JP2006084342A - ガス検知器校正装置 - Google Patents
ガス検知器校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006084342A JP2006084342A JP2004270032A JP2004270032A JP2006084342A JP 2006084342 A JP2006084342 A JP 2006084342A JP 2004270032 A JP2004270032 A JP 2004270032A JP 2004270032 A JP2004270032 A JP 2004270032A JP 2006084342 A JP2006084342 A JP 2006084342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas detector
- calibration
- cell
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 ガス検知器校正装置1は、雰囲気中にガス吸収線に周波数安定化されたレーザ光を出射し、且つレーザ光の反射光を受光して雰囲気中のコラム密度を測定するガス検知器3の校正を行うもので、校正用ガスセル6、反射手段27、パージ手段4を具備する。校正用ガスセル6は、校正されるべきガス検知器3が置かれる位置からガス検知器3が発生するレーザ光の光軸線C−Cに沿って所定の長さL以上離れて配置され、光軸線C−Cに対してそれぞれ傾斜して備えられてレーザ光を透過させる一対の透過窓21と周壁とで画成され、内部に所定濃度の被検知ガスが充填される。反射手段27は、一対の透過窓21の一方から他方を通して校正用ガスセル6を透過したレーザ光を反射させる。パージ手段4は、ガス検知器3と校正用ガスセル6との間の光路から被検知ガスを排除する。
【選択図】 図1
Description
校正されるべきガス検知器が置かれる位置から該ガス検知器が発生するレーザ光の光軸線C−Cに沿って所定の長さL以上離れて配置され、前記光軸線に対してそれぞれ傾斜して備えられてレーザ光を透過させる一対の透過窓21と周壁とで画成され、内部に所定濃度の被検知ガスが充填される校正用ガスセル6と、
前記一対の透過窓の一方から他方を通して前記校正用ガスセルを透過したレーザ光を反射させる反射手段27と、
前記ガス検知器と前記校正用ガスセルとの間の光路から被検知ガスを排除するパージ手段4とを備えたことを特徴とする。
前記パージ手段4は、両端に前記ガス検知器3と前記校正用ガスセル6とが着脱可能に前記ガス検知器と前記校正用ガスセルとを結ぶ測定光の光軸を囲むように形成される筒型管状をなし、内部を所定のガス状態で保持することを特徴とする。
前記校正用ガスセル6は、前記一対の透過窓21の表面に反射防止膜が形成され、該一対の透過窓が前記レーザ光の光軸に対して所定角度θ傾斜し、かつ所定間隔L1をおいて配置されていることを特徴とする。
前記反射手段27と、
前記反射手段と前記ガス検知器3との間のレーザ光の光路長Lを微小に増減するように前記反射手段を駆動する駆動手段28とを含む光路長増減手段7を備えたことを特徴とする。
前記反射手段27は、反射面27aが光軸線C−Cに対して所定角度傾斜して配置されており、
前記駆動手段28は、前記反射手段を所定の回転速度で回転駆動することを特徴とする。
前記駆動手段28は、前記反射手段27を光軸線C−C方向に微動駆動することを特徴とする。
前記反射手段27の反射面27aが乱反射面をなすことを特徴とする。
ガス検出器3のガス検出方法は、ガス測定レーザ光を出射し、測定対象から反射した微弱なレーザ光を受光し、受光信号を分析して光路中のガスコラム密度を検出している。
(2)反射板27を駆動手段28により規定の速度で回転させる。
(3)パージガスボンベ12のバルブ12aを開けてパージ管5内にパージガスを流す。これにより、パージ管5内をパージガスのみで満たす。
(4)校正用ガスセル6、標準ガスボンベ18の全てのバルブ13c,14c,18aを閉める。
(5)校正用ガスセル6の標準ガスボンベ18につながっているバルブ14cを開ける。
(6)校正用ガスセル6の真空ポンプ16につながっているバルブ13cを開ける。
(7)真空ポンプ16を動作させ、校正用ガスセル6内を真空にする。
(8)校正用ガスセル6の真空ポンプ16につながっているバルブ13cを閉める。
(9)1000ppmの標準ガスボンベ18のバルブ18aを開ける。
(10)標準ガスが校正用ガスセル6内に1気圧になるまで標準ガスを入れる。
(11)標準ガスボンベ18のバルブ18aを閉める。
(12)校正用ガスセル6の標準ガスボンベ18につながっているバルブ14cを閉める。
(13)(3)〜(12)の作業を複数回繰り返す。この作業は、前回のガスを真空ポンプ16の動作により排除し、前回の残留ガスの影響による測定誤差を無くすために行われる。
(14)校正対象となるガス検知器3により|2f|/|1f|値(ガス濃度)を測定し、記録する。
(15)1000ppmの標準ガスボンベ18を2000ppmの標準ガスボンベ18に取り替え、(3)〜(14)の作業を複数回繰り返す。
(16)2000ppmの標準ガスボンベ18を5000ppmの標準ガスボンベ18に取り替え、(3)〜(14)の作業を複数回繰り返す。
(17)駆動手段28による反射板27の回転を止める。
(18)全てのガスボンベ12,18のバルブ12a,18aを閉める。
(19)校正用ガスセル6のバルブ13c,14cを開ける。
(20)校正対象となるガス検知器3を基台2から取りはずす。
2 基台
2a 支持部材
2b ガイド部材
3 ガス検知器
4 パージ手段
5 パージ管
6 校正用ガスセル
6a セル本体
6b 両端
7 反射機構(光路長増減手段)
8 制御ボックス
11 パイプ
12 パージガスボンベ
12a バルブ
13,14 継手
13a,14a バルブ
13b,14b 基端部
13c,14c 先端部
15 パイプ
16 真空ポンプ
17 パイプ
18 標準ガスボンベ
21 ガラス窓(透過窓)
22 反射防止膜
23 ガスケット
24 固定手段
24a ネジ部
24b ナット部
25 圧力検出手段
26 表示手段
27 反射板(反射手段)
27a 反射面
28 駆動手段
Claims (7)
- ガス吸収線に周波数安定化されたレーザ光を雰囲気中に出射し、且つ該レーザ光の反射光を受光して前記雰囲気中のガス濃度を測定するガス検知器(3)の校正を行うためのガス検知器校正装置(1)であって、
校正されるべきガス検知器が置かれる位置から該ガス検知器が発生するレーザ光の光軸線(C−C)に沿って所定の長さ(L)以上離れて配置され、前記光軸線に対してそれぞれ傾斜して備えられてレーザ光を透過させる一対の透過窓(21)と周壁とで画成され、内部に所定濃度の被検知ガスが充填される校正用ガスセル(6)と、
前記一対の透過窓の一方から他方を通して前記校正用ガスセルを透過したレーザ光を反射させる反射手段(27)と、
前記ガス検知器と前記校正用ガスセルとの間の光路から被検知ガスを排除するパージ手段(4)とを備えたことを特徴とするガス検知器校正装置。 - 前記パージ手段(4)は、両端に前記ガス検知器(3)と前記校正用ガスセル(6)とが着脱可能に前記ガス検知器と前記校正用ガスセルとを結ぶ測定光の光軸を囲むように形成される筒型管状をなし、内部を所定のガス状態で保持することを特徴とする請求項1記載のガス検知器校正装置。
- 前記校正用ガスセル(6)は、前記一対の透過窓(21)の表面に反射防止膜が形成され、該一対の透過窓が前記レーザ光の光軸に対して所定角度(θ)傾斜し、かつ所定間隔(L1)をおいて配置されていることを特徴とする請求項1記載のガス検知器校正装置。
- 前記反射手段(27)と、
前記反射手段と前記ガス検知器(3)との間のレーザ光の光路長(L)を微小に増減するように前記反射手段を駆動する駆動手段(28)とを含む光路長増減手段(7)を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガス検知器校正装置。 - 前記反射手段(27)は、反射面(27a)が光軸線(C−C)に対して所定角度傾斜して配置されており、
前記駆動手段(28)は、前記反射手段を所定の回転速度で回転駆動することを特徴とする請求項4記載のガス検知器校正装置。 - 前記駆動手段(28)は、前記反射手段(27)を光軸線(C−C)方向に微動駆動することを特徴とする請求項4記載のガス検知器校正装置。
- 前記反射手段(27)の反射面(27a)が乱反射面をなすことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のガス検知器校正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004270032A JP4460404B2 (ja) | 2004-09-16 | 2004-09-16 | ガス検知器校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004270032A JP4460404B2 (ja) | 2004-09-16 | 2004-09-16 | ガス検知器校正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084342A true JP2006084342A (ja) | 2006-03-30 |
JP4460404B2 JP4460404B2 (ja) | 2010-05-12 |
Family
ID=36162966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004270032A Expired - Fee Related JP4460404B2 (ja) | 2004-09-16 | 2004-09-16 | ガス検知器校正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4460404B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009128138A1 (ja) * | 2008-04-15 | 2009-10-22 | 株式会社島津製作所 | 校正用ガスセルを搭載したガス分析装置 |
JP2014055858A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp | ガス濃度測定装置 |
WO2019058971A1 (ja) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 横河電機株式会社 | 検査方法及び検査システム |
EP3619518A4 (en) * | 2017-05-02 | 2021-01-27 | Ping Lin | SAMPLE HOLDER FOR USE IN INFRARED SPECTROSCOPY |
CN114441459A (zh) * | 2020-11-03 | 2022-05-06 | 横河电机株式会社 | 多通光学系统中的流体样本的隔离 |
CN115508308A (zh) * | 2022-10-10 | 2022-12-23 | 黄海造船有限公司 | 一种抗干扰高精度氨气泄露检测装置 |
-
2004
- 2004-09-16 JP JP2004270032A patent/JP4460404B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009128138A1 (ja) * | 2008-04-15 | 2009-10-22 | 株式会社島津製作所 | 校正用ガスセルを搭載したガス分析装置 |
JP2014055858A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp | ガス濃度測定装置 |
EP3619518A4 (en) * | 2017-05-02 | 2021-01-27 | Ping Lin | SAMPLE HOLDER FOR USE IN INFRARED SPECTROSCOPY |
WO2019058971A1 (ja) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 横河電機株式会社 | 検査方法及び検査システム |
JP2019056560A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | 横河電機株式会社 | 検査方法及び検査システム |
CN114441459A (zh) * | 2020-11-03 | 2022-05-06 | 横河电机株式会社 | 多通光学系统中的流体样本的隔离 |
JP2022075596A (ja) * | 2020-11-03 | 2022-05-18 | 横河電機株式会社 | マルチパス光学系における流体サンプルの分離 |
JP7230988B2 (ja) | 2020-11-03 | 2023-03-01 | 横河電機株式会社 | マルチパス光学系における流体サンプルの分離 |
US11686670B2 (en) | 2020-11-03 | 2023-06-27 | Yokogawa Electric Corporation | Isolation of fluid sample in multi-pass optical system |
CN114441459B (zh) * | 2020-11-03 | 2024-08-09 | 横河电机株式会社 | 多通光学系统中的流体样本的隔离 |
CN115508308A (zh) * | 2022-10-10 | 2022-12-23 | 黄海造船有限公司 | 一种抗干扰高精度氨气泄露检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4460404B2 (ja) | 2010-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5176535B2 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
US9759654B2 (en) | Cavity enhanced laser based isotopic gas analyzer | |
WO2009128138A1 (ja) | 校正用ガスセルを搭載したガス分析装置 | |
US20080123712A1 (en) | Measuring water vapor in high purity gases | |
EP3427025B1 (en) | Multiple laser optical feedback assisted cavity enhanced absorption spectoscopy systems and methods | |
WO1999066311A1 (en) | Infrared multiple gas analyzer and analysis | |
US20160069795A1 (en) | Ultra stable resonant cavity for gas analysis systems | |
JP4460404B2 (ja) | ガス検知器校正装置 | |
US20030230716A1 (en) | Multi-gas analyzer | |
JP2001235418A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
Breguet et al. | Photoacoustic detection of trace gases with an optical microphone | |
KR20010021565A (ko) | 스펙트로스코픽 센서의 보정 방법 | |
CN109164054A (zh) | 二氧化碳浓度测量定标系统装置 | |
WO1996026414A1 (en) | Device for detecting angle of rotation of diffraction grating | |
JP2008268064A (ja) | 多成分対応レーザ式ガス分析計 | |
JPH0579976A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JP5277763B2 (ja) | レーザ式ガス分析計 | |
JP3059661B2 (ja) | ガス濃度測定装置 | |
EP2896948B1 (en) | Method and device for determining gas component inside a transparent container | |
JP3691329B2 (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JPH05172738A (ja) | 音響セル | |
KR200238976Y1 (ko) | 인시츄 에프티아이알 굴뚝 배출 가스 자동 측정 장치 | |
JP2005520132A (ja) | サンプルの特性パラメータを偏光測定する方法と装置 | |
KR100373399B1 (ko) | 광흡수 분진농도 측정장치 | |
JP4906477B2 (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140219 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |