（現像工程）、レリーフが形成された原版の表面にリンス液を供給してデブリを除去する（リンス工程）、という工程群を経て水現像性フレキソ印刷版を製造する技術が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

このような水現像性フレキソ印刷版では、デブリと版表面との親和性が高いため、版表面からのデブリ除去には多量の新現像液（樹脂分を含まない現像液）によるリンスと、多量の水によるリンスと、の双方が実施されることが多い。リンス後は、目視で版表面にデブリが付着していないか否かを確認し、デブリが残存している場合は、短時間の再現像を行うか、ピンセットでデブリを除去することが行われている。

特開２０１１−６４７９６号公報 特開２０１５−１２５３９８号公報

ところで、近年においては、大型（長尺）の原版の先端に金属製のバーを取り付け、このバーをチェーン等の搬送手段で所定の方向に搬送しながら、搬送方向に沿って所定の間隔で配置された複数のブラシで原版の表面を擦ることにより現像工程及びリンス工程を連続的に実施する、いわゆる「インライン式」の現像処理が提案されている。このような「インライン式」の現像処理においては、現像工程を行う現像領域と、リンス工程を行うリンス領域と、が隣接していることから、現像領域を通過した原版の表面に残存したデブリがリンス領域に持ち込まれ、リンス後もデブリが版表面に残存し易くなる可能性がある。

この点、特許文献１に記載された技術は、現像工程終盤においてブラシを回転させながら版表面からブラシを徐々に離す技術であるが、「インライン式」の現像処理に適用しようとすると、原版の搬送方向に対して直交する方向に延びる回転軸を中心にブラシを回転させたり、その直交する方向に沿ってブラシを動かしたりする必要があることから、装置の大掛かりな改造を要する虞がある。また、特許文献２に記載された技術は、リンス工程において、ｐＨ９以上の界面活性剤を含む特定のリンス水を版表面に供給しながら版表面を２５〜１８０μｍの毛径のブラシでブラッシングするものであるが、特定のリンス水や特定の毛径を有するブラシを調製する必要があるため、その実施には相当の手間や費用を要する虞がある。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、インライン式の現像処理を実施する際に、装置に大掛かりな改造を加えることなく、リンス領域に持ち込まれるデブリの量を低減させることを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明に係る現像装置は、表面に感光性樹脂層を有する原版を現像する装置であって、感光樹脂層に露光部と未露光部とが形成された原版を所定の方向に搬送する搬送部と、搬送部により搬送される原版に現像領域内で現像液を供給する現像液供給部と、現像領域内に配置され原版の表面を擦ることにより未露光部を除去する未露光部除去部と、搬送部により搬送される原版に、現像領域の下流側に隣接するリンス領域内でリンス液を供給することにより原版の表面からデブリを除去するリンス液供給部と、を備え、現像液供給部は、使用済みの現像液を含む現像液を現像領域の上流側領域に供給する第一現像液供給部と、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を現像領域の下流側領域に供給する第二現像液供給部と、を有するものである。

また、本発明に係る現像方法は、表面に感光性樹脂層を有する原版を現像する方法であって、感光樹脂層に露光部と未露光部とが形成された原版を所定の方向に搬送しながら、現像領域内で原版に現像液を供給しつつ未露光部除去手段で原版の表面を擦ることにより未露光部を除去する現像工程と、現像工程を経た原版を前記方向に搬送しながら、現像領域の下流側に隣接するリンス領域内で原版にリンス液を供給することにより原版の表面からデブリを除去するリンス工程と、を含み、現像工程では、使用済みの現像液を含む現像液を現像領域の上流側領域に供給する一方、使用済みの現像液を濾過手段で濾過して得た濾過済みの現像液を現像領域の下流側領域に供給するものである。

かかる構成及び方法を採用すると、現像工程の後半（すなわち現像領域の下流側）において、濾過済みの現像液を用いて現像を行うことができるため、リンス領域に持ち込まれるデブリの量を格段に低減させることができる。従って、リンス工程で使用されるリンス液（新現像液や水）の量を低減させることが可能となるとともに、リンス工程を経た原版へのデブリ付着量を低減させることが可能となり、この際、ブラシの駆動機構等に大掛かりな改造を加える必要がない。また、現像工程の前半（すなわち現像領域の上流側）においては、使用済みの現像液を再使用して現像を行うため、新現像液を節約することができるとともに、現像液全量を濾過する手間を省くことができる。ここで、濾過済みの現像液が供給される「下流側領域」としては、現像領域の下流端を含み現像領域全体の１０〜２０％を占める領域を採用することができる。

本発明に係る現像装置において、リンス液供給部は、使用済みの現像液を含まない新現像液をリンス液としてリンス領域の上流側領域に供給する新液供給部と、水をリンス液としてリンス領域の下流側領域に供給する水供給部と、を有することができる。また、本発明に係る現像方法において、リンス工程は、使用済みの現像液を含まない新現像液をリンス液としてリンス領域の上流側領域に供給する新液リンス工程と、水をリンス液としてリンス領域の下流側領域に供給する水リンス工程と、を含むことができる。

かかる構成及び方法を採用すると、新現像液と水とを用いて二段階でリンスを行うことができるので、原版からデブリを効率良く除去することができる。

本発明に係る現像装置において、水供給部は、水供給源に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給することができる。また、本発明に係る現像方法において、水リンス工程で、水供給源に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給することができる。

かかる構成及び方法を採用すると、現像工程の後半において濾過済みの現像液を用いて現像を行うため水リンス時点での原版へのデブリ付着量が少ないため、水へのデブリ混入量が少なくなり、より継続して貯蔵水を使用することができる。

本発明によれば、インライン式の現像処理を実施する際に、装置に大掛かりな改造を加えることなく、リンス領域に持ち込まれるデブリの量を低減させることが可能となる。

本発明の実施形態に係る現像装置の全体構成を説明するための構成図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態はあくまでも好適な適用例であって、本発明の適用範囲がこれに限定されるものではない。

まず、本発明の実施形態に係る現像装置１の構成について説明する。本実施形態に係る現像装置１は、「インライン式」と称される方式で、表面に感光性樹脂層を有する原版Ｐに現像処理を施す装置である。本実施形態に係る現像装置１では、界面活性剤を含む水を現像液として用いて原版の現像処理を行う。かかる現像処理は「水現像」と称される。

原版Ｐは、図示していない支持体の表面に感光性樹脂層を形成することにより形成され、全体としてシート形状を呈している。感光性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリエステル、ナイロン、ポリビニルアルコール等を用いることができる。原版Ｐの表面の一部は、現像装置１による現像処理に先立って、紫外線が照射されている。紫外線が照査された部位（すなわち露光された部位）では、感光性樹脂が硬化する化学変化が生じている。一方、未露光の部分では、感光性樹脂は硬化していない。現像装置１の現像処理では、未硬化の感光性樹脂が除去され、原版Ｐの表面に所定パターンの凹凸が形成される。

現像装置１は、図１に示すように、搬送部２と、吐出部３と、ブラシ部４と、を備えている。

搬送部２は、原版Ｐを搬送するように構成されており、その上面に原版載置部２２を有している。原版載置部２２には、原版Ｐが、露光処理が施された面を上方に向けるようにして載置される。原版Ｐの一端部には、ガイドプレート２４が固定されている。ガイドプレート２４は金属製の部材であり、扁平形状を呈している。搬送部２は、図示されていないガイドチェーンを有している。ガイドチェーンは原版載置部２２に沿うように配置されており、ガイドプレート２４の端部はこのガイドチェーンに係止されている。図示されていないモータが駆動すると、ガイドチェーンが回転し、ガイドプレート２４を原版載置部２２に沿って移動させる。これにより、矢印Ａで示される方向に原版Ｐが搬送される。

吐出部３は、現像液や水を吐出するように構成されており、複数の吐出管３１，３２，３３，３４を有している。吐出管３１，３２，３３，３４は、いずれも原版載置部２２の上方に配置され、管形状を呈している。

吐出管３１，３２は、搬送部２により搬送される原版Ｐに、現像領域（後述する第一現像領域１１及び第二現像領域１２）内で現像液を供給するものであり、本発明における現像液供給部として機能する。吐出管３１は、使用済みの現像液を含む現像液を現像領域の上流側領域（後述する第一現像領域１１）に供給するものであり、本発明における第一現像液供給部として機能する。吐出管３２は、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を現像領域の下流側領域（後述する第二現像領域１２）に供給するものであり、本発明における第二現像液供給部として機能する。

吐出管３３，３４は、搬送部２により搬送される原版Ｐに、現像領域の下流側に隣接するリンス領域（後述する第一リンス領域１３及び第二リンス領域１４）内でリンス液を供給することにより原版Ｐの表面からデブリを除去するものであり、本発明におけるリンス液供給部として機能する。吐出管３３は、使用済みの現像液を含まない新現像液をリンス液としてリンス領域の上流側領域（後述する第一リンス領域１３）に供給するものであり、本発明における新液供給部として機能する。吐出管３４は、水をリンス液としてリンス領域の下流側領域（後述する第二リンス領域１４）に供給するものであり、本発明における水供給部として機能する。吐出管３４は、水供給源７１（後述）に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給する。

ブラシ部４は、ロールブラシ４１，４２，４３，４４を有している。ロールブラシ４１，４２，４３，４４は、それぞれの軸が略水平に伸びるように、原版載置部２２の上方且つ吐出管３１，３２，３３，３４の下方に配置される。ロールブラシ４１，４２，４３，４４の外周部には、弾性を有する毛束が配設されている。ロールブラシ４１，４２，４３，４４がそれぞれの軸を中心として回動すると、毛束の毛先が軸周りに移動し、繰り返し原版載置部２２側に配置される。ロールブラシ４１，４２は、現像領域内に配置され原版Ｐの表面を擦ることにより未露光部を除去するものであり、本発明における未露光部除去部として機能する。

現像装置１は、図１に示すように、第一現像領域１１、第二現像領域１２、第一リンス領域１３及び第二リンス領域１４に区分することができる。第一現像領域１１、第二現像領域１２、第一リンス領域１３及び第二リンス領域１４は、原版Ｐが搬送される方向にこの順序で並ぶように配置されている。第一現像領域１１には吐出管３１及びロールブラシ４１が配置され、第二現像領域１２には吐出管３２及びロールブラシ４２が配置され、第一リンス領域１３には吐出管３３及びロールブラシ４３が配置され、第二リンス領域１４には吐出管３４及びロールブラシ４４が配置されている。

第一現像領域１１では、吐出管３１から現像液が吐出され、原版Ｐの表面に供給される。後述するように、ここで吐出される現像液は、使用済みの現像液を含むものであり、デブリを含んでいる。また、ロールブラシ４１が回転し、その毛束が原版Ｐの表面を擦る。これにより、未硬化の感光性樹脂が原版Ｐの表面から掻き出され、現像液とともに排出される。第一現像領域１１を通過した原版Ｐは、次に第二現像領域１２に至る。

第二現像領域１２では、吐出管３２から現像液が吐出され、原版Ｐの表面に供給される。後述するように、ここで吐出される現像液は、使用済みの現像液を濾過して得たものであり、デブリがほぼ取り除かれている。また、ロールブラシ４２が回転し、その毛束が原版Ｐの表面を擦る。これにより、未硬化の感光性樹脂が原版Ｐの表面から掻き出され、現像液とともに排出される。第二現像領域１２を通過した原版Ｐは、次に第一リンス領域１３に至る。本実施形態における第二現像領域１２は、現像領域の下流端を含み現像領域全体の１０〜２０％を占める領域である。なお、第二現像領域１２が現像領域全体に占める割合はこれに限られるものではなく、装置の仕様等に応じて適宜変更することができる。

第一リンス領域１３では、吐出管３３から現像液が吐出され、原版Ｐの表面に供給される。後述するように、ここで吐出される現像液は、使用済みの現像液を含まない新たな現像液である。また、ロールブラシ４３が回転し、その毛束が原版Ｐの表面を擦る。これにより、原版Ｐの表面に付着していたデブリが除去され、現像液とともに排出される。第一リンス領域１３を通過した原版Ｐは、次に第二リンス領域１４に至る。

第二リンス領域１４では、吐出管３４から大量の水が吐出され、原版Ｐの表面に供給される。また、ロールブラシ４４が回転し、その毛束が原版Ｐの表面を擦る。これにより、原版Ｐの表面に付着していたデブリや界面活性剤が除去される。

このような現像装置１による現像処理が施された原版Ｐは、現像液や水によって膨潤している。原版Ｐは、図示されていない乾燥装置により乾燥処理が施される。乾燥処理では、高温の空気を吹き付けることにより、原版Ｐの乾燥が促される。乾燥した原版Ｐは、印刷版として用いられる。

また、現像装置１は、図１に示すように、回収供給機構５と、新液供給機構６と、水供給機構７と、を備えている。

回収供給機構５は、第一現像領域１１及び第二現像領域１２に現像液を供給するように構成されている。回収供給機構５は、吐出管３１よりも下方に配置されたドレインパン５１と、回収液貯留タンク５２と、フィルタ装置５４と、濾過液貯留タンク５６と、を有している。

ドレインパン５１は、搬送部２の下方であって、且つ、第一現像領域１１、第二現像領域１２及び第一リンス領域１３と対応する部位に配置されている。ドレインパン５１は、第一現像領域１１、第二現像領域１２及び第一リンス領域１３から下方に排出された現像液を回収するように構成されている。

回収液貯留タンク５２は、液体を貯留可能な容器である。回収液貯留タンク５２の内部には、ドレインパン５１により回収された現像液が流入し、貯留されている。当該現像液は、第一現像領域１１及び第二現像領域１２において原版Ｐの表面から掻き出されたデブリや、第一リンス領域１３において原版Ｐの表面から除去されたデブリが含まれている。当該デブリは、現像液中で分散している。

回収液貯留タンク５２内に貯留されている現像液の一部は、吸引管５３ａを介してポンプ５３ｂにより吸引され、送給管５３ｃを介してフィルタ装置５４に送給される。フィルタ装置５４は、その内部に、図示されていないフィルタを有している。送給管５３ｃにより送給される現像液は、フィルタ装置５４内に供給され、当該フィルタを通過する。現像液がフィルタを通過すると、フィルタとの摩擦により、現像液中で分散している樹脂カスの表面から界面活性剤が除去される。これにより、フィルタを通過した現像液中では、凝集剤を添加しなくても樹脂カスが凝集し、凝集物が生成される。本明細書においては、このような凝集物や樹脂カスを総じて「デブリ」と称することとしている。

デブリを含むフィルタ装置５４内の現像液は、送給管５５を介して濾過液貯留タンク５６に送給される。濾過液貯留タンク５６は、液体を貯留可能な容器である。濾過液貯留タンク５６の内部にはフィルタ５６ａが配置されている。送給管５５により送給される現像液は、濾過液貯留タンク５６内に供給され、フィルタ５６を通過する。現像液がフィルタ５６ａを通過すると、現像液に含まれていたデブリがほぼ除去される。濾過液貯留タンク５６は、このようにほぼデブリを除去された現像液を貯留している。

濾過液貯留タンク５６内に貯留されている濾過済みの現像液の一部は、吸引管５７ａを介してポンプ５７ｂにより吸引され、送給管５７ｃを介して回収液貯留タンク５２に戻される。デブリが除去された現像液が濾過液貯留タンク５６から供給されることにより、回収液貯留タンク５２内ではデブリの濃度が低下する。

回収液貯留タンク５２内に貯留されている現像液は、吸引管５８ａを介してポンプ５８ｂにより吸引され、送給管５８ｃを介して第一現像領域１１の吐出管３１に供給される。吐出管３１は現像液を吐出し、第一現像領域１１に配置されている原版Ｐに供給する。具体的には、現像液は１つの吐出管３１から２つのロールブラシ４１に向けて吐出され、これらロールブラシ４１の毛束を介して原版Ｐの表面に供給される。第一現像領域１１において供給された現像液は、搬送部２から落下し、前述したようにドレインパン５１により回収され、デブリを除去する処理が施される。すなわち、第一現像領域１１に供給される現像液は、繰り返し原版Ｐの現像に供される。

一方、濾過液貯留タンク５６内に貯留されている濾過済みの現像液は、吸引管５９ａを介してポンプ５９ｂにより吸引され、送給管５９ｃを介して第二現像領域１２の吐出管３２にも供給される。吐出管３２は現像液を吐出し、第二現像領域１２に配置されている原版Ｐに供給する。具体的には、現像液は１つの吐出管３２から２つのロールブラシ４２に向けて吐出され、これらロールブラシ４２の毛束を介して原版Ｐの表面に供給される。第二現像領域１２において供給された現像液は、搬送部２から落下し、前述したようにドレインパン５１により回収され、デブリを除去する処理が施される。すなわち、第二現像領域１２に供給される現像液もまた、繰り返し原版Ｐの現像に供される。

新液供給部６は、第一リンス領域１３に現像液を供給するように構成されている。新液供給部６は、新液供給源６１を有している。新液供給源６１は、未だ原版Ｐの現像に供されていない（すなわちデブリを含まない）新たな現像液を貯留するタンクである。新液供給源６１の現像液は、吸引管６３ａを介してポンプ６３ｂにより吸引され、送給管６３ｃを介して第一リンス領域１３の吐出管３３に供給される。吐出管３３は現像液を吐出し、第一リンス領域１３に配置されている原版Ｐに供給する。具体的には、現像液は１つの吐出管３３から２つのロールブラシ４３に向けて吐出され、これらロールブラシ４３の毛束を介して原版Ｐの表面に供給される。第一リンス領域１３において供給された現像液は、搬送部２から落下し、ドレインパン５１により回収される。すなわち、新液供給部６によって第一リンス領域１３に供給される現像液は、第一現像領域１１及び第二現像領域１２に供給される現像液とともに、デブリを除去する処理が施された後、第一現像領域１１及び第二現像領域１２に供給される。

水供給部７は、第二リンス領域１４に水を供給するように構成されている。水供給部７は、水供給源７１を有している。水供給源７１は、例えば、水道水から供給される水を貯留するタンクである。水供給源７１の水は、吸引管７３ａを介してポンプ７３ｂにより吸引され、送給管７３ｃを介して第二リンス領域１４の吐出管３４に供給される。吐出管３４は水を吐出し、第二リンス領域１４に配置されている原版Ｐに供給する。具体的には、水は１つの吐出管３４から２つのロールブラシ４４に向けて吐出され、これらロールブラシ４４の毛束を介して原版Ｐの表面に供給される。第二リンス領域１４において供給された水は、搬送部２から落下し、ドレインパン７５により回収される。ドレインパン７５により回収された水は、図示されていない濾過装置により濾過されて不純物が除去され、水供給源７１に戻される。

次に、本発明の実施形態に係る現像装置１を用いた現像方法について説明する。

まず、原版Ｐを搬送部２で所定の方向Ａに搬送しながら、現像領域（第一現像領域１１及び第二現像領域１２）内で原版Ｐに現像液を供給しつつロールブラシ４１，４２で原版Ｐの表面を擦ることにより未露光部を除去する（現像工程）。ここで、現像工程では、使用済みの現像液を含む現像液を現像領域の上流側領域（第一現像領域１１）に供給する一方、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を現像領域の下流側領域（第二現像領域１２）に供給する。

次いで、原版Ｐを所定の方向Ａに搬送しながら、現像領域の下流側にあるリンス領域（第一リンス領域１３及び第二リンス領域１４）内で原版Ｐにリンス液を供給することにより原版Ｐの表面からデブリを除去する（リンス工程）。ここで、リンス工程は、使用済みの現像液を含まない新現像液をリンス液としてリンス領域の上流側領域（第一リンス領域１３）に供給する新液リンス工程と、水をリンス液としてリンス領域の下流側領域（第二リンス領域１４）に供給する水リンス工程と、を含む。この後、図示されていない乾燥装置により原版Ｐに乾燥処理を施し、印刷版とする。

以上説明した実施形態に係る現像装置１においては、現像工程の後半（すなわち第二現像領域１２）において、濾過済みの現像液を用いて現像を行うことができるため、リンス領域に持ち込まれるデブリの量を格段に低減させることができる。従って、リンス工程で使用されるリンス液（新現像液や水）の量を低減させることが可能となるとともに、リンス工程を経た原版Ｐへのデブリ付着量を低減させることが可能となり、この際、ロールブラシ４１，４２の駆動機構等に大掛かりな改造を加える必要がない。また、現像工程の前半（すなわち第一現像領域１１）においては、使用済みの現像液を再使用して現像を行うため、新現像液を節約することができるとともに、現像液全量を濾過する手間を省くことができる。

また、以上説明した実施形態に係る現像装置１においては、使用済みの現像液を含まない新現像液をリンス液としてリンス領域の上流側領域（第一リンス領域１３）に供給する新液供給部６と、水をリンス液としてリンス領域の下流側領域（第二リンス領域１４）に供給する水供給部７と、を有するため、新現像液と水とを用いて二段階でリンスを行うことができる。従って、原版Ｐからデブリを効率良く除去することができる。

また、以上説明した実施形態に係る現像装置１においては、水供給源７１に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給しているが、現像工程の後半において濾過済みの現像液を用いて現像を行うことから水リンス時点での原版Ｐへのデブリ付着量が少ないため、水へのデブリ混入量が少なくなり、より継続して貯蔵水を使用することができる。

本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、かかる実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。すなわち、前記実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前記実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

１…現像装置
２…搬送部
３１…吐出管（第一現像液供給部、現像液供給部）
３２…吐出管（第二現像液供給部、現像液供給部）
３３…吐出管（新液供給部、リンス液供給部）
３４…吐出管（水供給部、リンス液供給部）
４１・４２…ロールブラシ（未露光部除去部）
７１…水供給源
Ｐ…原版

Claims (8)

1. 表面に感光性樹脂層を有する原版を現像する装置であって、
   前記感光樹脂層に露光部と未露光部とが形成された前記原版を所定の方向に搬送する搬送部と、
   前記搬送部により搬送される前記原版に現像領域内で現像液を供給する現像液供給部と、
   前記現像領域内に配置され前記原版の表面を擦ることにより前記未露光部を除去する未露光部除去部と、
   前記搬送部により搬送される前記原版に、前記現像領域の下流側に隣接するリンス領域内でリンス液を供給することにより前記原版の表面からデブリを除去するリンス液供給部と、を備え、
   前記現像液供給部は、使用済みの現像液を含む現像液を前記現像領域の上流側領域に供給する第一現像液供給部と、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を前記現像領域の下流側領域に供給する第二現像液供給部と、を有する、現像装置。
2. 前記リンス液供給部は、使用済みの現像液を含まない新現像液を前記リンス液として前記リンス領域の上流側領域に供給する新液供給部と、水を前記リンス液として前記リンス領域の下流側領域に供給する水供給部と、を有する、請求項１に記載の現像装置。
3. 前記水供給部は、水供給源に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給する、請求項２に記載の現像装置。
4. 前記現像領域の下流側領域は、前記現像領域の下流端を含み前記現像領域全体の１０〜２０％を占める領域である、請求項１から３の何れか一項に記載の現像装置。
5. 表面に感光性樹脂層を有する原版を現像する方法であって、
   前記感光樹脂層に露光部と未露光部とが形成された前記原版を所定の方向に搬送しながら、現像領域内で前記原版に現像液を供給しつつ未露光部除去部で前記原版の表面を擦ることにより前記未露光部を除去する現像工程と、
   前記現像工程を経た前記原版を前記方向に搬送しながら、前記現像領域の下流側に隣接するリンス領域内で前記原版にリンス液を供給することにより前記原版の表面からデブリを除去するリンス工程と、を含み、
   前記現像工程では、使用済みの現像液を含む現像液を前記現像領域の上流側領域に供給する一方、使用済みの現像液を濾過して得た濾過済みの現像液を前記現像領域の下流側領域に供給する、現像方法。
6. 前記リンス工程は、使用済みの現像液を含まない新現像液を前記リンス液として前記リンス領域の上流側領域に供給する新液リンス工程と、水を前記リンス液として前記リンス領域の下流側領域に供給する水リンス工程と、を含む、請求項５に記載の現像方法。
7. 前記水リンス工程では、水供給源に貯蔵された使用済みの水をリンス液として供給する、請求項６に記載の現像方法。
8. 前記現像領域の下流側領域は、前記現像領域の下流端を含み前記現像領域全体の１０〜２０％を占める領域である、請求項５から７の何れか一項に記載の現像方法。