JP2019056560A - 検査方法及び検査システム - Google Patents
検査方法及び検査システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019056560A JP2019056560A JP2017179324A JP2017179324A JP2019056560A JP 2019056560 A JP2019056560 A JP 2019056560A JP 2017179324 A JP2017179324 A JP 2017179324A JP 2017179324 A JP2017179324 A JP 2017179324A JP 2019056560 A JP2019056560 A JP 2019056560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- probe
- light
- housing
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 109
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 108
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 62
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 53
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 28
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 15
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 6
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010998 test method Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 34
- 239000003949 liquefied natural gas Substances 0.000 description 18
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 17
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 10
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000013112 stability test Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000491 multivariate analysis Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000026683 transduction Effects 0.000 description 1
- 238000010361 transduction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
- G01N21/8507—Probe photometers, i.e. with optical measuring part dipped into fluid sample
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/24—Suction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3577—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing liquids, e.g. polluted water
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/359—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using near infrared light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0006—Calibrating gas analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/22—Fuels; Explosives
- G01N33/225—Gaseous fuels, e.g. natural gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N2021/3595—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using FTIR
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
- G01N2021/8578—Gaseous flow
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
ケース1: 検査対象のFT−NIRと共通の分析対象物を測定できる他の測定機器を準備しておく。他の測定機器による測定結果と、FT−NIRによる測定結果の差異の有無を確認する。差異がある場合には、FT−NIRによる測定結果と他の測定機器による測定結果と整合するようにFT−NIRを校正する。他の測定機器として、例えば、ガスクロマトグラフが用いられる。
ケース2: 組成を示すラボ値が既知のサンプルを測定対象として測定セルに入れ、FT−NIRによる測定結果とラボ値との差異の有無を確認する。差異がある場合には、FT−NIRによる測定結果とラボ値と整合するようにFT−NIRを校正する。
検査システム1は、FT−NIR10、プローブ20、真空ポンプ30、ガスボンベ40及びメンテナンスPC50を含んで構成される。
FT−NIR10は、光を発光する光源と、入射された光を検出する検出器と、検出された光のスペクトルを分析する分析部と、を備える分析装置である。光源は、例えば、近赤外光を発光するハロゲンランプである。光源が発光する光は、分析対象物の吸収特性を検出するために用いられる検出光として用いられる。検出光は、プローブ光とも呼ばれる。近赤外光は、波長が0.7μm〜2.5μmの電磁波である。この波長の範囲が、分析可能とする波長の範囲となる。
ガスボンベ40は、所定の成分を有するガスが大気圧よりも高い圧力でその内部に収容する容器である。以下に説明する例では、第2の流体として窒素(N2)ガスが充填されるガスボンベ40と、第3の流体として標準ガスが充填されるガスボンベ40のいずれか一方が、手順に応じて使い分けられる。以下の説明では、窒素ガスが充填されるガスボンベ40を「窒素ガスボンベ」と呼び、標準ガスが充填されるガスボンベ40を「標準ガスボンベ」と呼ぶことがある。標準ガスは、分析対象の波長の範囲内に特徴的な吸光特性を有し、その成分が既知である気体が用いられればよい。標準ガスとして、例えば、メタン(CH4)が利用可能である。
以下の説明では、校正検査の手順には、FT−NIR10などのハードウェアを調整する作業もしくは処理は含まれない。
図2は、本実施形態に係るプローブ20の構成例を示す断面図である。
プローブ20は、筐体210と、フランジ214と、コネクタ220と、ガラス板222と、2本のライトガイド224と、ライトガイドおさえ228と、ウィンドウ230と、コーナキューブ232と、止め弁240と、プラグ242と、を含んで構成される。
ここで、図2に示す例では、筐体210の左端が「プローブ20の一端」で、右端が「プローブ20の他端」である。
フランジ214は、筐体210に配設された状態で、筐体210の長手方向に対して垂直な平面を有する円盤状の部材である。その平面を配管60の外面に圧接してプローブ20を固定し、プローブ20が挿入する配管60の開口部からの流体の漏れを抑止する。
なお、以下の説明では、止め弁240により導管p80の内部に対して筐体210の内部を封止することを「止め弁240を閉じる」と呼び、止め弁240により導管p80の内部に対して筐体210の内部を開放することを「止め弁240を開く」と呼ぶ。
プラグ242は、自部が挿入されている開口部を封止する部材である。プラグ242は、筐体210の内部に充填された流体が外部に漏れないように封止する。
止め弁240もしくはプラグ242よりもプローブ20の他端に近い位置には、その長手方向に垂直な面に平行にガラス板222が設けられている。ガラス板222よりもさらにプローブ20の他端に近い面に対面して、コネクタ220が配置されている。コネクタ220は、挿通された2本の光ファイバp82を着脱可能とする。
ここで、図2に示す例では、筐体210の左端が「ライトガイド224−1、224−2の一端」であり、右端が「ライトガイド224−1、224−2の他端」である。
筐体210の内部であって、止め弁240もしくはプラグ242よりもフランジ214に近い位置には、ライトガイドおさえ228が配設される。
ライトガイドおさえ228は、それぞれライトガイド224−1、224−2の他端近傍の外側面を筐体210に固定する部材である。
筐体210の内部において、測定部212よりもプローブ20の一端に近い位置には、コーナキューブ232が配設されている。
この配置のもとで、ライトガイド224−1の一端から出射される光は、ウィンドウ230を介して測定部212を通過し、コーナキューブ232に入射する。コーナキューブ232に入射した光は反射板により反射し、ライトガイド224−2の一端に入射する。
図3は、本実施形態に係る検査方法の一例を示すフローチャートである。
図3に示す検査方法は、プローブ20の状態が通常の使用状態であるときに開始される場合を例にする。図3に示す検査方法は、典型的には、配管60の定期点検など、操業休止中に行われる。通常の使用状態では、プローブ20の筐体210の内部に窒素が充填され、配管60の内部にLNGが流れる(図4参照)。図4において、左下がりの斜線、右下がりの斜線は、それぞれLNG、窒素を示す。配管60の内部の温度は、LNGの沸点(約−162°C)よりも低く、窒素の沸点(約−177°C)よりも高い温度となるように保たれる。この温度のもとでは、LNGは液相、窒素は気相となる。以下の説明では、プローブ20の筐体210の内部を「プローブ20内」と呼ぶことがある。
なお、メンテナンスPC50またはその他の制御装置が、以下の各ステップの制御を実行してもよい。
(ステップS104)プローブ20内に満たされた窒素を真空引きする。このとき、プローブ20の止め弁240、バルブb72、バルブb74を開く。そして、真空ポンプ30は、導管p80を介して窒素を所定時間(例えば、5〜10分間)吸引する。その後、ステップS106に進む。
(ステップS114)プローブ20内に満たされた標準ガスを真空引きする。このとき、バルブb78を閉じたままとし、バルブb72、b74及び止め弁240を開く。そして、真空ポンプ30は、導管p80を介して標準ガスを所定時間(例えば、5〜10分間)吸引する。その後、バルブb72、b74とプローブ20の止め弁240を閉じ、ステップS116に進む。
(ステップS116)窒素ガスボンベから導管p80を介して窒素をプローブ20内に導入する。このとき、バルブb72、b78とプローブ20の止め弁240を所定時間(例えば、5〜10分)開く。その後、バルブb72、b78と止め弁240を閉じ、ステップS118の処理に進む。
波数安定性テストとは、測定された吸光スペクトルの所定のピークの波数と幅が、それぞれ予め定めた基準の波数[単位:cm−1]と幅の範囲内にあるか否かを判定する検査項目である。1個の吸光スペクトルは、複数のピークを有しうるが、少なくとも1個のピークが検査対象になっていればよい。
この構成によれば、プローブ20を配管60から脱着させなくても、光路の一部に光の吸収が少ない第2の流体を通過させ、光路の他の一部に吸収特性を既知とする第3の流体を通過させて、一連のハードウェアを検査することができる。また、この検査において、配管内に第3の流体を通過させることも、他の測定機器を用いることも要しない。よって、プローブ20、光ファイバp82及びFT−NIR10といった一連のハードウェアの検査効率を向上させることができる。
この構成により、プローブ20を配管60から脱着させなくても、筐体210の内部に光の吸収が少ない第2の流体を導入し、筐体210の外部となる配管60に検査対象とする流体を導入し、その流体に対する分析を実行可能な状態にすることができる。よって、ハードウェアの検査後において、通常の使用状態での分析の再開までの作業効率を向上させることができる。
この構成により、光路が直線であっても、第2の流体が通過する部分と、第3の流体が通過する部分とに区分される。そのため、光路を形成するガラス板222、ライトガイド224−1、224−2、ライトガイドおさえ228、ウィンドウ230及びコーナキューブ232などの部材の配置や位置の調整に係る作業が軽減される。そのため、プローブ20の製造ならびに調整に係るコストが低減する。
上述の実施形態では、光源が発する光が近赤外光である場合を例にしたが、検査対象物である第1の流体に特徴的な吸収特性を有する範囲の波長の成分を含む光であれば、可視光線、紫外線などであってもよい。
第2の流体は、第1の流体よりも光源が発する光の吸収量が格段に少なく、化学的に安定な流体であれば窒素に限られない。第2の流体は、例えば、ヘリウム(He)であってもよい。ヘリウムの沸点(約−269°C)も、LNGの沸点よりも低いため、第1の流体が液相であるときにヘリウムが気相となる温度範囲が存在する。この温度範囲のもとでは、ヘリウムは気化により分離する。
Claims (7)
- 光路の一部が筐体の外部を通過し、かつ、分析対象である第1の流体が流れる配管の内部に配されるようにプローブが前記配管に取り付けられ、前記プローブを介した光を用いて分析を行う分析装置の検査方法であって、
前記第1の流体よりも前記光の吸収が少ない第2の流体が前記配管に導入されている状態で、吸収特性が既知である第3の流体を前記プローブの筐体の内部に導入する第1の過程と、
前記プローブを介した光を用いて前記第3の流体の吸収特性の分析を行う第2の過程と、
を有する分析装置の検査方法。 - 前記第2の過程の終了後、前記筐体の内部に導入された前記第3の流体を前記第2の流体に置換する第3の過程を有する請求項1に記載の分析装置の検査方法。
- 前記筐体は、周囲よりも凹んだ凹部を有し、
前記光路の一部が前記凹部を通過する
請求項1又は請求項2に記載の分析装置の検査方法。 - 前記光は、近赤外光であり、
前記第2の流体は、窒素である
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の分析装置の検査方法。 - 前記配管を流れる前記第1の流体は液相であり、
前記筐体に導入される前記第2の流体及び前記第3の流体は気相である、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の分析装置の検査方法。 - 光路の一部が筐体の外部を通過し、かつ、分析対象である第1の流体が流れる配管の内部に配されるようにプローブが前記配管に取り付けられ、前記プローブを介した光を用いて分析を行う分析装置の検査システムであって、
前記第1の流体よりも前記光の吸収が少ない第2の流体を収容する第1の容器と、
吸収特性が既知である第3の流体を収容する第2の容器と、
前記第1の容器に収容された前記第2の流体、又は前記第2の容器に収容された前記第3の流体を前記プローブの筐体の内部に導入する導入器と、
を備える分析装置の検査システム。 - 前記プローブの筐体の内部に導入された流体を吸引するポンプを更に備える請求項6記載の分析装置の検査システム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017179324A JP6743790B2 (ja) | 2017-09-19 | 2017-09-19 | 検査方法及び検査システム |
EP18858797.6A EP3686578B1 (en) | 2017-09-19 | 2018-09-05 | Inspecting method and inspection system |
CN201880056800.1A CN111065913A (zh) | 2017-09-19 | 2018-09-05 | 检查方法以及检查系统 |
PCT/JP2018/032905 WO2019058971A1 (ja) | 2017-09-19 | 2018-09-05 | 検査方法及び検査システム |
US16/648,058 US11150182B2 (en) | 2017-09-19 | 2018-09-05 | Testing method and testing system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017179324A JP6743790B2 (ja) | 2017-09-19 | 2017-09-19 | 検査方法及び検査システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019056560A true JP2019056560A (ja) | 2019-04-11 |
JP2019056560A5 JP2019056560A5 (ja) | 2019-07-25 |
JP6743790B2 JP6743790B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=65809688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017179324A Active JP6743790B2 (ja) | 2017-09-19 | 2017-09-19 | 検査方法及び検査システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11150182B2 (ja) |
EP (1) | EP3686578B1 (ja) |
JP (1) | JP6743790B2 (ja) |
CN (1) | CN111065913A (ja) |
WO (1) | WO2019058971A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020106490A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 横河電機株式会社 | 測定装置、検量線作成システム、スペクトル測定方法、検量線作成方法、分析装置、液化ガス製造プラント、及び性状分析方法 |
CN113476739B (zh) * | 2021-06-07 | 2022-11-08 | 浙江迪远医疗器械有限公司 | 具有检测装置的血液泵 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02249951A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Toho Gas Co Ltd | ガスセンサのガス検知部構造 |
JP2001009268A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-16 | Yokogawa Electric Corp | 反応プロセス装置 |
JP2005091006A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Nissan Motor Co Ltd | 気液2相試料分析装置 |
JP2006084342A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Anritsu Corp | ガス検知器校正装置 |
JP2007085829A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Daicel Chem Ind Ltd | 近赤外分光分析装置を校正するための装置及び方法 |
US20080100845A1 (en) * | 2006-10-27 | 2008-05-01 | Optek-Danulat Gmbh | Inline photometer device and calibration method |
JP2008268107A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Yokogawa Electric Corp | センサユニット及びマイクロリアクタシステム |
WO2011077938A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
JP2014002072A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Horiba Ltd | ガス分析装置 |
JP2017129374A (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置、及び、分析方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4560873A (en) * | 1983-06-17 | 1985-12-24 | Lear Siegler, Inc. | Situ multi-channel combustion gas analyzer |
US4958076A (en) * | 1989-02-10 | 1990-09-18 | Gas Research Institute | Selective natural gas detecting apparatus |
DE102004045816A1 (de) * | 2003-11-19 | 2005-06-30 | Nttf Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Flüssigkeitsprobe |
GB0700677D0 (en) * | 2007-01-12 | 2007-02-21 | Servomex Group Ltd | Probe |
WO2011073789A2 (en) | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Schlumberger Technology B.V. | Immersion probe using ultraviolet and infrared radiation for multi-phase flow analysis |
WO2012120957A1 (ja) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
EP2711688B1 (en) * | 2011-05-20 | 2020-09-02 | HORIBA, Ltd. | Measuring unit and gas analyzing apparatus |
DE102011076222A1 (de) | 2011-05-20 | 2012-11-22 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Verfahren zur Überwachung einer Reinigung und/oder Desinfektion mindestens eines Teils einer Prozessanlage |
JP6416453B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2018-10-31 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
EP2610607B1 (en) * | 2011-12-27 | 2019-10-30 | HORIBA, Ltd. | Gas analyzing apparatus |
CN102901707A (zh) * | 2012-07-26 | 2013-01-30 | 苏州天和自动化系统有限公司 | 可连续测量的光谱检测棒 |
CN102778433B (zh) * | 2012-07-30 | 2014-07-23 | 天津市蓝宇科工贸有限公司 | 原位零气反吹式cems探头在线校准装置 |
CN102798602B (zh) * | 2012-08-13 | 2015-06-03 | 重庆大学 | 一体化双光束水质cod在线检测传感器 |
CN102944523A (zh) * | 2012-11-21 | 2013-02-27 | 于志伟 | 浸入式流体分析设备及其调试方法 |
WO2015193370A1 (en) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | Danfoss Ixa A/S | Probe for gas sensor having purge gas protection |
WO2016059974A1 (ja) * | 2014-10-17 | 2016-04-21 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
US9983124B2 (en) * | 2015-02-09 | 2018-05-29 | Oregon State University | Sensor devices comprising a metal-organic framework material and methods of making and using the same |
DE202016102007U1 (de) | 2016-04-15 | 2017-07-19 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen in-situ Gasanalyse |
CN106568715B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-03-19 | 深圳市赛宝伦科技有限公司 | 一种在线式全光谱水质分析仪 |
WO2018160971A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | Max Analytical Technologies, Inc. | System and method for impurity detection in beverage grade gases |
-
2017
- 2017-09-19 JP JP2017179324A patent/JP6743790B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-05 CN CN201880056800.1A patent/CN111065913A/zh active Pending
- 2018-09-05 WO PCT/JP2018/032905 patent/WO2019058971A1/ja unknown
- 2018-09-05 US US16/648,058 patent/US11150182B2/en active Active
- 2018-09-05 EP EP18858797.6A patent/EP3686578B1/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02249951A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Toho Gas Co Ltd | ガスセンサのガス検知部構造 |
JP2001009268A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-16 | Yokogawa Electric Corp | 反応プロセス装置 |
JP2005091006A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Nissan Motor Co Ltd | 気液2相試料分析装置 |
JP2006084342A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Anritsu Corp | ガス検知器校正装置 |
JP2007085829A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Daicel Chem Ind Ltd | 近赤外分光分析装置を校正するための装置及び方法 |
US20080100845A1 (en) * | 2006-10-27 | 2008-05-01 | Optek-Danulat Gmbh | Inline photometer device and calibration method |
JP2008268107A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Yokogawa Electric Corp | センサユニット及びマイクロリアクタシステム |
WO2011077938A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
JP2014002072A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Horiba Ltd | ガス分析装置 |
JP2017129374A (ja) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | 分析装置、及び、分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111065913A (zh) | 2020-04-24 |
EP3686578A1 (en) | 2020-07-29 |
US11150182B2 (en) | 2021-10-19 |
EP3686578A4 (en) | 2021-05-05 |
EP3686578B1 (en) | 2023-08-02 |
JP6743790B2 (ja) | 2020-08-19 |
US20200256792A1 (en) | 2020-08-13 |
WO2019058971A1 (ja) | 2019-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107949775B (zh) | 定量光谱的频率配准偏差的确定和校正 | |
US7755763B2 (en) | Attenuated total reflection sensor | |
US11614400B2 (en) | Apparatus and method for detecting phase changes in a fluid using spectral recognition | |
CN102272564B (zh) | 用于执行光学吸收测量的方法和系统 | |
US9194797B2 (en) | Method and system for detecting moisture in a process gas involving cross interference | |
US9234905B2 (en) | Method of calibrating and calibration apparatus for a moisture concentration measurement apparatus | |
US20130044323A1 (en) | Method and system for detecting moisture in natural gas | |
CN105765381B (zh) | 用于测量溶解在液体中的气体的气体浓度的方法及系统 | |
EP3308144B1 (en) | Gas detection apparatus and method | |
US11060971B2 (en) | Method and device for monitoring the quality of gaseous media | |
TWI541492B (zh) | 用於量測生物氣體中之矽氧烷的方法及裝置 | |
US5835230A (en) | Method for calibration of a spectroscopic sensor | |
JP6743790B2 (ja) | 検査方法及び検査システム | |
US9063083B2 (en) | Method and sensor device for measuring a carbon dioxide content in a fluid | |
US9244003B1 (en) | Alignment flange mounted optical window for a laser gas analyzer | |
CN105158184A (zh) | 一种基于光学积分球的气体在线分析装置 | |
KR101106115B1 (ko) | 공정챔버의 플라즈마광 세기 감쇄장치 | |
CN110426353B (zh) | 一种气体激光吸收光谱测量的标定装置 | |
US11828705B2 (en) | Apparatus and method for spectroscopically detecting a sample | |
KR20240022101A (ko) | 전처리장치를 구비한 ndir 가스측정장치 | |
KR20230054126A (ko) | 광결정 기반 색변화 센서의 감지능 평가용 투명 챔버 및 이를 포함하는 검사 장치 | |
Frish et al. | Field-rugged sensitive hydrogen peroxide sensor based on tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS) | |
KR20180087602A (ko) | 셀타입 가스인증표준물질 제조방법, 제조장치 및 용기 | |
Kramer et al. | Optical gas analyzer with compensation for pressure-related refractive index changes | |
Stockwell | Tunable Diode Laser (TDL) systems for trace gas analysis |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190618 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6743790 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |